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楼主: moletronic
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[科普知识] 国产光刻机猜测

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  • TA的每日心情
    慵懒
    2022-8-27 22:14
  • 签到天数: 351 天

    [LV.8]合体

    21#
    发表于 2024-9-17 08:06:46 | 只看该作者
    晨枫 发表于 2024-9-16 14:00/ ^  c' \" Y9 U
    也就是说,即使28nm现在还有光刻机瓶颈,其他也都就绪、只欠东风了。这是好事!' P7 E! \; T% D+ x& G0 R6 z2 w

    " C) V6 F0 _- ]; m5 s个人感觉:相比于前一阵 ...

    7 T7 b& Z! A: t% @' K) K
    ! P9 w, ~9 c  z  Y3 y
    这就要西方好好领教什么叫产能过剩了。
    9 a0 a6 M1 w# ^, T9 H  d& x. b) u" t7 q
    应该会在5年内实现吧。. _7 z" j8 ], k6 b/ Q

    3 l+ I4 s- M) \微博上有位“沉睡之书11”说的。(不一定准确,可以看看). ]" s& j. G! ]8 b, Z
    24-9-16 23:550 R! L. G% [0 I) j& V( L$ f
    发布于 湖南
    / p! E6 n& w* p4 _来自 微博网页版
    1 a! y& ~3 U. I4 ?0 I; h% Y4 ?啊,说过很多次了,#光刻机# 不是挖机
    # b0 l. u& M& C) X不是运过来就能直接开工的。
    ! B- \5 L* D. z! T& K/ O$ k9 T, a他需要调试,需要不断的用,一边用一边调整,等光学畸变稳定——你可以理解为拷机或者汽车发动热机暖机。+ a! g# S1 B6 W
    . `4 [  F" V  V
    这个时间很长,也是我常年说:
    1 W) ^9 u' v$ K7 `' K1 f$ E5 R就算今天ASML传送一台EUV给咱,我们拿到第一批量产的芯片流片完(无论7nm,5nm还是多少)起码2年后——这最乐观的2年时间,还得是对EUV非常有经验的顶级工程师来操作优化。
    ; H( F  D/ J) x3 ~- f7 n+ R  c: `  ?0 O
    现在发布的这台机器是起码3年前就验收了(科工),现在工信部验收推广(产业链),成熟得不行了才拿出来的。你需要,给钱就有,不限量。
    ( q2 v' }/ K; o+ I$ H  N% _
    & t# B% _5 f- @( Z' H简单理解就是——这机子是干式光刻机,做的是65-55nm的芯片,一次曝光。4 D  V0 R$ z! A0 x. {
    干式光刻机没啥意义,为什么呢?因为改进之后的也可以出产低制程的,向下兼容并且良率更高(成本低方案成熟)
    7 X7 J6 q* r8 T2 e+ d0 v9 v多重曝光也不是这哥们来做……(我是不清楚干式光刻机有没人搞这个)7 W) @& S/ r" s6 F) N9 J" B& h
    但这玩意的光路设计啥的,是成型了的。有了它,就加浸没式透镜,修改物镜,最终成品是目前没有验收但肯定存在某个地方的浸没式光刻机,但起码上线了2年了
    ' S* Z: k" j$ O. G7 o" p% S% k5 U
      S$ y2 V; T4 b+ n没公布的那个肯定还在不断的调试,修改,更换国产配件。! P" L0 \  k/ G: c4 e1 ?% F  Z4 Z0 W
    普通人不用管光刻机啥情况——你就看最终产品就是。# k+ n/ o* _3 q% F' g
    #华为mate70# 也没多久了。3 y; s% |- P; t9 e  r4 B' U8 n

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    这真是极好的: 5.0
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      发表于 2024-9-18 15:38
    给力: 5 涨姿势: 5 这真是极好的: 5
      发表于 2024-9-17 08:38
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  • TA的每日心情
    开心
    2023-2-8 04:51
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    [LV.Master]无

    22#
     楼主| 发表于 2024-9-17 08:15:36 | 只看该作者
    老财迷 发表于 2024-9-16 16:06! P/ [8 m7 l; ~  d  K& t; d
    应该会在5年内实现吧。" a& R, f* _, \8 ?% a4 d/ r

    # x+ v) T- v  w, D微博上有位“沉睡之书11”说的。(不一定准确,可以看看)
    % J! g5 A0 n" M; J5 e, ^
    & x9 e, C  m! Q6 N
    这个有点扯,新机到货后肯定要调试的,但绝对用不了两年的时间。

