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楼主: moletronic
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[科普知识] 国产光刻机猜测

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  • TA的每日心情
    慵懒
    2022-8-27 22:14
  • 签到天数: 351 天

    [LV.8]合体

    21#
    发表于 2024-9-17 08:06:46 | 只看该作者
    晨枫 发表于 2024-9-16 14:00
    ( I5 q# @/ I' r也就是说,即使28nm现在还有光刻机瓶颈,其他也都就绪、只欠东风了。这是好事!
    3 j; c5 U! x8 b5 ?6 L$ i$ t
    ; k: k3 i- M1 X5 d& k* y2 N& K个人感觉:相比于前一阵 ...

    % L3 B6 o- b$ R5 n' P0 Q/ B3 ~$ }- K
    , T. i5 I% O5 i
    这就要西方好好领教什么叫产能过剩了。
    ; \+ j& A6 l2 u- H# B! R, v0 t- l
    应该会在5年内实现吧。
    " o. I' p+ o9 J  b. E1 g% J, f* O" O" g% y
    微博上有位“沉睡之书11”说的。(不一定准确,可以看看)- a) C' M* `6 H2 T
    24-9-16 23:55! W: G/ G) @; M  E* K4 Y
    发布于 湖南7 A  N0 y* X0 C2 K. _
    来自 微博网页版( k2 R# a8 |2 K4 b4 G; l' g
    啊,说过很多次了,#光刻机# 不是挖机
    . h! E/ U5 J6 k0 U+ ~6 a/ E9 b不是运过来就能直接开工的。
    ; y% e# }& o8 O* \8 w% R- v他需要调试,需要不断的用,一边用一边调整,等光学畸变稳定——你可以理解为拷机或者汽车发动热机暖机。. V" e: W0 v, k: Y
    8 y; N% N. U  r" R7 q- g
    这个时间很长,也是我常年说:
      V5 t0 u6 _8 a$ W. h' r就算今天ASML传送一台EUV给咱,我们拿到第一批量产的芯片流片完(无论7nm,5nm还是多少)起码2年后——这最乐观的2年时间,还得是对EUV非常有经验的顶级工程师来操作优化。
    , C8 q" Z2 t! F# f" O& [2 Q; v3 Z% U0 S6 G2 x
    现在发布的这台机器是起码3年前就验收了(科工),现在工信部验收推广(产业链),成熟得不行了才拿出来的。你需要,给钱就有,不限量。# |5 l2 F$ a; d0 j
    ) E# k% P, q4 C; f
    简单理解就是——这机子是干式光刻机,做的是65-55nm的芯片,一次曝光。' T( g1 w+ K( H& p" `# R: }0 N
    干式光刻机没啥意义,为什么呢?因为改进之后的也可以出产低制程的,向下兼容并且良率更高(成本低方案成熟)! Q% ?5 o& `( \- L  B& Q( s7 H7 L
    多重曝光也不是这哥们来做……(我是不清楚干式光刻机有没人搞这个)
    ( q9 _1 a) F/ r0 `, U+ X但这玩意的光路设计啥的,是成型了的。有了它,就加浸没式透镜,修改物镜,最终成品是目前没有验收但肯定存在某个地方的浸没式光刻机,但起码上线了2年了* L1 X8 D/ B% @  f  j

    0 e  U7 Y9 |( f7 X' v没公布的那个肯定还在不断的调试,修改,更换国产配件。1 U1 Y2 c$ N6 M
    普通人不用管光刻机啥情况——你就看最终产品就是。2 ~8 j0 o5 e3 B7 }. ~- N, W/ j: @
    #华为mate70# 也没多久了。
    ; s. D3 J7 L" J' @  t- ~

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    这真是极好的: 5.0
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      发表于 2024-9-18 15:38
    给力: 5 涨姿势: 5 这真是极好的: 5
      发表于 2024-9-17 08:38
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  • TA的每日心情
    开心
    2023-2-8 04:51
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    [LV.Master]无

    22#
     楼主| 发表于 2024-9-17 08:15:36 | 只看该作者
    老财迷 发表于 2024-9-16 16:06
    $ J9 L9 B: M* ^$ D5 S6 l" g$ v; @" F& u应该会在5年内实现吧。9 b7 g) P0 }( x" V4 `- U+ B
    7 ]+ h& Y; m1 E) M* c6 ?
    微博上有位“沉睡之书11”说的。(不一定准确,可以看看)

    5 w) z$ Z8 t2 f( N! I( B! b5 ]
    1 C2 |, u3 j. e2 \这个有点扯,新机到货后肯定要调试的,但绝对用不了两年的时间。

