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[科普知识] 国产光刻机猜测

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  • TA的每日心情
    慵懒
    2022-8-27 22:14
  • 签到天数: 351 天

    [LV.8]合体

    21#
    发表于 2024-9-17 08:06:46 | 只看该作者
    晨枫 发表于 2024-9-16 14:00- y* Z( z5 h4 z- v" T5 N
    也就是说,即使28nm现在还有光刻机瓶颈,其他也都就绪、只欠东风了。这是好事!* t& S% w) |6 H, G1 s
    7 Q8 S. U: g( c6 {6 q* a
    个人感觉:相比于前一阵 ...

    2 i! L1 O2 B! v/ u: D8 A+ A& R& G% a
    这就要西方好好领教什么叫产能过剩了。

    . b$ Y4 J$ X6 ~) v/ R+ P应该会在5年内实现吧。
    . k6 C9 P4 D8 y9 u$ M7 V) R
    + i: u! a( y1 A7 a3 T; q1 Q7 s9 q微博上有位“沉睡之书11”说的。(不一定准确,可以看看)
    : z) P6 a8 J% Y+ f( J( {* W8 }24-9-16 23:55
    . t* M2 G- i# U- S2 X发布于 湖南; Y5 Z4 T9 l; q0 N
    来自 微博网页版
    4 M+ X% y7 z. Y8 g. P啊,说过很多次了,#光刻机# 不是挖机6 @1 O! M1 [. m
    不是运过来就能直接开工的。! _9 X& B6 m; m: X  I1 f3 a, Q1 y6 k* A* B2 C
    他需要调试,需要不断的用,一边用一边调整,等光学畸变稳定——你可以理解为拷机或者汽车发动热机暖机。
    0 B, a" f! k/ }/ z% D; u5 `3 G, ?' y7 N/ Z) c" b
    这个时间很长,也是我常年说:
    7 z( g& W+ \" |5 Q! \就算今天ASML传送一台EUV给咱,我们拿到第一批量产的芯片流片完(无论7nm,5nm还是多少)起码2年后——这最乐观的2年时间,还得是对EUV非常有经验的顶级工程师来操作优化。0 _: I- l" |* B2 {6 W6 L: s4 A& L# S
    ( P6 {2 ?- [* |7 A9 S# M1 H0 N0 _3 g
    现在发布的这台机器是起码3年前就验收了(科工),现在工信部验收推广(产业链),成熟得不行了才拿出来的。你需要,给钱就有,不限量。
    8 B# X# I9 R! j. }& {
    6 U4 w5 j, L" ~8 C  |' q1 y简单理解就是——这机子是干式光刻机,做的是65-55nm的芯片,一次曝光。
    ' a  g) v  j% B7 ~4 Y: {6 m5 y干式光刻机没啥意义,为什么呢?因为改进之后的也可以出产低制程的,向下兼容并且良率更高(成本低方案成熟)/ o, x# U+ n2 o/ Y$ ?" {" R
    多重曝光也不是这哥们来做……(我是不清楚干式光刻机有没人搞这个)
    7 T: _/ f( I% F9 [! }5 }但这玩意的光路设计啥的,是成型了的。有了它,就加浸没式透镜,修改物镜,最终成品是目前没有验收但肯定存在某个地方的浸没式光刻机,但起码上线了2年了! `" T% e7 m! V# P- r* A

    ! _1 B4 C' u' L* b: d没公布的那个肯定还在不断的调试,修改,更换国产配件。. h1 ^9 y9 ?' ^2 |- d: Q' n
    普通人不用管光刻机啥情况——你就看最终产品就是。
    ( I4 s+ d2 K5 c3 w3 @, W6 a#华为mate70# 也没多久了。
    + ]! j. d; N3 `) r

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    这真是极好的: 5.0
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      发表于 2024-9-18 15:38
    给力: 5 涨姿势: 5 这真是极好的: 5
      发表于 2024-9-17 08:38
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  • TA的每日心情
    开心
    2023-2-8 04:51
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    [LV.Master]无

    22#
     楼主| 发表于 2024-9-17 08:15:36 | 只看该作者
    老财迷 发表于 2024-9-16 16:06
    ' x  Z5 E3 Y) j: @( `, j应该会在5年内实现吧。) y0 B( Q  O  l

    " h9 ]) A' I! F2 x7 n, Z, ?6 \微博上有位“沉睡之书11”说的。(不一定准确,可以看看)
    3 V; b9 R* X- n' `$ ^  ]" ~+ K
    ' i0 P; G1 D8 Y, }* ]1 |3 w! ~2 X4 E
    这个有点扯,新机到货后肯定要调试的,但绝对用不了两年的时间。

