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楼主: moletronic
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[科普知识] 国产光刻机猜测

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  • TA的每日心情
    慵懒
    2022-8-27 22:14
  • 签到天数: 351 天

    [LV.8]合体

    21#
    发表于 2024-9-17 08:06:46 | 只看该作者
    晨枫 发表于 2024-9-16 14:00
    $ [0 M: b( ?+ |0 [6 D* w也就是说,即使28nm现在还有光刻机瓶颈,其他也都就绪、只欠东风了。这是好事!
    4 r* m5 e0 n5 r0 d0 f  V: N) j
    ) _1 }# m" h1 e' X个人感觉:相比于前一阵 ...
      n( c# g; l, y
    9 D3 r. s- H; N. Y& q. O* x( i
    这就要西方好好领教什么叫产能过剩了。
    7 o1 u5 V, J) i9 G: [& k$ O- p
    应该会在5年内实现吧。- Y1 a/ c* n7 R& B4 p1 J0 R5 H
    ; F: N* b% G2 d) u2 O
    微博上有位“沉睡之书11”说的。(不一定准确,可以看看)
    ; q; X, @* [/ `. q+ j& {24-9-16 23:55
    , f" D( j' @2 G% A发布于 湖南7 a! Z) X& q9 @& t# f5 U: p
    来自 微博网页版
    ( {) @9 J' ^5 M  ^1 ]6 w啊,说过很多次了,#光刻机# 不是挖机
    - Y* C) s, r! Y' h9 _! O+ U不是运过来就能直接开工的。
    8 O1 n6 J( j) D: J/ Z) }他需要调试,需要不断的用,一边用一边调整,等光学畸变稳定——你可以理解为拷机或者汽车发动热机暖机。
    7 Q9 R) S: @) M- o9 P# B
    & O. U7 ]- q, N/ l8 t6 |这个时间很长,也是我常年说:
    # [( T: i/ ^& m4 r就算今天ASML传送一台EUV给咱,我们拿到第一批量产的芯片流片完(无论7nm,5nm还是多少)起码2年后——这最乐观的2年时间,还得是对EUV非常有经验的顶级工程师来操作优化。6 N( r# O4 |* c0 U. Z
    ; _5 [2 B8 i1 }5 v# G/ e  j; L$ q. n; T
    现在发布的这台机器是起码3年前就验收了(科工),现在工信部验收推广(产业链),成熟得不行了才拿出来的。你需要,给钱就有,不限量。' }2 b: g+ |! q% O; B. @5 U

    , c/ u) A/ k' q# |/ }" x2 p& E; R简单理解就是——这机子是干式光刻机,做的是65-55nm的芯片,一次曝光。% [8 d' N% Z: b' F9 O
    干式光刻机没啥意义,为什么呢?因为改进之后的也可以出产低制程的,向下兼容并且良率更高(成本低方案成熟)
    4 M- n# b/ f8 W$ V6 w  N. s5 _多重曝光也不是这哥们来做……(我是不清楚干式光刻机有没人搞这个): ^/ Z; D, ?6 h' ]- e' q
    但这玩意的光路设计啥的,是成型了的。有了它,就加浸没式透镜,修改物镜,最终成品是目前没有验收但肯定存在某个地方的浸没式光刻机,但起码上线了2年了; z# b) ~9 [( T" |9 t

    / D# M" Z: E, m, @& |! ?3 f: b没公布的那个肯定还在不断的调试,修改,更换国产配件。0 R3 I' }) ]8 t6 R. v' n0 {4 i$ ?6 e
    普通人不用管光刻机啥情况——你就看最终产品就是。
    # j# y3 w$ O9 q9 m; C. y#华为mate70# 也没多久了。
    & d! W: j8 i" B

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    这真是极好的: 5.0
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      发表于 2024-9-18 15:38
    给力: 5 涨姿势: 5 这真是极好的: 5
      发表于 2024-9-17 08:38
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  • TA的每日心情
    开心
    2023-2-8 04:51
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    [LV.Master]无

    22#
     楼主| 发表于 2024-9-17 08:15:36 | 只看该作者
    老财迷 发表于 2024-9-16 16:06
    6 P* y: F) B  Y应该会在5年内实现吧。5 }  \- `, ?1 X7 H- b

    * C# x- s" s1 D" ^, c; y7 K( K0 r: b微博上有位“沉睡之书11”说的。(不一定准确,可以看看)
    : S; J7 a7 z! T& I1 m. _$ i
    1 s+ a' _, X" e0 K( k* b
    这个有点扯,新机到货后肯定要调试的,但绝对用不了两年的时间。

