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楼主: moletronic
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[科普知识] 国产光刻机猜测

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  • TA的每日心情
    慵懒
    2022-8-27 22:14
  • 签到天数: 351 天

    [LV.8]合体

    21#
    发表于 2024-9-17 08:06:46 | 只看该作者
    晨枫 发表于 2024-9-16 14:003 P! l- R) l7 b$ e# c( I  x
    也就是说,即使28nm现在还有光刻机瓶颈,其他也都就绪、只欠东风了。这是好事!
    , B5 ^, `: Z3 [+ n1 R9 k% N
    5 U% C* W$ `3 U, Z& f/ M个人感觉:相比于前一阵 ...

    6 h. [* r. }# K, U7 f( x
    # y- h/ D6 W6 P' M
    这就要西方好好领教什么叫产能过剩了。

    ' I. ~3 F8 Q1 A& p应该会在5年内实现吧。
    + |4 X3 h& a, F& h( G
    ! Q3 `& c1 D3 y1 D  j微博上有位“沉睡之书11”说的。(不一定准确,可以看看)
    8 v: c) g5 @9 V7 t24-9-16 23:557 z, ]6 A- x, p
    发布于 湖南, _4 [# \- E/ m. ]1 f& D" c8 S7 E
    来自 微博网页版
    ' ~! P; P" ^2 b6 I啊,说过很多次了,#光刻机# 不是挖机( Y; W6 ?$ t  A9 T/ h9 T+ j
    不是运过来就能直接开工的。
    / G, L6 M0 t% ~: e2 w5 [2 W, G5 l他需要调试,需要不断的用,一边用一边调整,等光学畸变稳定——你可以理解为拷机或者汽车发动热机暖机。
    ( i" h9 K  C- f) l0 U3 d4 {- l6 t1 Y$ J. F1 c$ j# |) l
    这个时间很长,也是我常年说:3 N4 x/ }: [$ h" A
    就算今天ASML传送一台EUV给咱,我们拿到第一批量产的芯片流片完(无论7nm,5nm还是多少)起码2年后——这最乐观的2年时间,还得是对EUV非常有经验的顶级工程师来操作优化。  [$ H  [3 ?4 j5 x  C2 t

    " C1 z0 h, i7 Y9 t现在发布的这台机器是起码3年前就验收了(科工),现在工信部验收推广(产业链),成熟得不行了才拿出来的。你需要,给钱就有,不限量。2 m, Q" Y6 v2 |- L* |0 A$ Y

    , r( X$ G4 _% D4 @5 o3 k' |, U简单理解就是——这机子是干式光刻机,做的是65-55nm的芯片,一次曝光。8 Y8 R0 n! [5 c  k
    干式光刻机没啥意义,为什么呢?因为改进之后的也可以出产低制程的,向下兼容并且良率更高(成本低方案成熟)1 C' u6 h% B: F8 j& u* @
    多重曝光也不是这哥们来做……(我是不清楚干式光刻机有没人搞这个)
    1 f: D6 Q+ s9 p! A* r# q但这玩意的光路设计啥的,是成型了的。有了它,就加浸没式透镜,修改物镜,最终成品是目前没有验收但肯定存在某个地方的浸没式光刻机,但起码上线了2年了
    - _* p, g! N8 R$ R  w6 r$ H- i! g! ^: U1 O
    没公布的那个肯定还在不断的调试,修改,更换国产配件。
    7 c' z6 f5 l, `* V普通人不用管光刻机啥情况——你就看最终产品就是。  J% a. d' r% B$ l0 b1 I: \
    #华为mate70# 也没多久了。
    9 `! z( Z" e# ?9 ?2 b& v

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    这真是极好的: 5.0
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      发表于 2024-9-18 15:38
    给力: 5 涨姿势: 5 这真是极好的: 5
      发表于 2024-9-17 08:38
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  • TA的每日心情
    开心
    2023-2-8 04:51
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    [LV.Master]无

    22#
     楼主| 发表于 2024-9-17 08:15:36 | 只看该作者
    老财迷 发表于 2024-9-16 16:06- `' E/ `: Z2 S% X2 [' ]. p
    应该会在5年内实现吧。
    / C  p- F/ j! R) ]# F4 H2 ]) ?" c8 y, g. t( v
    微博上有位“沉睡之书11”说的。(不一定准确,可以看看)
    6 v* I$ \# x3 c- P# p# c

