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楼主: moletronic
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[科普知识] 国产光刻机猜测

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  • TA的每日心情
    慵懒
    2022-8-27 22:14
  • 签到天数: 351 天

    [LV.8]合体

    21#
    发表于 2024-9-17 08:06:46 | 只看该作者
    晨枫 发表于 2024-9-16 14:00
    1 I5 ?2 S; h% J2 u: _9 m也就是说,即使28nm现在还有光刻机瓶颈,其他也都就绪、只欠东风了。这是好事!0 v* c8 t  d! r3 |2 g7 W
    3 U* ^7 @4 i8 m7 w
    个人感觉:相比于前一阵 ...
    3 @3 l1 C5 Y. K& c* ?. q7 a3 O

    ) f% d% z. V# d! S3 v+ ^
    这就要西方好好领教什么叫产能过剩了。
    . }* @. q8 n9 S! H
    应该会在5年内实现吧。0 F2 |; ]) i! K2 F, v

    % C' o# E5 e" D: B6 C4 n, c微博上有位“沉睡之书11”说的。(不一定准确,可以看看)
    5 E' q7 Y3 F  x/ y3 K24-9-16 23:55
      A) }* E; b2 M! u发布于 湖南
    . l* ^* P% Q; z1 n4 l/ B/ |来自 微博网页版
    ; n5 f) [) Q$ Q+ n/ G啊,说过很多次了,#光刻机# 不是挖机: c! Y: @% x, L! _# ^" {
    不是运过来就能直接开工的。
    . U4 m& h' r/ s# T, P他需要调试,需要不断的用,一边用一边调整,等光学畸变稳定——你可以理解为拷机或者汽车发动热机暖机。
    7 X! b9 x& C0 o- ~4 c4 X5 t0 k6 W$ Y- w7 h
    这个时间很长,也是我常年说:5 g/ L& e7 q# a3 v! `' `3 {/ d
    就算今天ASML传送一台EUV给咱,我们拿到第一批量产的芯片流片完(无论7nm,5nm还是多少)起码2年后——这最乐观的2年时间,还得是对EUV非常有经验的顶级工程师来操作优化。4 m: R7 H) E( A

    $ ?/ z/ J! G# V( M) ^  A7 e现在发布的这台机器是起码3年前就验收了(科工),现在工信部验收推广(产业链),成熟得不行了才拿出来的。你需要,给钱就有,不限量。8 m: X( q, R) e2 [% n  P# }
    ' U2 L6 v" K+ A8 r3 z! c
    简单理解就是——这机子是干式光刻机,做的是65-55nm的芯片,一次曝光。
    5 H! z" x$ ]. @! i7 o& H干式光刻机没啥意义,为什么呢?因为改进之后的也可以出产低制程的,向下兼容并且良率更高(成本低方案成熟)
    : J) M6 {# e# {  N6 g多重曝光也不是这哥们来做……(我是不清楚干式光刻机有没人搞这个)  H: V5 R, l. r( N- u8 ?- G
    但这玩意的光路设计啥的,是成型了的。有了它,就加浸没式透镜,修改物镜,最终成品是目前没有验收但肯定存在某个地方的浸没式光刻机,但起码上线了2年了6 B$ p& c9 Z7 {& P7 h( b' O1 g
    0 n- X3 k& p1 [: P3 o0 h
    没公布的那个肯定还在不断的调试,修改,更换国产配件。* r7 t- g0 B. w- }
    普通人不用管光刻机啥情况——你就看最终产品就是。
    , M8 o9 P  }2 H  v- H4 s9 m+ g7 V  ~#华为mate70# 也没多久了。
      x% b# ]; U" R5 @1 a$ ^

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    这真是极好的: 5.0
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      发表于 2024-9-18 15:38
    给力: 5 涨姿势: 5 这真是极好的: 5
      发表于 2024-9-17 08:38
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  • TA的每日心情
    开心
    2023-2-8 04:51
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    [LV.Master]无

    22#
     楼主| 发表于 2024-9-17 08:15:36 | 只看该作者
    老财迷 发表于 2024-9-16 16:06
    ' i% ?% Z8 m5 L3 M应该会在5年内实现吧。
      p9 Q$ B" {, u; H! W8 |  n% G/ F0 r$ y4 C( U4 z6 X
    微博上有位“沉睡之书11”说的。(不一定准确,可以看看)
    ' x4 t) s1 S* a