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    以你说的为准 :)  发表于 2024-9-17 15:27

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    23#
    发表于 2024-9-17 08:39:20 | 只看该作者
    moletronic 发表于 2024-9-16 18:15
    # l( U. G( p$ j0 x6 X3 g这个有点扯,新机到货后肯定要调试的,但绝对用不了两年的时间。

    0 i/ c" E/ V! Q; }  P) u但干式到浸润的步子没那么大,这说对了吗?
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  • TA的每日心情
    开心
    2023-2-8 04:51
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    [LV.Master]无

    24#
     楼主| 发表于 2024-9-17 10:54:17 | 只看该作者
    本帖最后由 moletronic 于 2024-9-16 18:56 编辑
    7 e* o  z4 ^/ X: i2 O5 b
    晨枫 发表于 2024-9-16 16:39
    ) S0 a+ [5 q0 E' B4 c- m但干式到浸润的步子没那么大,这说对了吗?

    * E9 u) ~8 \6 P" i& r( p* n7 r7 ?8 i& c8 v. X1 Q
    按说这个跨越不算大,但Nikon就是浸水没搞定" |, |0 i8 J' _
    所以俺不敢做预测,只敢对已知的做评述

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    25#
    发表于 2024-9-17 11:08:25 | 只看该作者
    晨枫 发表于 2024-9-17 03:34$ n- N! j! C8 L  q6 `% D, T1 |
    不过EUV制作7nm可以轻易一次曝光,产率和良率应该提高很多?
    0 u- j" D5 N$ @/ a8 o& ~
    理论上是这样。但制造芯片是个复杂的过程,需要各方面不断打磨,才能接近理想的结果。现实中的例子,台积电用193nm光刻机率先量产7nm,三星则以更先进的EUV光刻机应战,由于对新型光刻机的熟悉不足,结果良率低下,很多人抛弃三星。最后三星赔本赚吆喝,开出比台积电低30%的代工费用,才勉强留下大客户。

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      发表于 2024-9-17 15:28

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    26#
    发表于 2024-9-17 11:13:01 | 只看该作者
    moletronic 发表于 2024-9-16 20:546 C3 M, K/ i% F2 A
    按说这个跨越不算大,但Nikon就是浸水没搞定! W5 @7 s! Q0 {8 L9 n
    所以俺不敢做预测,只敢对已知的做评述 ...
    2 B5 J4 C! r9 r3 ^6 k; q! S
    有道理。
    6 R8 }) ~1 Z1 R; R! E9 c' {+ \# |5 z* U) Z
    不过现在看尼康和佳能的光刻机,总有感觉他们已经三心二意了。既然干不过阿斯麦,就用最小投资吊着。不退场,但也不全力以赴。& \9 J- h& r7 c* V- ^
    4 t% A+ k" F8 [# v
    中国肯定是全力以赴的。而且倾国之力肯定大于尼康、佳能。
    ( N- f' L* A$ [/ r+ o$ v+ O5 [, N8 D/ v$ z, b+ E
    这会有差别吗?
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    27#
    发表于 2024-9-17 11:13:37 | 只看该作者
    沉宝 发表于 2024-9-16 21:08# B. _2 n0 k) X! i8 d; T( M; O
    理论上是这样。但制造芯片是个复杂的过程,需要各方面不断打磨,才能接近理想的结果。现实中的例子,台积 ...

    * E+ }% A- i: P0 s这倒是个问题。都说韩国人拼,看来还是拼不过中国人。台湾人也是中国人嘛。
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    28#
    发表于 2024-9-17 11:19:08 | 只看该作者
    moletronic 发表于 2024-9-17 10:54
    ' V1 @3 f! j2 r3 n9 h按说这个跨越不算大,但Nikon就是浸水没搞定
    1 q) V  h% a( }; N( T& n, w4 m所以俺不敢做预测,只敢对已知的做评述 ...
    ) ?# Z0 }% i% ?( x; d6 K
    还没搞定? 0 F/ X& Y( c1 P) _& L
    我可能是09年去给Nikon做实验,他们想搞明白光刻机里面为什么会产生微气泡,想买个做实验的系统。我在的小破公司搭了一个,然后过去一起做,看能不能用。那个时候估计还是早期,这些基础的问题都没个数。做了几个实验,证明可以捕捉到微气泡发生,成长和运动的轨迹,我就撤了。这都十五年过去了。
    0 \- D3 X8 _# j. Y: z尼康那时候已经有点不灵的迹象,食堂里面睡满了安装队的人。正常的话那些人都是满世界跑给别人装机器的。& _8 ?) I7 v9 |" m6 ^0 T! N

