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楼主: moletronic
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[科普知识] 国产光刻机猜测

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  • TA的每日心情
    慵懒
    2022-8-27 22:14
  • 签到天数: 351 天

    [LV.8]合体

    21#
    发表于 2024-9-17 08:06:46 | 只看该作者
    晨枫 发表于 2024-9-16 14:00
    ) G* v; U/ W. U2 _. W' D1 B0 U也就是说,即使28nm现在还有光刻机瓶颈,其他也都就绪、只欠东风了。这是好事!. i' N) h5 z$ j9 r" S9 f
      d  p% P. f: n, b, b# D
    个人感觉:相比于前一阵 ...

    - M+ K) Q; U4 [% A% I
      J0 z1 [4 e+ y+ s$ f; m4 m
    这就要西方好好领教什么叫产能过剩了。
    2 b. ~; g! H6 ^6 t) P
    应该会在5年内实现吧。! q4 k% ~! o, ~5 h+ n/ J6 \
    : j' y8 ~0 Y' b
    微博上有位“沉睡之书11”说的。(不一定准确,可以看看)
    / W5 H1 G/ v% D- w4 O24-9-16 23:553 m1 [" {6 k* K! Q0 q' d
    发布于 湖南- ~; y# j, U+ r4 s$ t/ {& E; U
    来自 微博网页版
    ; H/ u7 n% W: b, \啊,说过很多次了,#光刻机# 不是挖机9 _+ k" a! `6 s8 G. @& l* w' E
    不是运过来就能直接开工的。# L4 O7 H( F, A, P% f6 ?* p5 M
    他需要调试,需要不断的用,一边用一边调整,等光学畸变稳定——你可以理解为拷机或者汽车发动热机暖机。8 H6 V3 S$ [) p

    " z& s9 l& w, C! j- I9 d1 N这个时间很长,也是我常年说:. w! P6 _9 V$ ~5 F, W* J
    就算今天ASML传送一台EUV给咱,我们拿到第一批量产的芯片流片完(无论7nm,5nm还是多少)起码2年后——这最乐观的2年时间,还得是对EUV非常有经验的顶级工程师来操作优化。
    7 \+ F9 `3 ^8 O$ \- Z% J! L
    ( H: Q; k, W$ l" x; Y现在发布的这台机器是起码3年前就验收了(科工),现在工信部验收推广(产业链),成熟得不行了才拿出来的。你需要,给钱就有,不限量。
    , F; Z) r/ B1 [1 E/ D- v  O; d$ g: C1 i! @# p$ h$ h9 d
    简单理解就是——这机子是干式光刻机,做的是65-55nm的芯片,一次曝光。5 t' c) K' `, u' U. E! o- H
    干式光刻机没啥意义,为什么呢?因为改进之后的也可以出产低制程的,向下兼容并且良率更高(成本低方案成熟); t2 h7 P; t$ G. S( X
    多重曝光也不是这哥们来做……(我是不清楚干式光刻机有没人搞这个)
    ( E1 K7 q( G+ I9 N* ^4 Z但这玩意的光路设计啥的,是成型了的。有了它,就加浸没式透镜,修改物镜,最终成品是目前没有验收但肯定存在某个地方的浸没式光刻机,但起码上线了2年了2 q; Z, u3 d' q: i. ]9 m

    ! J! {- L5 z2 w1 {1 k$ m% d没公布的那个肯定还在不断的调试,修改,更换国产配件。$ }+ t7 @" {$ [
    普通人不用管光刻机啥情况——你就看最终产品就是。
    ; c- z4 u* y5 k- K5 ?( w#华为mate70# 也没多久了。
    ; l7 K* V" }( _. K) K

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    这真是极好的: 5.0
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      发表于 2024-9-18 15:38
    给力: 5 涨姿势: 5 这真是极好的: 5
      发表于 2024-9-17 08:38
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  • TA的每日心情
    开心
    2023-2-8 04:51
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    [LV.Master]无

    22#
     楼主| 发表于 2024-9-17 08:15:36 | 只看该作者
    老财迷 发表于 2024-9-16 16:06# y" W4 v2 {: V4 M
    应该会在5年内实现吧。! o5 w# K' ?4 x2 y) k7 v2 n
    # y! t- r* S) r- ?2 H: h' @/ C: A
    微博上有位“沉睡之书11”说的。(不一定准确,可以看看)

    / A1 e6 |( E) C. E" p
    5 Y. t4 H  _, s( q7 \这个有点扯,新机到货后肯定要调试的,但绝对用不了两年的时间。

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    以你说的为准 :)  发表于 2024-9-17 15:27

