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楼主: moletronic
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[科普知识] 国产光刻机猜测

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  • TA的每日心情
    慵懒
    2022-8-27 22:14
  • 签到天数: 351 天

    [LV.8]合体

    21#
    发表于 2024-9-17 08:06:46 | 只看该作者
    晨枫 发表于 2024-9-16 14:00
    " z& e' S( A, P5 k5 R# L也就是说,即使28nm现在还有光刻机瓶颈,其他也都就绪、只欠东风了。这是好事!
    ' _' u1 c- }  H) A2 u* U, s- H
    * r  ]5 P+ F3 H4 Y8 ?个人感觉:相比于前一阵 ...
    ) G9 F8 P# g! ]) |6 f
    ' g3 l: X. [) F- `( T+ R
    这就要西方好好领教什么叫产能过剩了。
    ; U- ?' ~2 J, f2 w4 Q- _6 ^0 s6 d
    应该会在5年内实现吧。
    $ t6 P' C  l1 n' D7 V1 _9 n
    " [) C# W- r% C微博上有位“沉睡之书11”说的。(不一定准确,可以看看)
    3 h" f( z9 m* Q24-9-16 23:55! T# I+ l; g( l% u
    发布于 湖南
    & p/ b8 o0 U$ @来自 微博网页版
    $ s+ R5 e( U9 V2 h7 J啊,说过很多次了,#光刻机# 不是挖机
    4 [) C6 B6 C! X$ ~: M; ^( w不是运过来就能直接开工的。
    & C2 ]) W: p3 h5 W他需要调试,需要不断的用,一边用一边调整,等光学畸变稳定——你可以理解为拷机或者汽车发动热机暖机。
    5 y! R/ t* F( G. ?; A" d5 t% w; l; P( b( E. w5 |  j9 A
    这个时间很长,也是我常年说:
    5 v" {: |4 ~3 V# E0 m& o5 d就算今天ASML传送一台EUV给咱,我们拿到第一批量产的芯片流片完(无论7nm,5nm还是多少)起码2年后——这最乐观的2年时间,还得是对EUV非常有经验的顶级工程师来操作优化。
    6 i6 ^. V; m2 A. d( S$ e2 y, U! X9 Q: q8 O+ d
    现在发布的这台机器是起码3年前就验收了(科工),现在工信部验收推广(产业链),成熟得不行了才拿出来的。你需要,给钱就有,不限量。
    0 B$ ^5 N- Z( }
    0 p9 h4 S% k* V. A0 U! ?2 q8 S简单理解就是——这机子是干式光刻机,做的是65-55nm的芯片,一次曝光。
    / z4 \5 s7 r1 o5 Q1 _$ \干式光刻机没啥意义,为什么呢?因为改进之后的也可以出产低制程的,向下兼容并且良率更高(成本低方案成熟)
    ' O9 I- {2 x0 _$ v多重曝光也不是这哥们来做……(我是不清楚干式光刻机有没人搞这个)
    : [: m3 j0 ]$ w但这玩意的光路设计啥的,是成型了的。有了它,就加浸没式透镜,修改物镜,最终成品是目前没有验收但肯定存在某个地方的浸没式光刻机,但起码上线了2年了% M2 F8 R5 c3 g

    . o! I. W2 O0 H. D没公布的那个肯定还在不断的调试,修改,更换国产配件。4 E$ Y7 F5 t, Y# ^! G+ b
    普通人不用管光刻机啥情况——你就看最终产品就是。
    % K$ f0 M4 B- `7 L* z0 k9 `0 Z#华为mate70# 也没多久了。
    2 n, @; e4 i2 n1 D( @3 y

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    这真是极好的: 5.0
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      发表于 2024-9-18 15:38
    给力: 5 涨姿势: 5 这真是极好的: 5
      发表于 2024-9-17 08:38
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  • TA的每日心情
    开心
    2023-2-8 04:51
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    [LV.Master]无

    22#
     楼主| 发表于 2024-9-17 08:15:36 | 只看该作者
    老财迷 发表于 2024-9-16 16:06
    " G) x$ [4 x- _7 t8 w1 J! _应该会在5年内实现吧。
    " w5 j7 \% z3 I. U, Z
    ) d- I& U; |' q* D微博上有位“沉睡之书11”说的。(不一定准确,可以看看)
    7 r, H# X% S' q% V0 U) v( t

