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楼主: moletronic
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[科普知识] 国产光刻机猜测

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  • TA的每日心情
    慵懒
    2022-8-27 22:14
  • 签到天数: 351 天

    [LV.8]合体

    21#
    发表于 2024-9-17 08:06:46 | 只看该作者
    晨枫 发表于 2024-9-16 14:00# ^# E$ m3 e. `# K! i8 i4 v3 a
    也就是说,即使28nm现在还有光刻机瓶颈,其他也都就绪、只欠东风了。这是好事!4 o' ~  s' _. S5 h4 R: o

    3 E# v; `  ]+ |( w个人感觉:相比于前一阵 ...

    $ [6 R. Y  L4 {5 G2 U5 R
      r( L* A$ o) M% T) {
    这就要西方好好领教什么叫产能过剩了。
    ; Q1 k* N: m2 U! h3 u2 k9 n( u" E
    应该会在5年内实现吧。
    : {$ K! ?+ r3 V  L* ~
    6 y# y; a. ~- g  d微博上有位“沉睡之书11”说的。(不一定准确,可以看看)0 D$ ]5 [0 X$ S# |: h+ C9 Y
    24-9-16 23:555 |% X4 s' Z0 [+ k* y, f; N
    发布于 湖南
    : e9 s" ~/ s1 k* ^. _: R来自 微博网页版
    7 G5 X$ F6 I4 j; ]& Y/ v, w2 E啊,说过很多次了,#光刻机# 不是挖机
    $ f% ]5 X0 N, Q8 ?7 J不是运过来就能直接开工的。- V" n+ f" t' d5 ~. Z7 i. _+ }- i: t4 n
    他需要调试,需要不断的用,一边用一边调整,等光学畸变稳定——你可以理解为拷机或者汽车发动热机暖机。
    * ?) R# S( g+ m, @* `: o7 O+ }4 a8 S) T1 b0 |1 `5 Y$ Q' x
    这个时间很长,也是我常年说:4 y6 Y: L" E  s/ X) |3 G* j: U
    就算今天ASML传送一台EUV给咱,我们拿到第一批量产的芯片流片完(无论7nm,5nm还是多少)起码2年后——这最乐观的2年时间,还得是对EUV非常有经验的顶级工程师来操作优化。
    + O. a: H, m" g, F1 A- j& p5 ?2 ]7 w
    ! m+ U" t& q. B, e1 j现在发布的这台机器是起码3年前就验收了(科工),现在工信部验收推广(产业链),成熟得不行了才拿出来的。你需要,给钱就有,不限量。
    7 h, H! c2 g" w7 g! ^6 Z1 V& n# K5 v% i$ A/ _
    简单理解就是——这机子是干式光刻机,做的是65-55nm的芯片,一次曝光。' e- n6 Z/ K8 M. _2 T2 W+ }. j$ A
    干式光刻机没啥意义,为什么呢?因为改进之后的也可以出产低制程的,向下兼容并且良率更高(成本低方案成熟)' I, W& R3 c- m0 d
    多重曝光也不是这哥们来做……(我是不清楚干式光刻机有没人搞这个)* n, G6 C& a+ E7 z
    但这玩意的光路设计啥的,是成型了的。有了它,就加浸没式透镜,修改物镜,最终成品是目前没有验收但肯定存在某个地方的浸没式光刻机,但起码上线了2年了
    ) Z% w8 D( {/ \& a& ?+ M' {. z
    ( R0 a3 [" Z: b* @  r# R4 y没公布的那个肯定还在不断的调试,修改,更换国产配件。, `9 f& k3 @& J
    普通人不用管光刻机啥情况——你就看最终产品就是。
    % _# H8 ^3 c. |4 [+ X; b6 Y  |! T#华为mate70# 也没多久了。
    1 y) N# q" Z, b$ q. h

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    这真是极好的: 5.0
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      发表于 2024-9-18 15:38
    给力: 5 涨姿势: 5 这真是极好的: 5
      发表于 2024-9-17 08:38
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  • TA的每日心情
    开心
    2023-2-8 04:51
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    [LV.Master]无

    22#
     楼主| 发表于 2024-9-17 08:15:36 | 只看该作者
    老财迷 发表于 2024-9-16 16:06
    2 W% H0 `9 I( c( }" A应该会在5年内实现吧。& l: O/ v/ i+ g
    . p, Y1 V: @, Z7 i  _+ Z0 k  g
    微博上有位“沉睡之书11”说的。(不一定准确,可以看看)