    + E2 K( `6 W9 I这个有点扯,新机到货后肯定要调试的,但绝对用不了两年的时间。

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    油菜: 5 给力: 5
    以你说的为准 :)  发表于 2024-9-17 15:27

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    23#
    发表于 2024-9-17 08:39:20 | 只看该作者
    moletronic 发表于 2024-9-16 18:15
    4 Y  F% h/ @$ Z  Z这个有点扯,新机到货后肯定要调试的,但绝对用不了两年的时间。
    / v4 T" G  G3 b$ @
    但干式到浸润的步子没那么大,这说对了吗?
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  • TA的每日心情
    开心
    2023-2-8 04:51
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    [LV.Master]无

    24#
     楼主| 发表于 2024-9-17 10:54:17 | 只看该作者
    本帖最后由 moletronic 于 2024-9-16 18:56 编辑
    + }1 _- R) Q9 j9 f) L. k
    晨枫 发表于 2024-9-16 16:39+ X1 q& }7 O' B' ^
    但干式到浸润的步子没那么大,这说对了吗?
    % D8 R; c0 W' E- D6 M  }7 F( k( k
    + t" z; E8 ~$ D
    按说这个跨越不算大,但Nikon就是浸水没搞定2 r) x/ s/ y) l% [; l
    所以俺不敢做预测,只敢对已知的做评述

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    25#
    发表于 2024-9-17 11:08:25 | 只看该作者
    晨枫 发表于 2024-9-17 03:34
    / A/ n( e) Y7 L不过EUV制作7nm可以轻易一次曝光,产率和良率应该提高很多?

    0 D' o1 e7 R+ j  t0 q- E理论上是这样。但制造芯片是个复杂的过程,需要各方面不断打磨,才能接近理想的结果。现实中的例子,台积电用193nm光刻机率先量产7nm,三星则以更先进的EUV光刻机应战,由于对新型光刻机的熟悉不足,结果良率低下,很多人抛弃三星。最后三星赔本赚吆喝,开出比台积电低30%的代工费用,才勉强留下大客户。

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      发表于 2024-9-17 15:28

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    26#
    发表于 2024-9-17 11:13:01 | 只看该作者
    moletronic 发表于 2024-9-16 20:54# i/ T+ }% S# d/ [5 N" r
    按说这个跨越不算大,但Nikon就是浸水没搞定
    : O5 B) i3 z! T6 J; Q所以俺不敢做预测,只敢对已知的做评述 ...

    4 q! X2 t+ j/ f7 c- b有道理。
    9 {6 H- D) `6 w* z$ H. ?& {
    , }2 Z5 D! n! ?) v不过现在看尼康和佳能的光刻机,总有感觉他们已经三心二意了。既然干不过阿斯麦,就用最小投资吊着。不退场,但也不全力以赴。8 Q. j/ \) j# _  q

    ) v0 e& Z- m, x3 x* q; E中国肯定是全力以赴的。而且倾国之力肯定大于尼康、佳能。2 p: g+ [2 D, f( Q2 [* F
      U( j7 e0 F! k. W0 |4 c. u) N
    这会有差别吗?
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    27#
    发表于 2024-9-17 11:13:37 | 只看该作者
    沉宝 发表于 2024-9-16 21:08
    2 I; X$ D! _4 r: R4 M- s. G理论上是这样。但制造芯片是个复杂的过程,需要各方面不断打磨,才能接近理想的结果。现实中的例子,台积 ...
    ) r( ?2 x: ?: ]' l- H
    这倒是个问题。都说韩国人拼,看来还是拼不过中国人。台湾人也是中国人嘛。
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    28#
    发表于 2024-9-17 11:19:08 | 只看该作者
    moletronic 发表于 2024-9-17 10:54
    ( t1 A' L# S" K7 l0 [按说这个跨越不算大,但Nikon就是浸水没搞定( m/ N$ ?2 C% U0 _0 F& u: M( n
    所以俺不敢做预测,只敢对已知的做评述 ...
    7 A% o0 f  m( M- D3 k8 E
    还没搞定?
    5 l- O6 x( J: a0 l我可能是09年去给Nikon做实验,他们想搞明白光刻机里面为什么会产生微气泡,想买个做实验的系统。我在的小破公司搭了一个,然后过去一起做,看能不能用。那个时候估计还是早期,这些基础的问题都没个数。做了几个实验,证明可以捕捉到微气泡发生,成长和运动的轨迹,我就撤了。这都十五年过去了。, o) `% \; ]  U6 B( r" ~
    尼康那时候已经有点不灵的迹象,食堂里面睡满了安装队的人。正常的话那些人都是满世界跑给别人装机器的。3 \4 k6 S9 \4 O3 e, k

