设为首页收藏本站

爱吱声

 找回密码
 注册
搜索
楼主: moletronic
打印 上一主题 下一主题

[科普知识] 国产光刻机猜测

[复制链接]
  • TA的每日心情
    慵懒
    2022-8-27 22:14
  • 签到天数: 351 天

    [LV.8]合体

    21#
    发表于 2024-9-17 08:06:46 | 只看该作者
    晨枫 发表于 2024-9-16 14:00' s: W# s3 W# J( _3 x
    也就是说,即使28nm现在还有光刻机瓶颈,其他也都就绪、只欠东风了。这是好事!
    5 ^* }$ ?6 K9 @# a0 S$ f: D$ M" N5 w5 d
    个人感觉:相比于前一阵 ...
    $ P0 J! Q+ V& _0 T# ]- D

    2 r( |8 N' `: z! q, f
    这就要西方好好领教什么叫产能过剩了。
    1 w4 g) c  }  S% f) e. O
    应该会在5年内实现吧。
    / I/ y5 v* Z1 j: k: N8 S# q$ V6 o- s# H- m( x( ^$ S" l/ X' N8 o& u* U
    微博上有位“沉睡之书11”说的。(不一定准确,可以看看)' b( |; i% W. `% I; A7 h
    24-9-16 23:55
    ' X/ M- D) f( D发布于 湖南/ u$ @- t7 @* [; z, ?
    来自 微博网页版
    - |4 T( t, u4 E9 j  ~7 \啊,说过很多次了,#光刻机# 不是挖机+ ^  k8 u- `. F! }- f+ |, l$ b
    不是运过来就能直接开工的。4 c% [" J! ?( H& v
    他需要调试,需要不断的用,一边用一边调整,等光学畸变稳定——你可以理解为拷机或者汽车发动热机暖机。: u! x2 r  l/ r" x8 A
    3 g" o: U1 B$ P* P1 Q' q+ \) a. k
    这个时间很长,也是我常年说:
    8 g9 {  V  Y& A/ a  ?就算今天ASML传送一台EUV给咱,我们拿到第一批量产的芯片流片完(无论7nm,5nm还是多少)起码2年后——这最乐观的2年时间,还得是对EUV非常有经验的顶级工程师来操作优化。
    ; P4 f: _3 c2 f4 l
    " d) [& @' P1 l: s5 ?6 i$ O现在发布的这台机器是起码3年前就验收了(科工),现在工信部验收推广(产业链),成熟得不行了才拿出来的。你需要,给钱就有,不限量。- O' d8 ]! }9 ~8 s; r
    ( y/ ^, T& U" D8 N0 W6 D* F( t
    简单理解就是——这机子是干式光刻机,做的是65-55nm的芯片,一次曝光。6 a$ {0 f& E) P
    干式光刻机没啥意义,为什么呢?因为改进之后的也可以出产低制程的,向下兼容并且良率更高(成本低方案成熟)
    / N5 f! H3 Y7 ?# V多重曝光也不是这哥们来做……(我是不清楚干式光刻机有没人搞这个)$ y  O7 X8 O+ \. ?( T2 u
    但这玩意的光路设计啥的,是成型了的。有了它,就加浸没式透镜,修改物镜,最终成品是目前没有验收但肯定存在某个地方的浸没式光刻机,但起码上线了2年了
    ! }" M6 _1 i0 q4 G5 G9 Q# c& y
    没公布的那个肯定还在不断的调试,修改,更换国产配件。4 v2 [4 S- {; g+ s3 j  ]
    普通人不用管光刻机啥情况——你就看最终产品就是。
    2 U3 h1 D& J0 x; N8 w) H4 G#华为mate70# 也没多久了。* O& {3 k9 N' x  Z5 ]" s1 O

    点评

    给力: 5.0 涨姿势: 5.0
    这真是极好的: 5.0
    涨姿势: 5
      发表于 2024-9-18 15:38
    给力: 5 涨姿势: 5 这真是极好的: 5
      发表于 2024-9-17 08:38
    回复 支持 反对