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    油菜: 5 给力: 5
    以你说的为准 :)  发表于 2024-9-17 15:27

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    23#
    发表于 2024-9-17 08:39:20 | 只看该作者
    moletronic 发表于 2024-9-16 18:15
    " G0 D" T2 d' k这个有点扯,新机到货后肯定要调试的,但绝对用不了两年的时间。
      N: E$ r+ G! R6 P! J
    但干式到浸润的步子没那么大,这说对了吗?
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  • TA的每日心情
    开心
    2023-2-8 04:51
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    [LV.Master]无

    24#
     楼主| 发表于 2024-9-17 10:54:17 | 只看该作者
    本帖最后由 moletronic 于 2024-9-16 18:56 编辑 . g/ U/ V8 ]$ N# o9 V8 R. J
    晨枫 发表于 2024-9-16 16:39% {2 b/ G" u) g: ~" \
    但干式到浸润的步子没那么大,这说对了吗?

    $ n7 q3 I3 d# h7 z' g" d
    2 y& l9 S9 [# E8 ?! x3 ~$ p  n0 i. s按说这个跨越不算大,但Nikon就是浸水没搞定1 O- X) z; c; _, a" @' V5 x: I1 p
    所以俺不敢做预测,只敢对已知的做评述

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    25#
    发表于 2024-9-17 11:08:25 | 只看该作者
    晨枫 发表于 2024-9-17 03:342 m, }: X6 b% @6 x1 \' N/ b7 I
    不过EUV制作7nm可以轻易一次曝光,产率和良率应该提高很多?

    ) P) Z, O" k: o- `8 K& K* O理论上是这样。但制造芯片是个复杂的过程,需要各方面不断打磨,才能接近理想的结果。现实中的例子,台积电用193nm光刻机率先量产7nm,三星则以更先进的EUV光刻机应战,由于对新型光刻机的熟悉不足,结果良率低下,很多人抛弃三星。最后三星赔本赚吆喝,开出比台积电低30%的代工费用,才勉强留下大客户。

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      发表于 2024-9-17 15:28

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    26#
    发表于 2024-9-17 11:13:01 | 只看该作者
    moletronic 发表于 2024-9-16 20:54
    $ m2 C' t. `2 U" Q* b9 T按说这个跨越不算大,但Nikon就是浸水没搞定" E) u# r1 B" |" e; f: D
    所以俺不敢做预测,只敢对已知的做评述 ...

    / b* L9 q/ }  H% Z5 m, n有道理。
    8 j3 d& M; ]6 t# t0 g- N
    $ w' f0 d/ H' [) X不过现在看尼康和佳能的光刻机,总有感觉他们已经三心二意了。既然干不过阿斯麦,就用最小投资吊着。不退场,但也不全力以赴。0 ^9 L& n, I$ e) U) Y  m+ e, N# ^
    7 g, p2 e5 C4 j8 X
    中国肯定是全力以赴的。而且倾国之力肯定大于尼康、佳能。+ t" E* [- q4 o7 [- H/ E5 J
    & E% t; {) M( i2 U7 r- b
    这会有差别吗?
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    27#
    发表于 2024-9-17 11:13:37 | 只看该作者
    沉宝 发表于 2024-9-16 21:08
    9 ^* n5 X2 J- G8 h' V/ S6 B- f理论上是这样。但制造芯片是个复杂的过程,需要各方面不断打磨,才能接近理想的结果。现实中的例子,台积 ...
    8 b6 Z4 o% X! r- {0 B+ G  o
    这倒是个问题。都说韩国人拼,看来还是拼不过中国人。台湾人也是中国人嘛。
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    28#
    发表于 2024-9-17 11:19:08 | 只看该作者
    moletronic 发表于 2024-9-17 10:54
    : v3 _, T, d% J, D, h按说这个跨越不算大,但Nikon就是浸水没搞定
    , m+ \# P" h7 x! O1 X8 }0 S3 i所以俺不敢做预测,只敢对已知的做评述 ...
    * ?2 |  o$ v  }. P# ]5 K
    还没搞定? 8 m# M' M6 i( X: |. W% O
    我可能是09年去给Nikon做实验,他们想搞明白光刻机里面为什么会产生微气泡,想买个做实验的系统。我在的小破公司搭了一个,然后过去一起做,看能不能用。那个时候估计还是早期,这些基础的问题都没个数。做了几个实验,证明可以捕捉到微气泡发生,成长和运动的轨迹,我就撤了。这都十五年过去了。  I' H& {$ g+ E+ H# P
    尼康那时候已经有点不灵的迹象,食堂里面睡满了安装队的人。正常的话那些人都是满世界跑给别人装机器的。, t1 N, x$ U* W! f! Z