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    油菜: 5 给力: 5
    以你说的为准 :)  发表于 2024-9-17 15:27

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    23#
    发表于 2024-9-17 08:39:20 | 只看该作者
    moletronic 发表于 2024-9-16 18:15
    : h* ~, i0 [& d0 {: E9 K( f这个有点扯,新机到货后肯定要调试的,但绝对用不了两年的时间。

    " w" [0 a* }8 ~6 m* v4 @" v但干式到浸润的步子没那么大,这说对了吗?
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  • TA的每日心情
    开心
    2023-2-8 04:51
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    [LV.Master]无

    24#
     楼主| 发表于 2024-9-17 10:54:17 | 只看该作者
    本帖最后由 moletronic 于 2024-9-16 18:56 编辑
    3 ?" Z" b! `4 d
    晨枫 发表于 2024-9-16 16:39
    0 l% N- t/ d/ Q; o  y5 S5 e但干式到浸润的步子没那么大,这说对了吗?
    : b/ _5 V1 b! m* ]) ?  n) M

    3 r( g- K7 T# p. S6 |3 U8 H5 g按说这个跨越不算大,但Nikon就是浸水没搞定) h' Z) z" P. f$ K! M
    所以俺不敢做预测,只敢对已知的做评述

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    25#
    发表于 2024-9-17 11:08:25 | 只看该作者
    晨枫 发表于 2024-9-17 03:34) F; Y- w5 E+ I1 C
    不过EUV制作7nm可以轻易一次曝光,产率和良率应该提高很多?

    9 k6 I1 f% Y, q9 t1 |. q理论上是这样。但制造芯片是个复杂的过程,需要各方面不断打磨,才能接近理想的结果。现实中的例子,台积电用193nm光刻机率先量产7nm,三星则以更先进的EUV光刻机应战,由于对新型光刻机的熟悉不足,结果良率低下,很多人抛弃三星。最后三星赔本赚吆喝,开出比台积电低30%的代工费用,才勉强留下大客户。

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      发表于 2024-9-17 15:28

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    26#
    发表于 2024-9-17 11:13:01 | 只看该作者
    moletronic 发表于 2024-9-16 20:54
    4 z% j5 J. R3 A1 G! b$ Y$ Z% H5 ~( n  {按说这个跨越不算大,但Nikon就是浸水没搞定/ `0 v9 O% v& f
    所以俺不敢做预测,只敢对已知的做评述 ...
      {5 w7 m/ j( ]# x- S- I$ t) n
    有道理。
    ! D6 n8 P0 G3 ]' g8 D8 S9 T( ^% \! s+ W7 ^& [
    不过现在看尼康和佳能的光刻机,总有感觉他们已经三心二意了。既然干不过阿斯麦,就用最小投资吊着。不退场,但也不全力以赴。
    7 h8 o- w0 j0 U. K. w
    $ r! ]' T8 L) u6 h, g- m中国肯定是全力以赴的。而且倾国之力肯定大于尼康、佳能。; H8 Y# s4 G: ?
    ( ]1 p$ P1 T' `4 A8 g1 v8 {
    这会有差别吗?
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    27#
    发表于 2024-9-17 11:13:37 | 只看该作者
    沉宝 发表于 2024-9-16 21:082 X- d7 U' L  w1 ^( X3 T9 P
    理论上是这样。但制造芯片是个复杂的过程,需要各方面不断打磨,才能接近理想的结果。现实中的例子,台积 ...
    , S; {9 {+ u. C2 h
    这倒是个问题。都说韩国人拼,看来还是拼不过中国人。台湾人也是中国人嘛。
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    28#
    发表于 2024-9-17 11:19:08 | 只看该作者
    moletronic 发表于 2024-9-17 10:54
    : u7 X4 ~  N* N5 X% ~按说这个跨越不算大,但Nikon就是浸水没搞定
    , z9 i: P1 f/ S9 n" _所以俺不敢做预测,只敢对已知的做评述 ...
    # Y& C' Q5 j+ P  v0 q8 z% G
    还没搞定? * R4 Z, b" m4 l5 q1 k1 B, R
    我可能是09年去给Nikon做实验,他们想搞明白光刻机里面为什么会产生微气泡,想买个做实验的系统。我在的小破公司搭了一个,然后过去一起做,看能不能用。那个时候估计还是早期,这些基础的问题都没个数。做了几个实验,证明可以捕捉到微气泡发生,成长和运动的轨迹,我就撤了。这都十五年过去了。
    # Y6 F4 Z/ a4 ?( C) l! a/ Y( s尼康那时候已经有点不灵的迹象,食堂里面睡满了安装队的人。正常的话那些人都是满世界跑给别人装机器的。- ^8 O! a0 i+ J- I+ Y: @2 f