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    23#
    发表于 2024-9-17 08:39:20 | 只看该作者
    moletronic 发表于 2024-9-16 18:15
    - C- B. t3 D+ E这个有点扯,新机到货后肯定要调试的,但绝对用不了两年的时间。

    & W7 B# ^. U& G# s8 ?* P* a3 D但干式到浸润的步子没那么大,这说对了吗?
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  • TA的每日心情
    开心
    2023-2-8 04:51
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    [LV.Master]无

    24#
     楼主| 发表于 2024-9-17 10:54:17 | 只看该作者
    本帖最后由 moletronic 于 2024-9-16 18:56 编辑 , f: b; Y5 u+ _4 o1 q
    晨枫 发表于 2024-9-16 16:39
    , d0 c/ h8 c* x% J" g3 x但干式到浸润的步子没那么大,这说对了吗?
    8 p% A0 k' h% ]3 N* T' g3 }
    7 ?* A$ }4 a) u# R/ G
    按说这个跨越不算大,但Nikon就是浸水没搞定
    ; c& ]* v5 g+ b* l$ p6 c9 J4 X$ s所以俺不敢做预测,只敢对已知的做评述

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    25#
    发表于 2024-9-17 11:08:25 | 只看该作者
    晨枫 发表于 2024-9-17 03:34
    4 b8 \) B# W# X$ S( v  x; r不过EUV制作7nm可以轻易一次曝光,产率和良率应该提高很多?

    / s! }! t( |4 m+ A理论上是这样。但制造芯片是个复杂的过程,需要各方面不断打磨,才能接近理想的结果。现实中的例子,台积电用193nm光刻机率先量产7nm,三星则以更先进的EUV光刻机应战,由于对新型光刻机的熟悉不足,结果良率低下,很多人抛弃三星。最后三星赔本赚吆喝,开出比台积电低30%的代工费用,才勉强留下大客户。

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    26#
    发表于 2024-9-17 11:13:01 | 只看该作者
    moletronic 发表于 2024-9-16 20:54) M0 f% p8 B% K/ F. I% r  `6 E0 V6 Z
    按说这个跨越不算大,但Nikon就是浸水没搞定, U( v9 d6 G* }7 s0 w
    所以俺不敢做预测,只敢对已知的做评述 ...
    % S5 T0 {7 D$ e7 n4 E
    有道理。
    - B5 Y: l; k$ e  k* ~+ N, g9 i
    " B" H  d+ [1 f0 n# x不过现在看尼康和佳能的光刻机,总有感觉他们已经三心二意了。既然干不过阿斯麦,就用最小投资吊着。不退场,但也不全力以赴。
    2 C  e, D2 ~+ p; x8 M: n+ v( y
    中国肯定是全力以赴的。而且倾国之力肯定大于尼康、佳能。
    & \* J( f1 h' ]9 A% X
    2 \( D3 ]# n: G) A$ l这会有差别吗?
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    27#
    发表于 2024-9-17 11:13:37 | 只看该作者
    沉宝 发表于 2024-9-16 21:08
    $ F$ U) A6 c: [+ X理论上是这样。但制造芯片是个复杂的过程,需要各方面不断打磨,才能接近理想的结果。现实中的例子,台积 ...

    ; t6 K( H; \- Q- a这倒是个问题。都说韩国人拼,看来还是拼不过中国人。台湾人也是中国人嘛。
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    28#
    发表于 2024-9-17 11:19:08 | 只看该作者
    moletronic 发表于 2024-9-17 10:54
    9 A3 k% U! Z' I按说这个跨越不算大,但Nikon就是浸水没搞定, x  Q: p) h# Z& c# q4 c& ]
    所以俺不敢做预测,只敢对已知的做评述 ...
    & q. m4 a/ r( |$ j" [' C( ]$ ^
    还没搞定?
    , e" {( ^2 U! {; k: V我可能是09年去给Nikon做实验,他们想搞明白光刻机里面为什么会产生微气泡,想买个做实验的系统。我在的小破公司搭了一个,然后过去一起做,看能不能用。那个时候估计还是早期,这些基础的问题都没个数。做了几个实验,证明可以捕捉到微气泡发生,成长和运动的轨迹,我就撤了。这都十五年过去了。6 M% b2 c+ A% A+ m6 b- R2 M
    尼康那时候已经有点不灵的迹象,食堂里面睡满了安装队的人。正常的话那些人都是满世界跑给别人装机器的。; c/ A6 I2 A7 _; H! A) P

