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[科普知识] 国产光刻机猜测

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  • TA的每日心情
    慵懒
    2022-8-27 22:14
  • 签到天数: 351 天

    [LV.8]合体

    21#
    发表于 2024-9-17 08:06:46 | 只看该作者
    晨枫 发表于 2024-9-16 14:00  C8 Y. z) N% W: j  u* b
    也就是说,即使28nm现在还有光刻机瓶颈,其他也都就绪、只欠东风了。这是好事!
    * v5 J1 B1 ~* r9 u3 T0 A& H" c6 h
    + w5 D1 B: ?, C0 |0 f个人感觉:相比于前一阵 ...

    5 l- O5 g& k& y8 P) u: I) m; R+ O! Q0 k7 Q' Q# l2 q
    这就要西方好好领教什么叫产能过剩了。

    2 {, Q3 L5 h4 T应该会在5年内实现吧。
    " ~; k& X" B5 }- X3 z/ b4 n! O
    0 J1 w; H' u  e+ _0 ^微博上有位“沉睡之书11”说的。(不一定准确,可以看看)
    2 Z# e" k. Y. @: U; k2 j* g/ `& j" [+ ]24-9-16 23:557 }( _0 u0 j3 ^
    发布于 湖南
    . b5 @6 Q( t, W来自 微博网页版, d' g1 p  `. N
    啊,说过很多次了,#光刻机# 不是挖机1 L% V$ @! ~' \
    不是运过来就能直接开工的。# r! c- [$ H6 \; j8 }1 T+ w; e0 n
    他需要调试,需要不断的用,一边用一边调整,等光学畸变稳定——你可以理解为拷机或者汽车发动热机暖机。
    ! G" {4 W  _* M. n- n
    ' X; F7 P' s4 T* t3 `5 a. S这个时间很长,也是我常年说:2 B, t5 F. M) h: H: p
    就算今天ASML传送一台EUV给咱,我们拿到第一批量产的芯片流片完(无论7nm,5nm还是多少)起码2年后——这最乐观的2年时间,还得是对EUV非常有经验的顶级工程师来操作优化。
    4 N' a- L9 ]: Z" R
    4 X' B1 Y) A+ G6 W: j6 @现在发布的这台机器是起码3年前就验收了(科工),现在工信部验收推广(产业链),成熟得不行了才拿出来的。你需要,给钱就有,不限量。
    : r- F# {& s" g. P4 m
    0 ?/ a7 J0 `  v* y8 k% L1 u1 Z& p简单理解就是——这机子是干式光刻机,做的是65-55nm的芯片,一次曝光。" ?8 g7 y9 R  i+ R
    干式光刻机没啥意义,为什么呢?因为改进之后的也可以出产低制程的,向下兼容并且良率更高(成本低方案成熟)
    ( s- H( I. ]/ P8 y% Z多重曝光也不是这哥们来做……(我是不清楚干式光刻机有没人搞这个)
    2 E; M7 X: Q. B$ P8 b但这玩意的光路设计啥的,是成型了的。有了它,就加浸没式透镜,修改物镜,最终成品是目前没有验收但肯定存在某个地方的浸没式光刻机,但起码上线了2年了
    8 p3 Z& i: t  z$ T4 T! }* g6 }: ?/ O8 `) }& ^% `6 m/ x4 q
    没公布的那个肯定还在不断的调试,修改,更换国产配件。
    2 P3 k. o7 X  G' ]+ W! n! X* m普通人不用管光刻机啥情况——你就看最终产品就是。
    , g  Q. J& H2 l8 j: a+ g, _9 \#华为mate70# 也没多久了。9 K6 @' P: p( \/ f, b# O7 B/ X7 K8 b

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    这真是极好的: 5.0
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      发表于 2024-9-18 15:38
    给力: 5 涨姿势: 5 这真是极好的: 5
      发表于 2024-9-17 08:38
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  • TA的每日心情
    开心
    2023-2-8 04:51
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    [LV.Master]无

    22#
     楼主| 发表于 2024-9-17 08:15:36 | 只看该作者
    老财迷 发表于 2024-9-16 16:06
    & e" {0 z- h% o& w: ?, ^/ [应该会在5年内实现吧。/ X# `5 R. O- t

    4 T0 Q! [) ^+ J# G! Q微博上有位“沉睡之书11”说的。(不一定准确,可以看看)
    & x7 u4 X% g; z4 p

    0 D  J# _- H& d: _2 ~+ f7 x. l& I这个有点扯,新机到货后肯定要调试的,但绝对用不了两年的时间。

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    以你说的为准 :)  发表于 2024-9-17 15:27