    使用道具 举报

  • TA的每日心情
    开心
    2023-2-8 04:51
  • 签到天数: 1811 天

    [LV.Master]无

    22#
     楼主| 发表于 2024-9-17 08:15:36 | 只看该作者
    老财迷 发表于 2024-9-16 16:06' x) B; K# m+ i. S& Z0 O9 r
    应该会在5年内实现吧。9 Y! z* Q$ z: v; Q
    : Y$ j" r- }8 B
    微博上有位“沉睡之书11”说的。(不一定准确,可以看看)
    ; V# Y& e( G6 @9 V' z, m

    . D, A, ?3 m' l; v这个有点扯,新机到货后肯定要调试的,但绝对用不了两年的时间。

    点评

    油菜: 5.0 给力: 5.0
    油菜: 5 给力: 5
    以你说的为准 :)  发表于 2024-9-17 15:27

    评分

    参与人数 1爱元 +8 收起 理由
    老财迷 + 8

    查看全部评分

    回复 支持 反对

    使用道具 举报

    该用户从未签到

    23#
    发表于 2024-9-17 08:39:20 | 只看该作者
    moletronic 发表于 2024-9-16 18:15
    ( w0 b) k: T. U. k+ h+ p. o这个有点扯,新机到货后肯定要调试的,但绝对用不了两年的时间。
    4 S. w: `3 `4 C9 r6 I
    但干式到浸润的步子没那么大,这说对了吗?
    回复 支持 反对

    使用道具 举报

  • TA的每日心情
    开心
    2023-2-8 04:51
  • 签到天数: 1811 天

    [LV.Master]无

    24#
     楼主| 发表于 2024-9-17 10:54:17 | 只看该作者
    本帖最后由 moletronic 于 2024-9-16 18:56 编辑
    + \: r/ R: \2 x
    晨枫 发表于 2024-9-16 16:39
    ! @. u! Z8 K2 y$ r0 G' _$ j但干式到浸润的步子没那么大,这说对了吗?

    : `$ b$ h2 q" K7 h4 P- t8 p5 }5 ?7 F' B& Q) s* J
    按说这个跨越不算大,但Nikon就是浸水没搞定
    % [8 L. O$ o. F1 a& n所以俺不敢做预测,只敢对已知的做评述

    评分

    参与人数 2爱元 +18 学识 +2 收起 理由
    老票 + 10 + 2 给力
    老财迷 + 8 涨姿势

    查看全部评分

    回复 支持 反对

    使用道具 举报

    该用户从未签到

    25#
    发表于 2024-9-17 11:08:25 | 只看该作者
    晨枫 发表于 2024-9-17 03:348 x. F1 D2 _& O* e% i# K
    不过EUV制作7nm可以轻易一次曝光,产率和良率应该提高很多?

    9 I0 j6 F/ ^7 [3 r理论上是这样。但制造芯片是个复杂的过程,需要各方面不断打磨,才能接近理想的结果。现实中的例子,台积电用193nm光刻机率先量产7nm,三星则以更先进的EUV光刻机应战,由于对新型光刻机的熟悉不足,结果良率低下,很多人抛弃三星。最后三星赔本赚吆喝,开出比台积电低30%的代工费用,才勉强留下大客户。

    点评

    油菜: 5.0 涨姿势: 5.0
    油菜: 5 涨姿势: 5
      发表于 2024-9-17 15:28

    评分

    参与人数 1爱元 +8 收起 理由
    老财迷 + 8

    查看全部评分

    回复 支持 反对

    使用道具 举报

    该用户从未签到

    26#
    发表于 2024-9-17 11:13:01 | 只看该作者
    moletronic 发表于 2024-9-16 20:54& ?2 i) ~/ i" |1 A; Q; X5 Q
    按说这个跨越不算大,但Nikon就是浸水没搞定
    4 A: s3 k" _+ t- c4 v: Q; H所以俺不敢做预测,只敢对已知的做评述 ...
    ; _  w6 Y. Q2 Z' L. Q, g
    有道理。- T- ]9 b' U# g3 p/ p/ h

    , x7 P( q- X* f3 A. l3 \6 k不过现在看尼康和佳能的光刻机,总有感觉他们已经三心二意了。既然干不过阿斯麦,就用最小投资吊着。不退场,但也不全力以赴。
    5 Y0 E0 p) o5 K" Y: _+ @+ q/ T# a8 C1 G/ [' ?. t* c
    中国肯定是全力以赴的。而且倾国之力肯定大于尼康、佳能。/ M  X# q7 X$ p- A8 {6 F

    + R$ b; Q- \# y8 I这会有差别吗?
    回复 支持 反对

    使用道具 举报

    该用户从未签到

    27#
    发表于 2024-9-17 11:13:37 | 只看该作者
    沉宝 发表于 2024-9-16 21:08$ j! F+ a1 A. h& S4 ?
    理论上是这样。但制造芯片是个复杂的过程,需要各方面不断打磨,才能接近理想的结果。现实中的例子,台积 ...

