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楼主: moletronic
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[科普知识] 国产光刻机猜测

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  • TA的每日心情
    慵懒
    2022-8-27 22:14
  • 签到天数: 351 天

    [LV.8]合体

    21#
    发表于 2024-9-17 08:06:46 | 只看该作者
    晨枫 发表于 2024-9-16 14:007 M8 l' k$ D2 i0 @& m
    也就是说,即使28nm现在还有光刻机瓶颈,其他也都就绪、只欠东风了。这是好事!
    / f. e* ^7 P+ {8 K5 d% m5 A" C& L0 R" W% v9 t3 F, C) d2 `! s. ~8 ]: {
    个人感觉:相比于前一阵 ...
    : l) ]! _, N" x1 {+ _" x! t

    # I/ x% I5 x/ X% f3 N2 Q0 }" r5 |
    这就要西方好好领教什么叫产能过剩了。

    ; j# \; F3 n$ V! S" Y应该会在5年内实现吧。$ G5 |2 l  J  C/ A' @

    + F! Y! ?# H( k! V4 H% `1 ^( ?微博上有位“沉睡之书11”说的。(不一定准确,可以看看)
    / H# Q# s/ I9 L% Z! P24-9-16 23:551 P3 ]* {& |: E& i8 }
    发布于 湖南
    : R5 v5 v2 N' @* G) e- p$ X! i" _来自 微博网页版
    8 g9 V% m7 l* b* r: Y$ ]- Q啊,说过很多次了,#光刻机# 不是挖机1 u0 M9 U9 _' c7 ~7 P. f) _
    不是运过来就能直接开工的。8 \" O# q( n4 `, i; z% g3 {* ~
    他需要调试,需要不断的用,一边用一边调整,等光学畸变稳定——你可以理解为拷机或者汽车发动热机暖机。
    . L* p( t- e. |* U" q* k, A9 M( W# e' m& i$ a5 t
    这个时间很长,也是我常年说:
    - y# R3 [* |3 j5 H就算今天ASML传送一台EUV给咱,我们拿到第一批量产的芯片流片完(无论7nm,5nm还是多少)起码2年后——这最乐观的2年时间,还得是对EUV非常有经验的顶级工程师来操作优化。
    ; v+ x. `' @5 k2 N3 I0 I2 W  s9 C; m& B8 z" M8 E4 R- R
    现在发布的这台机器是起码3年前就验收了(科工),现在工信部验收推广(产业链),成熟得不行了才拿出来的。你需要,给钱就有,不限量。
    , g# H! c0 ^6 d+ B$ a6 i# P2 P# i$ r% O( W* \
    简单理解就是——这机子是干式光刻机,做的是65-55nm的芯片,一次曝光。- F' p, a! D/ Z
    干式光刻机没啥意义,为什么呢?因为改进之后的也可以出产低制程的,向下兼容并且良率更高(成本低方案成熟)
    & y# r" \; u; h$ m; d! K. K多重曝光也不是这哥们来做……(我是不清楚干式光刻机有没人搞这个)* @' z4 ]8 m* I3 m3 P5 }
    但这玩意的光路设计啥的,是成型了的。有了它,就加浸没式透镜,修改物镜,最终成品是目前没有验收但肯定存在某个地方的浸没式光刻机,但起码上线了2年了: O9 o/ e, D0 S, p' V

    % H$ X4 @6 y5 X5 f6 J) @没公布的那个肯定还在不断的调试,修改,更换国产配件。
    7 e0 _) y+ a7 @( g  J) }: w/ S普通人不用管光刻机啥情况——你就看最终产品就是。7 v( z  A7 A' L4 z. H
    #华为mate70# 也没多久了。
    , k" b, Q! U1 \2 X1 C; n

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    这真是极好的: 5.0
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      发表于 2024-9-18 15:38
    给力: 5 涨姿势: 5 这真是极好的: 5
      发表于 2024-9-17 08:38
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  • TA的每日心情
    开心
    2023-2-8 04:51
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    [LV.Master]无

    22#
     楼主| 发表于 2024-9-17 08:15:36 | 只看该作者
    老财迷 发表于 2024-9-16 16:06! H/ E  @' G( H  E2 n* q! W
    应该会在5年内实现吧。: K( x0 y0 k' K: d- x" N- @
    2 [$ Y& Z1 S0 X
    微博上有位“沉睡之书11”说的。(不一定准确,可以看看)

