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[科普知识] 国产光刻机猜测

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  • TA的每日心情
    慵懒
    2022-8-27 22:14
  • 签到天数: 351 天

    [LV.8]合体

    21#
    发表于 2024-9-17 08:06:46 | 只看该作者
    晨枫 发表于 2024-9-16 14:00
    8 F3 Y& ^  c1 q- E: D也就是说,即使28nm现在还有光刻机瓶颈,其他也都就绪、只欠东风了。这是好事!+ I- M3 _. l. V$ i1 d4 k3 X1 f
    ( C0 B7 ^4 @" h7 G
    个人感觉:相比于前一阵 ...
    * j( ~) v% [3 h
    - T- G" n  `2 A1 N1 _. _
    这就要西方好好领教什么叫产能过剩了。

    8 c- m* e  m" }; \2 r应该会在5年内实现吧。! M$ R2 L0 F( J5 ]$ ?- o8 w

    7 [' a  J! |+ g: h微博上有位“沉睡之书11”说的。(不一定准确,可以看看)
    - L9 v  }4 s/ H8 C( K9 o24-9-16 23:55
    ( v$ l/ M2 {. C( |. R$ k发布于 湖南
    ( O. I" L$ A. \/ \来自 微博网页版
    7 R1 a- I! K5 f9 v3 y( O啊,说过很多次了,#光刻机# 不是挖机0 E) U( o8 B& m/ U$ t6 d! P/ {2 s
    不是运过来就能直接开工的。. c+ ^3 {8 S' X
    他需要调试,需要不断的用,一边用一边调整,等光学畸变稳定——你可以理解为拷机或者汽车发动热机暖机。! g3 _- U# L& ?6 j, C9 Q! t* w& u
    , s( z5 e6 ?& p4 M
    这个时间很长,也是我常年说:
    0 R+ `9 ]% Z- ~, @就算今天ASML传送一台EUV给咱,我们拿到第一批量产的芯片流片完(无论7nm,5nm还是多少)起码2年后——这最乐观的2年时间,还得是对EUV非常有经验的顶级工程师来操作优化。
    ( R$ W& ^! T' M' L( Z9 N* X9 {! V
    现在发布的这台机器是起码3年前就验收了(科工),现在工信部验收推广(产业链),成熟得不行了才拿出来的。你需要,给钱就有,不限量。
    7 |8 J. g' k/ q, C. v. ~7 D6 k' a/ U; E) M; a
    简单理解就是——这机子是干式光刻机,做的是65-55nm的芯片,一次曝光。: Y' g. j8 f5 b/ \: o
    干式光刻机没啥意义,为什么呢?因为改进之后的也可以出产低制程的,向下兼容并且良率更高(成本低方案成熟)
    " d) u; B) q' S9 ?- {- f  N多重曝光也不是这哥们来做……(我是不清楚干式光刻机有没人搞这个)2 `, J! s: C1 ?* L/ g
    但这玩意的光路设计啥的,是成型了的。有了它,就加浸没式透镜,修改物镜,最终成品是目前没有验收但肯定存在某个地方的浸没式光刻机,但起码上线了2年了
    9 O9 ]7 l5 k. _- h% \3 t0 ~' ~) q3 @7 U/ y5 K) l9 x
    没公布的那个肯定还在不断的调试,修改,更换国产配件。
    & a  h9 }& j. g: V& e普通人不用管光刻机啥情况——你就看最终产品就是。0 P4 A5 f- H1 |4 p0 t
    #华为mate70# 也没多久了。
    . j8 [* I; ]" `5 J- d% G6 b

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    这真是极好的: 5.0
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      发表于 2024-9-18 15:38
    给力: 5 涨姿势: 5 这真是极好的: 5
      发表于 2024-9-17 08:38
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  • TA的每日心情
    开心
    2023-2-8 04:51
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    [LV.Master]无

    22#
     楼主| 发表于 2024-9-17 08:15:36 | 只看该作者
    老财迷 发表于 2024-9-16 16:06
    1 M4 m  C/ B# f! @& e8 Y, V应该会在5年内实现吧。
    7 a# o/ B9 ~/ W5 Z+ V$ I% j& C, C2 M3 P: ~7 s7 d5 v. Q5 P  Y) I
    微博上有位“沉睡之书11”说的。(不一定准确,可以看看)

    9 Y6 o  u" r! U' m- T1 A
    2 l5 e6 s! m9 {; ^' _( p  B这个有点扯,新机到货后肯定要调试的,但绝对用不了两年的时间。

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    以你说的为准 :)  发表于 2024-9-17 15:27

