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楼主: moletronic
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[科普知识] 国产光刻机猜测

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  • TA的每日心情
    慵懒
    2022-8-27 22:14
  • 签到天数: 351 天

    [LV.8]合体

    21#
    发表于 2024-9-17 08:06:46 | 只看该作者
    晨枫 发表于 2024-9-16 14:003 K  x, I1 n9 ?9 x# F# Z  f
    也就是说,即使28nm现在还有光刻机瓶颈,其他也都就绪、只欠东风了。这是好事!. R6 J& S+ b# v
    4 e/ F' `6 z) _1 ]
    个人感觉:相比于前一阵 ...

    * g  V* h5 D+ B: }% Y$ c" E8 A! P$ T) P
    这就要西方好好领教什么叫产能过剩了。
    ' B/ n4 F( w& d5 l9 B
    应该会在5年内实现吧。
    8 M6 y9 v  H4 l0 J+ T9 k3 [
    4 C6 p1 K; M3 k& }7 W- t微博上有位“沉睡之书11”说的。(不一定准确,可以看看)/ H, F6 @  ~9 t5 Q: q( g
    24-9-16 23:55" l- a/ V0 v  K  C8 `
    发布于 湖南
    & s( r7 q- x: }# I0 u- f9 j来自 微博网页版+ u6 |9 G/ x9 l4 ^& t7 \; N
    啊,说过很多次了,#光刻机# 不是挖机
    1 e  h) m# c) e6 @4 i( h! |1 ?( `不是运过来就能直接开工的。
    9 K* ?. ]9 {; A& B5 q7 b% ]9 u他需要调试,需要不断的用,一边用一边调整,等光学畸变稳定——你可以理解为拷机或者汽车发动热机暖机。4 `% v( z" Y( E' X4 Z, s$ y
    " g7 h4 A7 G" L( u$ r1 S' ^
    这个时间很长,也是我常年说:% R" A; [2 L( @2 ~; `
    就算今天ASML传送一台EUV给咱,我们拿到第一批量产的芯片流片完(无论7nm,5nm还是多少)起码2年后——这最乐观的2年时间,还得是对EUV非常有经验的顶级工程师来操作优化。  ], K4 Y! y. I8 F0 ^; _$ S' q

    ( R/ T% {8 w* E! J& m. Z1 i1 ~& ^现在发布的这台机器是起码3年前就验收了(科工),现在工信部验收推广(产业链),成熟得不行了才拿出来的。你需要,给钱就有,不限量。4 E# g& O5 r9 d$ Y3 C# P; D

    ' A# o/ |0 s" ^$ |简单理解就是——这机子是干式光刻机,做的是65-55nm的芯片,一次曝光。/ u# a1 ?6 r  o/ z: Y* ?
    干式光刻机没啥意义,为什么呢?因为改进之后的也可以出产低制程的,向下兼容并且良率更高(成本低方案成熟)' V5 i7 R& g! F! e- A' U
    多重曝光也不是这哥们来做……(我是不清楚干式光刻机有没人搞这个)& S; p& C  A" q& Y  N
    但这玩意的光路设计啥的,是成型了的。有了它,就加浸没式透镜,修改物镜,最终成品是目前没有验收但肯定存在某个地方的浸没式光刻机,但起码上线了2年了/ X$ T, g/ C9 Y$ K- i
    ) }9 S. J, E9 Q7 x" |+ Q" u1 E
    没公布的那个肯定还在不断的调试,修改,更换国产配件。
    6 _" W4 x1 K% w& k: P* N- T普通人不用管光刻机啥情况——你就看最终产品就是。
    % R, p) e2 b; w0 Y#华为mate70# 也没多久了。
    " Y* L2 i. `0 W' i. K2 o

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    这真是极好的: 5.0
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      发表于 2024-9-18 15:38
    给力: 5 涨姿势: 5 这真是极好的: 5
      发表于 2024-9-17 08:38
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  • TA的每日心情
    开心
    2023-2-8 04:51
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    [LV.Master]无

    22#
     楼主| 发表于 2024-9-17 08:15:36 | 只看该作者
    老财迷 发表于 2024-9-16 16:06! s: T8 L; G2 N5 _) c
    应该会在5年内实现吧。
    ; e; d+ q* z7 y( F/ c
    + s8 d+ D- ]7 b8 v, H3 s1 j微博上有位“沉睡之书11”说的。(不一定准确,可以看看)
    * y/ e- O2 q( V7 W
    5 m% f3 L9 q, P5 g( Z2 c# U
    这个有点扯,新机到货后肯定要调试的,但绝对用不了两年的时间。