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    23#
    发表于 2024-9-17 08:39:20 | 只看该作者
    moletronic 发表于 2024-9-16 18:15
    2 G8 j! r- Z+ e: `' O这个有点扯,新机到货后肯定要调试的,但绝对用不了两年的时间。

    7 k2 I8 z! O$ y% @0 W- D但干式到浸润的步子没那么大,这说对了吗?
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  • TA的每日心情
    开心
    2023-2-8 04:51
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    [LV.Master]无

    24#
     楼主| 发表于 2024-9-17 10:54:17 | 只看该作者
    本帖最后由 moletronic 于 2024-9-16 18:56 编辑 8 J2 P! ]5 c3 C+ E# Y
    晨枫 发表于 2024-9-16 16:396 g+ c) p) A9 P& p
    但干式到浸润的步子没那么大,这说对了吗?
    : ~5 [$ c" ?& R6 r. u

    ; O) t- a0 ?" Z按说这个跨越不算大,但Nikon就是浸水没搞定0 f  I' q% C) m- s# e( v
    所以俺不敢做预测,只敢对已知的做评述

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    25#
    发表于 2024-9-17 11:08:25 | 只看该作者
    晨枫 发表于 2024-9-17 03:34$ e) J" B  Y' Y2 C0 Q2 |+ u) r
    不过EUV制作7nm可以轻易一次曝光,产率和良率应该提高很多?
    , k& r+ x) T, O4 z) N8 h
    理论上是这样。但制造芯片是个复杂的过程,需要各方面不断打磨,才能接近理想的结果。现实中的例子,台积电用193nm光刻机率先量产7nm,三星则以更先进的EUV光刻机应战,由于对新型光刻机的熟悉不足,结果良率低下,很多人抛弃三星。最后三星赔本赚吆喝,开出比台积电低30%的代工费用,才勉强留下大客户。

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      发表于 2024-9-17 15:28

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    26#
    发表于 2024-9-17 11:13:01 | 只看该作者
    moletronic 发表于 2024-9-16 20:54
    / {- e; [- S/ T" B: r按说这个跨越不算大,但Nikon就是浸水没搞定
    " j8 T: a0 U+ Z所以俺不敢做预测,只敢对已知的做评述 ...

    ' V1 ]& R6 {: Z# n9 Z有道理。
    7 M8 h. a, u- q- z1 z: o) X) L
    ! V4 P. [4 ~( @7 e, K不过现在看尼康和佳能的光刻机,总有感觉他们已经三心二意了。既然干不过阿斯麦,就用最小投资吊着。不退场,但也不全力以赴。5 Q# e& o9 K  F* F1 T2 r. v
    : Z% i6 B0 ?. n$ t# ]
    中国肯定是全力以赴的。而且倾国之力肯定大于尼康、佳能。. z; H* D) K: P& p- O2 s6 Q

    3 `* g4 p4 k( O; t' z这会有差别吗?
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    27#
    发表于 2024-9-17 11:13:37 | 只看该作者
    沉宝 发表于 2024-9-16 21:08
    ! o; r2 y4 G; y& {0 @: G. i理论上是这样。但制造芯片是个复杂的过程,需要各方面不断打磨,才能接近理想的结果。现实中的例子,台积 ...

    : h6 v+ a+ E6 I% m7 {! }这倒是个问题。都说韩国人拼,看来还是拼不过中国人。台湾人也是中国人嘛。
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    28#
    发表于 2024-9-17 11:19:08 | 只看该作者
    moletronic 发表于 2024-9-17 10:54
    + @  o) O1 D1 L) J按说这个跨越不算大,但Nikon就是浸水没搞定
    " G$ [& ?& p# \所以俺不敢做预测,只敢对已知的做评述 ...
    7 a: d* _1 v" L2 ]* `! d) O  L
    还没搞定?
    ' G! B; {/ e1 p6 X我可能是09年去给Nikon做实验,他们想搞明白光刻机里面为什么会产生微气泡,想买个做实验的系统。我在的小破公司搭了一个,然后过去一起做,看能不能用。那个时候估计还是早期,这些基础的问题都没个数。做了几个实验,证明可以捕捉到微气泡发生,成长和运动的轨迹,我就撤了。这都十五年过去了。# ^. V' V- n+ O' C
    尼康那时候已经有点不灵的迹象,食堂里面睡满了安装队的人。正常的话那些人都是满世界跑给别人装机器的。
    ) F, G  i& b% c7 H% F