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    23#
    发表于 2024-9-17 08:39:20 | 只看该作者
    moletronic 发表于 2024-9-16 18:15
    " V1 B0 {# c) C  y这个有点扯,新机到货后肯定要调试的,但绝对用不了两年的时间。
    8 x7 Q  Z4 O5 ~0 |
    但干式到浸润的步子没那么大,这说对了吗?
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  • TA的每日心情
    开心
    2023-2-8 04:51
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    [LV.Master]无

    24#
     楼主| 发表于 2024-9-17 10:54:17 | 只看该作者
    本帖最后由 moletronic 于 2024-9-16 18:56 编辑 % _) Y# P& g9 }0 G. d, b
    晨枫 发表于 2024-9-16 16:39
    8 V3 r* H! S+ _+ _但干式到浸润的步子没那么大,这说对了吗?
    3 h) x% g( a* p1 ^& W

    + @/ A& d" V' p# S按说这个跨越不算大,但Nikon就是浸水没搞定
    6 C) }' ]4 }6 q3 q! ]1 S% C所以俺不敢做预测,只敢对已知的做评述

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    25#
    发表于 2024-9-17 11:08:25 | 只看该作者
    晨枫 发表于 2024-9-17 03:34) t6 U  C% l" j3 a6 @+ d
    不过EUV制作7nm可以轻易一次曝光,产率和良率应该提高很多?

    ; K( Z+ V; C, {$ ?; \- U  ]8 W理论上是这样。但制造芯片是个复杂的过程,需要各方面不断打磨,才能接近理想的结果。现实中的例子,台积电用193nm光刻机率先量产7nm,三星则以更先进的EUV光刻机应战,由于对新型光刻机的熟悉不足,结果良率低下,很多人抛弃三星。最后三星赔本赚吆喝,开出比台积电低30%的代工费用,才勉强留下大客户。

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      发表于 2024-9-17 15:28

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    26#
    发表于 2024-9-17 11:13:01 | 只看该作者
    moletronic 发表于 2024-9-16 20:54+ i+ F- C% G+ P9 m5 x+ I  ^
    按说这个跨越不算大,但Nikon就是浸水没搞定5 ~; \) e, x8 X2 a6 V. s; x
    所以俺不敢做预测,只敢对已知的做评述 ...
    & _. x4 _! E/ w/ N. g& J
    有道理。. a4 g+ t6 R" F8 O, F( A) r) k+ V/ n

    % s: h4 f2 N- ^. b1 X( Q不过现在看尼康和佳能的光刻机,总有感觉他们已经三心二意了。既然干不过阿斯麦,就用最小投资吊着。不退场,但也不全力以赴。/ W( r  u4 p; M, \( J" A; d

    ( ?8 I4 l6 P% v; V& s7 V中国肯定是全力以赴的。而且倾国之力肯定大于尼康、佳能。
    $ ~" h9 H, _3 f
    7 E- c$ L2 U3 }" H0 Z, [9 _这会有差别吗?
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    27#
    发表于 2024-9-17 11:13:37 | 只看该作者
    沉宝 发表于 2024-9-16 21:08
    $ r2 {7 @( x  O' w. c理论上是这样。但制造芯片是个复杂的过程,需要各方面不断打磨,才能接近理想的结果。现实中的例子,台积 ...
    * [' L2 ~6 @* r  E" C& P0 v! v! ]9 r
    这倒是个问题。都说韩国人拼,看来还是拼不过中国人。台湾人也是中国人嘛。
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    28#
    发表于 2024-9-17 11:19:08 | 只看该作者
    moletronic 发表于 2024-9-17 10:54
    ) `2 e$ _5 \9 d/ V  v5 F. Y3 ]按说这个跨越不算大,但Nikon就是浸水没搞定' h: g& e' \4 u3 _# a
    所以俺不敢做预测,只敢对已知的做评述 ...

