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[科普知识] 国产光刻机猜测

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  • TA的每日心情
    慵懒
    2022-8-27 22:14
  • 签到天数: 351 天

    [LV.8]合体

    21#
    发表于 2024-9-17 08:06:46 | 只看该作者
    晨枫 发表于 2024-9-16 14:00
    ; E8 `6 o! f) l也就是说,即使28nm现在还有光刻机瓶颈,其他也都就绪、只欠东风了。这是好事!
    , y! ^% k. ^: J9 X+ L
    8 D+ j1 Z: t8 L- `1 ~, \4 s个人感觉:相比于前一阵 ...

    : h5 H$ b6 h& o/ k2 r6 S8 G; [4 l! y0 k
    这就要西方好好领教什么叫产能过剩了。
    " l; F% n* U1 {3 |( n
    应该会在5年内实现吧。
    $ o7 @$ r; g  w+ J  y3 w; B$ h  c( c  W% c
    微博上有位“沉睡之书11”说的。(不一定准确,可以看看). i( W" l2 I2 J6 _4 N+ N
    24-9-16 23:55$ r  n( F4 m  n$ A0 h( d
    发布于 湖南" v9 @7 l2 k5 z0 {) q- G  R
    来自 微博网页版
    # _) _0 D8 ?; ]+ t7 e) l5 s: o0 K# @" D啊,说过很多次了,#光刻机# 不是挖机% w0 a% }6 C/ c! h  J
    不是运过来就能直接开工的。. ~( f" x7 a$ R( ~) ]
    他需要调试,需要不断的用,一边用一边调整,等光学畸变稳定——你可以理解为拷机或者汽车发动热机暖机。9 O7 Y9 P  d: u. `' j
    3 ~2 }; ^/ Q6 k
    这个时间很长,也是我常年说:
    ! T$ a  T1 K0 f6 l, I6 I" ~就算今天ASML传送一台EUV给咱,我们拿到第一批量产的芯片流片完(无论7nm,5nm还是多少)起码2年后——这最乐观的2年时间,还得是对EUV非常有经验的顶级工程师来操作优化。
    0 M, ]# P4 J0 ?7 R: G* [/ O( e' }1 {9 u
    ! m3 `- d1 y6 {# E& d/ I4 z- H% p现在发布的这台机器是起码3年前就验收了(科工),现在工信部验收推广(产业链),成熟得不行了才拿出来的。你需要,给钱就有,不限量。
    ! v0 O; G8 l% ]4 _0 [$ j, `0 O
    简单理解就是——这机子是干式光刻机,做的是65-55nm的芯片,一次曝光。- \" q) s9 o; e; E
    干式光刻机没啥意义,为什么呢?因为改进之后的也可以出产低制程的,向下兼容并且良率更高(成本低方案成熟)! a+ c  |7 I6 G0 S
    多重曝光也不是这哥们来做……(我是不清楚干式光刻机有没人搞这个)
    ) I( s& j" [* J$ ^2 W) e7 r但这玩意的光路设计啥的,是成型了的。有了它,就加浸没式透镜,修改物镜,最终成品是目前没有验收但肯定存在某个地方的浸没式光刻机,但起码上线了2年了
    - q. s9 ^  ]9 w
    ( q+ q2 v! i' D* R( R% n2 A) u0 l没公布的那个肯定还在不断的调试,修改,更换国产配件。. X% D+ l* l! K  O2 |
    普通人不用管光刻机啥情况——你就看最终产品就是。4 n$ d6 p: j; q* P" S, E9 D
    #华为mate70# 也没多久了。
    ( j; H, M' `9 n4 e) f$ s

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    这真是极好的: 5.0
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      发表于 2024-9-18 15:38
    给力: 5 涨姿势: 5 这真是极好的: 5
      发表于 2024-9-17 08:38
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  • TA的每日心情
    开心
    2023-2-8 04:51
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    [LV.Master]无

    22#
     楼主| 发表于 2024-9-17 08:15:36 | 只看该作者
    老财迷 发表于 2024-9-16 16:06( e7 r$ C) b9 B$ O9 I0 b$ R# m& R
    应该会在5年内实现吧。& s( Q- ^; G# ^3 h: `8 D
    9 H0 o* e, I0 _; e& p
    微博上有位“沉睡之书11”说的。(不一定准确,可以看看)
    * q0 i/ t8 F9 ?5 L/ c/ ~, I

    % Z8 k% e& h/ }5 N. p$ U! Q7 Z. {这个有点扯,新机到货后肯定要调试的,但绝对用不了两年的时间。

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    以你说的为准 :)  发表于 2024-9-17 15:27

