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[科普知识] 国产光刻机猜测

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  • TA的每日心情
    慵懒
    2022-8-27 22:14
  • 签到天数: 351 天

    [LV.8]合体

    21#
    发表于 2024-9-17 08:06:46 | 只看该作者
    晨枫 发表于 2024-9-16 14:00
    5 Z8 H; p0 J  l2 l) L3 q1 i6 x也就是说,即使28nm现在还有光刻机瓶颈,其他也都就绪、只欠东风了。这是好事!
    + D% ?8 s, u$ c; }# t% S' V3 W3 c$ T) [, |6 t
    个人感觉:相比于前一阵 ...
    : j" O+ Y  `' f# r4 r

    * x( j1 [( u# Z, X- s5 k' a0 h
    这就要西方好好领教什么叫产能过剩了。

    & X' ~) x6 w  l8 a$ Q- Z) O, b0 S应该会在5年内实现吧。; b8 m, |; d7 M3 ]  T. V
    4 Q( a" h+ s4 X& {9 E
    微博上有位“沉睡之书11”说的。(不一定准确,可以看看), @- t7 i" O  {6 y$ I$ R
    24-9-16 23:55
    ; w3 J, J9 C7 d1 A. d% m1 V发布于 湖南9 n8 ?- ~  J5 b5 p* b+ L- B* s
    来自 微博网页版
    1 w2 s; P- j' Z. a- n$ }啊,说过很多次了,#光刻机# 不是挖机" A( `% v  [$ U/ J5 K* Z$ w
    不是运过来就能直接开工的。' D$ U2 z) B$ Q. W9 `0 x; J
    他需要调试,需要不断的用,一边用一边调整,等光学畸变稳定——你可以理解为拷机或者汽车发动热机暖机。
    ; _* [: }6 E. i2 D' A- D8 S3 v0 l0 J1 }: A
    这个时间很长,也是我常年说:
    # D' u$ t5 N0 F! d7 p就算今天ASML传送一台EUV给咱,我们拿到第一批量产的芯片流片完(无论7nm,5nm还是多少)起码2年后——这最乐观的2年时间,还得是对EUV非常有经验的顶级工程师来操作优化。$ t( |4 w/ f. I  J* d
    ( |5 m0 }: |9 e% l* u
    现在发布的这台机器是起码3年前就验收了(科工),现在工信部验收推广(产业链),成熟得不行了才拿出来的。你需要,给钱就有,不限量。
    0 D' \* N) `( p6 j7 L4 k7 }+ X" I8 o. x& j
    简单理解就是——这机子是干式光刻机,做的是65-55nm的芯片,一次曝光。; [  m; x* }3 v( j! A: N
    干式光刻机没啥意义,为什么呢?因为改进之后的也可以出产低制程的,向下兼容并且良率更高(成本低方案成熟)4 n4 S: i4 J* L) I+ {' f2 \, v* m
    多重曝光也不是这哥们来做……(我是不清楚干式光刻机有没人搞这个)# |; ?% J, M4 b' V, ?4 I! h
    但这玩意的光路设计啥的,是成型了的。有了它,就加浸没式透镜,修改物镜,最终成品是目前没有验收但肯定存在某个地方的浸没式光刻机,但起码上线了2年了- o$ o' q! Y% M
    , ], b, \. |3 y
    没公布的那个肯定还在不断的调试,修改,更换国产配件。
    ( P8 a/ H' Q) u" Z) `普通人不用管光刻机啥情况——你就看最终产品就是。& K0 a; X  X8 M
    #华为mate70# 也没多久了。
    / h/ W' r( r) @

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    这真是极好的: 5.0
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      发表于 2024-9-18 15:38
    给力: 5 涨姿势: 5 这真是极好的: 5
      发表于 2024-9-17 08:38
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  • TA的每日心情
    开心
    2023-2-8 04:51
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    [LV.Master]无

    22#
     楼主| 发表于 2024-9-17 08:15:36 | 只看该作者
    老财迷 发表于 2024-9-16 16:06
    ' |2 x( n+ z) X' n  I3 y' d  l! m4 h& H应该会在5年内实现吧。
    7 D; y5 V, i' {9 V5 B: d: \& I6 |5 S2 f
    微博上有位“沉睡之书11”说的。(不一定准确,可以看看)

    # ?  ?& N3 m, |" Z- }6 Q# U, j1 K$ V. H& L
    这个有点扯,新机到货后肯定要调试的,但绝对用不了两年的时间。

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    以你说的为准 :)  发表于 2024-9-17 15:27

