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[科普知识] 国产光刻机猜测

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  • TA的每日心情
    慵懒
    2022-8-27 22:14
  • 签到天数: 351 天

    [LV.8]合体

    21#
    发表于 2024-9-17 08:06:46 | 只看该作者
    晨枫 发表于 2024-9-16 14:00
    ) Z* r, w) p" `  _% Q也就是说,即使28nm现在还有光刻机瓶颈,其他也都就绪、只欠东风了。这是好事!! j) Z% u+ h/ h0 a' q. l  e

    ) [7 s- }8 Y0 K2 {, L个人感觉:相比于前一阵 ...

      e* ]3 I+ G0 e  t
    6 i! T  T6 m/ n) W4 ^  v3 r
    这就要西方好好领教什么叫产能过剩了。

    1 x# p& k9 S" v- X, Y6 G应该会在5年内实现吧。' Y7 p0 U0 T( N/ k
    3 ]( S0 c( c4 n; ?8 Z" N
    微博上有位“沉睡之书11”说的。(不一定准确,可以看看)
    % w1 \8 N7 c+ s& P. g- m24-9-16 23:55
    + f3 d! r9 G, N发布于 湖南% q. k  K) p5 N& Q* [2 P
    来自 微博网页版3 m* u% q. v1 `6 \  j" N
    啊,说过很多次了,#光刻机# 不是挖机: @9 X: S# a' V5 p* ?
    不是运过来就能直接开工的。' I5 R2 n! ?8 f1 E7 f
    他需要调试,需要不断的用,一边用一边调整,等光学畸变稳定——你可以理解为拷机或者汽车发动热机暖机。
    5 L; o" K  T4 M. H
    8 }$ w/ e) P' Z4 M8 v  \这个时间很长,也是我常年说:
    - w; k1 D8 v+ Q2 E就算今天ASML传送一台EUV给咱,我们拿到第一批量产的芯片流片完(无论7nm,5nm还是多少)起码2年后——这最乐观的2年时间,还得是对EUV非常有经验的顶级工程师来操作优化。( G% ~, X& C* t1 @* {+ X
    / E# k& j9 @/ x4 S9 T( o5 P
    现在发布的这台机器是起码3年前就验收了(科工),现在工信部验收推广(产业链),成熟得不行了才拿出来的。你需要,给钱就有,不限量。
    8 S2 k1 j- R1 j
    " x  k' B5 {; [+ ?. v简单理解就是——这机子是干式光刻机,做的是65-55nm的芯片,一次曝光。2 s3 I  k% S! k5 T4 N
    干式光刻机没啥意义,为什么呢?因为改进之后的也可以出产低制程的,向下兼容并且良率更高(成本低方案成熟)
    % S( O/ b' ~/ [& R( s$ X多重曝光也不是这哥们来做……(我是不清楚干式光刻机有没人搞这个)
    ( [  j) L; g) J7 L" {7 Q) x但这玩意的光路设计啥的,是成型了的。有了它,就加浸没式透镜,修改物镜,最终成品是目前没有验收但肯定存在某个地方的浸没式光刻机,但起码上线了2年了/ ]& T( w' x2 l; T$ M
    0 V& ^. D8 ^# z; d3 }5 Z9 _% O
    没公布的那个肯定还在不断的调试,修改,更换国产配件。
    9 u% o) u0 H7 v' L普通人不用管光刻机啥情况——你就看最终产品就是。
      t2 [$ T" ]& }! c9 q( U#华为mate70# 也没多久了。6 G1 ^. r: J' _( i( G; }7 ~

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    这真是极好的: 5.0
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      发表于 2024-9-18 15:38
    给力: 5 涨姿势: 5 这真是极好的: 5
      发表于 2024-9-17 08:38
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  • TA的每日心情
    开心
    2023-2-8 04:51
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    [LV.Master]无

    22#
     楼主| 发表于 2024-9-17 08:15:36 | 只看该作者
    老财迷 发表于 2024-9-16 16:060 G( l6 @- @6 d, {
    应该会在5年内实现吧。
    ) y+ Y& K* v8 T* U3 T: x# R+ `( D3 L% t4 {* s
    微博上有位“沉睡之书11”说的。(不一定准确,可以看看)
    7 L! p0 y/ v* Q. y$ M
    : J4 Z: F4 z6 T5 T
    这个有点扯,新机到货后肯定要调试的,但绝对用不了两年的时间。