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    23#
    发表于 2024-9-17 08:39:20 | 只看该作者
    moletronic 发表于 2024-9-16 18:150 |8 c2 o& R: h  q" Q/ l
    这个有点扯,新机到货后肯定要调试的,但绝对用不了两年的时间。
    8 x9 J, a7 h4 x. j+ `4 N8 Q9 r# f
    但干式到浸润的步子没那么大,这说对了吗?
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  • TA的每日心情
    开心
    2023-2-8 04:51
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    [LV.Master]无

    24#
     楼主| 发表于 2024-9-17 10:54:17 | 只看该作者
    本帖最后由 moletronic 于 2024-9-16 18:56 编辑
    , S  B+ A; W. Z+ I8 Y% A- A$ J
    晨枫 发表于 2024-9-16 16:39
    2 K1 ?4 W8 [% j9 P6 A* I! c但干式到浸润的步子没那么大,这说对了吗?

    : Y3 K9 f+ i: O- R
    4 O: y, P( w' Y' s- U) X# F' i按说这个跨越不算大,但Nikon就是浸水没搞定2 L9 O. R; ^- Q2 _9 w* `
    所以俺不敢做预测,只敢对已知的做评述

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    25#
    发表于 2024-9-17 11:08:25 | 只看该作者
    晨枫 发表于 2024-9-17 03:34# \) b$ ^: J- F( L. `9 N7 E2 `" V  e
    不过EUV制作7nm可以轻易一次曝光,产率和良率应该提高很多?
    ' E/ |9 C+ M4 Q* R1 _
    理论上是这样。但制造芯片是个复杂的过程,需要各方面不断打磨,才能接近理想的结果。现实中的例子,台积电用193nm光刻机率先量产7nm,三星则以更先进的EUV光刻机应战,由于对新型光刻机的熟悉不足,结果良率低下,很多人抛弃三星。最后三星赔本赚吆喝,开出比台积电低30%的代工费用,才勉强留下大客户。

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      发表于 2024-9-17 15:28

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    26#
    发表于 2024-9-17 11:13:01 | 只看该作者
    moletronic 发表于 2024-9-16 20:540 F4 z- o9 ~% s  c
    按说这个跨越不算大,但Nikon就是浸水没搞定
    * j# }( {  n0 K$ Q0 C7 ~; S" j所以俺不敢做预测,只敢对已知的做评述 ...

    4 w& q. T9 P, ?# e/ l9 E4 a6 O2 J有道理。- _3 e% ]8 o: K" }# s3 V1 ~2 D$ t
    " c8 \6 y" ]) W# f" T
    不过现在看尼康和佳能的光刻机,总有感觉他们已经三心二意了。既然干不过阿斯麦,就用最小投资吊着。不退场,但也不全力以赴。
    2 p7 G0 \0 q+ ~0 F: m) e! C! |8 r4 }& ]7 J% V( L4 h) v1 s
    中国肯定是全力以赴的。而且倾国之力肯定大于尼康、佳能。. ~# |) ]9 T- t5 }, v* r. \+ [! C5 k# l

    6 H) l1 j5 V% f, \4 w: R这会有差别吗?
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    27#
    发表于 2024-9-17 11:13:37 | 只看该作者
    沉宝 发表于 2024-9-16 21:08
    " T2 B6 i2 g2 |1 v- c& C理论上是这样。但制造芯片是个复杂的过程,需要各方面不断打磨,才能接近理想的结果。现实中的例子,台积 ...

    ) ]! i  }3 R* i0 _/ }这倒是个问题。都说韩国人拼,看来还是拼不过中国人。台湾人也是中国人嘛。
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    28#
    发表于 2024-9-17 11:19:08 | 只看该作者
    moletronic 发表于 2024-9-17 10:54$ f  ^" ]" S: I+ h/ }$ r4 E
    按说这个跨越不算大,但Nikon就是浸水没搞定; r8 Y( x; X3 X6 L
    所以俺不敢做预测,只敢对已知的做评述 ...