    ( v8 A, S/ Q. O% P& Z
    6 T$ }8 A+ @- o- h, f& |$ R这个有点扯,新机到货后肯定要调试的,但绝对用不了两年的时间。

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    以你说的为准 :)  发表于 2024-9-17 15:27

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    23#
    发表于 2024-9-17 08:39:20 | 只看该作者
    moletronic 发表于 2024-9-16 18:15- d1 u# B3 b- f4 F) O: M
    这个有点扯,新机到货后肯定要调试的,但绝对用不了两年的时间。
    , \& B5 V+ `5 W0 ~- x. M( C
    但干式到浸润的步子没那么大,这说对了吗?
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  • TA的每日心情
    开心
    2023-2-8 04:51
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    [LV.Master]无

    24#
     楼主| 发表于 2024-9-17 10:54:17 | 只看该作者
    本帖最后由 moletronic 于 2024-9-16 18:56 编辑 $ f8 Y# L1 _( F/ q
    晨枫 发表于 2024-9-16 16:39: F/ E- a9 `7 y6 j' p
    但干式到浸润的步子没那么大,这说对了吗?

    $ h  a9 L. J/ |" U' r7 e! J  m6 G5 B( M- |
    按说这个跨越不算大,但Nikon就是浸水没搞定
    + k* ]! J9 H2 G7 V  ^所以俺不敢做预测,只敢对已知的做评述

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    25#
    发表于 2024-9-17 11:08:25 | 只看该作者
    晨枫 发表于 2024-9-17 03:34: \' N3 [* M; O8 X- p9 X9 B
    不过EUV制作7nm可以轻易一次曝光,产率和良率应该提高很多?
    / ?' ^) ^# ?6 E# ?* ], z# E$ C
    理论上是这样。但制造芯片是个复杂的过程,需要各方面不断打磨,才能接近理想的结果。现实中的例子,台积电用193nm光刻机率先量产7nm,三星则以更先进的EUV光刻机应战,由于对新型光刻机的熟悉不足,结果良率低下,很多人抛弃三星。最后三星赔本赚吆喝,开出比台积电低30%的代工费用,才勉强留下大客户。

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      发表于 2024-9-17 15:28

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    26#
    发表于 2024-9-17 11:13:01 | 只看该作者
    moletronic 发表于 2024-9-16 20:54
    . u, V9 s8 m( M1 i2 f8 O. \1 K7 T按说这个跨越不算大,但Nikon就是浸水没搞定
    ( ]% q; g6 F- Z  Y所以俺不敢做预测,只敢对已知的做评述 ...
    . K. H$ }5 M% w/ T( ]
    有道理。- Y, x7 t$ Z. ^$ o6 y6 F/ I

    3 O# b/ L' V# ?. i  z" ]6 y) r不过现在看尼康和佳能的光刻机,总有感觉他们已经三心二意了。既然干不过阿斯麦,就用最小投资吊着。不退场,但也不全力以赴。
    1 d8 l* U: Q) I  D/ W7 n3 U* t% I" \( Z( L! y  G: _
    中国肯定是全力以赴的。而且倾国之力肯定大于尼康、佳能。) ], y1 `6 P6 j" @  r1 U8 q
    . _" U2 k% K. I$ K! b: f
    这会有差别吗?
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    27#
    发表于 2024-9-17 11:13:37 | 只看该作者
    沉宝 发表于 2024-9-16 21:08! b" `/ ?. P4 E$ ?& p, C7 K
    理论上是这样。但制造芯片是个复杂的过程,需要各方面不断打磨,才能接近理想的结果。现实中的例子,台积 ...

    7 G; y7 C& D( A0 ^/ o5 ^. R* k. w这倒是个问题。都说韩国人拼,看来还是拼不过中国人。台湾人也是中国人嘛。
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    28#
    发表于 2024-9-17 11:19:08 | 只看该作者
    moletronic 发表于 2024-9-17 10:54
      s4 x3 R! }& ^/ \, A8 n5 H3 A' b按说这个跨越不算大,但Nikon就是浸水没搞定
    3 r; @8 R6 N3 R% @+ P所以俺不敢做预测,只敢对已知的做评述 ...

