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[科普知识] 国产光刻机猜测

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  • TA的每日心情
    慵懒
    2022-8-27 22:14
  • 签到天数: 351 天

    [LV.8]合体

    21#
    发表于 2024-9-17 08:06:46 | 只看该作者
    晨枫 发表于 2024-9-16 14:00  Z* y6 b- Z8 ]2 c
    也就是说,即使28nm现在还有光刻机瓶颈,其他也都就绪、只欠东风了。这是好事!
    ' |7 C, X) S! U7 I
    ; L0 N. s8 X8 F& h, M2 r个人感觉:相比于前一阵 ...
    1 N% J2 o# N5 Z* z% F
    ; g2 V1 J) I5 Y' k# O3 c/ H. M& @
    这就要西方好好领教什么叫产能过剩了。

    ' ^: _+ x& I; b* Z应该会在5年内实现吧。
    5 m5 V& u# I" b2 i0 ^% t) i% m( }0 `8 q, \" c5 c
    微博上有位“沉睡之书11”说的。(不一定准确,可以看看)8 e0 Z9 q+ Q- e+ m2 ~; w0 ]
    24-9-16 23:55
      f$ Q2 M  k9 u- A3 o发布于 湖南
    * p# P( {" `4 ]) {2 D来自 微博网页版, H, J3 _2 d" T9 J' n) ~
    啊,说过很多次了,#光刻机# 不是挖机, j" ~% q; ?+ {6 p- [
    不是运过来就能直接开工的。
    7 @+ w5 B; i( u& s  _3 d他需要调试,需要不断的用,一边用一边调整,等光学畸变稳定——你可以理解为拷机或者汽车发动热机暖机。& ?. O) \% \8 |, g* y/ r$ K* h/ e

    ( d) N" [5 F! a( W这个时间很长,也是我常年说:
    . ^* J& M9 [8 E3 `) A7 U就算今天ASML传送一台EUV给咱,我们拿到第一批量产的芯片流片完(无论7nm,5nm还是多少)起码2年后——这最乐观的2年时间,还得是对EUV非常有经验的顶级工程师来操作优化。
    7 X' h) }6 L$ Y1 Z  }
    $ z8 L/ {6 o0 l6 w% ~现在发布的这台机器是起码3年前就验收了(科工),现在工信部验收推广(产业链),成熟得不行了才拿出来的。你需要,给钱就有,不限量。
    & Z& P& S- q# G3 m+ \* l+ q( E/ }1 {- V; x5 |! z0 l( J3 T
    简单理解就是——这机子是干式光刻机,做的是65-55nm的芯片,一次曝光。
    0 }% g9 V& v! Z9 o# u干式光刻机没啥意义,为什么呢?因为改进之后的也可以出产低制程的,向下兼容并且良率更高(成本低方案成熟)
      S, O* b( u# M! a% g多重曝光也不是这哥们来做……(我是不清楚干式光刻机有没人搞这个)
    - `/ q, x6 v3 L但这玩意的光路设计啥的,是成型了的。有了它,就加浸没式透镜,修改物镜,最终成品是目前没有验收但肯定存在某个地方的浸没式光刻机,但起码上线了2年了+ r8 Z, i- t& p) T: ~4 j) B% s6 W' c

    $ r. s! M2 p3 `9 c& r( b没公布的那个肯定还在不断的调试,修改,更换国产配件。/ j& X& H0 }& ~% K
    普通人不用管光刻机啥情况——你就看最终产品就是。2 Q# j) P$ s5 c9 F
    #华为mate70# 也没多久了。* ?+ l7 F9 `/ o% p

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    这真是极好的: 5.0
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      发表于 2024-9-18 15:38
    给力: 5 涨姿势: 5 这真是极好的: 5
      发表于 2024-9-17 08:38
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  • TA的每日心情
    开心
    2023-2-8 04:51
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    [LV.Master]无

    22#
     楼主| 发表于 2024-9-17 08:15:36 | 只看该作者
    老财迷 发表于 2024-9-16 16:06
    ; Y5 n) P( @& I3 }应该会在5年内实现吧。
    ( n; K% Q1 p# w/ x( d7 `/ {: `9 w: }4 j1 q6 t4 k6 f
    微博上有位“沉睡之书11”说的。(不一定准确,可以看看)
    + M- Y) B/ V* j4 T7 G  c; a' V

      g& w1 `1 l- _5 E5 Z( h, o这个有点扯,新机到货后肯定要调试的,但绝对用不了两年的时间。

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    以你说的为准 :)  发表于 2024-9-17 15:27