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    坛里藏龙卧虎啊  发表于 2024-9-17 15:31

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    唐家山 + 4 伙呆了
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    29#
    发表于 2024-9-17 11:21:47 | 只看该作者
    moletronic 发表于 2024-9-16 20:543 n- d5 K8 V( `7 J/ [: j( e
    按说这个跨越不算大,但Nikon就是浸水没搞定
    7 u: q1 _! L9 r* b% ^所以俺不敢做预测,只敢对已知的做评述 ...
    ' T* x- X+ n- C, N- g. p6 V
    突然想起来:现在就聚焦于逻辑芯片,存储芯片用的芯片技术一样吗?前一段听说长江还是谁的128还是256层NAND也被卡了,因为光刻机的事,这说法准确吗?高端NAND需要多少nm节点的光刻机?
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    30#
    发表于 2024-9-17 11:23:33 | 只看该作者
    晨枫 发表于 2024-9-17 11:13/ i1 x& M: J2 ^5 w- |1 W9 _7 r
    有道理。
    . i3 v; B, n. [# i/ M+ t; E' f* u( |
    不过现在看尼康和佳能的光刻机,总有感觉他们已经三心二意了。既然干不过阿斯麦,就用最小投资 ...

    8 z( \- |8 \! C6 Z可能是真没钱投资了。这些钱政府应该赞助的,可是政府也难呐,到处都是嗷嗷待哺的嘴,捉了个虫也不知道塞哪张嘴里。# Y1 P2 ^' z* R$ J7 g! f2 f
    很多年前日本媒体评价日本财政用了很形象的词,叫硬直化。所有的钱都有定好的用处,几乎没有活动钱。需要财政支持的时候十分狼狈。该做的事情做不了,钱全都拿去维持日常运转了。

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      发表于 2024-9-17 15:32

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  • TA的每日心情
    开心
    2023-2-8 04:51
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    31#
     楼主| 发表于 2024-9-17 11:28:54 | 只看该作者
    本帖最后由 moletronic 于 2024-9-16 19:33 编辑 3 M7 S1 h; C) e( V& j
    雷声 发表于 2024-9-16 19:19
    , D2 I+ {5 S& A# C' k4 `0 Y2 V还没搞定?
    # L# K# e6 c5 U. z' s" h6 l! o$ k我可能是09年去给Nikon做实验,他们想搞明白光刻机里面为什么会产生微气泡,想买个做实验的 ...

    4 a7 w7 S; k. u  R$ N* j% q0 z1 P3 q' R) ?8 [4 R+ @- S- h
    Nikon是稳定性不行,被牙膏退货后就没人再买。疫情前去开spie的会,Nikon还吹牛自己行了,但主流客户没人用。* i5 F3 E* G. m4 A, j! {& o; R# @
    有网上谣言说华为买了些Nikon自己魔改做出了9100…俺比较怀疑真实性。
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    开心
    2023-2-8 04:51
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    32#
     楼主| 发表于 2024-9-17 11:31:01 | 只看该作者
    晨枫 发表于 2024-9-16 19:21
    ' }; ?8 y" P% E. V+ {" p2 G突然想起来:现在就聚焦于逻辑芯片,存储芯片用的芯片技术一样吗?前一段听说长江还是谁的128还是256层NA ...

    # H' v/ q' _5 O$ ?% u, M存储和逻辑的工艺重点不一样,节点体系也不同。存储那边现在还没上EUV。
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    33#
    发表于 2024-9-17 11:34:00 | 只看该作者
    moletronic 发表于 2024-9-16 21:31% G0 x2 H' R) F# c% O2 X
    存储和逻辑的工艺重点不一样,节点体系也不同。存储那边现在还没上EUV。 ...