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    以你说的为准 :)  发表于 2024-9-17 15:27

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    23#
    发表于 2024-9-17 08:39:20 | 只看该作者
    moletronic 发表于 2024-9-16 18:15
    " h8 y+ X& f8 m( l; N5 T5 L, W这个有点扯,新机到货后肯定要调试的,但绝对用不了两年的时间。

    $ _3 d" c6 `- O; p) t. x; P但干式到浸润的步子没那么大,这说对了吗?
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  • TA的每日心情
    开心
    2023-2-8 04:51
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    [LV.Master]无

    24#
     楼主| 发表于 2024-9-17 10:54:17 | 只看该作者
    本帖最后由 moletronic 于 2024-9-16 18:56 编辑 3 E. g! y0 G  M/ X3 E# t8 t6 F3 A
    晨枫 发表于 2024-9-16 16:39
    + d0 H) C9 N- p* W但干式到浸润的步子没那么大,这说对了吗?

    / I' O! @6 |' }/ k6 d6 [0 E8 L
    按说这个跨越不算大,但Nikon就是浸水没搞定
    5 W- ]# _- }( b所以俺不敢做预测,只敢对已知的做评述

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    25#
    发表于 2024-9-17 11:08:25 | 只看该作者
    晨枫 发表于 2024-9-17 03:34% T4 ^3 q, o% [2 ?7 o) k8 k, I
    不过EUV制作7nm可以轻易一次曝光,产率和良率应该提高很多?
    5 I% W/ K" B+ f/ `" N3 {
    理论上是这样。但制造芯片是个复杂的过程,需要各方面不断打磨,才能接近理想的结果。现实中的例子,台积电用193nm光刻机率先量产7nm,三星则以更先进的EUV光刻机应战,由于对新型光刻机的熟悉不足,结果良率低下,很多人抛弃三星。最后三星赔本赚吆喝,开出比台积电低30%的代工费用,才勉强留下大客户。

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      发表于 2024-9-17 15:28

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    26#
    发表于 2024-9-17 11:13:01 | 只看该作者
    moletronic 发表于 2024-9-16 20:549 G% Y0 o: D2 ^% H# }6 P; `
    按说这个跨越不算大,但Nikon就是浸水没搞定
    & p* ?+ q5 u* B6 e6 f. B9 F所以俺不敢做预测,只敢对已知的做评述 ...

    ; C( z. ]0 X$ i6 r; U2 N: e/ L有道理。
      M; y) K% c1 C7 W/ I5 y4 B
    . k( Q' B9 p9 ?. h# E1 _& F不过现在看尼康和佳能的光刻机,总有感觉他们已经三心二意了。既然干不过阿斯麦,就用最小投资吊着。不退场,但也不全力以赴。3 `2 f/ a: Y, O" p

    * y2 [" c, U* G' m# M0 Q: U- U中国肯定是全力以赴的。而且倾国之力肯定大于尼康、佳能。8 M7 s) X+ m) j3 C

    2 |, F. S' ~* W这会有差别吗?
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    27#
    发表于 2024-9-17 11:13:37 | 只看该作者
    沉宝 发表于 2024-9-16 21:08, {8 ?; b* B% Z  v6 P
    理论上是这样。但制造芯片是个复杂的过程,需要各方面不断打磨,才能接近理想的结果。现实中的例子,台积 ...

    4 e- ?) f$ h0 u. l) K这倒是个问题。都说韩国人拼,看来还是拼不过中国人。台湾人也是中国人嘛。
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    28#
    发表于 2024-9-17 11:19:08 | 只看该作者
    moletronic 发表于 2024-9-17 10:549 S! o) K* d0 Z2 p2 F; W+ N
    按说这个跨越不算大,但Nikon就是浸水没搞定3 {' A6 C' E1 T1 ?) a; c
    所以俺不敢做预测,只敢对已知的做评述 ...
    9 h, x: Y' `: B$ t. w' e
    还没搞定? 6 g+ \+ M/ J; _- p! o3 V' l
    我可能是09年去给Nikon做实验,他们想搞明白光刻机里面为什么会产生微气泡,想买个做实验的系统。我在的小破公司搭了一个,然后过去一起做,看能不能用。那个时候估计还是早期,这些基础的问题都没个数。做了几个实验,证明可以捕捉到微气泡发生,成长和运动的轨迹,我就撤了。这都十五年过去了。% n. U/ }, w: h
    尼康那时候已经有点不灵的迹象,食堂里面睡满了安装队的人。正常的话那些人都是满世界跑给别人装机器的。
    # ~/ O9 c. c/ z' z/ C7 y