    4 \  J: O- k! g7 ]3 `2 Y% J这个有点扯,新机到货后肯定要调试的,但绝对用不了两年的时间。

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    以你说的为准 :)  发表于 2024-9-17 15:27

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    23#
    发表于 2024-9-17 08:39:20 | 只看该作者
    moletronic 发表于 2024-9-16 18:15
    3 j' c) @0 O( o9 |这个有点扯,新机到货后肯定要调试的,但绝对用不了两年的时间。

    $ ~/ u( u/ l6 }, ?. I  y: G6 b但干式到浸润的步子没那么大,这说对了吗?
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  • TA的每日心情
    开心
    2023-2-8 04:51
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    [LV.Master]无

    24#
     楼主| 发表于 2024-9-17 10:54:17 | 只看该作者
    本帖最后由 moletronic 于 2024-9-16 18:56 编辑
    ! S$ b+ F+ R& U8 e# w
    晨枫 发表于 2024-9-16 16:39$ @' ^3 E9 L' u; V7 c$ ^
    但干式到浸润的步子没那么大,这说对了吗?

    / j* G% P& J  `+ Y- |4 l) P0 _$ F6 j; |5 u- r) F0 ~* k
    按说这个跨越不算大,但Nikon就是浸水没搞定2 A- ~* z+ ^( D* z6 M& O
    所以俺不敢做预测,只敢对已知的做评述

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    25#
    发表于 2024-9-17 11:08:25 | 只看该作者
    晨枫 发表于 2024-9-17 03:34. d. t4 i2 i3 {: j6 o; Q
    不过EUV制作7nm可以轻易一次曝光,产率和良率应该提高很多?
    , V3 R9 {% J) K3 ~6 `
    理论上是这样。但制造芯片是个复杂的过程,需要各方面不断打磨,才能接近理想的结果。现实中的例子,台积电用193nm光刻机率先量产7nm,三星则以更先进的EUV光刻机应战,由于对新型光刻机的熟悉不足,结果良率低下,很多人抛弃三星。最后三星赔本赚吆喝,开出比台积电低30%的代工费用,才勉强留下大客户。

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      发表于 2024-9-17 15:28

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    26#
    发表于 2024-9-17 11:13:01 | 只看该作者
    moletronic 发表于 2024-9-16 20:54
    1 t* v  u- j! I2 m0 ?' l: K9 y$ K按说这个跨越不算大,但Nikon就是浸水没搞定6 y: d/ c$ G  l
    所以俺不敢做预测,只敢对已知的做评述 ...

    6 p7 a4 J: f7 Q& O+ Q! t有道理。' i; ?; q# w. W6 w- U2 E
    8 O9 J2 k- a6 m) ~, Z) g" Q6 T
    不过现在看尼康和佳能的光刻机,总有感觉他们已经三心二意了。既然干不过阿斯麦,就用最小投资吊着。不退场,但也不全力以赴。
    ! Z1 O. B6 V6 v" F" x# c0 ]4 l( j- D) [# C+ ]$ L
    中国肯定是全力以赴的。而且倾国之力肯定大于尼康、佳能。9 V6 [" @! T8 x3 m+ t. g9 q0 v
    " c" A* B0 h* o( q
    这会有差别吗?
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    27#
    发表于 2024-9-17 11:13:37 | 只看该作者
    沉宝 发表于 2024-9-16 21:08
    # x1 W( T3 C7 S8 k, x: e+ t9 d理论上是这样。但制造芯片是个复杂的过程,需要各方面不断打磨,才能接近理想的结果。现实中的例子,台积 ...
    ; T) e/ O. s4 V% _* C* m- Q4 N
    这倒是个问题。都说韩国人拼,看来还是拼不过中国人。台湾人也是中国人嘛。
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    28#
    发表于 2024-9-17 11:19:08 | 只看该作者
    moletronic 发表于 2024-9-17 10:54
    7 v6 V& [0 i6 e: `按说这个跨越不算大,但Nikon就是浸水没搞定
    3 Z' ]( O: X  K. x2 M4 c1 p所以俺不敢做预测,只敢对已知的做评述 ...
    $ l  `( \6 F! M. e1 l
    还没搞定? + g, D( y. j3 E
    我可能是09年去给Nikon做实验,他们想搞明白光刻机里面为什么会产生微气泡,想买个做实验的系统。我在的小破公司搭了一个,然后过去一起做,看能不能用。那个时候估计还是早期,这些基础的问题都没个数。做了几个实验,证明可以捕捉到微气泡发生,成长和运动的轨迹,我就撤了。这都十五年过去了。, |" w, h7 j) g8 g. }  f- N$ v, T! P
    尼康那时候已经有点不灵的迹象,食堂里面睡满了安装队的人。正常的话那些人都是满世界跑给别人装机器的。
    " k& S3 V  m6 s3 K/ J0 m/ N4 ?$ W# y