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    坛里藏龙卧虎啊  发表于 2024-9-17 15:31

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    29#
    发表于 2024-9-17 11:21:47 | 只看该作者
    moletronic 发表于 2024-9-16 20:54. z' U, l/ b7 @" d* ^7 {& _
    按说这个跨越不算大,但Nikon就是浸水没搞定* E3 D1 u3 l" f  j8 |( F2 z
    所以俺不敢做预测,只敢对已知的做评述 ...

    9 N: o9 F& C1 J3 G3 Y突然想起来:现在就聚焦于逻辑芯片,存储芯片用的芯片技术一样吗?前一段听说长江还是谁的128还是256层NAND也被卡了,因为光刻机的事,这说法准确吗?高端NAND需要多少nm节点的光刻机?
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    30#
    发表于 2024-9-17 11:23:33 | 只看该作者
    晨枫 发表于 2024-9-17 11:13
    6 d5 a  @# r* R1 J% t有道理。
    ! u5 ?+ I% B$ \8 b  [
    4 q0 |8 k) n  z; z- W不过现在看尼康和佳能的光刻机,总有感觉他们已经三心二意了。既然干不过阿斯麦,就用最小投资 ...
    2 G' M0 f2 K9 p/ a$ k
    可能是真没钱投资了。这些钱政府应该赞助的,可是政府也难呐,到处都是嗷嗷待哺的嘴,捉了个虫也不知道塞哪张嘴里。  o& C' v( R% G4 x  W9 e% U- {" a% {
    很多年前日本媒体评价日本财政用了很形象的词,叫硬直化。所有的钱都有定好的用处,几乎没有活动钱。需要财政支持的时候十分狼狈。该做的事情做不了,钱全都拿去维持日常运转了。

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      发表于 2024-9-17 15:32

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    开心
    2023-2-8 04:51
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    31#
     楼主| 发表于 2024-9-17 11:28:54 | 只看该作者
    本帖最后由 moletronic 于 2024-9-16 19:33 编辑 $ q9 Y! V# }1 ?6 R6 z" P# i
    雷声 发表于 2024-9-16 19:19
    0 u1 F' ]+ O* i$ W还没搞定? ; ^' C. r% D' o* {3 G9 O0 _
    我可能是09年去给Nikon做实验,他们想搞明白光刻机里面为什么会产生微气泡,想买个做实验的 ...

    9 e* n, Y6 z. E
    " m; r7 _: a2 {  M7 ~& ?" F0 u" xNikon是稳定性不行,被牙膏退货后就没人再买。疫情前去开spie的会,Nikon还吹牛自己行了,但主流客户没人用。0 _( O# W' e! V8 g  _
    有网上谣言说华为买了些Nikon自己魔改做出了9100…俺比较怀疑真实性。
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    开心
    2023-2-8 04:51
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    [LV.Master]无

    32#
     楼主| 发表于 2024-9-17 11:31:01 | 只看该作者
    晨枫 发表于 2024-9-16 19:212 ]2 u! s* c" q7 |
    突然想起来:现在就聚焦于逻辑芯片,存储芯片用的芯片技术一样吗?前一段听说长江还是谁的128还是256层NA ...

    . c5 T- `0 i- H1 f6 N存储和逻辑的工艺重点不一样,节点体系也不同。存储那边现在还没上EUV。
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    33#
    发表于 2024-9-17 11:34:00 | 只看该作者
    moletronic 发表于 2024-9-16 21:31
    3 ?5 `( p* R' X9 G- \+ Q. ~* o存储和逻辑的工艺重点不一样,节点体系也不同。存储那边现在还没上EUV。 ...