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    29#
    发表于 2024-9-17 11:21:47 | 只看该作者
    moletronic 发表于 2024-9-16 20:54! U0 V* y& I7 g. y) _( {; x
    按说这个跨越不算大,但Nikon就是浸水没搞定( z- G6 `7 \- ?) o- c' |
    所以俺不敢做预测,只敢对已知的做评述 ...
    $ c# Q" F: U2 K" f, p
    突然想起来:现在就聚焦于逻辑芯片,存储芯片用的芯片技术一样吗?前一段听说长江还是谁的128还是256层NAND也被卡了,因为光刻机的事,这说法准确吗?高端NAND需要多少nm节点的光刻机?
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    30#
    发表于 2024-9-17 11:23:33 | 只看该作者
    晨枫 发表于 2024-9-17 11:13
    / R, k0 v. i' W4 |1 i/ p有道理。( f! z+ H/ S& p3 E, f
    ' H7 m9 U: M3 B7 C7 M/ G
    不过现在看尼康和佳能的光刻机,总有感觉他们已经三心二意了。既然干不过阿斯麦,就用最小投资 ...

    - I- \6 A1 V$ \7 ~# a可能是真没钱投资了。这些钱政府应该赞助的,可是政府也难呐,到处都是嗷嗷待哺的嘴,捉了个虫也不知道塞哪张嘴里。
    + ~' Z; G/ Y) e! `6 W/ {很多年前日本媒体评价日本财政用了很形象的词,叫硬直化。所有的钱都有定好的用处,几乎没有活动钱。需要财政支持的时候十分狼狈。该做的事情做不了,钱全都拿去维持日常运转了。

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  • TA的每日心情
    开心
    2023-2-8 04:51
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    31#
     楼主| 发表于 2024-9-17 11:28:54 | 只看该作者
    本帖最后由 moletronic 于 2024-9-16 19:33 编辑 6 A! g. t& V/ u; E' I9 B- c/ a* j
    雷声 发表于 2024-9-16 19:19
    & n6 K$ c, O2 E6 a还没搞定? 5 J, K% V& Z& a) L) x$ ?
    我可能是09年去给Nikon做实验,他们想搞明白光刻机里面为什么会产生微气泡,想买个做实验的 ...

    2 @6 v; M5 `' Q$ i7 d% D2 K; X9 M$ A1 S3 ^* K* k# Z
    Nikon是稳定性不行,被牙膏退货后就没人再买。疫情前去开spie的会,Nikon还吹牛自己行了,但主流客户没人用。
    % i2 V( k7 x; ~; N  R1 a( b; }有网上谣言说华为买了些Nikon自己魔改做出了9100…俺比较怀疑真实性。
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    2023-2-8 04:51
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    [LV.Master]无

    32#
     楼主| 发表于 2024-9-17 11:31:01 | 只看该作者
    晨枫 发表于 2024-9-16 19:21
    - Q! ?! w' B) Q1 K5 B% E突然想起来:现在就聚焦于逻辑芯片,存储芯片用的芯片技术一样吗?前一段听说长江还是谁的128还是256层NA ...

    0 z( [8 m# C+ Q, }7 D存储和逻辑的工艺重点不一样,节点体系也不同。存储那边现在还没上EUV。
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    33#
    发表于 2024-9-17 11:34:00 | 只看该作者
    moletronic 发表于 2024-9-16 21:31
    ; U' r* z( D2 v" y" V* E9 n存储和逻辑的工艺重点不一样,节点体系也不同。存储那边现在还没上EUV。 ...
    / U* F& C# m( S2 o2 o( M" U
    需要用到浸润DUV吗?4 W) C. r8 H# j; B. @3 b% U: |

    & _% V7 G0 P+ D0 y我的问题其实是:65nm光刻机能解决国内NAND厂的设备禁运问题吗?
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  • TA的每日心情
    开心
    2023-2-8 04:51
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    [LV.Master]无