    * h# ~3 U3 E# P$ y! z$ v+ d这倒是个问题。都说韩国人拼,看来还是拼不过中国人。台湾人也是中国人嘛。
    回复 支持 反对

    使用道具 举报

    该用户从未签到

    28#
    发表于 2024-9-17 11:19:08 | 只看该作者
    moletronic 发表于 2024-9-17 10:54: p( J1 [  c5 }% k7 `/ Y
    按说这个跨越不算大,但Nikon就是浸水没搞定
    7 i$ e! R' G0 ^9 j所以俺不敢做预测,只敢对已知的做评述 ...
    ! \2 ?: q; ?/ |
    还没搞定? & F: e: ^5 r: ~' t1 K; ]* U4 L
    我可能是09年去给Nikon做实验,他们想搞明白光刻机里面为什么会产生微气泡,想买个做实验的系统。我在的小破公司搭了一个,然后过去一起做,看能不能用。那个时候估计还是早期,这些基础的问题都没个数。做了几个实验,证明可以捕捉到微气泡发生,成长和运动的轨迹,我就撤了。这都十五年过去了。, D, A, @/ I; [' f2 T
    尼康那时候已经有点不灵的迹象,食堂里面睡满了安装队的人。正常的话那些人都是满世界跑给别人装机器的。
    : ?6 w" P, Z1 H) x7 E8 e( |1 P

    点评

    油菜: 5.0 给力: 0.0
    涨姿势: 5.0
    油菜: 5 给力: 0 涨姿势: 5
    坛里藏龙卧虎啊  发表于 2024-9-17 15:31

    评分

    参与人数 3爱元 +22 学识 +2 收起 理由
    老票 + 10 + 2 涨姿势
    唐家山 + 4 伙呆了
    老财迷 + 8

    查看全部评分

    回复 支持 反对

    使用道具 举报

    该用户从未签到

    29#
    发表于 2024-9-17 11:21:47 | 只看该作者
    moletronic 发表于 2024-9-16 20:54* i& V! c* l" [/ T
    按说这个跨越不算大,但Nikon就是浸水没搞定3 F) Q# h% ?( t
    所以俺不敢做预测,只敢对已知的做评述 ...
    , P- l/ U2 T( n3 U. J# y1 I- N
    突然想起来:现在就聚焦于逻辑芯片,存储芯片用的芯片技术一样吗?前一段听说长江还是谁的128还是256层NAND也被卡了,因为光刻机的事,这说法准确吗?高端NAND需要多少nm节点的光刻机?
    回复 支持 反对

    使用道具 举报

    该用户从未签到

    30#
    发表于 2024-9-17 11:23:33 | 只看该作者
    晨枫 发表于 2024-9-17 11:13& h) X8 U8 a/ H
    有道理。
      m* b" n* T  n" s* I4 _1 W2 Y
    ! D  ]3 }0 s: E* J不过现在看尼康和佳能的光刻机,总有感觉他们已经三心二意了。既然干不过阿斯麦,就用最小投资 ...

