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[科普知识] 国产光刻机猜测

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  • TA的每日心情
    慵懒
    2022-8-27 22:14
  • 签到天数: 351 天

    [LV.8]合体

    21#
    发表于 2024-9-17 08:06:46 | 只看该作者
    晨枫 发表于 2024-9-16 14:002 @3 _: y3 U* n/ ~9 y
    也就是说,即使28nm现在还有光刻机瓶颈,其他也都就绪、只欠东风了。这是好事!
    9 d) Y+ i5 W' ^+ r, n  c
    # v. @  Y# `1 M! S$ x* r2 `个人感觉:相比于前一阵 ...
    ; h% c5 H/ V' w3 Y) E/ n

    # ]2 q1 U# z+ Z: D. A- x+ Z
    这就要西方好好领教什么叫产能过剩了。
    : S0 `9 v  ^9 W0 g4 M& m6 @  \. r
    应该会在5年内实现吧。6 l5 e  H" C; \: z
    ( q: `9 D. B- |
    微博上有位“沉睡之书11”说的。(不一定准确,可以看看)3 N' Z" O7 t5 W2 s3 G3 k* l
    24-9-16 23:55: y& d) N) ^  r, L# T! S
    发布于 湖南, Q' N, q& U5 F8 j8 @9 E
    来自 微博网页版
      A: a( s; `  c9 b4 g* Q9 t啊,说过很多次了,#光刻机# 不是挖机
    2 d1 K  r( }" g/ a6 H不是运过来就能直接开工的。
    ! ?. F0 g' E" @5 s/ [他需要调试,需要不断的用,一边用一边调整,等光学畸变稳定——你可以理解为拷机或者汽车发动热机暖机。
    / r8 d5 \: S+ M, q+ v; Q" e' U4 t! i" ~  h" i" ~0 O7 k1 O7 L- H
    这个时间很长,也是我常年说:
    $ r4 i9 \  ], }1 p% R, e- h4 {* q就算今天ASML传送一台EUV给咱,我们拿到第一批量产的芯片流片完(无论7nm,5nm还是多少)起码2年后——这最乐观的2年时间,还得是对EUV非常有经验的顶级工程师来操作优化。/ r: O- ~. a7 k7 h* @' m+ [
    ( A" i' L; ]8 @/ D0 u/ D
    现在发布的这台机器是起码3年前就验收了(科工),现在工信部验收推广(产业链),成熟得不行了才拿出来的。你需要,给钱就有,不限量。. v7 [7 D: [' w$ Q3 t" c8 `

    1 Y6 `% p, a- a: N! ^# c3 c  P) q简单理解就是——这机子是干式光刻机,做的是65-55nm的芯片,一次曝光。7 [8 g& K4 W# K* `% l
    干式光刻机没啥意义,为什么呢?因为改进之后的也可以出产低制程的,向下兼容并且良率更高(成本低方案成熟)( t: a; P# j) J" n  I
    多重曝光也不是这哥们来做……(我是不清楚干式光刻机有没人搞这个)) P# |: {& l7 B: N0 J; z- I
    但这玩意的光路设计啥的,是成型了的。有了它,就加浸没式透镜,修改物镜,最终成品是目前没有验收但肯定存在某个地方的浸没式光刻机,但起码上线了2年了
    . o; D) p% T0 k% r
    ( e, i* l; ~, ]: c% O3 O, J没公布的那个肯定还在不断的调试,修改,更换国产配件。# }: M! z- H3 p3 n9 G& v
    普通人不用管光刻机啥情况——你就看最终产品就是。
    5 C$ c. _$ f& P0 n; @- H! Q#华为mate70# 也没多久了。( u' X5 _$ `/ z' |7 B2 p* e

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    这真是极好的: 5.0
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      发表于 2024-9-18 15:38
    给力: 5 涨姿势: 5 这真是极好的: 5
      发表于 2024-9-17 08:38
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  • TA的每日心情
    开心
    2023-2-8 04:51
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    [LV.Master]无

    22#
     楼主| 发表于 2024-9-17 08:15:36 | 只看该作者
    老财迷 发表于 2024-9-16 16:06% \$ o8 N4 g$ ?+ E1 r; O- ~' a# q
    应该会在5年内实现吧。! `0 K- P) u( x

    7 j; u0 N  n$ X3 f微博上有位“沉睡之书11”说的。(不一定准确,可以看看)
    4 C& K0 U3 J' I( q* L9 e. i3 `
    ' Z6 K" C' w8 N* U2 A
    这个有点扯,新机到货后肯定要调试的,但绝对用不了两年的时间。