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    坛里藏龙卧虎啊  发表于 2024-9-17 15:31

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    唐家山 + 4 伙呆了
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    29#
    发表于 2024-9-17 11:21:47 | 只看该作者
    moletronic 发表于 2024-9-16 20:540 s" T" o, [' v+ P
    按说这个跨越不算大,但Nikon就是浸水没搞定
    / u: C3 x6 u3 {* T9 o* g所以俺不敢做预测,只敢对已知的做评述 ...

    . _  z  ?! }/ l% T+ Q/ Z5 x- ^突然想起来:现在就聚焦于逻辑芯片,存储芯片用的芯片技术一样吗?前一段听说长江还是谁的128还是256层NAND也被卡了,因为光刻机的事,这说法准确吗?高端NAND需要多少nm节点的光刻机?
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    30#
    发表于 2024-9-17 11:23:33 | 只看该作者
    晨枫 发表于 2024-9-17 11:133 w1 n, I3 m7 Z
    有道理。( @9 C) Z, n# d4 c1 ]
    ; `; ?& w, M; ?" u1 ?/ F
    不过现在看尼康和佳能的光刻机,总有感觉他们已经三心二意了。既然干不过阿斯麦,就用最小投资 ...

    2 J" ?. v; N; Q/ {* n! k, ^可能是真没钱投资了。这些钱政府应该赞助的,可是政府也难呐,到处都是嗷嗷待哺的嘴,捉了个虫也不知道塞哪张嘴里。9 H! L7 e! u9 P
    很多年前日本媒体评价日本财政用了很形象的词,叫硬直化。所有的钱都有定好的用处,几乎没有活动钱。需要财政支持的时候十分狼狈。该做的事情做不了,钱全都拿去维持日常运转了。

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      发表于 2024-9-17 15:32

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    开心
    2023-2-8 04:51
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    [LV.Master]无

    31#
     楼主| 发表于 2024-9-17 11:28:54 | 只看该作者
    本帖最后由 moletronic 于 2024-9-16 19:33 编辑
    " ~! }2 ?' |) J8 \
    雷声 发表于 2024-9-16 19:19" |7 ^; K+ J" o5 k* M. ~4 {
    还没搞定?
    2 K# Z" o- a' u/ _7 D. D我可能是09年去给Nikon做实验,他们想搞明白光刻机里面为什么会产生微气泡,想买个做实验的 ...
    ' V, p! E- d- q7 h( b

    # R( ?  J$ e1 R  P' U% r$ {& h% {Nikon是稳定性不行,被牙膏退货后就没人再买。疫情前去开spie的会,Nikon还吹牛自己行了,但主流客户没人用。
    8 |  S% N7 ~3 I; Z( {6 Z+ y+ d有网上谣言说华为买了些Nikon自己魔改做出了9100…俺比较怀疑真实性。
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    开心
    2023-2-8 04:51
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    [LV.Master]无

    32#
     楼主| 发表于 2024-9-17 11:31:01 | 只看该作者
    晨枫 发表于 2024-9-16 19:21& i2 q6 W- q1 d- r" o
    突然想起来:现在就聚焦于逻辑芯片,存储芯片用的芯片技术一样吗?前一段听说长江还是谁的128还是256层NA ...

    : o% E' v: d( |存储和逻辑的工艺重点不一样,节点体系也不同。存储那边现在还没上EUV。
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    33#
    发表于 2024-9-17 11:34:00 | 只看该作者
    moletronic 发表于 2024-9-16 21:31/ A7 [- U4 n' h& R! j  `6 o
    存储和逻辑的工艺重点不一样,节点体系也不同。存储那边现在还没上EUV。 ...
    ' `8 a8 f) M& {+ X5 ^' ?/ u( R: D
    需要用到浸润DUV吗?
    # J1 {$ \9 M' @# ]
    . s4 C5 P2 r# H4 C( A, [- Z我的问题其实是:65nm光刻机能解决国内NAND厂的设备禁运问题吗?
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  • TA的每日心情
    开心
    2023-2-8 04:51
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    [LV.Master]无

    34#
     楼主| 发表于 2024-9-17 11:37:50 | 只看该作者
    晨枫 发表于 2024-9-16 19:34
    ; w: _) _4 J5 y" Y+ c需要用到浸润DUV吗?* ~6 O! \, T4 R

    , L5 N" o! @* F6 a我的问题其实是:65nm光刻机能解决国内NAND厂的设备禁运问题吗? ...