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    23#
    发表于 2024-9-17 08:39:20 | 只看该作者
    moletronic 发表于 2024-9-16 18:153 q5 V; z7 {6 p+ q  X+ Z; Z
    这个有点扯,新机到货后肯定要调试的,但绝对用不了两年的时间。

    7 j. J4 T1 L+ c2 D; Z. W* |$ K但干式到浸润的步子没那么大,这说对了吗?
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  • TA的每日心情
    开心
    2023-2-8 04:51
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    [LV.Master]无

    24#
     楼主| 发表于 2024-9-17 10:54:17 | 只看该作者
    本帖最后由 moletronic 于 2024-9-16 18:56 编辑 * k* o! c# O: C; N' _6 Q* p, h
    晨枫 发表于 2024-9-16 16:39
    % {9 G' L% g- G+ f3 s但干式到浸润的步子没那么大,这说对了吗?
    % M% E# L% @' y7 u

    " K. `1 T. Z9 {& T0 a9 [# M按说这个跨越不算大,但Nikon就是浸水没搞定
    + ?# g( G4 G6 Z  d所以俺不敢做预测,只敢对已知的做评述

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    25#
    发表于 2024-9-17 11:08:25 | 只看该作者
    晨枫 发表于 2024-9-17 03:34
    6 _0 d6 [. e( l- Q) Z不过EUV制作7nm可以轻易一次曝光,产率和良率应该提高很多?
    5 I& p3 R8 s+ J2 z
    理论上是这样。但制造芯片是个复杂的过程,需要各方面不断打磨,才能接近理想的结果。现实中的例子,台积电用193nm光刻机率先量产7nm,三星则以更先进的EUV光刻机应战,由于对新型光刻机的熟悉不足,结果良率低下,很多人抛弃三星。最后三星赔本赚吆喝,开出比台积电低30%的代工费用,才勉强留下大客户。

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      发表于 2024-9-17 15:28

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    26#
    发表于 2024-9-17 11:13:01 | 只看该作者
    moletronic 发表于 2024-9-16 20:54
    2 C4 i# o4 q: q1 F# O1 w3 F0 j按说这个跨越不算大,但Nikon就是浸水没搞定
    + k/ s" v& {3 B7 L# K- v所以俺不敢做预测,只敢对已知的做评述 ...

    : ^/ W2 k# {* }: S有道理。
    & h0 |8 t+ j$ ^0 J, G& j' Q) l, s
    % r- l& l4 {' T3 @( I不过现在看尼康和佳能的光刻机,总有感觉他们已经三心二意了。既然干不过阿斯麦,就用最小投资吊着。不退场,但也不全力以赴。, @6 S6 Y4 n: Y0 }8 a

    5 q8 O4 T9 W- f# o( ?中国肯定是全力以赴的。而且倾国之力肯定大于尼康、佳能。
    5 ^- o% }+ W% f, K$ b0 m2 q( [: }4 |$ U  J3 ]" ~( ~
    这会有差别吗?
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    27#
    发表于 2024-9-17 11:13:37 | 只看该作者
    沉宝 发表于 2024-9-16 21:08
    % [/ a+ q" Z- e理论上是这样。但制造芯片是个复杂的过程,需要各方面不断打磨,才能接近理想的结果。现实中的例子,台积 ...
    " s+ E1 B. g1 n6 m. U& j
    这倒是个问题。都说韩国人拼,看来还是拼不过中国人。台湾人也是中国人嘛。
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    28#
    发表于 2024-9-17 11:19:08 | 只看该作者
    moletronic 发表于 2024-9-17 10:54
    - _/ ^/ _/ f1 n4 k按说这个跨越不算大,但Nikon就是浸水没搞定5 I: _, S9 C7 O3 N/ b) f0 X2 ^
    所以俺不敢做预测,只敢对已知的做评述 ...
    $ X" U$ K/ u& V- Y
    还没搞定?
    ; R  i7 j( F" Q0 b- I我可能是09年去给Nikon做实验,他们想搞明白光刻机里面为什么会产生微气泡,想买个做实验的系统。我在的小破公司搭了一个,然后过去一起做,看能不能用。那个时候估计还是早期,这些基础的问题都没个数。做了几个实验,证明可以捕捉到微气泡发生,成长和运动的轨迹,我就撤了。这都十五年过去了。  I$ w1 Q, w& |$ o4 F' m
    尼康那时候已经有点不灵的迹象,食堂里面睡满了安装队的人。正常的话那些人都是满世界跑给别人装机器的。
    $ h/ o, M! D6 v" ~9 f