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    以你说的为准 :)  发表于 2024-9-17 15:27

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    23#
    发表于 2024-9-17 08:39:20 | 只看该作者
    moletronic 发表于 2024-9-16 18:15$ e& U2 @  {8 Y" D3 {
    这个有点扯,新机到货后肯定要调试的,但绝对用不了两年的时间。

    . r2 m! d6 f* V5 |/ b& h  ?% G0 \! D但干式到浸润的步子没那么大,这说对了吗?
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  • TA的每日心情
    开心
    2023-2-8 04:51
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    [LV.Master]无

    24#
     楼主| 发表于 2024-9-17 10:54:17 | 只看该作者
    本帖最后由 moletronic 于 2024-9-16 18:56 编辑   J2 x6 V8 x9 E- A
    晨枫 发表于 2024-9-16 16:39
    6 `# U% G3 Y/ x2 T/ F但干式到浸润的步子没那么大,这说对了吗?

    1 w) V  Y; C8 g" f+ m/ h
    ! c4 a) M( V/ g按说这个跨越不算大,但Nikon就是浸水没搞定% i2 r2 s/ Y. [/ Z
    所以俺不敢做预测,只敢对已知的做评述

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    25#
    发表于 2024-9-17 11:08:25 | 只看该作者
    晨枫 发表于 2024-9-17 03:34
    - ]5 [) Y' ^4 j, G! J7 P不过EUV制作7nm可以轻易一次曝光,产率和良率应该提高很多?

    - ?9 q: H* V% W- r3 B理论上是这样。但制造芯片是个复杂的过程,需要各方面不断打磨,才能接近理想的结果。现实中的例子,台积电用193nm光刻机率先量产7nm,三星则以更先进的EUV光刻机应战,由于对新型光刻机的熟悉不足,结果良率低下,很多人抛弃三星。最后三星赔本赚吆喝,开出比台积电低30%的代工费用,才勉强留下大客户。

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      发表于 2024-9-17 15:28

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    26#
    发表于 2024-9-17 11:13:01 | 只看该作者
    moletronic 发表于 2024-9-16 20:54
    4 X( e- k) H: C: o4 T) g; X! o. V按说这个跨越不算大,但Nikon就是浸水没搞定
    - z6 X! {" d# w- G$ J$ b+ M  q0 L0 E所以俺不敢做预测,只敢对已知的做评述 ...

    * v& n- t" i, L有道理。
    & @! ?0 k; L- Q, V1 J: Y3 _8 P& \" U, B' M% D5 u
    不过现在看尼康和佳能的光刻机,总有感觉他们已经三心二意了。既然干不过阿斯麦,就用最小投资吊着。不退场,但也不全力以赴。
    + |- g/ J. h" s- v
    : F/ a2 g6 ?. @9 n& T$ g中国肯定是全力以赴的。而且倾国之力肯定大于尼康、佳能。  q9 ]5 a) C7 }0 v
    ' z- H# }% n& ?; N7 W4 q
    这会有差别吗?
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    27#
    发表于 2024-9-17 11:13:37 | 只看该作者
    沉宝 发表于 2024-9-16 21:08# I4 t5 v* N. c
    理论上是这样。但制造芯片是个复杂的过程,需要各方面不断打磨,才能接近理想的结果。现实中的例子,台积 ...

    $ N* D/ V9 c) l  i& A4 n这倒是个问题。都说韩国人拼,看来还是拼不过中国人。台湾人也是中国人嘛。
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    28#
    发表于 2024-9-17 11:19:08 | 只看该作者
    moletronic 发表于 2024-9-17 10:54
    ) C; `( C( v9 v4 ]8 [: g; {# |按说这个跨越不算大,但Nikon就是浸水没搞定, g+ B) ^0 Y$ Y8 F  ^. p
    所以俺不敢做预测,只敢对已知的做评述 ...