    9 X' t# i$ o( \" U可能是真没钱投资了。这些钱政府应该赞助的,可是政府也难呐,到处都是嗷嗷待哺的嘴,捉了个虫也不知道塞哪张嘴里。
    " x! F% y/ B& K% _很多年前日本媒体评价日本财政用了很形象的词,叫硬直化。所有的钱都有定好的用处,几乎没有活动钱。需要财政支持的时候十分狼狈。该做的事情做不了,钱全都拿去维持日常运转了。

    点评

    油菜: 5.0 涨姿势: 5.0
    油菜: 5 涨姿势: 5
      发表于 2024-9-17 15:32

    评分

    参与人数 1爱元 +4 收起 理由
    老财迷 + 4

    查看全部评分

    回复 支持 反对

    使用道具 举报

  • TA的每日心情
    开心
    2023-2-8 04:51
  • 签到天数: 1811 天

    [LV.Master]无

    31#
     楼主| 发表于 2024-9-17 11:28:54 | 只看该作者
    本帖最后由 moletronic 于 2024-9-16 19:33 编辑
      n3 U( g/ W! R) a9 u
    雷声 发表于 2024-9-16 19:19* X6 ]) W; \! [8 |7 W, b/ A
    还没搞定? # @( S* ^  a1 {: S
    我可能是09年去给Nikon做实验,他们想搞明白光刻机里面为什么会产生微气泡,想买个做实验的 ...

    ( ]% U5 X2 {2 ?' }, @+ D3 V7 B7 E+ T0 G* b+ I" Z, e
    Nikon是稳定性不行,被牙膏退货后就没人再买。疫情前去开spie的会,Nikon还吹牛自己行了,但主流客户没人用。
    3 M& [8 J- F* T1 a$ e: }有网上谣言说华为买了些Nikon自己魔改做出了9100…俺比较怀疑真实性。
    回复 支持 反对

    使用道具 举报

  • TA的每日心情
    开心
    2023-2-8 04:51
  • 签到天数: 1811 天

    [LV.Master]无

    32#
     楼主| 发表于 2024-9-17 11:31:01 | 只看该作者
    晨枫 发表于 2024-9-16 19:210 q7 v! ]1 S: a2 e
    突然想起来:现在就聚焦于逻辑芯片,存储芯片用的芯片技术一样吗?前一段听说长江还是谁的128还是256层NA ...

    3 [3 B# s. I" u存储和逻辑的工艺重点不一样,节点体系也不同。存储那边现在还没上EUV。
    回复 支持 反对

    使用道具 举报

    该用户从未签到

    33#
    发表于 2024-9-17 11:34:00 | 只看该作者
    moletronic 发表于 2024-9-16 21:31- O3 x  S! R( P- v, Z7 ]
    存储和逻辑的工艺重点不一样,节点体系也不同。存储那边现在还没上EUV。 ...
    ' t0 ^$ G; i! G& {: O( n: V
    需要用到浸润DUV吗?; N& A3 d& ]  O6 }% n
    , f! T( u" z, s' l
    我的问题其实是:65nm光刻机能解决国内NAND厂的设备禁运问题吗?
    回复 支持 反对

    使用道具 举报

  • TA的每日心情
    开心
    2023-2-8 04:51
  • 签到天数: 1811 天

    [LV.Master]无

    34#
     楼主| 发表于 2024-9-17 11:37:50 | 只看该作者
    晨枫 发表于 2024-9-16 19:340 C# F' D, Q* p; L0 ~1 T0 E
    需要用到浸润DUV吗?: L8 ~2 y% z$ z# W; ^5 l4 H5 \
    6 g) ~/ T9 D; \2 E+ G# r% n7 g
    我的问题其实是:65nm光刻机能解决国内NAND厂的设备禁运问题吗? ...
    # z0 q3 @/ B+ |% w
    浸水还是要的,这国产光刻机按公布的指标应该还是没法满足YMTC的全部要求。
    回复 支持 反对

    使用道具 举报

    该用户从未签到

    35#
    发表于 2024-9-17 11:38:06 | 只看该作者
    雷声 发表于 2024-9-16 21:232 r2 V) D0 f/ d
    可能是真没钱投资了。这些钱政府应该赞助的,可是政府也难呐,到处都是嗷嗷待哺的嘴,捉了个虫也不知道塞 ...

      t! {! K3 F0 @是的,需要钱的地方太多,但光刻机和芯片可能是不计代价砸钱的方向,优先级比谁都高。这个瓶颈突破后,不只是军事、科技上的阳关道,经济上也是大片的处女地啊。
    * X! I" ~( u! I; `* T  X7 D# \* U  h) K( c; Q1 w
    硬直化很形象。确实,西方家大业大,花钱手笔也大,但每一笔钱都预定了用处,活动余地真心很小。你看看美国在预算削减时那个鸡飞狗跳,就知道真是谁都动不得。“平均剃头”是公认的最坏选择,但是唯一大家可接受的选择。
    回复 支持 反对