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    坛里藏龙卧虎啊  发表于 2024-9-17 15:31

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    29#
    发表于 2024-9-17 11:21:47 | 只看该作者
    moletronic 发表于 2024-9-16 20:54
    6 m8 s* H' P, F. y, F  T* B按说这个跨越不算大,但Nikon就是浸水没搞定+ M- D9 i0 g( l
    所以俺不敢做预测,只敢对已知的做评述 ...
    9 v3 L, Y0 n# W% n" w0 y
    突然想起来:现在就聚焦于逻辑芯片,存储芯片用的芯片技术一样吗?前一段听说长江还是谁的128还是256层NAND也被卡了,因为光刻机的事,这说法准确吗?高端NAND需要多少nm节点的光刻机?
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    30#
    发表于 2024-9-17 11:23:33 | 只看该作者
    晨枫 发表于 2024-9-17 11:13
    " L% G: |) H% u' v1 n' q有道理。/ v, I1 S3 x# Q, R3 T
    2 J6 c) y+ ?1 \8 r- c' N+ ~9 G9 w. _
    不过现在看尼康和佳能的光刻机,总有感觉他们已经三心二意了。既然干不过阿斯麦,就用最小投资 ...

    & A6 I* ^# R5 t: P5 L* d可能是真没钱投资了。这些钱政府应该赞助的,可是政府也难呐,到处都是嗷嗷待哺的嘴,捉了个虫也不知道塞哪张嘴里。
    2 l' _2 t3 u9 q: g很多年前日本媒体评价日本财政用了很形象的词,叫硬直化。所有的钱都有定好的用处,几乎没有活动钱。需要财政支持的时候十分狼狈。该做的事情做不了,钱全都拿去维持日常运转了。

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      发表于 2024-9-17 15:32

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  • TA的每日心情
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    31#
     楼主| 发表于 2024-9-17 11:28:54 | 只看该作者
    本帖最后由 moletronic 于 2024-9-16 19:33 编辑 7 ]' L% y1 v6 G
    雷声 发表于 2024-9-16 19:19+ N7 X$ ~' T! n# W
    还没搞定? 1 w% I7 {3 ?; ^; }! l) C
    我可能是09年去给Nikon做实验,他们想搞明白光刻机里面为什么会产生微气泡,想买个做实验的 ...
    " C6 A+ E6 N% K, G+ P' C, w9 b
    - e- M+ K0 ?: t
    Nikon是稳定性不行,被牙膏退货后就没人再买。疫情前去开spie的会,Nikon还吹牛自己行了,但主流客户没人用。
    + E2 ~/ o, @; w  v7 P有网上谣言说华为买了些Nikon自己魔改做出了9100…俺比较怀疑真实性。
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    开心
    2023-2-8 04:51
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    32#
     楼主| 发表于 2024-9-17 11:31:01 | 只看该作者
    晨枫 发表于 2024-9-16 19:21
    * A2 r) A  N* X3 T突然想起来:现在就聚焦于逻辑芯片,存储芯片用的芯片技术一样吗?前一段听说长江还是谁的128还是256层NA ...

    ! e9 @% G) I8 F" l5 K4 d$ ?2 X- S. v存储和逻辑的工艺重点不一样,节点体系也不同。存储那边现在还没上EUV。
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    33#
    发表于 2024-9-17 11:34:00 | 只看该作者
    moletronic 发表于 2024-9-16 21:31& |/ X( `7 f5 b% c9 n5 |
    存储和逻辑的工艺重点不一样,节点体系也不同。存储那边现在还没上EUV。 ...
    ; o+ ~$ _: D: D6 K9 c" Q
    需要用到浸润DUV吗?
    7 g" t# J( Q' }( ^9 P. u2 Q. v* s0 B
    我的问题其实是:65nm光刻机能解决国内NAND厂的设备禁运问题吗?
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  • TA的每日心情
    开心
    2023-2-8 04:51
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    [LV.Master]无