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    坛里藏龙卧虎啊  发表于 2024-9-17 15:31

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    29#
    发表于 2024-9-17 11:21:47 | 只看该作者
    moletronic 发表于 2024-9-16 20:540 ^" f1 U7 P  H' V2 u; V
    按说这个跨越不算大,但Nikon就是浸水没搞定
    5 S. A3 s3 q5 H, \所以俺不敢做预测,只敢对已知的做评述 ...
    & c2 F8 b; V* y) y8 l! x
    突然想起来:现在就聚焦于逻辑芯片,存储芯片用的芯片技术一样吗?前一段听说长江还是谁的128还是256层NAND也被卡了,因为光刻机的事,这说法准确吗?高端NAND需要多少nm节点的光刻机?
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    30#
    发表于 2024-9-17 11:23:33 | 只看该作者
    晨枫 发表于 2024-9-17 11:13* C  Q( ~4 d' N# L+ G- c
    有道理。
    , V7 c" C8 W$ a8 U0 b6 z7 P* W
    9 D; _9 @4 C' s: Y不过现在看尼康和佳能的光刻机,总有感觉他们已经三心二意了。既然干不过阿斯麦,就用最小投资 ...
    4 z* F6 y, H5 `' z6 B
    可能是真没钱投资了。这些钱政府应该赞助的,可是政府也难呐,到处都是嗷嗷待哺的嘴,捉了个虫也不知道塞哪张嘴里。
    8 p" g5 X- }. l; l  j很多年前日本媒体评价日本财政用了很形象的词,叫硬直化。所有的钱都有定好的用处,几乎没有活动钱。需要财政支持的时候十分狼狈。该做的事情做不了,钱全都拿去维持日常运转了。

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      发表于 2024-9-17 15:32

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    31#
     楼主| 发表于 2024-9-17 11:28:54 | 只看该作者
    本帖最后由 moletronic 于 2024-9-16 19:33 编辑 7 [7 \7 S/ L3 U. l4 `
    雷声 发表于 2024-9-16 19:19; m; f/ B! K3 [, H6 E
    还没搞定?
    7 O$ x0 }! R" ?) A我可能是09年去给Nikon做实验,他们想搞明白光刻机里面为什么会产生微气泡,想买个做实验的 ...
    : Z" z' i- x* q! H6 m0 e

    & m0 X& _- h; q" W9 [( g$ UNikon是稳定性不行,被牙膏退货后就没人再买。疫情前去开spie的会,Nikon还吹牛自己行了,但主流客户没人用。
    0 i, u$ S3 y( Q, ]) o有网上谣言说华为买了些Nikon自己魔改做出了9100…俺比较怀疑真实性。
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    32#
     楼主| 发表于 2024-9-17 11:31:01 | 只看该作者
    晨枫 发表于 2024-9-16 19:21
    6 M) O# q9 Z2 F' ?8 \7 B突然想起来:现在就聚焦于逻辑芯片,存储芯片用的芯片技术一样吗?前一段听说长江还是谁的128还是256层NA ...

    7 h  |1 K3 M% P2 M) i; G; v% ~存储和逻辑的工艺重点不一样,节点体系也不同。存储那边现在还没上EUV。
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    33#
    发表于 2024-9-17 11:34:00 | 只看该作者
    moletronic 发表于 2024-9-16 21:31
    + C+ d" p' j8 |; P$ J8 h存储和逻辑的工艺重点不一样,节点体系也不同。存储那边现在还没上EUV。 ...

    & J' n5 S1 D0 R- l需要用到浸润DUV吗?
      I! o2 r/ Q: C& p& A+ s
    , C2 ]9 b1 _9 J3 c+ M+ p: n7 e我的问题其实是:65nm光刻机能解决国内NAND厂的设备禁运问题吗?
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    [LV.Master]无

    34#
     楼主| 发表于 2024-9-17 11:37:50 | 只看该作者
    晨枫 发表于 2024-9-16 19:34
    % m* L! s8 s- m7 N: a, h1 s" Q2 x# W需要用到浸润DUV吗?
    + x+ _$ N8 V" ~4 E' L1 p5 ]
    4 g$ {) `) E+ \8 l6 |7 {+ c我的问题其实是:65nm光刻机能解决国内NAND厂的设备禁运问题吗? ...
    ( ^2 Y% j0 |6 r2 {
    浸水还是要的,这国产光刻机按公布的指标应该还是没法满足YMTC的全部要求。
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    35#
    发表于 2024-9-17 11:38:06 | 只看该作者
    雷声 发表于 2024-9-16 21:23  ^% s1 b* f" E( v  C8 p5 [
    可能是真没钱投资了。这些钱政府应该赞助的,可是政府也难呐,到处都是嗷嗷待哺的嘴,捉了个虫也不知道塞 ...