    5 }! ^, e* G0 G, f9 j! e- T( q还没搞定? 0 s8 ^9 x  |3 x; [8 I  c  J
    我可能是09年去给Nikon做实验,他们想搞明白光刻机里面为什么会产生微气泡,想买个做实验的系统。我在的小破公司搭了一个,然后过去一起做,看能不能用。那个时候估计还是早期,这些基础的问题都没个数。做了几个实验,证明可以捕捉到微气泡发生,成长和运动的轨迹,我就撤了。这都十五年过去了。
    0 _. {& H3 f4 P) N尼康那时候已经有点不灵的迹象,食堂里面睡满了安装队的人。正常的话那些人都是满世界跑给别人装机器的。
    ; t$ U5 V* D0 R7 k0 D! t# |

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    坛里藏龙卧虎啊  发表于 2024-9-17 15:31

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    唐家山 + 4 伙呆了
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    29#
    发表于 2024-9-17 11:21:47 | 只看该作者
    moletronic 发表于 2024-9-16 20:548 C4 i  h' K# Y* r  {+ a
    按说这个跨越不算大,但Nikon就是浸水没搞定
    # W/ @" `% f# S# B" ^- D" E所以俺不敢做预测,只敢对已知的做评述 ...

    , g/ B! ?4 h5 a  _& N2 q突然想起来:现在就聚焦于逻辑芯片,存储芯片用的芯片技术一样吗?前一段听说长江还是谁的128还是256层NAND也被卡了,因为光刻机的事,这说法准确吗?高端NAND需要多少nm节点的光刻机?
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    30#
    发表于 2024-9-17 11:23:33 | 只看该作者
    晨枫 发表于 2024-9-17 11:13' c1 W; j, q8 W0 h0 T
    有道理。
    $ K8 G9 C8 j9 f- Q; \3 R" o( W
    不过现在看尼康和佳能的光刻机,总有感觉他们已经三心二意了。既然干不过阿斯麦,就用最小投资 ...

    ( s; m, ?7 p3 K3 U$ @5 a可能是真没钱投资了。这些钱政府应该赞助的,可是政府也难呐,到处都是嗷嗷待哺的嘴,捉了个虫也不知道塞哪张嘴里。
    ) \) Y; K7 O4 Z很多年前日本媒体评价日本财政用了很形象的词,叫硬直化。所有的钱都有定好的用处,几乎没有活动钱。需要财政支持的时候十分狼狈。该做的事情做不了,钱全都拿去维持日常运转了。

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      发表于 2024-9-17 15:32

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    31#
     楼主| 发表于 2024-9-17 11:28:54 | 只看该作者
    本帖最后由 moletronic 于 2024-9-16 19:33 编辑
    % o, j4 e( X9 c: z& h
    雷声 发表于 2024-9-16 19:19* Y- \2 f/ n) U( y" j- a. P
    还没搞定?
    $ V+ L# b% d! g# n' _; s: _我可能是09年去给Nikon做实验,他们想搞明白光刻机里面为什么会产生微气泡,想买个做实验的 ...

    ) f# z& b2 S0 }7 V1 W& j( D. f* b9 f0 k
    Nikon是稳定性不行,被牙膏退货后就没人再买。疫情前去开spie的会,Nikon还吹牛自己行了,但主流客户没人用。
    # @' n/ C2 K& p. p有网上谣言说华为买了些Nikon自己魔改做出了9100…俺比较怀疑真实性。
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    32#
     楼主| 发表于 2024-9-17 11:31:01 | 只看该作者
    晨枫 发表于 2024-9-16 19:21
    4 a  E; A  w, Q. K( o5 r突然想起来:现在就聚焦于逻辑芯片,存储芯片用的芯片技术一样吗?前一段听说长江还是谁的128还是256层NA ...

    + k2 A7 r* j7 h7 Y存储和逻辑的工艺重点不一样,节点体系也不同。存储那边现在还没上EUV。
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    33#
    发表于 2024-9-17 11:34:00 | 只看该作者
    moletronic 发表于 2024-9-16 21:31
    & g+ o! i3 H+ c) Z( u存储和逻辑的工艺重点不一样,节点体系也不同。存储那边现在还没上EUV。 ...
    + ^/ M: a( e7 z6 C
    需要用到浸润DUV吗?% x" |' U( z8 E! \5 e! k! s$ N
    3 g  f: Z* Z: s5 k1 @% k+ Y
    我的问题其实是:65nm光刻机能解决国内NAND厂的设备禁运问题吗?
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    34#
     楼主| 发表于 2024-9-17 11:37:50 | 只看该作者
    晨枫 发表于 2024-9-16 19:34
    ; N' z  s4 q' w0 O. S) L需要用到浸润DUV吗?* M. w# Z. L& m% \" e) ]  c0 q
    ; k1 D" Z. l5 O4 C" I) @
    我的问题其实是:65nm光刻机能解决国内NAND厂的设备禁运问题吗? ...
    ! C9 C2 G- w0 X& `# S3 O
    浸水还是要的,这国产光刻机按公布的指标应该还是没法满足YMTC的全部要求。
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    35#
    发表于 2024-9-17 11:38:06 | 只看该作者
    雷声 发表于 2024-9-16 21:23
    % o: b- f1 y0 v, g& o  b7 m! E7 t. @可能是真没钱投资了。这些钱政府应该赞助的,可是政府也难呐,到处都是嗷嗷待哺的嘴,捉了个虫也不知道塞 ...