    % r9 v: v& p9 T; V
    1 y( C% @4 J5 h' R7 n0 p这个有点扯,新机到货后肯定要调试的,但绝对用不了两年的时间。

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    以你说的为准 :)  发表于 2024-9-17 15:27

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    23#
    发表于 2024-9-17 08:39:20 | 只看该作者
    moletronic 发表于 2024-9-16 18:15
      V. |5 X3 `) E* \6 _: F, ?这个有点扯,新机到货后肯定要调试的,但绝对用不了两年的时间。

    " o8 R% O; r! Y+ T- h$ C/ `; a4 \但干式到浸润的步子没那么大,这说对了吗?
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  • TA的每日心情
    开心
    2023-2-8 04:51
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    [LV.Master]无

    24#
     楼主| 发表于 2024-9-17 10:54:17 | 只看该作者
    本帖最后由 moletronic 于 2024-9-16 18:56 编辑
    7 m5 L- {$ t* H7 T* X
    晨枫 发表于 2024-9-16 16:39
    $ U( ]) r1 ~3 Y, A& V# _; [但干式到浸润的步子没那么大,这说对了吗?

    9 p/ o7 \7 N4 \5 ~' d
      E' y9 D9 \8 C按说这个跨越不算大,但Nikon就是浸水没搞定
    ) j- N! A5 G' g% d所以俺不敢做预测,只敢对已知的做评述

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    25#
    发表于 2024-9-17 11:08:25 | 只看该作者
    晨枫 发表于 2024-9-17 03:34' _5 W2 k# n4 c) R* o
    不过EUV制作7nm可以轻易一次曝光,产率和良率应该提高很多?

    5 `6 E6 r$ U  C! y& K6 s理论上是这样。但制造芯片是个复杂的过程,需要各方面不断打磨,才能接近理想的结果。现实中的例子,台积电用193nm光刻机率先量产7nm,三星则以更先进的EUV光刻机应战,由于对新型光刻机的熟悉不足,结果良率低下,很多人抛弃三星。最后三星赔本赚吆喝,开出比台积电低30%的代工费用,才勉强留下大客户。

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      发表于 2024-9-17 15:28

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    26#
    发表于 2024-9-17 11:13:01 | 只看该作者
    moletronic 发表于 2024-9-16 20:54, m; z/ O. m! P- b
    按说这个跨越不算大,但Nikon就是浸水没搞定
    " ]/ i/ P4 G8 u- m4 s7 z, `+ L所以俺不敢做预测,只敢对已知的做评述 ...
    * v) ~; [. n+ ?/ ]: v6 i
    有道理。$ ^& a( ]* @( ]" a. Y5 k
    8 ?8 P" G: {8 e* T4 m9 u/ L% e3 j
    不过现在看尼康和佳能的光刻机,总有感觉他们已经三心二意了。既然干不过阿斯麦,就用最小投资吊着。不退场,但也不全力以赴。) Y  U5 f* r4 ^5 o' e- P
    : Z# u6 j5 @9 C- o, _
    中国肯定是全力以赴的。而且倾国之力肯定大于尼康、佳能。( S4 x$ ~& p8 ?7 n( `
    1 h  i$ K6 |7 _6 N$ s+ ]1 n
    这会有差别吗?
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    27#
    发表于 2024-9-17 11:13:37 | 只看该作者
    沉宝 发表于 2024-9-16 21:086 o& {# m% E# n3 w7 o! x
    理论上是这样。但制造芯片是个复杂的过程,需要各方面不断打磨,才能接近理想的结果。现实中的例子,台积 ...

      I- W0 d) N$ y6 G9 M这倒是个问题。都说韩国人拼,看来还是拼不过中国人。台湾人也是中国人嘛。
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    28#
    发表于 2024-9-17 11:19:08 | 只看该作者
    moletronic 发表于 2024-9-17 10:54* G4 n% Q9 A6 _5 ^4 V9 K
    按说这个跨越不算大,但Nikon就是浸水没搞定
    7 T3 C$ {5 q' N( _所以俺不敢做预测,只敢对已知的做评述 ...