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    油菜: 5 给力: 5
    以你说的为准 :)  发表于 2024-9-17 15:27

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    23#
    发表于 2024-9-17 08:39:20 | 只看该作者
    moletronic 发表于 2024-9-16 18:15* k* n6 ]) ^2 z  R: @
    这个有点扯,新机到货后肯定要调试的,但绝对用不了两年的时间。

    0 j" d; ]6 p- t但干式到浸润的步子没那么大,这说对了吗?
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  • TA的每日心情
    开心
    2023-2-8 04:51
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    [LV.Master]无

    24#
     楼主| 发表于 2024-9-17 10:54:17 | 只看该作者
    本帖最后由 moletronic 于 2024-9-16 18:56 编辑   b, V4 H* y' S8 I' w4 }
    晨枫 发表于 2024-9-16 16:39
    0 d- _6 V& X+ O, K& {6 ]  I3 b但干式到浸润的步子没那么大,这说对了吗?
    8 {* Z+ @' `* v9 p- E; c+ I

    ) z0 A% c: B& B2 G' v按说这个跨越不算大,但Nikon就是浸水没搞定
    6 j; ~9 P. U) B所以俺不敢做预测,只敢对已知的做评述

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    25#
    发表于 2024-9-17 11:08:25 | 只看该作者
    晨枫 发表于 2024-9-17 03:34  a/ }$ Q* R0 b$ A  H8 \* N
    不过EUV制作7nm可以轻易一次曝光,产率和良率应该提高很多?

    * c9 g" X2 m3 K  a8 E/ j6 h. b理论上是这样。但制造芯片是个复杂的过程,需要各方面不断打磨,才能接近理想的结果。现实中的例子,台积电用193nm光刻机率先量产7nm,三星则以更先进的EUV光刻机应战,由于对新型光刻机的熟悉不足,结果良率低下,很多人抛弃三星。最后三星赔本赚吆喝,开出比台积电低30%的代工费用,才勉强留下大客户。

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      发表于 2024-9-17 15:28

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    26#
    发表于 2024-9-17 11:13:01 | 只看该作者
    moletronic 发表于 2024-9-16 20:546 ]5 k8 f1 E( ]( e
    按说这个跨越不算大,但Nikon就是浸水没搞定
    % ^+ ^, q( b4 z: P7 N5 m/ q所以俺不敢做预测,只敢对已知的做评述 ...

    # f$ x, Q$ T5 j& y5 I有道理。
    ' U& z0 q/ x5 W: U$ P# ~, t' G! d( e! J* o& Q. D9 h. H, f
    不过现在看尼康和佳能的光刻机,总有感觉他们已经三心二意了。既然干不过阿斯麦,就用最小投资吊着。不退场,但也不全力以赴。9 {& A9 s2 B- d& {
    ' I% q  g. s' f& m
    中国肯定是全力以赴的。而且倾国之力肯定大于尼康、佳能。' K' q1 D9 t2 X1 z  F- B2 s
    / c6 Q3 S3 m( P! J+ _- [3 `
    这会有差别吗?
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    27#
    发表于 2024-9-17 11:13:37 | 只看该作者
    沉宝 发表于 2024-9-16 21:08: ~3 V" Q5 N9 t' Q
    理论上是这样。但制造芯片是个复杂的过程,需要各方面不断打磨,才能接近理想的结果。现实中的例子,台积 ...

    9 c; J8 q+ @7 X这倒是个问题。都说韩国人拼,看来还是拼不过中国人。台湾人也是中国人嘛。
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    28#
    发表于 2024-9-17 11:19:08 | 只看该作者
    moletronic 发表于 2024-9-17 10:54
    * W4 B, ~) D$ g, P按说这个跨越不算大,但Nikon就是浸水没搞定
    + X' B! Y% L! a3 }, V. h. l, Z) T& _所以俺不敢做预测,只敢对已知的做评述 ...