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    23#
    发表于 2024-9-17 08:39:20 | 只看该作者
    moletronic 发表于 2024-9-16 18:15
    - [. u' _, S0 x7 Q这个有点扯,新机到货后肯定要调试的,但绝对用不了两年的时间。

    % {4 B4 Z) y' K9 Q% r但干式到浸润的步子没那么大,这说对了吗?
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  • TA的每日心情
    开心
    2023-2-8 04:51
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    [LV.Master]无

    24#
     楼主| 发表于 2024-9-17 10:54:17 | 只看该作者
    本帖最后由 moletronic 于 2024-9-16 18:56 编辑
    % r$ i* v; t, K& H. K' G; e) L
    晨枫 发表于 2024-9-16 16:39: r3 O2 }8 y5 M7 d$ \; q1 q. j
    但干式到浸润的步子没那么大,这说对了吗?
    # s& V# v, B+ m. j

    ; b$ y4 b5 _8 ?8 }按说这个跨越不算大,但Nikon就是浸水没搞定
      v' @9 n0 @6 Z7 D7 L8 t8 |+ j所以俺不敢做预测,只敢对已知的做评述

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    25#
    发表于 2024-9-17 11:08:25 | 只看该作者
    晨枫 发表于 2024-9-17 03:34+ R: G% {5 P% @4 @9 Z: `( [
    不过EUV制作7nm可以轻易一次曝光,产率和良率应该提高很多?

    + O5 {6 j6 W  M6 v理论上是这样。但制造芯片是个复杂的过程,需要各方面不断打磨,才能接近理想的结果。现实中的例子,台积电用193nm光刻机率先量产7nm,三星则以更先进的EUV光刻机应战,由于对新型光刻机的熟悉不足,结果良率低下,很多人抛弃三星。最后三星赔本赚吆喝,开出比台积电低30%的代工费用,才勉强留下大客户。

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      发表于 2024-9-17 15:28

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    26#
    发表于 2024-9-17 11:13:01 | 只看该作者
    moletronic 发表于 2024-9-16 20:544 A  [6 C  U8 ~0 Z  ^* s/ |* u
    按说这个跨越不算大,但Nikon就是浸水没搞定
    $ q* z( N3 K, v7 W- a( K所以俺不敢做预测,只敢对已知的做评述 ...
    8 l7 w5 @/ Y3 O9 d
    有道理。
    . p' I7 I! |% t- y* ?% i# S" T0 j5 T* }9 Y% e3 Q" T6 A
    不过现在看尼康和佳能的光刻机,总有感觉他们已经三心二意了。既然干不过阿斯麦,就用最小投资吊着。不退场,但也不全力以赴。
    1 K# B4 K* b, V0 y: U
    : C" W/ \  S: f0 R" A0 |中国肯定是全力以赴的。而且倾国之力肯定大于尼康、佳能。' f, }( X2 y6 b( o
    % w  D& V  Q& C/ [0 Y* z
    这会有差别吗?
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    27#
    发表于 2024-9-17 11:13:37 | 只看该作者
    沉宝 发表于 2024-9-16 21:08- x, \* F% C0 \+ ~* A
    理论上是这样。但制造芯片是个复杂的过程,需要各方面不断打磨,才能接近理想的结果。现实中的例子,台积 ...
    9 ^, _6 m0 [0 N$ s( i4 w/ V
    这倒是个问题。都说韩国人拼,看来还是拼不过中国人。台湾人也是中国人嘛。
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    28#
    发表于 2024-9-17 11:19:08 | 只看该作者
    moletronic 发表于 2024-9-17 10:54
    ; @: w2 w' P" ], R3 x按说这个跨越不算大,但Nikon就是浸水没搞定1 @+ z$ [" [* Q' t
    所以俺不敢做预测,只敢对已知的做评述 ...
    - o, p% A' D. D7 w8 B" y2 |: x
    还没搞定?
    3 h0 d) j- x3 N1 L2 b我可能是09年去给Nikon做实验,他们想搞明白光刻机里面为什么会产生微气泡,想买个做实验的系统。我在的小破公司搭了一个,然后过去一起做,看能不能用。那个时候估计还是早期,这些基础的问题都没个数。做了几个实验,证明可以捕捉到微气泡发生,成长和运动的轨迹,我就撤了。这都十五年过去了。" f: a* D% L; D" u+ f1 U
    尼康那时候已经有点不灵的迹象,食堂里面睡满了安装队的人。正常的话那些人都是满世界跑给别人装机器的。, w5 ?1 F$ ]2 r2 c7 R

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    坛里藏龙卧虎啊  发表于 2024-9-17 15:31

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    29#
    发表于 2024-9-17 11:21:47 | 只看该作者
    moletronic 发表于 2024-9-16 20:54( B; [: J3 k8 |' m
    按说这个跨越不算大,但Nikon就是浸水没搞定; X+ W- \) u7 X3 s* {* I
    所以俺不敢做预测,只敢对已知的做评述 ...