    6 l( V! [4 E9 D是的,需要钱的地方太多,但光刻机和芯片可能是不计代价砸钱的方向,优先级比谁都高。这个瓶颈突破后,不只是军事、科技上的阳关道,经济上也是大片的处女地啊。2 v* I% S. B. x1 t- y8 i

    9 K/ [' @* |, p1 P, B$ ^' h/ I硬直化很形象。确实,西方家大业大,花钱手笔也大,但每一笔钱都预定了用处,活动余地真心很小。你看看美国在预算削减时那个鸡飞狗跳,就知道真是谁都动不得。“平均剃头”是公认的最坏选择,但是唯一大家可接受的选择。
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    36#
    发表于 2024-9-17 11:40:47 | 只看该作者
    moletronic 发表于 2024-9-16 21:37$ ^+ z6 B* [& v5 F4 v3 U
    浸水还是要的,这国产光刻机按公布的指标应该还是没法满足YMTC的全部要求。 ...

    2 {: j9 {6 `" s3 ]2 \1 o) y都说工信部这光刻机不是浸润式,但193nm光源,65nm分辨率,正好是2*1.44倍,是不是太巧了?
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    37#
    发表于 2024-9-17 11:43:29 | 只看该作者
    moletronic 发表于 2024-9-17 10:54
    2 ~  G- M4 K* r. k* f" f1 F. N按说这个跨越不算大,但Nikon就是浸水没搞定, Y, r% o' t5 [1 R
    所以俺不敢做预测,只敢对已知的做评述 ...

    ' M7 E8 J0 Q$ ~6 H# I* T具体工作中还是有很多细节要克服。例如曝光时照到光的水会比遮蔽区的水热一点,这个温差会让水的密度不均匀,从而折射率不均匀,影响成像。为了避免温差,必须让水快速流动混合,但又要避免产生漩涡或者析出气泡。水可以把所接触物品上的杂质洗下来,带到晶圆上,形成缺陷。当初ASML搞浸润式光刻机时,在浸液系统上与林本坚团队合作,方案修改了7-8回,耗时两年多才取得满意的结果。

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  • TA的每日心情
    开心
    2023-2-8 04:51
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    [LV.Master]无

    38#
     楼主| 发表于 2024-9-17 11:59:49 | 只看该作者
    本帖最后由 moletronic 于 2024-9-16 20:02 编辑
    " V, m& K" k  U7 f
    沉宝 发表于 2024-9-16 19:43
    2 p% }9 v5 x2 u% c7 e* N具体工作中还是有很多细节要克服。例如曝光时照到光的水会比遮蔽区的水热一点,这个温差会让水的密度不均 ...

    7 F: W9 S! d3 a) s5 {  d& Q; \4 A3 q0 e5 ?  j$ ^( Z" E5 P! G) U
    这当然不容易,不过两年挺快啦,看看牙膏的10nm……
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  • TA的每日心情
    开心
    2023-2-8 04:51
  • 签到天数: 1811 天

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    39#
     楼主| 发表于 2024-9-17 12:01:58 | 只看该作者
    晨枫 发表于 2024-9-16 19:40
    7 R8 e  \; p. M* C0 J4 L都说工信部这光刻机不是浸润式,但193nm光源,65nm分辨率,正好是2*1.44倍,是不是太巧了? ...
    + U) ^& s& H# d/ C; i' n/ b% Z
    不知道啦,也许是隐晦放风的说法。
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    40#
    发表于 2024-9-17 17:38:39 | 只看该作者
    晨枫 发表于 2024-9-17 11:13) X; M" t# u) P; z+ Z
    这倒是个问题。都说韩国人拼,看来还是拼不过中国人。台湾人也是中国人嘛。 ...

    . T$ p8 e: m1 k中国大,各地方人气质不一,各擅胜场。精细活儿江南地方超过东北山东。如此说来,韩国近东北山东,台湾精英是江浙后代。
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