设为首页收藏本站

爱吱声

 找回密码
 注册
搜索
楼主: moletronic
打印 上一主题 下一主题

[科普知识] 国产光刻机猜测

[复制链接]
  • TA的每日心情
    慵懒
    2022-8-27 22:14
  • 签到天数: 351 天

    [LV.8]合体

    21#
    发表于 2024-9-17 08:06:46 | 只看该作者
    晨枫 发表于 2024-9-16 14:001 |' b2 w( W& @; C8 t
    也就是说,即使28nm现在还有光刻机瓶颈,其他也都就绪、只欠东风了。这是好事!8 x* D3 L- M: V( h2 x* ~
    ! e2 i0 U' p+ g3 f  F7 a
    个人感觉:相比于前一阵 ...
    $ ^7 m# H, q/ `; ]5 k! w* D& E5 J
      F( T5 |& o2 ^2 [' b
    这就要西方好好领教什么叫产能过剩了。

    7 E& i' e- n5 z# O应该会在5年内实现吧。
    & b! n1 X% {$ {9 R4 R  f. N" T9 C# v: u' E0 p
    微博上有位“沉睡之书11”说的。(不一定准确,可以看看)
    9 R: `+ O+ V# j1 j- ]4 g24-9-16 23:55
    1 p3 ?9 M( R5 |6 A5 N发布于 湖南
    5 Q+ J6 B* C6 E来自 微博网页版9 f- N. I9 ^/ ]: a8 ^
    啊,说过很多次了,#光刻机# 不是挖机
    / f( l- k" a8 |: J) n不是运过来就能直接开工的。
    5 F4 d6 q8 N6 I: e: j他需要调试,需要不断的用,一边用一边调整,等光学畸变稳定——你可以理解为拷机或者汽车发动热机暖机。
    % x' m; n$ c0 g7 r# `
    3 I! N* B& Z" Z* j. r, [这个时间很长,也是我常年说:+ U! Y, C2 m( K  r
    就算今天ASML传送一台EUV给咱,我们拿到第一批量产的芯片流片完(无论7nm,5nm还是多少)起码2年后——这最乐观的2年时间,还得是对EUV非常有经验的顶级工程师来操作优化。" v# k  [- Q( e8 x9 s& x0 h: _$ F

    ( X% r  [. c% x5 }- a, _. v, e现在发布的这台机器是起码3年前就验收了(科工),现在工信部验收推广(产业链),成熟得不行了才拿出来的。你需要,给钱就有,不限量。
    , P5 E' B- c- z: L+ p) |, g, G9 h7 R
    简单理解就是——这机子是干式光刻机,做的是65-55nm的芯片,一次曝光。4 l% ?) Y( G6 o8 {" p- o
    干式光刻机没啥意义,为什么呢?因为改进之后的也可以出产低制程的,向下兼容并且良率更高(成本低方案成熟)4 x, I+ n6 a" j* U4 P" D
    多重曝光也不是这哥们来做……(我是不清楚干式光刻机有没人搞这个)
    2 K! }' w& Y- w& ]: v- z/ u  F! d/ G8 W但这玩意的光路设计啥的,是成型了的。有了它,就加浸没式透镜,修改物镜,最终成品是目前没有验收但肯定存在某个地方的浸没式光刻机,但起码上线了2年了
    ) e9 V; r, e0 G3 y, p/ i; g
    ! S6 m7 u' y% b' r% X8 e没公布的那个肯定还在不断的调试,修改,更换国产配件。, ^4 e+ u' p. f* ^7 q: A) @
    普通人不用管光刻机啥情况——你就看最终产品就是。
    ; [, ]" Z( B4 v0 S* N, o#华为mate70# 也没多久了。
    3 ~2 W2 ?6 u5 h8 d( u# J& Z
    回复 支持 反对

    使用道具 举报

  • TA的每日心情
    开心
    2023-2-8 04:51
  • 签到天数: 1811 天

    [LV.Master]无

    22#
     楼主| 发表于 2024-9-17 08:15:36 | 只看该作者
    老财迷 发表于 2024-9-16 16:06
    8 [3 k! Z/ D; F应该会在5年内实现吧。
    ! A  W4 K! q7 M9 Z0 y, g. K2 U# Z
    1 P& U4 i3 }* @8 M) g7 y微博上有位“沉睡之书11”说的。(不一定准确,可以看看)