    8 i! A( M( [! u9 A+ G6 P还没搞定?
    ( X( ?# y/ d7 \3 K4 Q: g我可能是09年去给Nikon做实验,他们想搞明白光刻机里面为什么会产生微气泡,想买个做实验的系统。我在的小破公司搭了一个,然后过去一起做,看能不能用。那个时候估计还是早期,这些基础的问题都没个数。做了几个实验,证明可以捕捉到微气泡发生,成长和运动的轨迹,我就撤了。这都十五年过去了。3 [6 `) K2 ~( n3 U; o& }
    尼康那时候已经有点不灵的迹象,食堂里面睡满了安装队的人。正常的话那些人都是满世界跑给别人装机器的。
    7 P/ c* L5 f- b: z* T: x

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    坛里藏龙卧虎啊  发表于 2024-9-17 15:31

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    唐家山 + 4 伙呆了
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    29#
    发表于 2024-9-17 11:21:47 | 只看该作者
    moletronic 发表于 2024-9-16 20:54+ F1 t: z) ^0 H" v1 s
    按说这个跨越不算大,但Nikon就是浸水没搞定' Z* l- E5 v" Z# C' v- Z
    所以俺不敢做预测,只敢对已知的做评述 ...

    # W& r" E5 ~& S1 \0 H- _6 r7 r) {突然想起来:现在就聚焦于逻辑芯片,存储芯片用的芯片技术一样吗?前一段听说长江还是谁的128还是256层NAND也被卡了,因为光刻机的事,这说法准确吗?高端NAND需要多少nm节点的光刻机?
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    30#
    发表于 2024-9-17 11:23:33 | 只看该作者
    晨枫 发表于 2024-9-17 11:13
    , x6 N8 _- o8 s2 @有道理。
    ) R0 W( W- Y! V
    7 U! J; ?8 G; z% t) _' O5 R3 X  l不过现在看尼康和佳能的光刻机,总有感觉他们已经三心二意了。既然干不过阿斯麦,就用最小投资 ...
    , z9 r9 @& B( N
    可能是真没钱投资了。这些钱政府应该赞助的,可是政府也难呐,到处都是嗷嗷待哺的嘴,捉了个虫也不知道塞哪张嘴里。# I7 S* h+ M+ R) o5 C! X/ e
    很多年前日本媒体评价日本财政用了很形象的词,叫硬直化。所有的钱都有定好的用处,几乎没有活动钱。需要财政支持的时候十分狼狈。该做的事情做不了,钱全都拿去维持日常运转了。

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      发表于 2024-9-17 15:32

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  • TA的每日心情
    开心
    2023-2-8 04:51
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    31#
     楼主| 发表于 2024-9-17 11:28:54 | 只看该作者
    本帖最后由 moletronic 于 2024-9-16 19:33 编辑
    ! _% X! r* v9 k0 A
    雷声 发表于 2024-9-16 19:19' r; a' g. l+ ^0 g8 B/ w
    还没搞定? ' Z* w0 z; e$ S* t+ o" [1 P
    我可能是09年去给Nikon做实验,他们想搞明白光刻机里面为什么会产生微气泡,想买个做实验的 ...
    ' C4 Q8 {% ?% d5 W6 ]0 M( i
    3 L. f1 B% E* e8 F( |+ \) o
    Nikon是稳定性不行,被牙膏退货后就没人再买。疫情前去开spie的会,Nikon还吹牛自己行了,但主流客户没人用。7 k+ l2 T2 @. V( [2 l) e' n2 l
    有网上谣言说华为买了些Nikon自己魔改做出了9100…俺比较怀疑真实性。
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    开心
    2023-2-8 04:51
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    [LV.Master]无

    32#
     楼主| 发表于 2024-9-17 11:31:01 | 只看该作者
    晨枫 发表于 2024-9-16 19:21
    , T2 W, @* g4 ]' Q" O突然想起来:现在就聚焦于逻辑芯片,存储芯片用的芯片技术一样吗?前一段听说长江还是谁的128还是256层NA ...
    : M3 H! y7 @3 k5 r3 _& K" P
    存储和逻辑的工艺重点不一样,节点体系也不同。存储那边现在还没上EUV。
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    33#
    发表于 2024-9-17 11:34:00 | 只看该作者
    moletronic 发表于 2024-9-16 21:31; A; K5 E$ c- C0 P( p% P
    存储和逻辑的工艺重点不一样,节点体系也不同。存储那边现在还没上EUV。 ...