    ! c/ s# Q& }& Q/ L/ Y: V8 ~. {( z这个有点扯,新机到货后肯定要调试的,但绝对用不了两年的时间。

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    以你说的为准 :)  发表于 2024-9-17 15:27

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    23#
    发表于 2024-9-17 08:39:20 | 只看该作者
    moletronic 发表于 2024-9-16 18:15
    5 O0 R" k& k8 I: U  q3 m0 b这个有点扯,新机到货后肯定要调试的,但绝对用不了两年的时间。
      D. {/ d) N4 Y# @; X
    但干式到浸润的步子没那么大,这说对了吗?
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  • TA的每日心情
    开心
    2023-2-8 04:51
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    [LV.Master]无

    24#
     楼主| 发表于 2024-9-17 10:54:17 | 只看该作者
    本帖最后由 moletronic 于 2024-9-16 18:56 编辑
    + I4 T9 ?, i# p3 _& {8 B/ M7 K9 E! q
    晨枫 发表于 2024-9-16 16:39
    / ?, f8 _) ]9 v5 Z; a5 a, E: I# ]* y但干式到浸润的步子没那么大,这说对了吗?
    4 c& H( f6 X% d; u
      E7 p# [( \- @* F5 f5 X- `6 ]5 ~+ ~
    按说这个跨越不算大,但Nikon就是浸水没搞定% l* S8 L  a# `
    所以俺不敢做预测,只敢对已知的做评述

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    25#
    发表于 2024-9-17 11:08:25 | 只看该作者
    晨枫 发表于 2024-9-17 03:349 E4 h2 D/ Z4 w% G* y& r7 G; s
    不过EUV制作7nm可以轻易一次曝光,产率和良率应该提高很多?

    * B, j' ^# `6 D- r, u0 A理论上是这样。但制造芯片是个复杂的过程,需要各方面不断打磨,才能接近理想的结果。现实中的例子,台积电用193nm光刻机率先量产7nm,三星则以更先进的EUV光刻机应战,由于对新型光刻机的熟悉不足,结果良率低下,很多人抛弃三星。最后三星赔本赚吆喝,开出比台积电低30%的代工费用,才勉强留下大客户。

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      发表于 2024-9-17 15:28

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    26#
    发表于 2024-9-17 11:13:01 | 只看该作者
    moletronic 发表于 2024-9-16 20:54& d1 i" @% s2 X* b
    按说这个跨越不算大,但Nikon就是浸水没搞定, `* t! p" @" j; s+ i4 E; M' v- ~
    所以俺不敢做预测,只敢对已知的做评述 ...

    ! [- s" P& _# f; c; o* C& _有道理。
    1 [  ]2 e2 B, d8 u3 ~: D( z$ q0 u( z" e! w
    不过现在看尼康和佳能的光刻机,总有感觉他们已经三心二意了。既然干不过阿斯麦,就用最小投资吊着。不退场,但也不全力以赴。
    . A) T8 l9 @- A7 H  p
    . c, b% @8 F5 q中国肯定是全力以赴的。而且倾国之力肯定大于尼康、佳能。
    / W7 I3 b! `# G) G% c9 |' A; M& [  B2 K
    这会有差别吗?
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    27#
    发表于 2024-9-17 11:13:37 | 只看该作者
    沉宝 发表于 2024-9-16 21:08. D8 \4 B# g- M1 R! w3 y; L- B
    理论上是这样。但制造芯片是个复杂的过程,需要各方面不断打磨,才能接近理想的结果。现实中的例子,台积 ...

    3 H# u# j1 |& N* E这倒是个问题。都说韩国人拼,看来还是拼不过中国人。台湾人也是中国人嘛。
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    28#
    发表于 2024-9-17 11:19:08 | 只看该作者
    moletronic 发表于 2024-9-17 10:546 ?: ^2 n5 m- \9 }( d. x* Z
    按说这个跨越不算大,但Nikon就是浸水没搞定! r* Y) h; V( K: O0 P5 F! T6 a; O8 X. p
    所以俺不敢做预测,只敢对已知的做评述 ...