    ) I; U1 w/ u% p还没搞定?
    5 l  t# ]6 z* \  ^$ v2 t, ^6 \我可能是09年去给Nikon做实验,他们想搞明白光刻机里面为什么会产生微气泡,想买个做实验的系统。我在的小破公司搭了一个,然后过去一起做,看能不能用。那个时候估计还是早期,这些基础的问题都没个数。做了几个实验,证明可以捕捉到微气泡发生,成长和运动的轨迹,我就撤了。这都十五年过去了。
    ; @2 }' P; T  [# A+ R+ v# k5 G  `/ e- m, P尼康那时候已经有点不灵的迹象,食堂里面睡满了安装队的人。正常的话那些人都是满世界跑给别人装机器的。
    - I/ B1 n& H" X0 C2 J$ w! H3 F6 [& Y

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    坛里藏龙卧虎啊  发表于 2024-9-17 15:31

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    唐家山 + 4 伙呆了
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    29#
    发表于 2024-9-17 11:21:47 | 只看该作者
    moletronic 发表于 2024-9-16 20:54* q" E4 l# d, d& X
    按说这个跨越不算大,但Nikon就是浸水没搞定: B" ~9 Y/ n9 R, l. R0 L0 N, ]
    所以俺不敢做预测,只敢对已知的做评述 ...
    . m9 S' O1 p& a9 _
    突然想起来:现在就聚焦于逻辑芯片,存储芯片用的芯片技术一样吗?前一段听说长江还是谁的128还是256层NAND也被卡了,因为光刻机的事,这说法准确吗?高端NAND需要多少nm节点的光刻机?
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    30#
    发表于 2024-9-17 11:23:33 | 只看该作者
    晨枫 发表于 2024-9-17 11:13& |" x. A+ N" H- x8 P
    有道理。+ h. K; T! \/ w$ h: A( ^
    7 W% N# G  B3 K9 ^7 y
    不过现在看尼康和佳能的光刻机,总有感觉他们已经三心二意了。既然干不过阿斯麦,就用最小投资 ...

    2 z. U6 g  q* h: I# ~可能是真没钱投资了。这些钱政府应该赞助的,可是政府也难呐,到处都是嗷嗷待哺的嘴,捉了个虫也不知道塞哪张嘴里。, D% Q7 y/ ^/ U' R5 M# p
    很多年前日本媒体评价日本财政用了很形象的词,叫硬直化。所有的钱都有定好的用处,几乎没有活动钱。需要财政支持的时候十分狼狈。该做的事情做不了,钱全都拿去维持日常运转了。

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      发表于 2024-9-17 15:32

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    2023-2-8 04:51
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    31#
     楼主| 发表于 2024-9-17 11:28:54 | 只看该作者
    本帖最后由 moletronic 于 2024-9-16 19:33 编辑 4 D5 n! F5 Q  D  b: p$ H8 D
    雷声 发表于 2024-9-16 19:19
    & y" _4 K: ]* J  R" `1 V还没搞定?
    % v; |$ J4 \9 i( x, E4 d, ~! I我可能是09年去给Nikon做实验,他们想搞明白光刻机里面为什么会产生微气泡,想买个做实验的 ...
    , D3 a4 i+ Y& S$ Y  ^

    3 q9 V, r1 b+ M2 b0 zNikon是稳定性不行,被牙膏退货后就没人再买。疫情前去开spie的会,Nikon还吹牛自己行了,但主流客户没人用。
      Q; Z1 M( ~2 z( s  W. h有网上谣言说华为买了些Nikon自己魔改做出了9100…俺比较怀疑真实性。
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    2023-2-8 04:51
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    32#
     楼主| 发表于 2024-9-17 11:31:01 | 只看该作者
    晨枫 发表于 2024-9-16 19:214 d7 E! J1 g  ?: }& `! w/ o
    突然想起来:现在就聚焦于逻辑芯片,存储芯片用的芯片技术一样吗?前一段听说长江还是谁的128还是256层NA ...
    5 M- C! @+ l. |6 C
    存储和逻辑的工艺重点不一样,节点体系也不同。存储那边现在还没上EUV。
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    33#
    发表于 2024-9-17 11:34:00 | 只看该作者
    moletronic 发表于 2024-9-16 21:31
    . D! e* O  a: d; l: h: [, `存储和逻辑的工艺重点不一样,节点体系也不同。存储那边现在还没上EUV。 ...
    6 X9 \, E4 k9 H/ E6 L" h  z2 [
    需要用到浸润DUV吗?# c, l' T5 u7 ^. @