    1 D0 U( p5 U, K1 e6 e/ w需要用到浸润DUV吗?. B" u, A$ u5 A- S
    * N+ i& l# V0 U
    我的问题其实是:65nm光刻机能解决国内NAND厂的设备禁运问题吗?
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    开心
    2023-2-8 04:51
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    [LV.Master]无

    34#
     楼主| 发表于 2024-9-17 11:37:50 | 只看该作者
    晨枫 发表于 2024-9-16 19:34$ J8 ~4 j' \; D* R9 V* x
    需要用到浸润DUV吗?- I- x3 w( m% _  K0 n; i

    & s5 U* q# A+ y  F8 g7 m我的问题其实是:65nm光刻机能解决国内NAND厂的设备禁运问题吗? ...
    # a5 r# e8 V- f8 t0 s- L
    浸水还是要的,这国产光刻机按公布的指标应该还是没法满足YMTC的全部要求。
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    35#
    发表于 2024-9-17 11:38:06 | 只看该作者
    雷声 发表于 2024-9-16 21:23; F2 u* M; X- T8 p8 J5 j
    可能是真没钱投资了。这些钱政府应该赞助的,可是政府也难呐,到处都是嗷嗷待哺的嘴,捉了个虫也不知道塞 ...

    ( a" s! G3 D! h: Q/ a. D是的,需要钱的地方太多,但光刻机和芯片可能是不计代价砸钱的方向,优先级比谁都高。这个瓶颈突破后,不只是军事、科技上的阳关道,经济上也是大片的处女地啊。
    + n$ W- w1 r4 Z7 b2 c
    5 x$ e3 A$ n( N' c0 {$ [; |5 q# Y6 u硬直化很形象。确实,西方家大业大,花钱手笔也大,但每一笔钱都预定了用处,活动余地真心很小。你看看美国在预算削减时那个鸡飞狗跳,就知道真是谁都动不得。“平均剃头”是公认的最坏选择,但是唯一大家可接受的选择。
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    36#
    发表于 2024-9-17 11:40:47 | 只看该作者
    moletronic 发表于 2024-9-16 21:377 n! x- D+ w) D- K; n) p
    浸水还是要的,这国产光刻机按公布的指标应该还是没法满足YMTC的全部要求。 ...
    * {# ~, @4 s3 S  v( e5 S* S' y7 ]
    都说工信部这光刻机不是浸润式,但193nm光源,65nm分辨率,正好是2*1.44倍,是不是太巧了?
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    37#
    发表于 2024-9-17 11:43:29 | 只看该作者
    moletronic 发表于 2024-9-17 10:548 P8 X8 u* j, a( y3 J  ~/ U$ ?
    按说这个跨越不算大,但Nikon就是浸水没搞定3 T5 M6 Z' w2 ^! t# L' P
    所以俺不敢做预测,只敢对已知的做评述 ...
    : L5 i) p6 J4 ]: X( D8 I
    具体工作中还是有很多细节要克服。例如曝光时照到光的水会比遮蔽区的水热一点,这个温差会让水的密度不均匀,从而折射率不均匀,影响成像。为了避免温差,必须让水快速流动混合,但又要避免产生漩涡或者析出气泡。水可以把所接触物品上的杂质洗下来,带到晶圆上,形成缺陷。当初ASML搞浸润式光刻机时,在浸液系统上与林本坚团队合作,方案修改了7-8回,耗时两年多才取得满意的结果。

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  • TA的每日心情
    开心
    2023-2-8 04:51
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    38#
     楼主| 发表于 2024-9-17 11:59:49 | 只看该作者
    本帖最后由 moletronic 于 2024-9-16 20:02 编辑 3 F$ o" o  o% m8 j6 q, h' E2 [1 ^
    沉宝 发表于 2024-9-16 19:43/ @; N6 l1 [& v& f1 N
    具体工作中还是有很多细节要克服。例如曝光时照到光的水会比遮蔽区的水热一点,这个温差会让水的密度不均 ...

    , A3 J9 J. n0 ~% L: x4 _; n' F
    & H& A: A4 ?0 N  f这当然不容易,不过两年挺快啦,看看牙膏的10nm……
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  • TA的每日心情
    开心
    2023-2-8 04:51
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    39#
     楼主| 发表于 2024-9-17 12:01:58 | 只看该作者
    晨枫 发表于 2024-9-16 19:40" `9 Q# I  {4 J0 {5 l8 \
    都说工信部这光刻机不是浸润式,但193nm光源,65nm分辨率,正好是2*1.44倍,是不是太巧了? ...

    # N# b4 {9 _8 v! x( b& ]不知道啦,也许是隐晦放风的说法。
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    40#
    发表于 2024-9-17 17:38:39 | 只看该作者
    晨枫 发表于 2024-9-17 11:130 S/ k- s  k, r0 W9 c) s0 `1 h3 W
    这倒是个问题。都说韩国人拼,看来还是拼不过中国人。台湾人也是中国人嘛。 ...

    3 u7 r9 z; q$ |中国大,各地方人气质不一,各擅胜场。精细活儿江南地方超过东北山东。如此说来,韩国近东北山东,台湾精英是江浙后代。
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