    , I2 C9 r; X9 }: `, ^
    ' i7 x& \2 e! w5 _. i( M, r; @这个有点扯,新机到货后肯定要调试的,但绝对用不了两年的时间。

    点评

    油菜: 5.0 给力: 5.0
    油菜: 5 给力: 5
    以你说的为准 :)  发表于 2024-9-17 15:27

    评分

    参与人数 1爱元 +8 收起 理由
    老财迷 + 8

    查看全部评分

    回复 支持 反对

    使用道具 举报

    该用户从未签到

    23#
    发表于 2024-9-17 08:39:20 | 只看该作者
    moletronic 发表于 2024-9-16 18:155 G8 ^, D; O3 B, p8 L7 }
    这个有点扯,新机到货后肯定要调试的,但绝对用不了两年的时间。
    : P2 {/ O! q: t1 Y" a. L- y0 r
    但干式到浸润的步子没那么大,这说对了吗?
    回复 支持 反对

    使用道具 举报

  • TA的每日心情
    开心
    2023-2-8 04:51
  • 签到天数: 1811 天

    [LV.Master]无

    24#
     楼主| 发表于 2024-9-17 10:54:17 | 只看该作者
    本帖最后由 moletronic 于 2024-9-16 18:56 编辑 0 _7 S. s4 S; m2 H9 a5 p  P
    晨枫 发表于 2024-9-16 16:394 e' j# }2 b0 I; C
    但干式到浸润的步子没那么大,这说对了吗?

    ) p6 K& H% q, D1 p
    % {0 ?4 t2 E  m- z8 o4 g& R$ k按说这个跨越不算大,但Nikon就是浸水没搞定
    8 S$ s  Q. F, l5 j所以俺不敢做预测,只敢对已知的做评述

    评分

    参与人数 2爱元 +18 学识 +2 收起 理由
    老票 + 10 + 2 给力
    老财迷 + 8 涨姿势

    查看全部评分

    回复 支持 反对

    使用道具 举报

    该用户从未签到

    25#
    发表于 2024-9-17 11:08:25 | 只看该作者
    晨枫 发表于 2024-9-17 03:34
    & O: r" u2 n. e& L不过EUV制作7nm可以轻易一次曝光,产率和良率应该提高很多?

    $ Q- {, \) W- Y+ B; O- \! S理论上是这样。但制造芯片是个复杂的过程,需要各方面不断打磨,才能接近理想的结果。现实中的例子,台积电用193nm光刻机率先量产7nm,三星则以更先进的EUV光刻机应战,由于对新型光刻机的熟悉不足,结果良率低下,很多人抛弃三星。最后三星赔本赚吆喝,开出比台积电低30%的代工费用,才勉强留下大客户。

    点评

    油菜: 5.0 涨姿势: 5.0
    油菜: 5 涨姿势: 5
      发表于 2024-9-17 15:28

    评分

    参与人数 1爱元 +8 收起 理由
    老财迷 + 8

    查看全部评分

    回复 支持 反对

    使用道具 举报

    该用户从未签到

    26#
    发表于 2024-9-17 11:13:01 | 只看该作者
    moletronic 发表于 2024-9-16 20:54
    3 ?+ P9 o7 z: ^! P" b. F6 p按说这个跨越不算大,但Nikon就是浸水没搞定; y/ i" e- a: m+ n
    所以俺不敢做预测,只敢对已知的做评述 ...