    # o, R3 Y' j1 f$ c1 D还没搞定? 1 y# G7 c# D& x7 u2 y6 C
    我可能是09年去给Nikon做实验,他们想搞明白光刻机里面为什么会产生微气泡,想买个做实验的系统。我在的小破公司搭了一个,然后过去一起做,看能不能用。那个时候估计还是早期,这些基础的问题都没个数。做了几个实验,证明可以捕捉到微气泡发生,成长和运动的轨迹,我就撤了。这都十五年过去了。4 \8 I$ u* Y3 f0 W& G
    尼康那时候已经有点不灵的迹象,食堂里面睡满了安装队的人。正常的话那些人都是满世界跑给别人装机器的。
    1 o0 A0 ?) u  K. ~/ r% k1 [( y

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    坛里藏龙卧虎啊  发表于 2024-9-17 15:31

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    29#
    发表于 2024-9-17 11:21:47 | 只看该作者
    moletronic 发表于 2024-9-16 20:547 p4 r3 v6 q- E
    按说这个跨越不算大,但Nikon就是浸水没搞定0 L: Q( S  D, b0 Q. r3 }, ~0 Q: q
    所以俺不敢做预测,只敢对已知的做评述 ...

    4 _+ i& s  y8 {& L, m  {- D突然想起来:现在就聚焦于逻辑芯片,存储芯片用的芯片技术一样吗?前一段听说长江还是谁的128还是256层NAND也被卡了,因为光刻机的事,这说法准确吗?高端NAND需要多少nm节点的光刻机?
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    30#
    发表于 2024-9-17 11:23:33 | 只看该作者
    晨枫 发表于 2024-9-17 11:13
    5 n4 c# O7 V6 q' z) F6 p/ H2 z- a有道理。
    ' [3 ?8 ~2 o  h$ u! Y2 @/ S7 j! m. d! V8 Q, d# g: y
    不过现在看尼康和佳能的光刻机,总有感觉他们已经三心二意了。既然干不过阿斯麦,就用最小投资 ...

    ! Y6 |9 `# v1 U+ z6 N) M9 u可能是真没钱投资了。这些钱政府应该赞助的,可是政府也难呐,到处都是嗷嗷待哺的嘴,捉了个虫也不知道塞哪张嘴里。
    6 y* H% ?' f8 a3 F( j( {很多年前日本媒体评价日本财政用了很形象的词,叫硬直化。所有的钱都有定好的用处,几乎没有活动钱。需要财政支持的时候十分狼狈。该做的事情做不了,钱全都拿去维持日常运转了。

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      发表于 2024-9-17 15:32

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    31#
     楼主| 发表于 2024-9-17 11:28:54 | 只看该作者
    本帖最后由 moletronic 于 2024-9-16 19:33 编辑
    6 Y7 r) w8 g; h
    雷声 发表于 2024-9-16 19:19# u: {5 t2 l+ u& B( T! c
    还没搞定?
      s1 L0 d: C3 Z$ F$ A, {4 b我可能是09年去给Nikon做实验,他们想搞明白光刻机里面为什么会产生微气泡,想买个做实验的 ...

    / X* }! ?: g0 y
    9 M1 W7 i5 X5 _& a1 Q) ZNikon是稳定性不行,被牙膏退货后就没人再买。疫情前去开spie的会,Nikon还吹牛自己行了,但主流客户没人用。  n7 E6 J$ @4 }/ z9 Q2 i
    有网上谣言说华为买了些Nikon自己魔改做出了9100…俺比较怀疑真实性。
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    32#
     楼主| 发表于 2024-9-17 11:31:01 | 只看该作者
    晨枫 发表于 2024-9-16 19:21
    " O4 c2 ]# R( N突然想起来:现在就聚焦于逻辑芯片,存储芯片用的芯片技术一样吗?前一段听说长江还是谁的128还是256层NA ...

    ; b% g0 H  a# j+ b1 T+ g存储和逻辑的工艺重点不一样,节点体系也不同。存储那边现在还没上EUV。
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    33#
    发表于 2024-9-17 11:34:00 | 只看该作者
    moletronic 发表于 2024-9-16 21:31
    0 F$ a1 a, o% x9 R& v* f存储和逻辑的工艺重点不一样,节点体系也不同。存储那边现在还没上EUV。 ...

    : T2 h+ G- S! Z& p) ~) [( ~需要用到浸润DUV吗?% D8 b7 O5 G6 l2 B- g# A

    ' l) w# m7 d+ g8 m1 R7 V! U我的问题其实是:65nm光刻机能解决国内NAND厂的设备禁运问题吗?
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    开心
    2023-2-8 04:51
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    [LV.Master]无

    34#
     楼主| 发表于 2024-9-17 11:37:50 | 只看该作者
    晨枫 发表于 2024-9-16 19:34
    7 C  f7 d. w; H/ k0 H. J需要用到浸润DUV吗?
    " ?5 t# p$ @" ^$ S
    & `. T! X. `1 A& h  l: e% W, v我的问题其实是:65nm光刻机能解决国内NAND厂的设备禁运问题吗? ...
    ) {; Z7 f% z* H4 L1 l  p. c1 p1 B
    浸水还是要的,这国产光刻机按公布的指标应该还是没法满足YMTC的全部要求。
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    35#
    发表于 2024-9-17 11:38:06 | 只看该作者
    雷声 发表于 2024-9-16 21:23# t! e3 t, k% h: @) o  M# H
    可能是真没钱投资了。这些钱政府应该赞助的,可是政府也难呐,到处都是嗷嗷待哺的嘴,捉了个虫也不知道塞 ...

