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[科普知识] 国产光刻机猜测

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  • TA的每日心情
    慵懒
    2022-8-27 22:14
  • 签到天数: 351 天

    [LV.8]合体

    21#
    发表于 2024-9-17 08:06:46 | 只看该作者
    晨枫 发表于 2024-9-16 14:00) p8 |; v8 w0 n# w7 h. [2 z7 ~
    也就是说,即使28nm现在还有光刻机瓶颈,其他也都就绪、只欠东风了。这是好事!# h8 _: `2 ?* B! i' @1 q

    8 R. z/ O7 |) `5 a个人感觉:相比于前一阵 ...

    ( }. }4 Y$ D# T& y; V" \3 B. ?  u9 k* `! w( f
    这就要西方好好领教什么叫产能过剩了。

    $ W& E3 D! n9 x- @' x应该会在5年内实现吧。7 n! ~3 T2 ^& i- n3 A+ [
    4 U0 v/ N+ h2 h8 t* p& n6 z8 o
    微博上有位“沉睡之书11”说的。(不一定准确,可以看看)
    ( {+ y0 e2 m/ i" n, s/ s24-9-16 23:55/ B" z, U6 }: ^/ ?" \- }+ p
    发布于 湖南; d6 ~7 F8 c* h+ L8 T& F
    来自 微博网页版1 R$ h2 {8 {6 N+ x5 j
    啊,说过很多次了,#光刻机# 不是挖机; G# |2 J( T# t% a3 v! f+ u
    不是运过来就能直接开工的。$ X9 K6 y5 f! R6 ^  M
    他需要调试,需要不断的用,一边用一边调整,等光学畸变稳定——你可以理解为拷机或者汽车发动热机暖机。
    & X  B. Q2 k) s) H3 v* u
    , v- k5 W) C1 L8 Z* y5 i这个时间很长,也是我常年说:
    7 Z  f: z$ W) r* N  H  M# R" J, [就算今天ASML传送一台EUV给咱,我们拿到第一批量产的芯片流片完(无论7nm,5nm还是多少)起码2年后——这最乐观的2年时间,还得是对EUV非常有经验的顶级工程师来操作优化。1 N3 ?: z( t, l) I# }! ?) u5 Y# i
    " q% u5 t; u+ k
    现在发布的这台机器是起码3年前就验收了(科工),现在工信部验收推广(产业链),成熟得不行了才拿出来的。你需要,给钱就有,不限量。
    & \7 Y6 H- o( U7 d' v3 f5 Q& q
    # |; T5 u' C2 I/ y4 A简单理解就是——这机子是干式光刻机,做的是65-55nm的芯片,一次曝光。# q& n" L* @8 j; d
    干式光刻机没啥意义,为什么呢?因为改进之后的也可以出产低制程的,向下兼容并且良率更高(成本低方案成熟)1 Z  v' u. c0 o
    多重曝光也不是这哥们来做……(我是不清楚干式光刻机有没人搞这个)
    9 A: A# ]! W1 P. g- Z& E: V2 J但这玩意的光路设计啥的,是成型了的。有了它,就加浸没式透镜,修改物镜,最终成品是目前没有验收但肯定存在某个地方的浸没式光刻机,但起码上线了2年了
    3 q+ d$ F8 g) Y3 ]7 f2 L2 n' Y" t$ C4 Y6 M
    没公布的那个肯定还在不断的调试,修改,更换国产配件。! A' m9 _0 z: f
    普通人不用管光刻机啥情况——你就看最终产品就是。
    * O7 T0 a5 N0 s# d/ R, O. m#华为mate70# 也没多久了。
    ) k3 r7 p+ E6 |9 H3 b

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    这真是极好的: 5.0
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      发表于 2024-9-18 15:38
    给力: 5 涨姿势: 5 这真是极好的: 5
      发表于 2024-9-17 08:38
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  • TA的每日心情
    开心
    2023-2-8 04:51
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    [LV.Master]无