    + Y0 s0 J$ v  D& f3 }: O9 x& p有道理。
    5 T( D! Y; N$ d' N; I. E0 S4 w5 Y) h  c" |1 R
    不过现在看尼康和佳能的光刻机,总有感觉他们已经三心二意了。既然干不过阿斯麦,就用最小投资吊着。不退场,但也不全力以赴。
    $ M# E8 a: Z) H5 r: L% h  L: _4 ^+ B
    中国肯定是全力以赴的。而且倾国之力肯定大于尼康、佳能。' h  W: ?. z. v6 B8 C) |
    " _1 o& y" f; v) W
    这会有差别吗?
    回复 支持 反对

    使用道具 举报

    该用户从未签到

    27#
    发表于 2024-9-17 11:13:37 | 只看该作者
    沉宝 发表于 2024-9-16 21:08
    1 S6 z6 y8 d  w) L* P理论上是这样。但制造芯片是个复杂的过程,需要各方面不断打磨,才能接近理想的结果。现实中的例子,台积 ...
    , R& p: y  v3 h+ }% y) p
    这倒是个问题。都说韩国人拼,看来还是拼不过中国人。台湾人也是中国人嘛。
    回复 支持 反对

    使用道具 举报

    该用户从未签到

    28#
    发表于 2024-9-17 11:19:08 | 只看该作者
    moletronic 发表于 2024-9-17 10:54
    " b- A3 _) V7 e! y9 }) P, S" W按说这个跨越不算大,但Nikon就是浸水没搞定
    5 I! P; W- g3 o" `2 ]2 l所以俺不敢做预测,只敢对已知的做评述 ...

    + h0 H( |* P  g( c还没搞定? 2 O) ?( h+ S7 M: o
    我可能是09年去给Nikon做实验,他们想搞明白光刻机里面为什么会产生微气泡,想买个做实验的系统。我在的小破公司搭了一个,然后过去一起做,看能不能用。那个时候估计还是早期,这些基础的问题都没个数。做了几个实验,证明可以捕捉到微气泡发生,成长和运动的轨迹,我就撤了。这都十五年过去了。7 p6 m( z7 |9 L7 {
    尼康那时候已经有点不灵的迹象,食堂里面睡满了安装队的人。正常的话那些人都是满世界跑给别人装机器的。
    0 H! i) I1 k8 ^! c0 Z0 v- \6 L" r+ Q# U

    点评

    油菜: 5.0 给力: 0.0
    涨姿势: 5.0
    油菜: 5 给力: 0 涨姿势: 5
    坛里藏龙卧虎啊  发表于 2024-9-17 15:31

    评分

    参与人数 3爱元 +22 学识 +2 收起 理由
    老票 + 10 + 2 涨姿势
    唐家山 + 4 伙呆了
    老财迷 + 8

    查看全部评分

    回复 支持 反对

    使用道具 举报

    该用户从未签到

    29#
    发表于 2024-9-17 11:21:47 | 只看该作者
    moletronic 发表于 2024-9-16 20:54
    ( ^- S8 D4 f1 G7 ]" s# u按说这个跨越不算大,但Nikon就是浸水没搞定! m# m3 \4 j* |3 l9 i& K% n3 _, m
    所以俺不敢做预测,只敢对已知的做评述 ...

    4 i; {4 I* O8 K7 T$ u突然想起来:现在就聚焦于逻辑芯片,存储芯片用的芯片技术一样吗?前一段听说长江还是谁的128还是256层NAND也被卡了,因为光刻机的事,这说法准确吗?高端NAND需要多少nm节点的光刻机?
    回复 支持 反对

    使用道具 举报

    该用户从未签到

    30#
    发表于 2024-9-17 11:23:33 | 只看该作者
    晨枫 发表于 2024-9-17 11:13
    % ~# Z6 S5 x. D' C有道理。' B: T$ l1 ]' @8 y
    # M! N+ O& X8 X: R# \6 |4 d
    不过现在看尼康和佳能的光刻机,总有感觉他们已经三心二意了。既然干不过阿斯麦,就用最小投资 ...

    ; F1 d- u9 G  g5 W% {可能是真没钱投资了。这些钱政府应该赞助的,可是政府也难呐,到处都是嗷嗷待哺的嘴,捉了个虫也不知道塞哪张嘴里。
    2 ~& }8 Z% s7 J4 c' i很多年前日本媒体评价日本财政用了很形象的词,叫硬直化。所有的钱都有定好的用处,几乎没有活动钱。需要财政支持的时候十分狼狈。该做的事情做不了,钱全都拿去维持日常运转了。