    使用道具 举报

    该用户从未签到

    36#
    发表于 2024-9-17 11:40:47 | 只看该作者
    moletronic 发表于 2024-9-16 21:37
    " }, d+ j' x# i' |4 W- {, i浸水还是要的,这国产光刻机按公布的指标应该还是没法满足YMTC的全部要求。 ...
    + a' ?) h& A: r# f! [: K: ^7 v
    都说工信部这光刻机不是浸润式,但193nm光源,65nm分辨率,正好是2*1.44倍,是不是太巧了?
    回复 支持 反对

    使用道具 举报

    该用户从未签到

    37#
    发表于 2024-9-17 11:43:29 | 只看该作者
    moletronic 发表于 2024-9-17 10:54
    8 C9 |/ L3 C  l5 r) j* `按说这个跨越不算大,但Nikon就是浸水没搞定
    0 L: A  J" x/ W4 W' o2 ]所以俺不敢做预测,只敢对已知的做评述 ...
    3 `# }" N2 L! V7 w+ l) X
    具体工作中还是有很多细节要克服。例如曝光时照到光的水会比遮蔽区的水热一点,这个温差会让水的密度不均匀,从而折射率不均匀,影响成像。为了避免温差,必须让水快速流动混合,但又要避免产生漩涡或者析出气泡。水可以把所接触物品上的杂质洗下来,带到晶圆上,形成缺陷。当初ASML搞浸润式光刻机时,在浸液系统上与林本坚团队合作,方案修改了7-8回,耗时两年多才取得满意的结果。

    评分

    参与人数 1爱元 +10 学识 +2 收起 理由
    老票 + 10 + 2 涨姿势

    查看全部评分

    回复 支持 反对

    使用道具 举报

  • TA的每日心情
    开心
    2023-2-8 04:51
  • 签到天数: 1811 天

    [LV.Master]无

    38#
     楼主| 发表于 2024-9-17 11:59:49 | 只看该作者
    本帖最后由 moletronic 于 2024-9-16 20:02 编辑 - ]- y( w% A' ]/ V" {# H8 C# h6 e
    沉宝 发表于 2024-9-16 19:432 r) t$ V) l' d! |
    具体工作中还是有很多细节要克服。例如曝光时照到光的水会比遮蔽区的水热一点,这个温差会让水的密度不均 ...

    & k" H, ?- B& N$ w- U/ R
    ( ?, e5 @3 w2 o$ e+ l# A" i. g这当然不容易,不过两年挺快啦,看看牙膏的10nm……
    回复 支持 反对

    使用道具 举报

  • TA的每日心情
    开心
    2023-2-8 04:51
  • 签到天数: 1811 天

    [LV.Master]无

    39#
     楼主| 发表于 2024-9-17 12:01:58 | 只看该作者
    晨枫 发表于 2024-9-16 19:40- n# g- g, R' m7 L
    都说工信部这光刻机不是浸润式,但193nm光源,65nm分辨率,正好是2*1.44倍,是不是太巧了? ...

    - W* T/ {# X8 ?" k' C/ k不知道啦,也许是隐晦放风的说法。
    回复 支持 反对

    使用道具 举报

    该用户从未签到

    40#
    发表于 2024-9-17 17:38:39 | 只看该作者
    晨枫 发表于 2024-9-17 11:131 V- Q: J( W2 Y( Q* N6 c
    这倒是个问题。都说韩国人拼,看来还是拼不过中国人。台湾人也是中国人嘛。 ...
    ) V0 ^, \8 Q+ {- |" S5 L
    中国大,各地方人气质不一,各擅胜场。精细活儿江南地方超过东北山东。如此说来,韩国近东北山东,台湾精英是江浙后代。
    回复 支持 反对

    使用道具 举报

    手机版|小黑屋|Archiver|网站错误报告|爱吱声   

    GMT+8, 2025-4-26 18:02 , Processed in 0.060487 second(s), 27 queries , Gzip On.

    Powered by Discuz! X3.2

    © 2001-2013 Comsenz Inc.

    快速回复 返回顶部 返回列表