    % Q+ ]5 N+ m0 M. `还没搞定? . a* d/ J2 P+ i: H( {
    我可能是09年去给Nikon做实验,他们想搞明白光刻机里面为什么会产生微气泡,想买个做实验的系统。我在的小破公司搭了一个,然后过去一起做,看能不能用。那个时候估计还是早期,这些基础的问题都没个数。做了几个实验,证明可以捕捉到微气泡发生,成长和运动的轨迹,我就撤了。这都十五年过去了。0 J4 H6 H5 P" j
    尼康那时候已经有点不灵的迹象,食堂里面睡满了安装队的人。正常的话那些人都是满世界跑给别人装机器的。
    5 j* j+ i/ z0 Y( ~# A8 L& t* Y, X

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    坛里藏龙卧虎啊  发表于 2024-9-17 15:31

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    29#
    发表于 2024-9-17 11:21:47 | 只看该作者
    moletronic 发表于 2024-9-16 20:545 A" j# W/ }9 x/ ^$ s
    按说这个跨越不算大,但Nikon就是浸水没搞定
    0 i: t  S% r/ @1 k所以俺不敢做预测,只敢对已知的做评述 ...

    # V/ N1 I% i7 }' W: J2 N/ D$ ~突然想起来:现在就聚焦于逻辑芯片,存储芯片用的芯片技术一样吗?前一段听说长江还是谁的128还是256层NAND也被卡了,因为光刻机的事,这说法准确吗?高端NAND需要多少nm节点的光刻机?
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    30#
    发表于 2024-9-17 11:23:33 | 只看该作者
    晨枫 发表于 2024-9-17 11:13. X8 D1 w. W/ W
    有道理。
    $ ]. ?! ~' K- o7 D; ]" Q# W/ u
    7 o) v7 K/ z4 Q不过现在看尼康和佳能的光刻机,总有感觉他们已经三心二意了。既然干不过阿斯麦,就用最小投资 ...
    & U+ ?) A! P9 z: t! E1 q+ n
    可能是真没钱投资了。这些钱政府应该赞助的,可是政府也难呐,到处都是嗷嗷待哺的嘴,捉了个虫也不知道塞哪张嘴里。2 Y/ m$ D. M. h' o! j
    很多年前日本媒体评价日本财政用了很形象的词,叫硬直化。所有的钱都有定好的用处,几乎没有活动钱。需要财政支持的时候十分狼狈。该做的事情做不了,钱全都拿去维持日常运转了。

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      发表于 2024-9-17 15:32

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    开心
    2023-2-8 04:51
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    31#
     楼主| 发表于 2024-9-17 11:28:54 | 只看该作者
    本帖最后由 moletronic 于 2024-9-16 19:33 编辑
    3 L! K8 y: |, g5 @8 N
    雷声 发表于 2024-9-16 19:19
    , V/ n. R+ ]" \/ s还没搞定?
    / ?$ t3 N" h1 w# s; K3 h7 T- b+ l我可能是09年去给Nikon做实验,他们想搞明白光刻机里面为什么会产生微气泡,想买个做实验的 ...
    + n0 `$ _% H$ o$ R; \4 u" \5 u

    3 S! }' g" W/ _. zNikon是稳定性不行,被牙膏退货后就没人再买。疫情前去开spie的会,Nikon还吹牛自己行了,但主流客户没人用。/ {7 r9 L5 F, k3 R  z8 n; f  @
    有网上谣言说华为买了些Nikon自己魔改做出了9100…俺比较怀疑真实性。
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    开心
    2023-2-8 04:51
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    [LV.Master]无

    32#
     楼主| 发表于 2024-9-17 11:31:01 | 只看该作者
    晨枫 发表于 2024-9-16 19:212 N* c$ q: D$ M# r- c# t( o
    突然想起来:现在就聚焦于逻辑芯片,存储芯片用的芯片技术一样吗?前一段听说长江还是谁的128还是256层NA ...

    2 \9 B/ Q& X' j! w* G0 V存储和逻辑的工艺重点不一样,节点体系也不同。存储那边现在还没上EUV。
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    33#
    发表于 2024-9-17 11:34:00 | 只看该作者
    moletronic 发表于 2024-9-16 21:31" ]- U! j- R! c9 K& q0 c5 k
    存储和逻辑的工艺重点不一样,节点体系也不同。存储那边现在还没上EUV。 ...

    7 U' X/ v$ K% x: T  }# ^需要用到浸润DUV吗?
    ; T; b; U+ S/ r2 c  j- w- h+ O! g! D4 ]5 Y; C. g7 r
    我的问题其实是:65nm光刻机能解决国内NAND厂的设备禁运问题吗?
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    开心
    2023-2-8 04:51
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    [LV.Master]无

    34#
     楼主| 发表于 2024-9-17 11:37:50 | 只看该作者
    晨枫 发表于 2024-9-16 19:34
    & C1 F' p: t9 w# [4 c8 Q" f+ [. r需要用到浸润DUV吗?! ^# |% f8 I0 B! \, I% X2 T

    8 f: |; r+ P) a1 x/ D1 L8 Y我的问题其实是:65nm光刻机能解决国内NAND厂的设备禁运问题吗? ...