    + X; C5 O$ v( C' g/ A1 E' t1 ?浸水还是要的,这国产光刻机按公布的指标应该还是没法满足YMTC的全部要求。
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    35#
    发表于 2024-9-17 11:38:06 | 只看该作者
    雷声 发表于 2024-9-16 21:23) |" a; g7 L8 x  O- t" c
    可能是真没钱投资了。这些钱政府应该赞助的,可是政府也难呐,到处都是嗷嗷待哺的嘴,捉了个虫也不知道塞 ...

    $ v. y  Z! U6 A- M# h是的,需要钱的地方太多,但光刻机和芯片可能是不计代价砸钱的方向,优先级比谁都高。这个瓶颈突破后,不只是军事、科技上的阳关道,经济上也是大片的处女地啊。
    % W# D/ i% f9 e) Q
    8 L: O* T( U* P/ [) |硬直化很形象。确实,西方家大业大,花钱手笔也大,但每一笔钱都预定了用处,活动余地真心很小。你看看美国在预算削减时那个鸡飞狗跳,就知道真是谁都动不得。“平均剃头”是公认的最坏选择,但是唯一大家可接受的选择。
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    36#
    发表于 2024-9-17 11:40:47 | 只看该作者
    moletronic 发表于 2024-9-16 21:37! j; y7 f$ C# b) g: [& F
    浸水还是要的,这国产光刻机按公布的指标应该还是没法满足YMTC的全部要求。 ...
    2 g9 L0 E) m/ z6 k: F- l7 ?5 X0 F
    都说工信部这光刻机不是浸润式,但193nm光源,65nm分辨率,正好是2*1.44倍,是不是太巧了?
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    37#
    发表于 2024-9-17 11:43:29 | 只看该作者
    moletronic 发表于 2024-9-17 10:54% W: I1 J6 l; J7 p  U* g
    按说这个跨越不算大,但Nikon就是浸水没搞定
    2 @* @2 t1 x; ]' x. V- M所以俺不敢做预测,只敢对已知的做评述 ...
    : A! _& h* q0 G+ N# h3 d
    具体工作中还是有很多细节要克服。例如曝光时照到光的水会比遮蔽区的水热一点,这个温差会让水的密度不均匀,从而折射率不均匀,影响成像。为了避免温差,必须让水快速流动混合,但又要避免产生漩涡或者析出气泡。水可以把所接触物品上的杂质洗下来,带到晶圆上,形成缺陷。当初ASML搞浸润式光刻机时,在浸液系统上与林本坚团队合作,方案修改了7-8回,耗时两年多才取得满意的结果。

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  • TA的每日心情
    开心
    2023-2-8 04:51
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    [LV.Master]无

    38#
     楼主| 发表于 2024-9-17 11:59:49 | 只看该作者
    本帖最后由 moletronic 于 2024-9-16 20:02 编辑
    8 B" F  C- Y6 c* x7 \
    沉宝 发表于 2024-9-16 19:43* _; R1 ^. x  C& ~( S1 V
    具体工作中还是有很多细节要克服。例如曝光时照到光的水会比遮蔽区的水热一点,这个温差会让水的密度不均 ...

    % h) e: A2 v. @. p5 ^9 S
    ! ^' H( T) `9 i/ P8 C1 t这当然不容易,不过两年挺快啦,看看牙膏的10nm……
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    开心
    2023-2-8 04:51
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    39#
     楼主| 发表于 2024-9-17 12:01:58 | 只看该作者
    晨枫 发表于 2024-9-16 19:403 S% _* ^. ]0 X7 v
    都说工信部这光刻机不是浸润式,但193nm光源,65nm分辨率,正好是2*1.44倍,是不是太巧了? ...
    ) E8 ~2 I  Q. u8 c0 g/ R/ E( K" _
    不知道啦,也许是隐晦放风的说法。
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    40#
    发表于 2024-9-17 17:38:39 | 只看该作者
    晨枫 发表于 2024-9-17 11:135 O1 l8 r; |/ e  R/ x
    这倒是个问题。都说韩国人拼,看来还是拼不过中国人。台湾人也是中国人嘛。 ...
    . q3 c/ L  j- h$ j# U
    中国大,各地方人气质不一,各擅胜场。精细活儿江南地方超过东北山东。如此说来,韩国近东北山东,台湾精英是江浙后代。
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