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    坛里藏龙卧虎啊  发表于 2024-9-17 15:31

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    29#
    发表于 2024-9-17 11:21:47 | 只看该作者
    moletronic 发表于 2024-9-16 20:54
    1 c; [, q+ N( G( x按说这个跨越不算大,但Nikon就是浸水没搞定8 d- T0 k" ]3 Y/ \6 N. o. q2 ]
    所以俺不敢做预测,只敢对已知的做评述 ...
    : x0 ^0 q( o3 _# H. [% {4 v
    突然想起来:现在就聚焦于逻辑芯片,存储芯片用的芯片技术一样吗?前一段听说长江还是谁的128还是256层NAND也被卡了,因为光刻机的事,这说法准确吗?高端NAND需要多少nm节点的光刻机?
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    30#
    发表于 2024-9-17 11:23:33 | 只看该作者
    晨枫 发表于 2024-9-17 11:13) o* T" [$ c0 X* w) q# O
    有道理。& ~, C" W9 z6 k0 x" N6 F! e

    ( r5 j; L5 @3 d" h- v7 e不过现在看尼康和佳能的光刻机,总有感觉他们已经三心二意了。既然干不过阿斯麦,就用最小投资 ...

    : h: i& X; i* h3 \, x) A% b# X6 P可能是真没钱投资了。这些钱政府应该赞助的,可是政府也难呐,到处都是嗷嗷待哺的嘴,捉了个虫也不知道塞哪张嘴里。
    + O1 p+ V0 P4 f很多年前日本媒体评价日本财政用了很形象的词,叫硬直化。所有的钱都有定好的用处,几乎没有活动钱。需要财政支持的时候十分狼狈。该做的事情做不了,钱全都拿去维持日常运转了。

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      发表于 2024-9-17 15:32

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    31#
     楼主| 发表于 2024-9-17 11:28:54 | 只看该作者
    本帖最后由 moletronic 于 2024-9-16 19:33 编辑 3 c6 k% j7 c) o! F
    雷声 发表于 2024-9-16 19:198 j7 R0 M# D/ M8 T
    还没搞定? 3 d/ x; C/ B8 [$ f
    我可能是09年去给Nikon做实验,他们想搞明白光刻机里面为什么会产生微气泡,想买个做实验的 ...

    8 J4 b- F, h6 ]; s4 f8 E4 {; E% F9 ?; v# A/ h+ A
    Nikon是稳定性不行,被牙膏退货后就没人再买。疫情前去开spie的会,Nikon还吹牛自己行了,但主流客户没人用。7 [8 k/ e5 r8 x
    有网上谣言说华为买了些Nikon自己魔改做出了9100…俺比较怀疑真实性。
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    开心
    2023-2-8 04:51
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    32#
     楼主| 发表于 2024-9-17 11:31:01 | 只看该作者
    晨枫 发表于 2024-9-16 19:21
    0 ]1 _, |/ W, x4 o突然想起来:现在就聚焦于逻辑芯片,存储芯片用的芯片技术一样吗?前一段听说长江还是谁的128还是256层NA ...
    1 D, E& `. [1 W" a+ z! \6 a
    存储和逻辑的工艺重点不一样,节点体系也不同。存储那边现在还没上EUV。
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    33#
    发表于 2024-9-17 11:34:00 | 只看该作者
    moletronic 发表于 2024-9-16 21:31
    ) H% I7 q5 D, N, T$ F存储和逻辑的工艺重点不一样,节点体系也不同。存储那边现在还没上EUV。 ...

    9 P* X0 C. R# Z- X! U- {# C$ K需要用到浸润DUV吗?
    , g3 u7 ?1 x- N) g1 B; s% T
    : z2 a! s8 P& f0 O我的问题其实是:65nm光刻机能解决国内NAND厂的设备禁运问题吗?
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    开心
    2023-2-8 04:51
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    [LV.Master]无

    34#
     楼主| 发表于 2024-9-17 11:37:50 | 只看该作者
    晨枫 发表于 2024-9-16 19:34
    + F4 O; G/ G& H需要用到浸润DUV吗?4 d1 v5 u$ m' g

    % h5 `: G1 |8 ?2 v! y& i+ R* H我的问题其实是:65nm光刻机能解决国内NAND厂的设备禁运问题吗? ...