    ' v* x2 J7 \6 T1 G" t4 P还没搞定? 3 M# U& m% R) Y. @
    我可能是09年去给Nikon做实验,他们想搞明白光刻机里面为什么会产生微气泡,想买个做实验的系统。我在的小破公司搭了一个,然后过去一起做,看能不能用。那个时候估计还是早期,这些基础的问题都没个数。做了几个实验,证明可以捕捉到微气泡发生,成长和运动的轨迹,我就撤了。这都十五年过去了。6 k, _+ S/ [+ i
    尼康那时候已经有点不灵的迹象,食堂里面睡满了安装队的人。正常的话那些人都是满世界跑给别人装机器的。7 J6 s( B/ ^7 U$ t" Y

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    坛里藏龙卧虎啊  发表于 2024-9-17 15:31

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    唐家山 + 4 伙呆了
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    29#
    发表于 2024-9-17 11:21:47 | 只看该作者
    moletronic 发表于 2024-9-16 20:54: q5 M, Z; J8 U: k$ d
    按说这个跨越不算大,但Nikon就是浸水没搞定1 ?4 o3 F" P7 o0 R. C0 d' ~* r
    所以俺不敢做预测,只敢对已知的做评述 ...
    ) Y& c  y0 P! ]- e( X$ T: X
    突然想起来:现在就聚焦于逻辑芯片,存储芯片用的芯片技术一样吗?前一段听说长江还是谁的128还是256层NAND也被卡了,因为光刻机的事,这说法准确吗?高端NAND需要多少nm节点的光刻机?
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    30#
    发表于 2024-9-17 11:23:33 | 只看该作者
    晨枫 发表于 2024-9-17 11:13
    / j; L" N: G+ Y9 N9 ?2 _$ I: j+ P$ v有道理。
    : W0 o5 {1 ?0 w0 |3 U5 z( F
    6 I' s2 Z+ N2 f7 E- K+ L# f% N* O不过现在看尼康和佳能的光刻机,总有感觉他们已经三心二意了。既然干不过阿斯麦,就用最小投资 ...

    + W/ w! f  i% G! l% _& `* d可能是真没钱投资了。这些钱政府应该赞助的,可是政府也难呐,到处都是嗷嗷待哺的嘴,捉了个虫也不知道塞哪张嘴里。
    * N( d. n6 ~. ^' ^- H$ N$ T很多年前日本媒体评价日本财政用了很形象的词,叫硬直化。所有的钱都有定好的用处,几乎没有活动钱。需要财政支持的时候十分狼狈。该做的事情做不了,钱全都拿去维持日常运转了。

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      发表于 2024-9-17 15:32

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    开心
    2023-2-8 04:51
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    31#
     楼主| 发表于 2024-9-17 11:28:54 | 只看该作者
    本帖最后由 moletronic 于 2024-9-16 19:33 编辑
    9 o, @: C( o6 r! a3 A; H
    雷声 发表于 2024-9-16 19:19
    # F: B5 Q, J# J* J8 t, y- O% K7 q# t还没搞定? ! j9 L% ~/ e6 {6 o
    我可能是09年去给Nikon做实验,他们想搞明白光刻机里面为什么会产生微气泡,想买个做实验的 ...

    ) m8 ]: R7 b4 r. w  I
    & V) j! _/ q$ P% g% mNikon是稳定性不行,被牙膏退货后就没人再买。疫情前去开spie的会,Nikon还吹牛自己行了,但主流客户没人用。
    1 K  e7 J; g! K9 m有网上谣言说华为买了些Nikon自己魔改做出了9100…俺比较怀疑真实性。
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    2023-2-8 04:51
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    32#
     楼主| 发表于 2024-9-17 11:31:01 | 只看该作者
    晨枫 发表于 2024-9-16 19:211 F9 M; R; z7 f5 G" X
    突然想起来:现在就聚焦于逻辑芯片,存储芯片用的芯片技术一样吗?前一段听说长江还是谁的128还是256层NA ...

    5 B& v. I! H9 r8 U  P存储和逻辑的工艺重点不一样,节点体系也不同。存储那边现在还没上EUV。
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    33#
    发表于 2024-9-17 11:34:00 | 只看该作者
    moletronic 发表于 2024-9-16 21:31
    + O9 U3 a# O2 p! p- Y, l  l% v/ h8 t存储和逻辑的工艺重点不一样,节点体系也不同。存储那边现在还没上EUV。 ...