    - _1 @6 O" u8 c0 _; y6 H突然想起来:现在就聚焦于逻辑芯片,存储芯片用的芯片技术一样吗?前一段听说长江还是谁的128还是256层NAND也被卡了,因为光刻机的事,这说法准确吗?高端NAND需要多少nm节点的光刻机?
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    30#
    发表于 2024-9-17 11:23:33 | 只看该作者
    晨枫 发表于 2024-9-17 11:13- C9 o1 {+ _8 M* ~
    有道理。
    $ P* j* B& q& d! q$ ~3 o
    , s5 v9 G8 ^- a# a9 o不过现在看尼康和佳能的光刻机,总有感觉他们已经三心二意了。既然干不过阿斯麦,就用最小投资 ...

    $ a6 E& w4 m5 q" f, ~可能是真没钱投资了。这些钱政府应该赞助的,可是政府也难呐,到处都是嗷嗷待哺的嘴,捉了个虫也不知道塞哪张嘴里。3 m7 |7 ~+ z0 m2 B3 u$ v
    很多年前日本媒体评价日本财政用了很形象的词,叫硬直化。所有的钱都有定好的用处,几乎没有活动钱。需要财政支持的时候十分狼狈。该做的事情做不了,钱全都拿去维持日常运转了。

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      发表于 2024-9-17 15:32

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    [LV.Master]无

    31#
     楼主| 发表于 2024-9-17 11:28:54 | 只看该作者
    本帖最后由 moletronic 于 2024-9-16 19:33 编辑
    : X% x+ v* ]# D3 k% O
    雷声 发表于 2024-9-16 19:19
    / |2 L( w; w4 W. v  s还没搞定?
    ! ]  f  i4 C0 z& p我可能是09年去给Nikon做实验,他们想搞明白光刻机里面为什么会产生微气泡,想买个做实验的 ...

    ! V9 }1 b5 I( g+ {) G" m8 V
    ! e) H( W; ^: V: i4 _  eNikon是稳定性不行,被牙膏退货后就没人再买。疫情前去开spie的会,Nikon还吹牛自己行了,但主流客户没人用。0 d) e+ B5 p3 r' @
    有网上谣言说华为买了些Nikon自己魔改做出了9100…俺比较怀疑真实性。
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    开心
    2023-2-8 04:51
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    [LV.Master]无

    32#
     楼主| 发表于 2024-9-17 11:31:01 | 只看该作者
    晨枫 发表于 2024-9-16 19:21
    7 T7 F( V1 C6 k0 J$ R突然想起来:现在就聚焦于逻辑芯片,存储芯片用的芯片技术一样吗?前一段听说长江还是谁的128还是256层NA ...
    . x  U4 r: I$ @0 P5 M6 y" a/ m
    存储和逻辑的工艺重点不一样,节点体系也不同。存储那边现在还没上EUV。
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    33#
    发表于 2024-9-17 11:34:00 | 只看该作者
    moletronic 发表于 2024-9-16 21:31
    : E. W: T$ W) b2 j. B+ t1 W- E8 K存储和逻辑的工艺重点不一样,节点体系也不同。存储那边现在还没上EUV。 ...

    4 q, \* i2 e* M9 T3 T( B9 C需要用到浸润DUV吗?2 c( _" O0 G. G
    1 z8 A3 v: C, j  v  m
    我的问题其实是:65nm光刻机能解决国内NAND厂的设备禁运问题吗?
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    开心
    2023-2-8 04:51
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    [LV.Master]无

    34#
     楼主| 发表于 2024-9-17 11:37:50 | 只看该作者
    晨枫 发表于 2024-9-16 19:34
    ( k$ r1 {8 X4 x+ f' A9 V需要用到浸润DUV吗?
    $ `* _( h2 [% Y9 z% m; P3 r" N; w
    1 B- s7 `8 q; A5 y7 O我的问题其实是:65nm光刻机能解决国内NAND厂的设备禁运问题吗? ...
    " r" }  I  h4 U+ X. l
    浸水还是要的,这国产光刻机按公布的指标应该还是没法满足YMTC的全部要求。
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    35#
    发表于 2024-9-17 11:38:06 | 只看该作者
    雷声 发表于 2024-9-16 21:23/ C# O  |1 ]* a/ h4 j! z4 T
    可能是真没钱投资了。这些钱政府应该赞助的,可是政府也难呐,到处都是嗷嗷待哺的嘴,捉了个虫也不知道塞 ...