    22#
     楼主| 发表于 2024-9-17 08:15:36 | 只看该作者
    老财迷 发表于 2024-9-16 16:06
    * v- x9 X$ X) _/ Y应该会在5年内实现吧。
    ! I( H6 D7 R0 U7 e
    ! A" t1 B: I! A微博上有位“沉睡之书11”说的。(不一定准确,可以看看)
    3 @$ z4 H) W  Y7 r( O
    $ l& x- n# u9 {0 y3 h3 _7 ^  A; `
    这个有点扯,新机到货后肯定要调试的,但绝对用不了两年的时间。

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    以你说的为准 :)  发表于 2024-9-17 15:27

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    23#
    发表于 2024-9-17 08:39:20 | 只看该作者
    moletronic 发表于 2024-9-16 18:15
    * b: A& `; E7 g7 L8 [$ k, g这个有点扯,新机到货后肯定要调试的,但绝对用不了两年的时间。
    9 d: Z" M; Y4 Y$ t( k) b
    但干式到浸润的步子没那么大,这说对了吗?
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  • TA的每日心情
    开心
    2023-2-8 04:51
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    [LV.Master]无

    24#
     楼主| 发表于 2024-9-17 10:54:17 | 只看该作者
    本帖最后由 moletronic 于 2024-9-16 18:56 编辑
    + ?- G1 H; `; W: p) |8 y
    晨枫 发表于 2024-9-16 16:39  j1 \8 X; e" S. ^
    但干式到浸润的步子没那么大,这说对了吗?
    ) J( j" C: u- o, m# q3 |1 A
    , e! X7 F7 p2 v/ ]* ?8 b0 z! X* G
    按说这个跨越不算大,但Nikon就是浸水没搞定
    ( O9 i! e0 \: ]* P- S- {所以俺不敢做预测,只敢对已知的做评述

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    25#
    发表于 2024-9-17 11:08:25 | 只看该作者
    晨枫 发表于 2024-9-17 03:34, A: ^) s# N3 b3 W& m& ?2 Y
    不过EUV制作7nm可以轻易一次曝光,产率和良率应该提高很多?
    / t& Y* v. x7 U- B$ O4 j! |
    理论上是这样。但制造芯片是个复杂的过程,需要各方面不断打磨,才能接近理想的结果。现实中的例子,台积电用193nm光刻机率先量产7nm,三星则以更先进的EUV光刻机应战,由于对新型光刻机的熟悉不足,结果良率低下,很多人抛弃三星。最后三星赔本赚吆喝,开出比台积电低30%的代工费用,才勉强留下大客户。

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      发表于 2024-9-17 15:28

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    26#
    发表于 2024-9-17 11:13:01 | 只看该作者
    moletronic 发表于 2024-9-16 20:54
    ' s: H/ x9 c  e/ [, U6 f) I按说这个跨越不算大,但Nikon就是浸水没搞定
    . W% A9 a! ~" Y所以俺不敢做预测,只敢对已知的做评述 ...

    : G1 X. k' G" g5 a有道理。- S/ h! A/ ?* v
    ( ~4 N8 w1 T9 p% u
    不过现在看尼康和佳能的光刻机,总有感觉他们已经三心二意了。既然干不过阿斯麦,就用最小投资吊着。不退场,但也不全力以赴。% g8 ^# b; c$ t, B

    " j$ _5 U( O# d6 o9 ~0 p% c( R中国肯定是全力以赴的。而且倾国之力肯定大于尼康、佳能。
    1 Y; F2 ^* X$ O7 ]+ e4 v$ g+ O
    2 w7 Z& B$ X; X9 g" J% v这会有差别吗?
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    27#
    发表于 2024-9-17 11:13:37 | 只看该作者
    沉宝 发表于 2024-9-16 21:08% ]# |# I1 s# q* o  m
    理论上是这样。但制造芯片是个复杂的过程,需要各方面不断打磨,才能接近理想的结果。现实中的例子,台积 ...