    9 I) K* S  k0 t# C7 R! [: M还没搞定? 3 J* u$ C- B+ D; v7 v, d/ I
    我可能是09年去给Nikon做实验,他们想搞明白光刻机里面为什么会产生微气泡,想买个做实验的系统。我在的小破公司搭了一个,然后过去一起做,看能不能用。那个时候估计还是早期,这些基础的问题都没个数。做了几个实验,证明可以捕捉到微气泡发生,成长和运动的轨迹,我就撤了。这都十五年过去了。7 n5 f3 _0 j" ?% T# v
    尼康那时候已经有点不灵的迹象,食堂里面睡满了安装队的人。正常的话那些人都是满世界跑给别人装机器的。& r8 i$ c+ E0 Z, k& L+ R

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    坛里藏龙卧虎啊  发表于 2024-9-17 15:31

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    29#
    发表于 2024-9-17 11:21:47 | 只看该作者
    moletronic 发表于 2024-9-16 20:546 P3 K5 G0 }+ @5 K- w; B
    按说这个跨越不算大,但Nikon就是浸水没搞定
    2 z7 z  ]2 W7 W+ M% i. \7 C6 u所以俺不敢做预测,只敢对已知的做评述 ...
    ( W& v9 U0 l! M, F: W; L
    突然想起来:现在就聚焦于逻辑芯片,存储芯片用的芯片技术一样吗?前一段听说长江还是谁的128还是256层NAND也被卡了,因为光刻机的事,这说法准确吗?高端NAND需要多少nm节点的光刻机?
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    30#
    发表于 2024-9-17 11:23:33 | 只看该作者
    晨枫 发表于 2024-9-17 11:13! t9 l0 z5 h) x# l* U6 f) s
    有道理。
    " R& F1 c6 w% i# i& n, B/ F
    # L) J3 ]+ ^4 h9 L# m# K不过现在看尼康和佳能的光刻机,总有感觉他们已经三心二意了。既然干不过阿斯麦,就用最小投资 ...
    & L% S9 W' m! T2 b
    可能是真没钱投资了。这些钱政府应该赞助的,可是政府也难呐,到处都是嗷嗷待哺的嘴,捉了个虫也不知道塞哪张嘴里。, A$ K! |6 L( l; N$ d
    很多年前日本媒体评价日本财政用了很形象的词,叫硬直化。所有的钱都有定好的用处,几乎没有活动钱。需要财政支持的时候十分狼狈。该做的事情做不了,钱全都拿去维持日常运转了。

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      发表于 2024-9-17 15:32

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  • TA的每日心情
    开心
    2023-2-8 04:51
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    [LV.Master]无

    31#
     楼主| 发表于 2024-9-17 11:28:54 | 只看该作者
    本帖最后由 moletronic 于 2024-9-16 19:33 编辑
    / Y& A9 {9 G% v6 r! e0 S
    雷声 发表于 2024-9-16 19:19$ }  N3 {7 Q( `/ A! _9 O" a
    还没搞定? % ^& M* K' K( k4 l4 V+ y% N
    我可能是09年去给Nikon做实验,他们想搞明白光刻机里面为什么会产生微气泡,想买个做实验的 ...
    ! Q5 |. L8 l1 X# L5 _! E
    8 u, D/ e8 }7 m+ n. W, G
    Nikon是稳定性不行,被牙膏退货后就没人再买。疫情前去开spie的会,Nikon还吹牛自己行了,但主流客户没人用。
    / G& d3 B8 F/ x2 x, y0 \有网上谣言说华为买了些Nikon自己魔改做出了9100…俺比较怀疑真实性。
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  • TA的每日心情
    开心
    2023-2-8 04:51
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    [LV.Master]无

    32#
     楼主| 发表于 2024-9-17 11:31:01 | 只看该作者
    晨枫 发表于 2024-9-16 19:212 T; W: A/ B/ b* X' ]9 E
    突然想起来:现在就聚焦于逻辑芯片,存储芯片用的芯片技术一样吗?前一段听说长江还是谁的128还是256层NA ...
    - a# Z4 R- S# `7 n" ]
    存储和逻辑的工艺重点不一样,节点体系也不同。存储那边现在还没上EUV。
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    33#
    发表于 2024-9-17 11:34:00 | 只看该作者
    moletronic 发表于 2024-9-16 21:31( q3 P+ W$ N' }  g( q% _
    存储和逻辑的工艺重点不一样,节点体系也不同。存储那边现在还没上EUV。 ...
    . |( j, k0 v0 a: l3 }; U
    需要用到浸润DUV吗?9 n" d4 c% J! k  j0 b! e
    - h" P" C0 I) _& _) ]3 g
    我的问题其实是:65nm光刻机能解决国内NAND厂的设备禁运问题吗?
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  • TA的每日心情
    开心
    2023-2-8 04:51
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    [LV.Master]无

    34#
     楼主| 发表于 2024-9-17 11:37:50 | 只看该作者
    晨枫 发表于 2024-9-16 19:34
      `+ j6 T+ h' P0 O$ [1 h需要用到浸润DUV吗?
    ' M9 c, O6 ^: U" u  {# A0 a9 i- a( X, r& l
    我的问题其实是:65nm光刻机能解决国内NAND厂的设备禁运问题吗? ...