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    坛里藏龙卧虎啊  发表于 2024-9-17 15:31

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    29#
    发表于 2024-9-17 11:21:47 | 只看该作者
    moletronic 发表于 2024-9-16 20:54
    * i* T  [2 l8 ]9 K/ W1 ?, Z8 L按说这个跨越不算大,但Nikon就是浸水没搞定
    " N3 Q% c% h6 m% {! I6 w' p. s所以俺不敢做预测,只敢对已知的做评述 ...
    0 r3 u1 ]- Y' a" ~# Z
    突然想起来:现在就聚焦于逻辑芯片,存储芯片用的芯片技术一样吗?前一段听说长江还是谁的128还是256层NAND也被卡了,因为光刻机的事,这说法准确吗?高端NAND需要多少nm节点的光刻机?
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    30#
    发表于 2024-9-17 11:23:33 | 只看该作者
    晨枫 发表于 2024-9-17 11:13
    ! `3 \4 ~# e6 H6 B( h, u6 @有道理。: f- C' Y, w9 d2 ], Q  J
    5 {0 x5 p) @3 f% q1 P
    不过现在看尼康和佳能的光刻机,总有感觉他们已经三心二意了。既然干不过阿斯麦,就用最小投资 ...
    2 Q6 [) N0 g; a! D4 m/ C7 K
    可能是真没钱投资了。这些钱政府应该赞助的,可是政府也难呐,到处都是嗷嗷待哺的嘴,捉了个虫也不知道塞哪张嘴里。$ a5 Z6 R# c  Q, B
    很多年前日本媒体评价日本财政用了很形象的词,叫硬直化。所有的钱都有定好的用处,几乎没有活动钱。需要财政支持的时候十分狼狈。该做的事情做不了,钱全都拿去维持日常运转了。

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      发表于 2024-9-17 15:32

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    开心
    2023-2-8 04:51
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    31#
     楼主| 发表于 2024-9-17 11:28:54 | 只看该作者
    本帖最后由 moletronic 于 2024-9-16 19:33 编辑 ' v7 J0 a: d) k# {
    雷声 发表于 2024-9-16 19:19
    , r. n4 D4 X6 Q: o4 f& U+ C) j) R, ~还没搞定? ; u& ], e/ f! M" t8 [5 S6 T
    我可能是09年去给Nikon做实验,他们想搞明白光刻机里面为什么会产生微气泡,想买个做实验的 ...
    ( `% H6 F4 a3 K# d& i8 t1 }; F

    3 M1 j2 C2 F; ~7 F9 zNikon是稳定性不行,被牙膏退货后就没人再买。疫情前去开spie的会,Nikon还吹牛自己行了,但主流客户没人用。
    ) C9 K& S" b: _( G/ w; j有网上谣言说华为买了些Nikon自己魔改做出了9100…俺比较怀疑真实性。
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    开心
    2023-2-8 04:51
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    [LV.Master]无

    32#
     楼主| 发表于 2024-9-17 11:31:01 | 只看该作者
    晨枫 发表于 2024-9-16 19:21
    4 h1 g! g8 w+ n% p( n突然想起来:现在就聚焦于逻辑芯片,存储芯片用的芯片技术一样吗?前一段听说长江还是谁的128还是256层NA ...
    ' f* `# q# b: I. q: e1 }
    存储和逻辑的工艺重点不一样,节点体系也不同。存储那边现在还没上EUV。
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    33#
    发表于 2024-9-17 11:34:00 | 只看该作者
    moletronic 发表于 2024-9-16 21:31- k7 ]6 N! e! l; W2 X( G- F& q. [
    存储和逻辑的工艺重点不一样,节点体系也不同。存储那边现在还没上EUV。 ...
      j" r! N5 D6 D5 W$ x; p! g, k8 l
    需要用到浸润DUV吗?
    4 F% K% m2 r' _1 |* h/ W
    5 D$ g  t7 u- s2 @& ?/ g* s. Y- {! o# F我的问题其实是:65nm光刻机能解决国内NAND厂的设备禁运问题吗?
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  • TA的每日心情
    开心
    2023-2-8 04:51
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    [LV.Master]无

    34#
     楼主| 发表于 2024-9-17 11:37:50 | 只看该作者
    晨枫 发表于 2024-9-16 19:34
      f: U1 P9 A8 Q2 |需要用到浸润DUV吗?( n2 G5 c+ R9 ?, J% s