    3 ?' F" U- w$ u: A- L4 B) V是的,需要钱的地方太多,但光刻机和芯片可能是不计代价砸钱的方向,优先级比谁都高。这个瓶颈突破后,不只是军事、科技上的阳关道,经济上也是大片的处女地啊。# ~1 A: o: J9 d6 k. G' z
    - |0 E8 v+ F, {$ W6 x
    硬直化很形象。确实,西方家大业大,花钱手笔也大,但每一笔钱都预定了用处,活动余地真心很小。你看看美国在预算削减时那个鸡飞狗跳,就知道真是谁都动不得。“平均剃头”是公认的最坏选择,但是唯一大家可接受的选择。
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    36#
    发表于 2024-9-17 11:40:47 | 只看该作者
    moletronic 发表于 2024-9-16 21:37
    ( @4 E8 L+ e, K+ [% o9 x浸水还是要的,这国产光刻机按公布的指标应该还是没法满足YMTC的全部要求。 ...
    ; h0 W2 j2 h$ g  I! X; _
    都说工信部这光刻机不是浸润式,但193nm光源,65nm分辨率,正好是2*1.44倍,是不是太巧了?
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    37#
    发表于 2024-9-17 11:43:29 | 只看该作者
    moletronic 发表于 2024-9-17 10:544 j* R# F/ y7 ~+ g5 U  _
    按说这个跨越不算大,但Nikon就是浸水没搞定
    - B) l) _+ j6 p4 c所以俺不敢做预测,只敢对已知的做评述 ...

    ; E' X0 j6 Q) v* ?  [( ^具体工作中还是有很多细节要克服。例如曝光时照到光的水会比遮蔽区的水热一点,这个温差会让水的密度不均匀,从而折射率不均匀,影响成像。为了避免温差,必须让水快速流动混合,但又要避免产生漩涡或者析出气泡。水可以把所接触物品上的杂质洗下来,带到晶圆上,形成缺陷。当初ASML搞浸润式光刻机时,在浸液系统上与林本坚团队合作,方案修改了7-8回,耗时两年多才取得满意的结果。

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  • TA的每日心情
    开心
    2023-2-8 04:51
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    38#
     楼主| 发表于 2024-9-17 11:59:49 | 只看该作者
    本帖最后由 moletronic 于 2024-9-16 20:02 编辑
    ) f4 i( T0 w. T8 H# I% M
    沉宝 发表于 2024-9-16 19:43$ w. m1 @9 o3 b1 v& C* l6 n
    具体工作中还是有很多细节要克服。例如曝光时照到光的水会比遮蔽区的水热一点,这个温差会让水的密度不均 ...
    5 A2 ?5 ~, {& w$ U+ k6 G" F  T

    . Q8 \4 W$ w4 l; N. d; f这当然不容易,不过两年挺快啦,看看牙膏的10nm……
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    开心
    2023-2-8 04:51
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    39#
     楼主| 发表于 2024-9-17 12:01:58 | 只看该作者
    晨枫 发表于 2024-9-16 19:406 E- B  E& n. E: X; [: N+ r
    都说工信部这光刻机不是浸润式,但193nm光源,65nm分辨率,正好是2*1.44倍,是不是太巧了? ...
    3 S( p0 ~" p! ^
    不知道啦,也许是隐晦放风的说法。
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    40#
    发表于 2024-9-17 17:38:39 | 只看该作者
    晨枫 发表于 2024-9-17 11:13
      L2 q5 Q1 q5 A' |2 j这倒是个问题。都说韩国人拼,看来还是拼不过中国人。台湾人也是中国人嘛。 ...
    3 S$ m; N5 R4 x
    中国大,各地方人气质不一,各擅胜场。精细活儿江南地方超过东北山东。如此说来,韩国近东北山东,台湾精英是江浙后代。
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