    % ], w7 Y/ v& v4 o这倒是个问题。都说韩国人拼,看来还是拼不过中国人。台湾人也是中国人嘛。
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    28#
    发表于 2024-9-17 11:19:08 | 只看该作者
    moletronic 发表于 2024-9-17 10:54
    0 b& w: E* _0 Y' E, p% l( ]按说这个跨越不算大,但Nikon就是浸水没搞定/ s* E) B; \" \6 I8 p2 [
    所以俺不敢做预测,只敢对已知的做评述 ...
    ) ?  y; u8 m8 R, w
    还没搞定?
    , c% k6 X: f2 ]" e+ S' F+ M8 b* w) @8 P% {我可能是09年去给Nikon做实验,他们想搞明白光刻机里面为什么会产生微气泡,想买个做实验的系统。我在的小破公司搭了一个,然后过去一起做,看能不能用。那个时候估计还是早期,这些基础的问题都没个数。做了几个实验,证明可以捕捉到微气泡发生,成长和运动的轨迹,我就撤了。这都十五年过去了。+ b* i& x* ]# g6 {& L( ~" g- M
    尼康那时候已经有点不灵的迹象,食堂里面睡满了安装队的人。正常的话那些人都是满世界跑给别人装机器的。
    9 u$ u4 e7 c! M; T) q

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    坛里藏龙卧虎啊  发表于 2024-9-17 15:31

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    29#
    发表于 2024-9-17 11:21:47 | 只看该作者
    moletronic 发表于 2024-9-16 20:545 {: n9 W) Q* V* l4 R' X
    按说这个跨越不算大,但Nikon就是浸水没搞定
    ! N8 v! ^5 f6 o1 H8 N$ Z! J所以俺不敢做预测,只敢对已知的做评述 ...

    : C+ S6 K0 p  t. u& R+ n6 Z突然想起来:现在就聚焦于逻辑芯片,存储芯片用的芯片技术一样吗?前一段听说长江还是谁的128还是256层NAND也被卡了,因为光刻机的事,这说法准确吗?高端NAND需要多少nm节点的光刻机?
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    30#
    发表于 2024-9-17 11:23:33 | 只看该作者
    晨枫 发表于 2024-9-17 11:13  C/ T5 `8 B9 `
    有道理。
    - M. V+ Q: P  z0 U8 w9 J8 L( [. c1 o; I, d9 J
    不过现在看尼康和佳能的光刻机,总有感觉他们已经三心二意了。既然干不过阿斯麦,就用最小投资 ...

    + i  C. y  G5 Y3 ?1 v/ [& K! f  S) O可能是真没钱投资了。这些钱政府应该赞助的,可是政府也难呐,到处都是嗷嗷待哺的嘴,捉了个虫也不知道塞哪张嘴里。
    & k$ r  f" x% }很多年前日本媒体评价日本财政用了很形象的词,叫硬直化。所有的钱都有定好的用处,几乎没有活动钱。需要财政支持的时候十分狼狈。该做的事情做不了,钱全都拿去维持日常运转了。

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      发表于 2024-9-17 15:32

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  • TA的每日心情
    开心
    2023-2-8 04:51
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    31#
     楼主| 发表于 2024-9-17 11:28:54 | 只看该作者
    本帖最后由 moletronic 于 2024-9-16 19:33 编辑
    0 |+ N+ B) L3 F4 j
    雷声 发表于 2024-9-16 19:19' E$ {6 }2 e' Y6 z6 o/ ]
    还没搞定?
    2 v- I9 r& N' k9 o我可能是09年去给Nikon做实验,他们想搞明白光刻机里面为什么会产生微气泡,想买个做实验的 ...