    ( u- n7 p- o: V" o. r我的问题其实是:65nm光刻机能解决国内NAND厂的设备禁运问题吗?
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    开心
    2023-2-8 04:51
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    34#
     楼主| 发表于 2024-9-17 11:37:50 | 只看该作者
    晨枫 发表于 2024-9-16 19:34. }8 o& i3 c- c) G7 U1 O0 I
    需要用到浸润DUV吗?
    5 N+ ~) \8 L& d9 N1 k1 H; V3 a6 w' }8 |- X1 v) f
    我的问题其实是:65nm光刻机能解决国内NAND厂的设备禁运问题吗? ...
    ( Z- p" z8 W. e. v
    浸水还是要的,这国产光刻机按公布的指标应该还是没法满足YMTC的全部要求。
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    35#
    发表于 2024-9-17 11:38:06 | 只看该作者
    雷声 发表于 2024-9-16 21:234 s7 o6 o' _1 E$ p/ \) Q0 I2 ]4 l; G5 y
    可能是真没钱投资了。这些钱政府应该赞助的,可是政府也难呐,到处都是嗷嗷待哺的嘴,捉了个虫也不知道塞 ...

    , y! t1 u: h+ V! |是的,需要钱的地方太多,但光刻机和芯片可能是不计代价砸钱的方向,优先级比谁都高。这个瓶颈突破后,不只是军事、科技上的阳关道,经济上也是大片的处女地啊。- G, x! c' |" b! {8 H

    2 i" k# ?' [* ?( N) A: z/ O& H硬直化很形象。确实,西方家大业大,花钱手笔也大,但每一笔钱都预定了用处,活动余地真心很小。你看看美国在预算削减时那个鸡飞狗跳,就知道真是谁都动不得。“平均剃头”是公认的最坏选择,但是唯一大家可接受的选择。
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    36#
    发表于 2024-9-17 11:40:47 | 只看该作者
    moletronic 发表于 2024-9-16 21:37
    / I9 X$ q- f6 d& U浸水还是要的,这国产光刻机按公布的指标应该还是没法满足YMTC的全部要求。 ...
    % q% ~/ w6 Y  O# p
    都说工信部这光刻机不是浸润式,但193nm光源,65nm分辨率,正好是2*1.44倍,是不是太巧了?
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    37#
    发表于 2024-9-17 11:43:29 | 只看该作者
    moletronic 发表于 2024-9-17 10:54# v; l+ \' ]7 s- a3 h( z
    按说这个跨越不算大,但Nikon就是浸水没搞定
    4 C# Q! G! ^1 T0 q8 U. q所以俺不敢做预测,只敢对已知的做评述 ...

    % T1 G7 U8 X# T. F0 \$ l+ s具体工作中还是有很多细节要克服。例如曝光时照到光的水会比遮蔽区的水热一点,这个温差会让水的密度不均匀,从而折射率不均匀,影响成像。为了避免温差,必须让水快速流动混合,但又要避免产生漩涡或者析出气泡。水可以把所接触物品上的杂质洗下来,带到晶圆上,形成缺陷。当初ASML搞浸润式光刻机时,在浸液系统上与林本坚团队合作,方案修改了7-8回,耗时两年多才取得满意的结果。

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  • TA的每日心情
    开心
    2023-2-8 04:51
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    38#
     楼主| 发表于 2024-9-17 11:59:49 | 只看该作者
    本帖最后由 moletronic 于 2024-9-16 20:02 编辑
    6 F5 c9 V" u; Y' o+ y
    沉宝 发表于 2024-9-16 19:438 W* M! j7 i6 o' y) f" E( [- j4 b3 G
    具体工作中还是有很多细节要克服。例如曝光时照到光的水会比遮蔽区的水热一点,这个温差会让水的密度不均 ...

    ( a' T3 e* u3 @- |; q9 y2 s
    6 L2 R. R) C" W+ i& E这当然不容易,不过两年挺快啦,看看牙膏的10nm……
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    开心
    2023-2-8 04:51
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    39#
     楼主| 发表于 2024-9-17 12:01:58 | 只看该作者
    晨枫 发表于 2024-9-16 19:40
    7 m1 B5 h; O+ a4 v1 @6 `3 J9 u7 x都说工信部这光刻机不是浸润式,但193nm光源,65nm分辨率,正好是2*1.44倍,是不是太巧了? ...
    9 v" `$ ?" ^$ Y9 A7 j
    不知道啦,也许是隐晦放风的说法。
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    40#
    发表于 2024-9-17 17:38:39 | 只看该作者
    晨枫 发表于 2024-9-17 11:13! J$ x) j7 H: D3 I, E: I. M) b
    这倒是个问题。都说韩国人拼,看来还是拼不过中国人。台湾人也是中国人嘛。 ...

    - p/ x/ y2 A6 I9 C! W1 o" ^中国大,各地方人气质不一,各擅胜场。精细活儿江南地方超过东北山东。如此说来,韩国近东北山东,台湾精英是江浙后代。
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