    # ~$ F* r5 s3 I. [0 d! C0 R0 ^1 q6 C" k. y是的,需要钱的地方太多,但光刻机和芯片可能是不计代价砸钱的方向,优先级比谁都高。这个瓶颈突破后,不只是军事、科技上的阳关道,经济上也是大片的处女地啊。( d7 s( e$ f! O- C7 z/ @
    0 ]- J  z7 Z4 f4 I2 W3 x- `
    硬直化很形象。确实,西方家大业大,花钱手笔也大,但每一笔钱都预定了用处,活动余地真心很小。你看看美国在预算削减时那个鸡飞狗跳,就知道真是谁都动不得。“平均剃头”是公认的最坏选择,但是唯一大家可接受的选择。
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    36#
    发表于 2024-9-17 11:40:47 | 只看该作者
    moletronic 发表于 2024-9-16 21:37
    . M9 v8 W8 e+ h8 t浸水还是要的,这国产光刻机按公布的指标应该还是没法满足YMTC的全部要求。 ...

    6 n- [! V( y6 w4 v7 W4 u: N5 R都说工信部这光刻机不是浸润式,但193nm光源,65nm分辨率,正好是2*1.44倍,是不是太巧了?
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    37#
    发表于 2024-9-17 11:43:29 | 只看该作者
    moletronic 发表于 2024-9-17 10:548 V" H4 y6 e. n4 K* k# \7 I
    按说这个跨越不算大,但Nikon就是浸水没搞定
    7 h; X  h- X1 r% H6 }9 @% Y4 |所以俺不敢做预测,只敢对已知的做评述 ...
    2 a- v( I, r/ o6 y$ A' C
    具体工作中还是有很多细节要克服。例如曝光时照到光的水会比遮蔽区的水热一点,这个温差会让水的密度不均匀,从而折射率不均匀,影响成像。为了避免温差,必须让水快速流动混合,但又要避免产生漩涡或者析出气泡。水可以把所接触物品上的杂质洗下来,带到晶圆上,形成缺陷。当初ASML搞浸润式光刻机时,在浸液系统上与林本坚团队合作,方案修改了7-8回,耗时两年多才取得满意的结果。

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  • TA的每日心情
    开心
    2023-2-8 04:51
  • 签到天数: 1811 天

    [LV.Master]无

    38#
     楼主| 发表于 2024-9-17 11:59:49 | 只看该作者
    本帖最后由 moletronic 于 2024-9-16 20:02 编辑 3 w! F/ L7 v) u: v! b9 {
    沉宝 发表于 2024-9-16 19:43  t6 Z) _0 J0 E  c, j6 k: b
    具体工作中还是有很多细节要克服。例如曝光时照到光的水会比遮蔽区的水热一点,这个温差会让水的密度不均 ...
    - w# W. E$ L% P; W8 C% ^0 V
    % p! w0 H9 U3 [' X$ W' {
    这当然不容易,不过两年挺快啦,看看牙膏的10nm……
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  • TA的每日心情
    开心
    2023-2-8 04:51
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    [LV.Master]无

    39#
     楼主| 发表于 2024-9-17 12:01:58 | 只看该作者
    晨枫 发表于 2024-9-16 19:40
    6 h! v$ D" B! r+ e' F5 s5 w7 Y都说工信部这光刻机不是浸润式,但193nm光源,65nm分辨率,正好是2*1.44倍,是不是太巧了? ...
    0 ]) m5 c9 v' C  {% f9 ~" ]% U4 f# B
    不知道啦,也许是隐晦放风的说法。
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    40#
    发表于 2024-9-17 17:38:39 | 只看该作者
    晨枫 发表于 2024-9-17 11:13
    : X5 a' Z. a8 F6 P这倒是个问题。都说韩国人拼,看来还是拼不过中国人。台湾人也是中国人嘛。 ...

    ' Q8 \# u2 g. y* h- D: x& T3 E5 m+ @: R中国大,各地方人气质不一,各擅胜场。精细活儿江南地方超过东北山东。如此说来,韩国近东北山东,台湾精英是江浙后代。
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