    % D) O/ l- Q) ?浸水还是要的,这国产光刻机按公布的指标应该还是没法满足YMTC的全部要求。
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    35#
    发表于 2024-9-17 11:38:06 | 只看该作者
    雷声 发表于 2024-9-16 21:232 Y7 ?! B" i; K! J) c! j
    可能是真没钱投资了。这些钱政府应该赞助的,可是政府也难呐,到处都是嗷嗷待哺的嘴,捉了个虫也不知道塞 ...
    4 F/ C, v9 _8 }* K" K# [
    是的,需要钱的地方太多,但光刻机和芯片可能是不计代价砸钱的方向,优先级比谁都高。这个瓶颈突破后,不只是军事、科技上的阳关道,经济上也是大片的处女地啊。
    : G0 T( x, i1 d5 S! u, H7 c2 z
    3 m9 w/ l( e5 ?. A硬直化很形象。确实,西方家大业大,花钱手笔也大,但每一笔钱都预定了用处,活动余地真心很小。你看看美国在预算削减时那个鸡飞狗跳,就知道真是谁都动不得。“平均剃头”是公认的最坏选择,但是唯一大家可接受的选择。
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    36#
    发表于 2024-9-17 11:40:47 | 只看该作者
    moletronic 发表于 2024-9-16 21:37
    ; G, S4 A7 H1 J, V浸水还是要的,这国产光刻机按公布的指标应该还是没法满足YMTC的全部要求。 ...
    # B& g( r2 C/ U
    都说工信部这光刻机不是浸润式,但193nm光源,65nm分辨率,正好是2*1.44倍,是不是太巧了?
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    37#
    发表于 2024-9-17 11:43:29 | 只看该作者
    moletronic 发表于 2024-9-17 10:54( Z# [8 J& }6 Q0 ?% N$ E9 X7 m/ z
    按说这个跨越不算大,但Nikon就是浸水没搞定; M$ N0 E; k; O, s& W% X1 N5 i" g* e
    所以俺不敢做预测,只敢对已知的做评述 ...

    : p' [  a5 }. t具体工作中还是有很多细节要克服。例如曝光时照到光的水会比遮蔽区的水热一点,这个温差会让水的密度不均匀,从而折射率不均匀,影响成像。为了避免温差,必须让水快速流动混合,但又要避免产生漩涡或者析出气泡。水可以把所接触物品上的杂质洗下来,带到晶圆上,形成缺陷。当初ASML搞浸润式光刻机时,在浸液系统上与林本坚团队合作,方案修改了7-8回,耗时两年多才取得满意的结果。

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  • TA的每日心情
    开心
    2023-2-8 04:51
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    38#
     楼主| 发表于 2024-9-17 11:59:49 | 只看该作者
    本帖最后由 moletronic 于 2024-9-16 20:02 编辑
    3 L; f. {% @% x* e( m( M+ z+ r
    沉宝 发表于 2024-9-16 19:433 l" H% Y. I: {- E. Z
    具体工作中还是有很多细节要克服。例如曝光时照到光的水会比遮蔽区的水热一点,这个温差会让水的密度不均 ...

    # O; j) l' V$ ?$ o2 t6 y7 ~3 s  {2 r' G2 O/ X
    这当然不容易,不过两年挺快啦,看看牙膏的10nm……
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  • TA的每日心情
    开心
    2023-2-8 04:51
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    39#
     楼主| 发表于 2024-9-17 12:01:58 | 只看该作者
    晨枫 发表于 2024-9-16 19:40
    / L3 {% ?, Q- A" J& m2 R都说工信部这光刻机不是浸润式,但193nm光源,65nm分辨率,正好是2*1.44倍,是不是太巧了? ...
    . O8 u, c$ t, ]- W* J- Y- l
    不知道啦,也许是隐晦放风的说法。
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    40#
    发表于 2024-9-17 17:38:39 | 只看该作者
    晨枫 发表于 2024-9-17 11:134 z& C) x. C1 G6 V+ \
    这倒是个问题。都说韩国人拼,看来还是拼不过中国人。台湾人也是中国人嘛。 ...

    8 k: x' [: A" l! L. ^# N中国大,各地方人气质不一,各擅胜场。精细活儿江南地方超过东北山东。如此说来,韩国近东北山东,台湾精英是江浙后代。
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