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    坛里藏龙卧虎啊  发表于 2024-9-17 15:31

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    唐家山 + 4 伙呆了
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    29#
    发表于 2024-9-17 11:21:47 | 只看该作者
    moletronic 发表于 2024-9-16 20:54! Z) A/ @; L; \9 X
    按说这个跨越不算大,但Nikon就是浸水没搞定2 j5 n* ~' Y" C6 a6 h( g
    所以俺不敢做预测,只敢对已知的做评述 ...

    3 W4 b2 ?3 f5 I8 Y突然想起来:现在就聚焦于逻辑芯片,存储芯片用的芯片技术一样吗?前一段听说长江还是谁的128还是256层NAND也被卡了,因为光刻机的事,这说法准确吗?高端NAND需要多少nm节点的光刻机?
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    30#
    发表于 2024-9-17 11:23:33 | 只看该作者
    晨枫 发表于 2024-9-17 11:13
    7 D0 c& y; d. {) e; {. l有道理。
    " [7 o" V" @: Z/ r+ t, H' U! @7 h% L- Z
    不过现在看尼康和佳能的光刻机,总有感觉他们已经三心二意了。既然干不过阿斯麦,就用最小投资 ...

    7 |( M( v/ O" S; P+ c可能是真没钱投资了。这些钱政府应该赞助的,可是政府也难呐,到处都是嗷嗷待哺的嘴,捉了个虫也不知道塞哪张嘴里。
    ; @0 Y/ c" |. q很多年前日本媒体评价日本财政用了很形象的词,叫硬直化。所有的钱都有定好的用处,几乎没有活动钱。需要财政支持的时候十分狼狈。该做的事情做不了,钱全都拿去维持日常运转了。

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      发表于 2024-9-17 15:32

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    31#
     楼主| 发表于 2024-9-17 11:28:54 | 只看该作者
    本帖最后由 moletronic 于 2024-9-16 19:33 编辑 # `. h; t6 a3 ^# y) z/ j9 N0 I3 q
    雷声 发表于 2024-9-16 19:19( s1 j$ g& |5 t" C$ O6 N2 M
    还没搞定?
    ( [  [" \0 A  `9 B  T# ^我可能是09年去给Nikon做实验,他们想搞明白光刻机里面为什么会产生微气泡,想买个做实验的 ...
    6 [/ M* \7 m4 Y, _+ J3 O
    * ~1 B8 g: S4 L% M
    Nikon是稳定性不行,被牙膏退货后就没人再买。疫情前去开spie的会,Nikon还吹牛自己行了,但主流客户没人用。# D7 s4 T! d$ o, i
    有网上谣言说华为买了些Nikon自己魔改做出了9100…俺比较怀疑真实性。
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    2023-2-8 04:51
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    32#
     楼主| 发表于 2024-9-17 11:31:01 | 只看该作者
    晨枫 发表于 2024-9-16 19:21
    ( x5 p/ d  l# v/ g突然想起来:现在就聚焦于逻辑芯片,存储芯片用的芯片技术一样吗?前一段听说长江还是谁的128还是256层NA ...
    : V4 q, @4 n' `" i! |- U
    存储和逻辑的工艺重点不一样,节点体系也不同。存储那边现在还没上EUV。
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    33#
    发表于 2024-9-17 11:34:00 | 只看该作者
    moletronic 发表于 2024-9-16 21:31
    ; W8 g2 t4 C$ ^, ~) R# ]9 b存储和逻辑的工艺重点不一样,节点体系也不同。存储那边现在还没上EUV。 ...
    6 _$ B" X3 p+ J
    需要用到浸润DUV吗?7 F1 t6 a' x, }; L8 W

    ( `! D2 j% r0 q( o我的问题其实是:65nm光刻机能解决国内NAND厂的设备禁运问题吗?
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    2023-2-8 04:51
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    34#
     楼主| 发表于 2024-9-17 11:37:50 | 只看该作者
    晨枫 发表于 2024-9-16 19:34
    # k9 Q/ @, l* m4 A6 \, }" h需要用到浸润DUV吗?
    9 |4 b) `* r, W3 O: N( F0 o
    6 h, a7 M6 {( t" O% I我的问题其实是:65nm光刻机能解决国内NAND厂的设备禁运问题吗? ...