    2 N% D# }" u( y! Y9 q  C是的,需要钱的地方太多,但光刻机和芯片可能是不计代价砸钱的方向,优先级比谁都高。这个瓶颈突破后,不只是军事、科技上的阳关道,经济上也是大片的处女地啊。( d5 K- S& y% O* f" q

    ' _; m. V! |  [- T7 W. t3 e$ B* F* e- x硬直化很形象。确实,西方家大业大,花钱手笔也大,但每一笔钱都预定了用处,活动余地真心很小。你看看美国在预算削减时那个鸡飞狗跳,就知道真是谁都动不得。“平均剃头”是公认的最坏选择,但是唯一大家可接受的选择。
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    36#
    发表于 2024-9-17 11:40:47 | 只看该作者
    moletronic 发表于 2024-9-16 21:37/ h- U1 u2 ~0 m7 ^7 S( Y
    浸水还是要的,这国产光刻机按公布的指标应该还是没法满足YMTC的全部要求。 ...

    + k7 r+ R( k0 ?; d都说工信部这光刻机不是浸润式,但193nm光源,65nm分辨率,正好是2*1.44倍,是不是太巧了?
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    37#
    发表于 2024-9-17 11:43:29 | 只看该作者
    moletronic 发表于 2024-9-17 10:54% e3 G% h& y4 c9 b, J3 x
    按说这个跨越不算大,但Nikon就是浸水没搞定- K, f: Q0 V: n: Z3 b( R8 p
    所以俺不敢做预测,只敢对已知的做评述 ...
    4 V& P6 Y0 \3 ^! Z; D
    具体工作中还是有很多细节要克服。例如曝光时照到光的水会比遮蔽区的水热一点,这个温差会让水的密度不均匀,从而折射率不均匀,影响成像。为了避免温差,必须让水快速流动混合,但又要避免产生漩涡或者析出气泡。水可以把所接触物品上的杂质洗下来,带到晶圆上,形成缺陷。当初ASML搞浸润式光刻机时,在浸液系统上与林本坚团队合作,方案修改了7-8回,耗时两年多才取得满意的结果。

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  • TA的每日心情
    开心
    2023-2-8 04:51
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    38#
     楼主| 发表于 2024-9-17 11:59:49 | 只看该作者
    本帖最后由 moletronic 于 2024-9-16 20:02 编辑 ) }  m2 S, D; v& G6 K  R
    沉宝 发表于 2024-9-16 19:43% J& k, B3 {' S/ Z  g9 I
    具体工作中还是有很多细节要克服。例如曝光时照到光的水会比遮蔽区的水热一点,这个温差会让水的密度不均 ...

    . v4 z8 L' U) |# Q( a2 _# j9 s" e' k% g3 i* S& D" ?/ C6 K3 ]/ f
    这当然不容易,不过两年挺快啦,看看牙膏的10nm……
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  • TA的每日心情
    开心
    2023-2-8 04:51
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    39#
     楼主| 发表于 2024-9-17 12:01:58 | 只看该作者
    晨枫 发表于 2024-9-16 19:40
    3 S7 G7 B4 n4 d) @- ?都说工信部这光刻机不是浸润式,但193nm光源,65nm分辨率,正好是2*1.44倍,是不是太巧了? ...
    & o: W5 Y  t) Y
    不知道啦,也许是隐晦放风的说法。
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    40#
    发表于 2024-9-17 17:38:39 | 只看该作者
    晨枫 发表于 2024-9-17 11:13
    5 T; q2 a9 f, o% Q/ k这倒是个问题。都说韩国人拼,看来还是拼不过中国人。台湾人也是中国人嘛。 ...
    : z, P" J" i5 D$ S0 A1 S! \
    中国大,各地方人气质不一,各擅胜场。精细活儿江南地方超过东北山东。如此说来,韩国近东北山东,台湾精英是江浙后代。
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