    / l4 q4 _- ^2 d- B: C( F/ {- C* C需要用到浸润DUV吗?2 Y1 f! x" \% S* V

    - c: x6 ]8 |1 t我的问题其实是:65nm光刻机能解决国内NAND厂的设备禁运问题吗?
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  • TA的每日心情
    开心
    2023-2-8 04:51
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    34#
     楼主| 发表于 2024-9-17 11:37:50 | 只看该作者
    晨枫 发表于 2024-9-16 19:340 l8 E  Q! X6 Z3 p  s. w( V  {
    需要用到浸润DUV吗?
    ' q, \3 a5 {7 j2 [& W& A# E6 ]" d) F7 n) C% |
    我的问题其实是:65nm光刻机能解决国内NAND厂的设备禁运问题吗? ...
    " ^* g) _( l! g5 s
    浸水还是要的,这国产光刻机按公布的指标应该还是没法满足YMTC的全部要求。
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    35#
    发表于 2024-9-17 11:38:06 | 只看该作者
    雷声 发表于 2024-9-16 21:23. `. w4 c) k& V3 u( v( p( T  I
    可能是真没钱投资了。这些钱政府应该赞助的,可是政府也难呐,到处都是嗷嗷待哺的嘴,捉了个虫也不知道塞 ...

    7 \2 C# q8 B2 q是的,需要钱的地方太多,但光刻机和芯片可能是不计代价砸钱的方向,优先级比谁都高。这个瓶颈突破后,不只是军事、科技上的阳关道,经济上也是大片的处女地啊。% ^% @" G( O, v+ Y
    . U" d0 z% P. K; X" r, N
    硬直化很形象。确实,西方家大业大,花钱手笔也大,但每一笔钱都预定了用处,活动余地真心很小。你看看美国在预算削减时那个鸡飞狗跳,就知道真是谁都动不得。“平均剃头”是公认的最坏选择,但是唯一大家可接受的选择。
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    36#
    发表于 2024-9-17 11:40:47 | 只看该作者
    moletronic 发表于 2024-9-16 21:371 f% W. h- B/ F( ^! I5 i
    浸水还是要的,这国产光刻机按公布的指标应该还是没法满足YMTC的全部要求。 ...
    + ?- r' t: c1 u% j4 }8 }0 ^8 z
    都说工信部这光刻机不是浸润式,但193nm光源,65nm分辨率,正好是2*1.44倍,是不是太巧了?
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    37#
    发表于 2024-9-17 11:43:29 | 只看该作者
    moletronic 发表于 2024-9-17 10:54
    6 |* Q% P- Z4 r& a; n' m* M5 v( M1 U按说这个跨越不算大,但Nikon就是浸水没搞定
    $ t: I" a( `1 v5 f. G9 Y4 R# v所以俺不敢做预测,只敢对已知的做评述 ...
    ( S1 m+ p# b6 N9 F7 [2 }8 B
    具体工作中还是有很多细节要克服。例如曝光时照到光的水会比遮蔽区的水热一点,这个温差会让水的密度不均匀,从而折射率不均匀,影响成像。为了避免温差,必须让水快速流动混合,但又要避免产生漩涡或者析出气泡。水可以把所接触物品上的杂质洗下来,带到晶圆上,形成缺陷。当初ASML搞浸润式光刻机时,在浸液系统上与林本坚团队合作,方案修改了7-8回,耗时两年多才取得满意的结果。

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  • TA的每日心情
    开心
    2023-2-8 04:51
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    38#
     楼主| 发表于 2024-9-17 11:59:49 | 只看该作者
    本帖最后由 moletronic 于 2024-9-16 20:02 编辑 * |0 j2 T9 t1 ?! h6 \# n* c
    沉宝 发表于 2024-9-16 19:43
    + b( B/ q8 g6 c具体工作中还是有很多细节要克服。例如曝光时照到光的水会比遮蔽区的水热一点,这个温差会让水的密度不均 ...
    * V9 ~& p& G; |

    , }0 |( U: @" n# Y这当然不容易,不过两年挺快啦,看看牙膏的10nm……
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  • TA的每日心情
    开心
    2023-2-8 04:51
  • 签到天数: 1811 天

    [LV.Master]无

    39#
     楼主| 发表于 2024-9-17 12:01:58 | 只看该作者
    晨枫 发表于 2024-9-16 19:40( P* `; |; O% A, W# N) y
    都说工信部这光刻机不是浸润式,但193nm光源,65nm分辨率,正好是2*1.44倍,是不是太巧了? ...

    2 X; T) N/ E# x6 d不知道啦,也许是隐晦放风的说法。
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    40#
    发表于 2024-9-17 17:38:39 | 只看该作者
    晨枫 发表于 2024-9-17 11:13
    ; n7 k7 v7 {# G) R2 h这倒是个问题。都说韩国人拼,看来还是拼不过中国人。台湾人也是中国人嘛。 ...

    5 t& n) P7 x* U, g/ z- y中国大,各地方人气质不一,各擅胜场。精细活儿江南地方超过东北山东。如此说来,韩国近东北山东,台湾精英是江浙后代。
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