    . r6 W4 v% k/ g0 O2 I我的问题其实是:65nm光刻机能解决国内NAND厂的设备禁运问题吗? ...
    " r* H2 E. r/ d- T5 Z( p& ]2 E
    浸水还是要的,这国产光刻机按公布的指标应该还是没法满足YMTC的全部要求。
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    35#
    发表于 2024-9-17 11:38:06 | 只看该作者
    雷声 发表于 2024-9-16 21:23
    , z3 _6 n( Q( ?) e& g可能是真没钱投资了。这些钱政府应该赞助的,可是政府也难呐,到处都是嗷嗷待哺的嘴,捉了个虫也不知道塞 ...
      v# F3 i% Q) }
    是的,需要钱的地方太多,但光刻机和芯片可能是不计代价砸钱的方向,优先级比谁都高。这个瓶颈突破后,不只是军事、科技上的阳关道,经济上也是大片的处女地啊。- F% Y, S' X/ J/ Q& t3 F6 M- _

    3 u8 A9 {: s( @/ t4 `& f& w8 I硬直化很形象。确实,西方家大业大,花钱手笔也大,但每一笔钱都预定了用处,活动余地真心很小。你看看美国在预算削减时那个鸡飞狗跳,就知道真是谁都动不得。“平均剃头”是公认的最坏选择,但是唯一大家可接受的选择。
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    36#
    发表于 2024-9-17 11:40:47 | 只看该作者
    moletronic 发表于 2024-9-16 21:37
    : e7 H+ B" t( R0 E3 z3 W- |3 ~浸水还是要的,这国产光刻机按公布的指标应该还是没法满足YMTC的全部要求。 ...

    . j% p3 {; [' B# T9 y都说工信部这光刻机不是浸润式,但193nm光源,65nm分辨率,正好是2*1.44倍,是不是太巧了?
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    37#
    发表于 2024-9-17 11:43:29 | 只看该作者
    moletronic 发表于 2024-9-17 10:54+ H( b+ I" Z9 h; n0 K; v9 D
    按说这个跨越不算大,但Nikon就是浸水没搞定, J; y, L4 u+ n2 G! c
    所以俺不敢做预测,只敢对已知的做评述 ...

    / u1 p) s3 E# d% k具体工作中还是有很多细节要克服。例如曝光时照到光的水会比遮蔽区的水热一点,这个温差会让水的密度不均匀,从而折射率不均匀,影响成像。为了避免温差,必须让水快速流动混合,但又要避免产生漩涡或者析出气泡。水可以把所接触物品上的杂质洗下来,带到晶圆上,形成缺陷。当初ASML搞浸润式光刻机时,在浸液系统上与林本坚团队合作,方案修改了7-8回,耗时两年多才取得满意的结果。

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  • TA的每日心情
    开心
    2023-2-8 04:51
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    [LV.Master]无

    38#
     楼主| 发表于 2024-9-17 11:59:49 | 只看该作者
    本帖最后由 moletronic 于 2024-9-16 20:02 编辑 7 W. J% z7 J) _% G  N  v! t0 \4 d
    沉宝 发表于 2024-9-16 19:43
    8 M0 X  V9 S* c/ `具体工作中还是有很多细节要克服。例如曝光时照到光的水会比遮蔽区的水热一点,这个温差会让水的密度不均 ...

    * f! F2 p& g4 K: ~  v/ f: Z7 ?; ]; c8 D  T, ]
    这当然不容易,不过两年挺快啦,看看牙膏的10nm……
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  • TA的每日心情
    开心
    2023-2-8 04:51
  • 签到天数: 1811 天

    [LV.Master]无

    39#
     楼主| 发表于 2024-9-17 12:01:58 | 只看该作者
    晨枫 发表于 2024-9-16 19:40$ D& G6 K: `; X6 i% w7 T/ [. K
    都说工信部这光刻机不是浸润式,但193nm光源,65nm分辨率,正好是2*1.44倍,是不是太巧了? ...
    + }1 o7 v2 @/ p
    不知道啦,也许是隐晦放风的说法。
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    40#
    发表于 2024-9-17 17:38:39 | 只看该作者
    晨枫 发表于 2024-9-17 11:13' O5 k& x: P# ~  ^* q
    这倒是个问题。都说韩国人拼,看来还是拼不过中国人。台湾人也是中国人嘛。 ...

    5 R; U7 W! I+ ~1 e0 i9 x& h: c4 ?8 {中国大,各地方人气质不一,各擅胜场。精细活儿江南地方超过东北山东。如此说来,韩国近东北山东,台湾精英是江浙后代。
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