    % q; Y; v, k( u0 d3 m3 Q3 U8 M需要用到浸润DUV吗?
    - y  b7 G) |, _: h! P& R9 a2 _* R$ u+ Y2 C  o
    我的问题其实是:65nm光刻机能解决国内NAND厂的设备禁运问题吗?
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  • TA的每日心情
    开心
    2023-2-8 04:51
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    [LV.Master]无

    34#
     楼主| 发表于 2024-9-17 11:37:50 | 只看该作者
    晨枫 发表于 2024-9-16 19:34& b/ d* a8 ^8 `1 J5 e
    需要用到浸润DUV吗?; S/ P1 \3 d, v

    5 D# ~0 u4 q/ D我的问题其实是:65nm光刻机能解决国内NAND厂的设备禁运问题吗? ...
    3 F# Z8 Z6 t: m; H/ v4 I" x9 ^% M' t
    浸水还是要的,这国产光刻机按公布的指标应该还是没法满足YMTC的全部要求。
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    35#
    发表于 2024-9-17 11:38:06 | 只看该作者
    雷声 发表于 2024-9-16 21:23" q5 h2 T6 S! M7 t9 ]( k# a$ z
    可能是真没钱投资了。这些钱政府应该赞助的,可是政府也难呐,到处都是嗷嗷待哺的嘴,捉了个虫也不知道塞 ...

    2 j! j' {$ v& \7 S" R( }% v是的,需要钱的地方太多,但光刻机和芯片可能是不计代价砸钱的方向,优先级比谁都高。这个瓶颈突破后,不只是军事、科技上的阳关道,经济上也是大片的处女地啊。1 |1 I9 t3 t% k

    ) o; x! N0 K  H# z硬直化很形象。确实,西方家大业大,花钱手笔也大,但每一笔钱都预定了用处,活动余地真心很小。你看看美国在预算削减时那个鸡飞狗跳,就知道真是谁都动不得。“平均剃头”是公认的最坏选择,但是唯一大家可接受的选择。
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    36#
    发表于 2024-9-17 11:40:47 | 只看该作者
    moletronic 发表于 2024-9-16 21:371 \, |0 ]# C$ P* ~3 u/ Y
    浸水还是要的,这国产光刻机按公布的指标应该还是没法满足YMTC的全部要求。 ...
    ( t* Y% ^4 E/ K9 I1 C: e8 i& W9 a
    都说工信部这光刻机不是浸润式,但193nm光源,65nm分辨率,正好是2*1.44倍,是不是太巧了?
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    37#
    发表于 2024-9-17 11:43:29 | 只看该作者
    moletronic 发表于 2024-9-17 10:541 I8 O" q) a+ m
    按说这个跨越不算大,但Nikon就是浸水没搞定7 l  R- K" x" U4 V
    所以俺不敢做预测,只敢对已知的做评述 ...
    / H0 `# V+ q4 d
    具体工作中还是有很多细节要克服。例如曝光时照到光的水会比遮蔽区的水热一点,这个温差会让水的密度不均匀,从而折射率不均匀,影响成像。为了避免温差,必须让水快速流动混合,但又要避免产生漩涡或者析出气泡。水可以把所接触物品上的杂质洗下来,带到晶圆上,形成缺陷。当初ASML搞浸润式光刻机时,在浸液系统上与林本坚团队合作,方案修改了7-8回,耗时两年多才取得满意的结果。

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  • TA的每日心情
    开心
    2023-2-8 04:51
  • 签到天数: 1811 天

    [LV.Master]无

    38#
     楼主| 发表于 2024-9-17 11:59:49 | 只看该作者
    本帖最后由 moletronic 于 2024-9-16 20:02 编辑 0 [$ E% ]/ M6 H5 Y+ E
    沉宝 发表于 2024-9-16 19:43
    0 o& l4 m* Z) p3 P4 z) T具体工作中还是有很多细节要克服。例如曝光时照到光的水会比遮蔽区的水热一点,这个温差会让水的密度不均 ...
      [; {! x, Y% N" e  ?/ ?

      }1 V0 m2 P  }% c4 U4 q  ]  q这当然不容易,不过两年挺快啦,看看牙膏的10nm……
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  • TA的每日心情
    开心
    2023-2-8 04:51
  • 签到天数: 1811 天

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    39#
     楼主| 发表于 2024-9-17 12:01:58 | 只看该作者
    晨枫 发表于 2024-9-16 19:40* ]8 [' y- ^" t- y
    都说工信部这光刻机不是浸润式,但193nm光源,65nm分辨率,正好是2*1.44倍,是不是太巧了? ...
    / D4 Q# [! k) x$ w( l
    不知道啦,也许是隐晦放风的说法。
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    40#
    发表于 2024-9-17 17:38:39 | 只看该作者
    晨枫 发表于 2024-9-17 11:13
    ' j" P: Z) f; _( {这倒是个问题。都说韩国人拼,看来还是拼不过中国人。台湾人也是中国人嘛。 ...
    / U4 C) N8 l3 q. }) ~' `
    中国大,各地方人气质不一,各擅胜场。精细活儿江南地方超过东北山东。如此说来,韩国近东北山东,台湾精英是江浙后代。
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