      c6 p1 `* Z! E; c% z6 K浸水还是要的,这国产光刻机按公布的指标应该还是没法满足YMTC的全部要求。
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    35#
    发表于 2024-9-17 11:38:06 | 只看该作者
    雷声 发表于 2024-9-16 21:23
    5 K- ^4 J/ \+ }- u9 d* E可能是真没钱投资了。这些钱政府应该赞助的,可是政府也难呐,到处都是嗷嗷待哺的嘴,捉了个虫也不知道塞 ...
    # x' f* E. p6 {. R% d) ^$ N
    是的,需要钱的地方太多,但光刻机和芯片可能是不计代价砸钱的方向,优先级比谁都高。这个瓶颈突破后,不只是军事、科技上的阳关道,经济上也是大片的处女地啊。
    6 [5 ~; A# N+ N" E3 z. }1 ~- l
    2 M$ d$ Q* B6 R/ T% `% F7 t硬直化很形象。确实,西方家大业大,花钱手笔也大,但每一笔钱都预定了用处,活动余地真心很小。你看看美国在预算削减时那个鸡飞狗跳,就知道真是谁都动不得。“平均剃头”是公认的最坏选择,但是唯一大家可接受的选择。
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    36#
    发表于 2024-9-17 11:40:47 | 只看该作者
    moletronic 发表于 2024-9-16 21:37
    $ ^; |% U( g* j: ^% f; L" L& h浸水还是要的,这国产光刻机按公布的指标应该还是没法满足YMTC的全部要求。 ...

    0 e  _7 m* r  C0 T都说工信部这光刻机不是浸润式,但193nm光源,65nm分辨率,正好是2*1.44倍,是不是太巧了?
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    37#
    发表于 2024-9-17 11:43:29 | 只看该作者
    moletronic 发表于 2024-9-17 10:54
    - _% w' @1 L' N8 S按说这个跨越不算大,但Nikon就是浸水没搞定+ q% _0 ]8 M8 b* l6 u0 l5 T
    所以俺不敢做预测,只敢对已知的做评述 ...

    * {* N  ]% `1 L0 H2 S! M具体工作中还是有很多细节要克服。例如曝光时照到光的水会比遮蔽区的水热一点,这个温差会让水的密度不均匀,从而折射率不均匀,影响成像。为了避免温差,必须让水快速流动混合,但又要避免产生漩涡或者析出气泡。水可以把所接触物品上的杂质洗下来,带到晶圆上,形成缺陷。当初ASML搞浸润式光刻机时,在浸液系统上与林本坚团队合作,方案修改了7-8回,耗时两年多才取得满意的结果。

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  • TA的每日心情
    开心
    2023-2-8 04:51
  • 签到天数: 1811 天

    [LV.Master]无

    38#
     楼主| 发表于 2024-9-17 11:59:49 | 只看该作者
    本帖最后由 moletronic 于 2024-9-16 20:02 编辑 3 l8 i6 U$ ?  O/ h
    沉宝 发表于 2024-9-16 19:43
    0 S+ d$ s: Y' u9 U6 u4 P0 [+ z/ L具体工作中还是有很多细节要克服。例如曝光时照到光的水会比遮蔽区的水热一点,这个温差会让水的密度不均 ...
    2 |" k- J6 K5 `1 S" {9 h; L& [

    1 r& r0 ^; Q  A+ K0 ~  c这当然不容易,不过两年挺快啦,看看牙膏的10nm……
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  • TA的每日心情
    开心
    2023-2-8 04:51
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    [LV.Master]无

    39#
     楼主| 发表于 2024-9-17 12:01:58 | 只看该作者
    晨枫 发表于 2024-9-16 19:40. k5 }! `& L8 S) o
    都说工信部这光刻机不是浸润式,但193nm光源,65nm分辨率,正好是2*1.44倍,是不是太巧了? ...

    + }' G' Z2 B& A: c3 t不知道啦,也许是隐晦放风的说法。
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    40#
    发表于 2024-9-17 17:38:39 | 只看该作者
    晨枫 发表于 2024-9-17 11:13
    3 [) L6 I8 U. u1 L$ T. o4 ?9 T这倒是个问题。都说韩国人拼,看来还是拼不过中国人。台湾人也是中国人嘛。 ...

    ) {9 v3 \4 H* S2 E中国大,各地方人气质不一,各擅胜场。精细活儿江南地方超过东北山东。如此说来,韩国近东北山东,台湾精英是江浙后代。
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