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    23#
    发表于 2024-9-17 08:39:20 | 只看该作者
    moletronic 发表于 2024-9-16 18:15  I( U. K6 {4 t0 g0 {! ^$ |7 C' v
    这个有点扯,新机到货后肯定要调试的,但绝对用不了两年的时间。

    1 ~' Q2 X* `# g$ V7 W0 h- Z但干式到浸润的步子没那么大,这说对了吗?
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  • TA的每日心情
    开心
    2023-2-8 04:51
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    [LV.Master]无

    24#
     楼主| 发表于 2024-9-17 10:54:17 | 只看该作者
    本帖最后由 moletronic 于 2024-9-16 18:56 编辑
    2 N% ^3 H2 t3 x. L, Z& R9 P
    晨枫 发表于 2024-9-16 16:39
    ) x: l* V$ R8 l; r0 o但干式到浸润的步子没那么大,这说对了吗?
    6 J/ G1 q+ ?3 C7 `4 `

    ) [7 O& A. N; [( [' v按说这个跨越不算大,但Nikon就是浸水没搞定
    4 N# ~& k: D2 e$ \" Y, q所以俺不敢做预测,只敢对已知的做评述

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    25#
    发表于 2024-9-17 11:08:25 | 只看该作者
    晨枫 发表于 2024-9-17 03:34' z/ H0 I2 M( ~5 V! @
    不过EUV制作7nm可以轻易一次曝光,产率和良率应该提高很多?

    2 J$ Q' A' Y4 x9 d: o理论上是这样。但制造芯片是个复杂的过程,需要各方面不断打磨,才能接近理想的结果。现实中的例子,台积电用193nm光刻机率先量产7nm,三星则以更先进的EUV光刻机应战,由于对新型光刻机的熟悉不足,结果良率低下,很多人抛弃三星。最后三星赔本赚吆喝,开出比台积电低30%的代工费用,才勉强留下大客户。

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      发表于 2024-9-17 15:28

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    26#
    发表于 2024-9-17 11:13:01 | 只看该作者
    moletronic 发表于 2024-9-16 20:542 R  b& `& f. v0 Q- N" j/ j
    按说这个跨越不算大,但Nikon就是浸水没搞定4 V$ Y% m/ C! h( }6 ~0 ^
    所以俺不敢做预测,只敢对已知的做评述 ...
    5 j$ r$ S% M  }! W( t8 l
    有道理。/ |5 ~' {8 a9 i9 \6 W6 \2 V  ^1 n

    8 r# r6 B- E& s3 i0 {不过现在看尼康和佳能的光刻机,总有感觉他们已经三心二意了。既然干不过阿斯麦,就用最小投资吊着。不退场,但也不全力以赴。) g8 ]; b# @2 L+ `

    6 O' A0 M$ j3 X7 t% F0 G8 F$ \中国肯定是全力以赴的。而且倾国之力肯定大于尼康、佳能。. a; \- R$ F4 u& D, ?2 [

    5 T7 `# `! J; w$ H  R这会有差别吗?
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    27#
    发表于 2024-9-17 11:13:37 | 只看该作者
    沉宝 发表于 2024-9-16 21:086 i; D- u: l; g, b5 N3 a
    理论上是这样。但制造芯片是个复杂的过程,需要各方面不断打磨,才能接近理想的结果。现实中的例子,台积 ...
    ; b# k1 I0 v  }/ s2 P8 ?
    这倒是个问题。都说韩国人拼,看来还是拼不过中国人。台湾人也是中国人嘛。
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    28#
    发表于 2024-9-17 11:19:08 | 只看该作者
    moletronic 发表于 2024-9-17 10:541 ]$ f# _: ~8 P/ Z
    按说这个跨越不算大,但Nikon就是浸水没搞定! Q5 k* s. B7 r2 i  @6 G$ s1 w3 q
    所以俺不敢做预测,只敢对已知的做评述 ...

    ! |8 @- ]  _) S还没搞定? $ J1 y2 Q& C+ r
    我可能是09年去给Nikon做实验,他们想搞明白光刻机里面为什么会产生微气泡,想买个做实验的系统。我在的小破公司搭了一个,然后过去一起做,看能不能用。那个时候估计还是早期,这些基础的问题都没个数。做了几个实验,证明可以捕捉到微气泡发生,成长和运动的轨迹,我就撤了。这都十五年过去了。, l6 ]! o. E5 [8 l7 c
    尼康那时候已经有点不灵的迹象,食堂里面睡满了安装队的人。正常的话那些人都是满世界跑给别人装机器的。
    $ Y' b6 j0 d( C% {7 X& ?