    点评

    油菜: 5.0 涨姿势: 5.0
    油菜: 5 涨姿势: 5
      发表于 2024-9-17 15:32

    评分

    参与人数 1爱元 +4 收起 理由
    老财迷 + 4

    查看全部评分

    回复 支持 反对

    使用道具 举报

  • TA的每日心情
    开心
    2023-2-8 04:51
  • 签到天数: 1811 天

    [LV.Master]无

    31#
     楼主| 发表于 2024-9-17 11:28:54 | 只看该作者
    本帖最后由 moletronic 于 2024-9-16 19:33 编辑 / D- q; [( J* ]' U5 J! D4 z* n6 I
    雷声 发表于 2024-9-16 19:19& @# C( I: C8 m4 r4 G8 _. d" ?" V7 w" \
    还没搞定? 1 K' }, x# I4 |: V' y4 [0 N6 f
    我可能是09年去给Nikon做实验,他们想搞明白光刻机里面为什么会产生微气泡,想买个做实验的 ...

    . b% h- j; d9 p$ x! T5 c- b1 a3 g( `6 D+ f
    Nikon是稳定性不行,被牙膏退货后就没人再买。疫情前去开spie的会,Nikon还吹牛自己行了,但主流客户没人用。) O. d; X$ g2 E0 e
    有网上谣言说华为买了些Nikon自己魔改做出了9100…俺比较怀疑真实性。
    回复 支持 反对

    使用道具 举报

  • TA的每日心情
    开心
    2023-2-8 04:51
  • 签到天数: 1811 天

    [LV.Master]无

    32#
     楼主| 发表于 2024-9-17 11:31:01 | 只看该作者
    晨枫 发表于 2024-9-16 19:21
    2 V3 w% n$ L& V+ X5 D5 h8 i突然想起来:现在就聚焦于逻辑芯片,存储芯片用的芯片技术一样吗?前一段听说长江还是谁的128还是256层NA ...
    ; R. e$ X3 a  A0 m. ]# u
    存储和逻辑的工艺重点不一样,节点体系也不同。存储那边现在还没上EUV。
    回复 支持 反对

    使用道具 举报

    该用户从未签到

    33#
    发表于 2024-9-17 11:34:00 | 只看该作者
    moletronic 发表于 2024-9-16 21:31
    ) L% b0 V+ ?9 @存储和逻辑的工艺重点不一样,节点体系也不同。存储那边现在还没上EUV。 ...

    9 L3 V( i7 M: ~/ Q' r3 W需要用到浸润DUV吗?+ b) v+ j& U! ^& I7 r
    2 v* X( n; s5 O0 c- \7 M, B
    我的问题其实是:65nm光刻机能解决国内NAND厂的设备禁运问题吗?
    回复 支持 反对

    使用道具 举报

  • TA的每日心情
    开心
    2023-2-8 04:51
  • 签到天数: 1811 天

    [LV.Master]无

    34#
     楼主| 发表于 2024-9-17 11:37:50 | 只看该作者
    晨枫 发表于 2024-9-16 19:34
    : f$ a, \# N( |" d3 E$ k需要用到浸润DUV吗?" |  F8 F1 N' L! ~9 o7 `) x
    ( m0 O. c2 x+ L& q0 M
    我的问题其实是:65nm光刻机能解决国内NAND厂的设备禁运问题吗? ...

    - g+ g$ x; ]' y" ?浸水还是要的,这国产光刻机按公布的指标应该还是没法满足YMTC的全部要求。
    回复 支持 反对

    使用道具 举报

    该用户从未签到

    35#
    发表于 2024-9-17 11:38:06 | 只看该作者
    雷声 发表于 2024-9-16 21:23
      P6 p' X4 f4 @! v6 A: }可能是真没钱投资了。这些钱政府应该赞助的,可是政府也难呐,到处都是嗷嗷待哺的嘴,捉了个虫也不知道塞 ...
    * c9 L1 m$ V* }2 g8 I9 a& g7 p
    是的,需要钱的地方太多,但光刻机和芯片可能是不计代价砸钱的方向,优先级比谁都高。这个瓶颈突破后,不只是军事、科技上的阳关道,经济上也是大片的处女地啊。
    0 L% _* }' i4 l
    # @& F# q6 a' c. d硬直化很形象。确实,西方家大业大,花钱手笔也大,但每一笔钱都预定了用处,活动余地真心很小。你看看美国在预算削减时那个鸡飞狗跳,就知道真是谁都动不得。“平均剃头”是公认的最坏选择,但是唯一大家可接受的选择。
    回复 支持 反对