    $ x0 r7 J: ]) |浸水还是要的,这国产光刻机按公布的指标应该还是没法满足YMTC的全部要求。
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    35#
    发表于 2024-9-17 11:38:06 | 只看该作者
    雷声 发表于 2024-9-16 21:23$ y/ P; S# P: d+ F
    可能是真没钱投资了。这些钱政府应该赞助的,可是政府也难呐,到处都是嗷嗷待哺的嘴,捉了个虫也不知道塞 ...
    5 M1 z+ d2 ~& z+ R$ L6 A
    是的,需要钱的地方太多,但光刻机和芯片可能是不计代价砸钱的方向,优先级比谁都高。这个瓶颈突破后,不只是军事、科技上的阳关道,经济上也是大片的处女地啊。3 a% {6 {& C; j! A6 @% m' y& T

    4 q+ U) z3 F5 I8 `0 R4 N/ g硬直化很形象。确实,西方家大业大,花钱手笔也大,但每一笔钱都预定了用处,活动余地真心很小。你看看美国在预算削减时那个鸡飞狗跳,就知道真是谁都动不得。“平均剃头”是公认的最坏选择,但是唯一大家可接受的选择。
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    36#
    发表于 2024-9-17 11:40:47 | 只看该作者
    moletronic 发表于 2024-9-16 21:37
    - r5 d+ D/ v. ~) r4 g2 {浸水还是要的,这国产光刻机按公布的指标应该还是没法满足YMTC的全部要求。 ...

    2 z- n$ }2 V; \0 `都说工信部这光刻机不是浸润式,但193nm光源,65nm分辨率,正好是2*1.44倍,是不是太巧了?
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    37#
    发表于 2024-9-17 11:43:29 | 只看该作者
    moletronic 发表于 2024-9-17 10:54
    # L1 u, W5 r* l( E按说这个跨越不算大,但Nikon就是浸水没搞定
      n7 v4 g# j( K& W$ }. l* o# l- p所以俺不敢做预测,只敢对已知的做评述 ...
      n) g8 j9 M" _; a6 A6 h& e
    具体工作中还是有很多细节要克服。例如曝光时照到光的水会比遮蔽区的水热一点,这个温差会让水的密度不均匀,从而折射率不均匀,影响成像。为了避免温差,必须让水快速流动混合,但又要避免产生漩涡或者析出气泡。水可以把所接触物品上的杂质洗下来,带到晶圆上,形成缺陷。当初ASML搞浸润式光刻机时,在浸液系统上与林本坚团队合作,方案修改了7-8回,耗时两年多才取得满意的结果。

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  • TA的每日心情
    开心
    2023-2-8 04:51
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    38#
     楼主| 发表于 2024-9-17 11:59:49 | 只看该作者
    本帖最后由 moletronic 于 2024-9-16 20:02 编辑
    ( E( l1 i/ ?. ?7 _0 W7 B9 N
    沉宝 发表于 2024-9-16 19:43/ m+ }- |. q. A4 S6 w
    具体工作中还是有很多细节要克服。例如曝光时照到光的水会比遮蔽区的水热一点,这个温差会让水的密度不均 ...

    ) \1 ^7 f, ?1 n! |
    / ^) y; n9 k) q2 N$ }) f这当然不容易,不过两年挺快啦,看看牙膏的10nm……
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  • TA的每日心情
    开心
    2023-2-8 04:51
  • 签到天数: 1811 天

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    39#
     楼主| 发表于 2024-9-17 12:01:58 | 只看该作者
    晨枫 发表于 2024-9-16 19:40
    ) v2 A- Z$ M7 |1 l7 S: V4 R都说工信部这光刻机不是浸润式,但193nm光源,65nm分辨率,正好是2*1.44倍,是不是太巧了? ...

    6 p3 E% Z- F" H  `' i; I, z不知道啦,也许是隐晦放风的说法。
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    40#
    发表于 2024-9-17 17:38:39 | 只看该作者
    晨枫 发表于 2024-9-17 11:138 T8 L* v  ]% l& ^% y
    这倒是个问题。都说韩国人拼,看来还是拼不过中国人。台湾人也是中国人嘛。 ...

    ; ?) I. t5 w0 b0 z0 X+ k  ^* T中国大,各地方人气质不一,各擅胜场。精细活儿江南地方超过东北山东。如此说来,韩国近东北山东,台湾精英是江浙后代。
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