    34#
     楼主| 发表于 2024-9-17 11:37:50 | 只看该作者
    晨枫 发表于 2024-9-16 19:34
    / m: @! `9 t/ ?( @需要用到浸润DUV吗?
    - N) p5 o, C: p7 v
    $ ^8 C) R4 V/ N, ?+ `我的问题其实是:65nm光刻机能解决国内NAND厂的设备禁运问题吗? ...
    * l+ {7 x0 U- ]
    浸水还是要的,这国产光刻机按公布的指标应该还是没法满足YMTC的全部要求。
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    35#
    发表于 2024-9-17 11:38:06 | 只看该作者
    雷声 发表于 2024-9-16 21:23+ f0 Z) J! o; V8 b
    可能是真没钱投资了。这些钱政府应该赞助的,可是政府也难呐,到处都是嗷嗷待哺的嘴,捉了个虫也不知道塞 ...
    7 Z7 N6 ]1 u. ~% I+ C9 \
    是的,需要钱的地方太多,但光刻机和芯片可能是不计代价砸钱的方向,优先级比谁都高。这个瓶颈突破后,不只是军事、科技上的阳关道,经济上也是大片的处女地啊。
    7 U# X/ C8 P8 l/ [; q3 C( U9 m% R
    硬直化很形象。确实,西方家大业大,花钱手笔也大,但每一笔钱都预定了用处,活动余地真心很小。你看看美国在预算削减时那个鸡飞狗跳,就知道真是谁都动不得。“平均剃头”是公认的最坏选择,但是唯一大家可接受的选择。
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    36#
    发表于 2024-9-17 11:40:47 | 只看该作者
    moletronic 发表于 2024-9-16 21:37
    ' [4 w1 N9 @9 {4 P3 V4 _浸水还是要的,这国产光刻机按公布的指标应该还是没法满足YMTC的全部要求。 ...
    9 p$ k6 U! X( l
    都说工信部这光刻机不是浸润式,但193nm光源,65nm分辨率,正好是2*1.44倍,是不是太巧了?
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    37#
    发表于 2024-9-17 11:43:29 | 只看该作者
    moletronic 发表于 2024-9-17 10:54( w/ b/ ?  j( k5 Y4 V
    按说这个跨越不算大,但Nikon就是浸水没搞定
    2 e* K. S; J1 M) ~) y8 C. j% p& o: Y8 o所以俺不敢做预测,只敢对已知的做评述 ...

    / d6 ~- {# t4 q1 l具体工作中还是有很多细节要克服。例如曝光时照到光的水会比遮蔽区的水热一点,这个温差会让水的密度不均匀,从而折射率不均匀,影响成像。为了避免温差,必须让水快速流动混合,但又要避免产生漩涡或者析出气泡。水可以把所接触物品上的杂质洗下来,带到晶圆上,形成缺陷。当初ASML搞浸润式光刻机时,在浸液系统上与林本坚团队合作,方案修改了7-8回,耗时两年多才取得满意的结果。

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  • TA的每日心情
    开心
    2023-2-8 04:51
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    38#
     楼主| 发表于 2024-9-17 11:59:49 | 只看该作者
    本帖最后由 moletronic 于 2024-9-16 20:02 编辑
    8 ~8 T7 X# s& }! x7 I
    沉宝 发表于 2024-9-16 19:43& @. Z5 c' y. p2 Y
    具体工作中还是有很多细节要克服。例如曝光时照到光的水会比遮蔽区的水热一点,这个温差会让水的密度不均 ...
    1 m6 G( z* j4 x9 {" }8 i0 b% ~

    ) V3 I! S1 _' h这当然不容易,不过两年挺快啦,看看牙膏的10nm……
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  • TA的每日心情
    开心
    2023-2-8 04:51
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    [LV.Master]无

    39#
     楼主| 发表于 2024-9-17 12:01:58 | 只看该作者
    晨枫 发表于 2024-9-16 19:40
    ! n9 o  v! w$ U( k9 _# d  L1 z都说工信部这光刻机不是浸润式,但193nm光源,65nm分辨率,正好是2*1.44倍,是不是太巧了? ...
    $ I& f6 k4 X& [: K$ Z
    不知道啦,也许是隐晦放风的说法。
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    40#
    发表于 2024-9-17 17:38:39 | 只看该作者
    晨枫 发表于 2024-9-17 11:13
    - v9 u; ]' [- N2 j这倒是个问题。都说韩国人拼,看来还是拼不过中国人。台湾人也是中国人嘛。 ...
    9 i$ T3 n; S2 s) t( h/ h
    中国大,各地方人气质不一,各擅胜场。精细活儿江南地方超过东北山东。如此说来,韩国近东北山东,台湾精英是江浙后代。
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