    34#
     楼主| 发表于 2024-9-17 11:37:50 | 只看该作者
    晨枫 发表于 2024-9-16 19:34- Z* J4 a! g  T6 v4 ^# P
    需要用到浸润DUV吗?9 E. l: |: L) ]2 B
    8 l+ t0 {4 e" d7 ]: k
    我的问题其实是:65nm光刻机能解决国内NAND厂的设备禁运问题吗? ...
    ) P% ]; {+ V, k; M- l) u
    浸水还是要的,这国产光刻机按公布的指标应该还是没法满足YMTC的全部要求。
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    35#
    发表于 2024-9-17 11:38:06 | 只看该作者
    雷声 发表于 2024-9-16 21:23
    ' r; T8 F  m% w9 h' Z可能是真没钱投资了。这些钱政府应该赞助的,可是政府也难呐,到处都是嗷嗷待哺的嘴,捉了个虫也不知道塞 ...
    * C+ ]$ _4 V/ c* L7 V! i: I
    是的,需要钱的地方太多,但光刻机和芯片可能是不计代价砸钱的方向,优先级比谁都高。这个瓶颈突破后,不只是军事、科技上的阳关道,经济上也是大片的处女地啊。
    7 g) s& x* {  p1 C/ c
    : W3 r: v6 ?8 ~. y- B$ O3 k1 x" k硬直化很形象。确实,西方家大业大,花钱手笔也大,但每一笔钱都预定了用处,活动余地真心很小。你看看美国在预算削减时那个鸡飞狗跳,就知道真是谁都动不得。“平均剃头”是公认的最坏选择,但是唯一大家可接受的选择。
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    36#
    发表于 2024-9-17 11:40:47 | 只看该作者
    moletronic 发表于 2024-9-16 21:370 V+ n1 \9 X/ f' I; t% {5 p. J
    浸水还是要的,这国产光刻机按公布的指标应该还是没法满足YMTC的全部要求。 ...
    - C# [4 f% h& S1 p% A" e: h
    都说工信部这光刻机不是浸润式,但193nm光源,65nm分辨率,正好是2*1.44倍,是不是太巧了?
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    37#
    发表于 2024-9-17 11:43:29 | 只看该作者
    moletronic 发表于 2024-9-17 10:544 m4 e0 U4 s9 V) j8 a$ W0 v) Y
    按说这个跨越不算大,但Nikon就是浸水没搞定7 W  V% t% y+ ^8 k
    所以俺不敢做预测,只敢对已知的做评述 ...

    7 q* U2 O. B6 ]" E: a$ S* S6 D具体工作中还是有很多细节要克服。例如曝光时照到光的水会比遮蔽区的水热一点,这个温差会让水的密度不均匀,从而折射率不均匀,影响成像。为了避免温差,必须让水快速流动混合,但又要避免产生漩涡或者析出气泡。水可以把所接触物品上的杂质洗下来,带到晶圆上,形成缺陷。当初ASML搞浸润式光刻机时,在浸液系统上与林本坚团队合作,方案修改了7-8回,耗时两年多才取得满意的结果。

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  • TA的每日心情
    开心
    2023-2-8 04:51
  • 签到天数: 1811 天

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    38#
     楼主| 发表于 2024-9-17 11:59:49 | 只看该作者
    本帖最后由 moletronic 于 2024-9-16 20:02 编辑
    1 o9 r. x8 d- e$ O! i3 d) |/ [
    沉宝 发表于 2024-9-16 19:43" _  q) C: H/ p, \- {
    具体工作中还是有很多细节要克服。例如曝光时照到光的水会比遮蔽区的水热一点,这个温差会让水的密度不均 ...
    + b2 a* C# z! _+ O

    : r/ o% I9 }# S这当然不容易,不过两年挺快啦,看看牙膏的10nm……
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    开心
    2023-2-8 04:51
  • 签到天数: 1811 天

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    39#
     楼主| 发表于 2024-9-17 12:01:58 | 只看该作者
    晨枫 发表于 2024-9-16 19:408 X' u2 j) R2 V4 @# F
    都说工信部这光刻机不是浸润式,但193nm光源,65nm分辨率,正好是2*1.44倍,是不是太巧了? ...

    ' O8 }" ~/ b0 I, z, c8 `不知道啦,也许是隐晦放风的说法。
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    40#
    发表于 2024-9-17 17:38:39 | 只看该作者
    晨枫 发表于 2024-9-17 11:13
    * B0 g' ?" ~) R' e这倒是个问题。都说韩国人拼,看来还是拼不过中国人。台湾人也是中国人嘛。 ...
    1 z- [4 U2 f0 x# z$ h0 I! s8 b
    中国大,各地方人气质不一,各擅胜场。精细活儿江南地方超过东北山东。如此说来,韩国近东北山东,台湾精英是江浙后代。
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