    3 l) I- d0 k- i6 W0 W2 X浸水还是要的,这国产光刻机按公布的指标应该还是没法满足YMTC的全部要求。
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    35#
    发表于 2024-9-17 11:38:06 | 只看该作者
    雷声 发表于 2024-9-16 21:230 a& t, F: h  h8 O
    可能是真没钱投资了。这些钱政府应该赞助的,可是政府也难呐,到处都是嗷嗷待哺的嘴,捉了个虫也不知道塞 ...

    $ t+ w! t: a- v; s- |# a$ R% y是的,需要钱的地方太多,但光刻机和芯片可能是不计代价砸钱的方向,优先级比谁都高。这个瓶颈突破后,不只是军事、科技上的阳关道,经济上也是大片的处女地啊。
      X4 I4 Z- k& Z4 x' Y3 \9 E2 _. |9 K4 V5 k, _; f( _) ~) S
    硬直化很形象。确实,西方家大业大,花钱手笔也大,但每一笔钱都预定了用处,活动余地真心很小。你看看美国在预算削减时那个鸡飞狗跳,就知道真是谁都动不得。“平均剃头”是公认的最坏选择,但是唯一大家可接受的选择。
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    36#
    发表于 2024-9-17 11:40:47 | 只看该作者
    moletronic 发表于 2024-9-16 21:37
      K9 o! e0 f( t6 M# m& @7 y浸水还是要的,这国产光刻机按公布的指标应该还是没法满足YMTC的全部要求。 ...

    1 a9 x! H) R5 G& V都说工信部这光刻机不是浸润式,但193nm光源,65nm分辨率,正好是2*1.44倍,是不是太巧了?
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    37#
    发表于 2024-9-17 11:43:29 | 只看该作者
    moletronic 发表于 2024-9-17 10:54
    - B' t# h' g' j% P7 b( Q" G按说这个跨越不算大,但Nikon就是浸水没搞定
      s  L$ S, X5 l+ |所以俺不敢做预测,只敢对已知的做评述 ...
    + K* S2 y. {5 g/ K7 J0 k
    具体工作中还是有很多细节要克服。例如曝光时照到光的水会比遮蔽区的水热一点,这个温差会让水的密度不均匀,从而折射率不均匀,影响成像。为了避免温差,必须让水快速流动混合,但又要避免产生漩涡或者析出气泡。水可以把所接触物品上的杂质洗下来,带到晶圆上,形成缺陷。当初ASML搞浸润式光刻机时,在浸液系统上与林本坚团队合作,方案修改了7-8回,耗时两年多才取得满意的结果。

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  • TA的每日心情
    开心
    2023-2-8 04:51
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    [LV.Master]无

    38#
     楼主| 发表于 2024-9-17 11:59:49 | 只看该作者
    本帖最后由 moletronic 于 2024-9-16 20:02 编辑
    2 z7 K' v' @. ]! u
    沉宝 发表于 2024-9-16 19:43
    : ?& c3 s8 E4 B) K. b8 `具体工作中还是有很多细节要克服。例如曝光时照到光的水会比遮蔽区的水热一点,这个温差会让水的密度不均 ...

    , F% a1 U6 a3 n7 S2 x" c6 g; @
    . b5 D5 S: c8 \/ Y( K. ]: a: A这当然不容易,不过两年挺快啦,看看牙膏的10nm……
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  • TA的每日心情
    开心
    2023-2-8 04:51
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    39#
     楼主| 发表于 2024-9-17 12:01:58 | 只看该作者
    晨枫 发表于 2024-9-16 19:40
    : v" u6 v1 O6 i都说工信部这光刻机不是浸润式,但193nm光源,65nm分辨率,正好是2*1.44倍,是不是太巧了? ...
    6 }+ Z4 P; j( |2 Y
    不知道啦,也许是隐晦放风的说法。
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    40#
    发表于 2024-9-17 17:38:39 | 只看该作者
    晨枫 发表于 2024-9-17 11:13; v' J: B% H) R/ Y6 C
    这倒是个问题。都说韩国人拼,看来还是拼不过中国人。台湾人也是中国人嘛。 ...

    / }" C2 W: B- n中国大,各地方人气质不一,各擅胜场。精细活儿江南地方超过东北山东。如此说来,韩国近东北山东,台湾精英是江浙后代。
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