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    坛里藏龙卧虎啊  发表于 2024-9-17 15:31

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    唐家山 + 4 伙呆了
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    29#
    发表于 2024-9-17 11:21:47 | 只看该作者
    moletronic 发表于 2024-9-16 20:54
    9 e" t, o8 a. L1 G, Q2 m: y按说这个跨越不算大,但Nikon就是浸水没搞定5 b# O6 e' w- P& Y+ ~5 V$ ^. m
    所以俺不敢做预测,只敢对已知的做评述 ...

    6 y/ f! {. [& J8 |7 T突然想起来:现在就聚焦于逻辑芯片,存储芯片用的芯片技术一样吗?前一段听说长江还是谁的128还是256层NAND也被卡了,因为光刻机的事,这说法准确吗?高端NAND需要多少nm节点的光刻机?
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    30#
    发表于 2024-9-17 11:23:33 | 只看该作者
    晨枫 发表于 2024-9-17 11:13
    ) q6 g3 Q3 k3 t- m, V! d) [. K8 y有道理。) M4 a8 ~2 l  u( C( h

    - ?( o! p0 N! a" h9 D+ V不过现在看尼康和佳能的光刻机,总有感觉他们已经三心二意了。既然干不过阿斯麦,就用最小投资 ...
      }3 n4 L' a" R% m! `6 k4 `
    可能是真没钱投资了。这些钱政府应该赞助的,可是政府也难呐,到处都是嗷嗷待哺的嘴,捉了个虫也不知道塞哪张嘴里。  o% |. v& \( f: u' Y5 n7 x
    很多年前日本媒体评价日本财政用了很形象的词,叫硬直化。所有的钱都有定好的用处,几乎没有活动钱。需要财政支持的时候十分狼狈。该做的事情做不了,钱全都拿去维持日常运转了。

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      发表于 2024-9-17 15:32

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    开心
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    31#
     楼主| 发表于 2024-9-17 11:28:54 | 只看该作者
    本帖最后由 moletronic 于 2024-9-16 19:33 编辑 % M4 P8 _) j* v( b$ f
    雷声 发表于 2024-9-16 19:19  s3 r, ]' Q/ S. @  g5 q$ g
    还没搞定?
    % i  q* c, b2 f6 b' T" E6 |我可能是09年去给Nikon做实验,他们想搞明白光刻机里面为什么会产生微气泡,想买个做实验的 ...

    * C% V8 T7 P, C( {6 D
    * A7 ~% y3 D/ iNikon是稳定性不行,被牙膏退货后就没人再买。疫情前去开spie的会,Nikon还吹牛自己行了,但主流客户没人用。& l& N1 q* E. m7 }
    有网上谣言说华为买了些Nikon自己魔改做出了9100…俺比较怀疑真实性。
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    开心
    2023-2-8 04:51
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    [LV.Master]无

    32#
     楼主| 发表于 2024-9-17 11:31:01 | 只看该作者
    晨枫 发表于 2024-9-16 19:21& Z& I, b% \! a
    突然想起来:现在就聚焦于逻辑芯片,存储芯片用的芯片技术一样吗?前一段听说长江还是谁的128还是256层NA ...

    - U, k6 r, {! ]$ w6 N% o: b存储和逻辑的工艺重点不一样,节点体系也不同。存储那边现在还没上EUV。
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    33#
    发表于 2024-9-17 11:34:00 | 只看该作者
    moletronic 发表于 2024-9-16 21:312 w5 d0 O* m) I3 E
    存储和逻辑的工艺重点不一样,节点体系也不同。存储那边现在还没上EUV。 ...
    ! z: `9 S" N9 `  J7 n, e
    需要用到浸润DUV吗?- U2 s9 C2 ]5 z1 O2 k+ \& R
    6 Q' J( e7 y: a' W" F) R* X
    我的问题其实是:65nm光刻机能解决国内NAND厂的设备禁运问题吗?
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    开心
    2023-2-8 04:51
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    [LV.Master]无