    " y+ N/ V- B4 j需要用到浸润DUV吗?
    : j( ]' [( m  p: Q! h
    * V" e# m; M# U1 R我的问题其实是:65nm光刻机能解决国内NAND厂的设备禁运问题吗?
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  • TA的每日心情
    开心
    2023-2-8 04:51
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    [LV.Master]无

    34#
     楼主| 发表于 2024-9-17 11:37:50 | 只看该作者
    晨枫 发表于 2024-9-16 19:34
    & M5 [* ]' y9 _5 C9 e需要用到浸润DUV吗?0 V9 {0 V0 I7 |" s  B4 O

    # h: ^4 o- S7 k: o# @3 X, N我的问题其实是:65nm光刻机能解决国内NAND厂的设备禁运问题吗? ...

    : Q$ }4 c! C; [( L3 P* k  W  W7 L2 t! G浸水还是要的,这国产光刻机按公布的指标应该还是没法满足YMTC的全部要求。
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    35#
    发表于 2024-9-17 11:38:06 | 只看该作者
    雷声 发表于 2024-9-16 21:23
    ! _- A9 V6 o2 R: ~可能是真没钱投资了。这些钱政府应该赞助的,可是政府也难呐,到处都是嗷嗷待哺的嘴,捉了个虫也不知道塞 ...

    2 w/ K9 |; \9 Q4 N0 n4 A是的,需要钱的地方太多,但光刻机和芯片可能是不计代价砸钱的方向,优先级比谁都高。这个瓶颈突破后,不只是军事、科技上的阳关道,经济上也是大片的处女地啊。1 z: t; E$ V$ o* J5 `- r. l$ i
    3 E7 Y/ b  {  Q8 D) r/ I9 c& f* U
    硬直化很形象。确实,西方家大业大,花钱手笔也大,但每一笔钱都预定了用处,活动余地真心很小。你看看美国在预算削减时那个鸡飞狗跳,就知道真是谁都动不得。“平均剃头”是公认的最坏选择,但是唯一大家可接受的选择。
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    36#
    发表于 2024-9-17 11:40:47 | 只看该作者
    moletronic 发表于 2024-9-16 21:371 _7 G1 P" R3 V
    浸水还是要的,这国产光刻机按公布的指标应该还是没法满足YMTC的全部要求。 ...

    & C1 ~+ g4 @: X& R都说工信部这光刻机不是浸润式,但193nm光源,65nm分辨率,正好是2*1.44倍,是不是太巧了?
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    37#
    发表于 2024-9-17 11:43:29 | 只看该作者
    moletronic 发表于 2024-9-17 10:54; H; I' V4 E' Z  c, ^
    按说这个跨越不算大,但Nikon就是浸水没搞定# G2 A8 t7 z, i
    所以俺不敢做预测,只敢对已知的做评述 ...

    2 L2 N$ j& K6 x9 ?: `2 h具体工作中还是有很多细节要克服。例如曝光时照到光的水会比遮蔽区的水热一点,这个温差会让水的密度不均匀,从而折射率不均匀,影响成像。为了避免温差,必须让水快速流动混合,但又要避免产生漩涡或者析出气泡。水可以把所接触物品上的杂质洗下来,带到晶圆上,形成缺陷。当初ASML搞浸润式光刻机时,在浸液系统上与林本坚团队合作,方案修改了7-8回,耗时两年多才取得满意的结果。

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  • TA的每日心情
    开心
    2023-2-8 04:51
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    38#
     楼主| 发表于 2024-9-17 11:59:49 | 只看该作者
    本帖最后由 moletronic 于 2024-9-16 20:02 编辑 ; o. L. O0 E3 |& ?# ]- [
    沉宝 发表于 2024-9-16 19:43* f1 R+ ^4 p' Y+ V+ y1 `
    具体工作中还是有很多细节要克服。例如曝光时照到光的水会比遮蔽区的水热一点,这个温差会让水的密度不均 ...

    1 \* J+ k& Y! t) g, p5 w/ o, b. O5 |$ v* k/ K
    这当然不容易,不过两年挺快啦,看看牙膏的10nm……
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  • TA的每日心情
    开心
    2023-2-8 04:51
  • 签到天数: 1811 天

    [LV.Master]无

    39#
     楼主| 发表于 2024-9-17 12:01:58 | 只看该作者
    晨枫 发表于 2024-9-16 19:40; V9 N% s! d9 @( l$ s# h
    都说工信部这光刻机不是浸润式,但193nm光源,65nm分辨率,正好是2*1.44倍,是不是太巧了? ...
    & z9 A2 E. u: E; ^- e7 j: z
    不知道啦,也许是隐晦放风的说法。
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    40#
    发表于 2024-9-17 17:38:39 | 只看该作者
    晨枫 发表于 2024-9-17 11:13
    9 H, D7 \( p0 M9 C! q8 Q这倒是个问题。都说韩国人拼,看来还是拼不过中国人。台湾人也是中国人嘛。 ...
    8 J/ d  h! T' @. n7 |; r
    中国大,各地方人气质不一,各擅胜场。精细活儿江南地方超过东北山东。如此说来,韩国近东北山东,台湾精英是江浙后代。
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