    使用道具 举报

    该用户从未签到

    36#
    发表于 2024-9-17 11:40:47 | 只看该作者
    moletronic 发表于 2024-9-16 21:37
    . ?  n  t/ h! V4 L! W3 m浸水还是要的,这国产光刻机按公布的指标应该还是没法满足YMTC的全部要求。 ...
    . n+ N$ m. z0 G' P0 M  k) }% ~% i
    都说工信部这光刻机不是浸润式,但193nm光源,65nm分辨率,正好是2*1.44倍,是不是太巧了?
    回复 支持 反对

    使用道具 举报

    该用户从未签到

    37#
    发表于 2024-9-17 11:43:29 | 只看该作者
    moletronic 发表于 2024-9-17 10:547 m6 D  `) m+ r3 y
    按说这个跨越不算大,但Nikon就是浸水没搞定0 O$ s7 M5 l5 [* k% S
    所以俺不敢做预测,只敢对已知的做评述 ...
    & f* `' P4 d( }+ j
    具体工作中还是有很多细节要克服。例如曝光时照到光的水会比遮蔽区的水热一点,这个温差会让水的密度不均匀,从而折射率不均匀,影响成像。为了避免温差,必须让水快速流动混合,但又要避免产生漩涡或者析出气泡。水可以把所接触物品上的杂质洗下来,带到晶圆上,形成缺陷。当初ASML搞浸润式光刻机时,在浸液系统上与林本坚团队合作,方案修改了7-8回,耗时两年多才取得满意的结果。

    评分

    参与人数 1爱元 +10 学识 +2 收起 理由
    老票 + 10 + 2 涨姿势

    查看全部评分

    回复 支持 反对

    使用道具 举报

  • TA的每日心情
    开心
    2023-2-8 04:51
  • 签到天数: 1811 天

    [LV.Master]无

    38#
     楼主| 发表于 2024-9-17 11:59:49 | 只看该作者
    本帖最后由 moletronic 于 2024-9-16 20:02 编辑
    ' @2 l( E+ o) M# k  S/ @
    沉宝 发表于 2024-9-16 19:434 f' j% K  ]" [$ S3 O% m/ U+ s/ \
    具体工作中还是有很多细节要克服。例如曝光时照到光的水会比遮蔽区的水热一点,这个温差会让水的密度不均 ...
    & a3 x  F9 x0 f% J
    8 n, k' ]1 K' z3 Y
    这当然不容易,不过两年挺快啦,看看牙膏的10nm……
    回复 支持 反对

    使用道具 举报

  • TA的每日心情
    开心
    2023-2-8 04:51
  • 签到天数: 1811 天

    [LV.Master]无

    39#
     楼主| 发表于 2024-9-17 12:01:58 | 只看该作者
    晨枫 发表于 2024-9-16 19:40
    * @& g& J+ _, O$ L5 w$ i6 Q都说工信部这光刻机不是浸润式,但193nm光源,65nm分辨率,正好是2*1.44倍,是不是太巧了? ...
    ; q% b$ j& `' I6 m9 |
    不知道啦,也许是隐晦放风的说法。
    回复 支持 反对

    使用道具 举报

    该用户从未签到

    40#
    发表于 2024-9-17 17:38:39 | 只看该作者
    晨枫 发表于 2024-9-17 11:13, [! o  h# o0 ~2 b# d
    这倒是个问题。都说韩国人拼,看来还是拼不过中国人。台湾人也是中国人嘛。 ...
    - v( ^" Q7 T4 u
    中国大,各地方人气质不一,各擅胜场。精细活儿江南地方超过东北山东。如此说来,韩国近东北山东,台湾精英是江浙后代。
    回复 支持 反对

    使用道具 举报

    手机版|小黑屋|Archiver|网站错误报告|爱吱声   

    GMT+8, 2026-8-9 14:41 , Processed in 0.076484 second(s), 25 queries , Gzip On.

    Powered by Discuz! X3.2

    © 2001-2013 Comsenz Inc.

    快速回复 返回顶部 返回列表