    34#
     楼主| 发表于 2024-9-17 11:37:50 | 只看该作者
    晨枫 发表于 2024-9-16 19:34
    ( [% ~& s2 P6 \3 b需要用到浸润DUV吗?
    % S0 U$ b) E8 l9 L$ t- ^
      b( Z1 P" G, ]0 g/ c$ ^我的问题其实是:65nm光刻机能解决国内NAND厂的设备禁运问题吗? ...
    9 p3 _+ n8 C/ a& d
    浸水还是要的,这国产光刻机按公布的指标应该还是没法满足YMTC的全部要求。
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    35#
    发表于 2024-9-17 11:38:06 | 只看该作者
    雷声 发表于 2024-9-16 21:23
    8 e. H; i, [& ]' S- B+ }1 m可能是真没钱投资了。这些钱政府应该赞助的,可是政府也难呐,到处都是嗷嗷待哺的嘴,捉了个虫也不知道塞 ...
    ( ^. Q2 {; M/ u1 i2 K, `
    是的,需要钱的地方太多,但光刻机和芯片可能是不计代价砸钱的方向,优先级比谁都高。这个瓶颈突破后,不只是军事、科技上的阳关道,经济上也是大片的处女地啊。
    " K7 m  m, ]7 N, m. ^
    5 M5 e1 ~% h1 r  X( Z' U; D* @- |硬直化很形象。确实,西方家大业大,花钱手笔也大,但每一笔钱都预定了用处,活动余地真心很小。你看看美国在预算削减时那个鸡飞狗跳,就知道真是谁都动不得。“平均剃头”是公认的最坏选择,但是唯一大家可接受的选择。
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    36#
    发表于 2024-9-17 11:40:47 | 只看该作者
    moletronic 发表于 2024-9-16 21:37
    9 J* c3 r# q) n$ `6 K; P" b浸水还是要的,这国产光刻机按公布的指标应该还是没法满足YMTC的全部要求。 ...

    $ W; j, g* Z& C6 R; W都说工信部这光刻机不是浸润式,但193nm光源,65nm分辨率,正好是2*1.44倍,是不是太巧了?
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    37#
    发表于 2024-9-17 11:43:29 | 只看该作者
    moletronic 发表于 2024-9-17 10:54" R2 X% o/ [" c$ y
    按说这个跨越不算大,但Nikon就是浸水没搞定' L' t# t% f3 {* k& m
    所以俺不敢做预测,只敢对已知的做评述 ...

    4 R. ~9 h! P! H  |$ ~% L# L( B$ B具体工作中还是有很多细节要克服。例如曝光时照到光的水会比遮蔽区的水热一点,这个温差会让水的密度不均匀,从而折射率不均匀,影响成像。为了避免温差,必须让水快速流动混合,但又要避免产生漩涡或者析出气泡。水可以把所接触物品上的杂质洗下来,带到晶圆上,形成缺陷。当初ASML搞浸润式光刻机时,在浸液系统上与林本坚团队合作,方案修改了7-8回,耗时两年多才取得满意的结果。

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  • TA的每日心情
    开心
    2023-2-8 04:51
  • 签到天数: 1811 天

    [LV.Master]无

    38#
     楼主| 发表于 2024-9-17 11:59:49 | 只看该作者
    本帖最后由 moletronic 于 2024-9-16 20:02 编辑
    / J3 J. V0 O% z  `: Y8 M
    沉宝 发表于 2024-9-16 19:43
    - t+ M- y! `5 h4 A( m2 x( P具体工作中还是有很多细节要克服。例如曝光时照到光的水会比遮蔽区的水热一点,这个温差会让水的密度不均 ...

    - h: W/ Q* D( p' }( ~* M5 ]! S0 h" \# a
    这当然不容易,不过两年挺快啦,看看牙膏的10nm……
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  • TA的每日心情
    开心
    2023-2-8 04:51
  • 签到天数: 1811 天

    [LV.Master]无

    39#
     楼主| 发表于 2024-9-17 12:01:58 | 只看该作者
    晨枫 发表于 2024-9-16 19:40
    4 k- B$ |* O' X* ?都说工信部这光刻机不是浸润式,但193nm光源,65nm分辨率,正好是2*1.44倍,是不是太巧了? ...
    7 l' P! i- y% n1 e4 x) h) N! ]
    不知道啦,也许是隐晦放风的说法。
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    40#
    发表于 2024-9-17 17:38:39 | 只看该作者
    晨枫 发表于 2024-9-17 11:13
    * R8 d# {. B  |: d这倒是个问题。都说韩国人拼,看来还是拼不过中国人。台湾人也是中国人嘛。 ...
    ; _+ F3 K1 [6 u+ E
    中国大,各地方人气质不一,各擅胜场。精细活儿江南地方超过东北山东。如此说来,韩国近东北山东,台湾精英是江浙后代。
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