    ; S: ]  q" o5 y8 N% Q4 d: |% E8 v3 L
    Nikon是稳定性不行,被牙膏退货后就没人再买。疫情前去开spie的会,Nikon还吹牛自己行了,但主流客户没人用。1 G3 f2 w1 i2 B4 ~1 o( \, ]
    有网上谣言说华为买了些Nikon自己魔改做出了9100…俺比较怀疑真实性。
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    开心
    2023-2-8 04:51
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    [LV.Master]无

    32#
     楼主| 发表于 2024-9-17 11:31:01 | 只看该作者
    晨枫 发表于 2024-9-16 19:21
    8 |+ t' u5 f4 C; b% `. l突然想起来:现在就聚焦于逻辑芯片,存储芯片用的芯片技术一样吗?前一段听说长江还是谁的128还是256层NA ...
    # `  Y: }" \+ p8 ~. L
    存储和逻辑的工艺重点不一样,节点体系也不同。存储那边现在还没上EUV。
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    33#
    发表于 2024-9-17 11:34:00 | 只看该作者
    moletronic 发表于 2024-9-16 21:31
    3 n( o3 F8 V9 \: S) l3 L3 c存储和逻辑的工艺重点不一样,节点体系也不同。存储那边现在还没上EUV。 ...

    3 R: L1 T5 u  |- Q: A, Q1 F需要用到浸润DUV吗?
      I1 E" v2 O% N2 Q; ~1 B
    ' V4 d" b9 x9 q4 }我的问题其实是:65nm光刻机能解决国内NAND厂的设备禁运问题吗?
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    开心
    2023-2-8 04:51
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    [LV.Master]无

    34#
     楼主| 发表于 2024-9-17 11:37:50 | 只看该作者
    晨枫 发表于 2024-9-16 19:34
    # K5 W; _0 n& L* a8 L# f: T3 K) P, f需要用到浸润DUV吗?
    ) ]* Z$ R1 C/ {% l% a* Z7 D
    ! K, C3 ]( @$ H( ^我的问题其实是:65nm光刻机能解决国内NAND厂的设备禁运问题吗? ...
    $ F% @/ R; i$ o* g- ]0 ~& o
    浸水还是要的,这国产光刻机按公布的指标应该还是没法满足YMTC的全部要求。
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    35#
    发表于 2024-9-17 11:38:06 | 只看该作者
    雷声 发表于 2024-9-16 21:23
    : K/ c3 ?) _7 E  b; I可能是真没钱投资了。这些钱政府应该赞助的,可是政府也难呐,到处都是嗷嗷待哺的嘴,捉了个虫也不知道塞 ...

    ( o( z1 g$ \7 J  {" x4 k! C是的,需要钱的地方太多,但光刻机和芯片可能是不计代价砸钱的方向,优先级比谁都高。这个瓶颈突破后,不只是军事、科技上的阳关道,经济上也是大片的处女地啊。- b. d9 [- R, N. {7 F# x1 q& E
    , N% Q6 H* l' l' g
    硬直化很形象。确实,西方家大业大,花钱手笔也大,但每一笔钱都预定了用处,活动余地真心很小。你看看美国在预算削减时那个鸡飞狗跳,就知道真是谁都动不得。“平均剃头”是公认的最坏选择,但是唯一大家可接受的选择。
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    36#
    发表于 2024-9-17 11:40:47 | 只看该作者
    moletronic 发表于 2024-9-16 21:371 |! I$ ~/ p7 S) k+ J
    浸水还是要的,这国产光刻机按公布的指标应该还是没法满足YMTC的全部要求。 ...

    + z+ A# ~: e! \都说工信部这光刻机不是浸润式,但193nm光源,65nm分辨率,正好是2*1.44倍,是不是太巧了?
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    37#
    发表于 2024-9-17 11:43:29 | 只看该作者
    moletronic 发表于 2024-9-17 10:54
    ! s# x! Q/ c1 ]8 |( U+ a2 \1 A按说这个跨越不算大,但Nikon就是浸水没搞定' p1 c; D3 D: C% H$ N
    所以俺不敢做预测,只敢对已知的做评述 ...
    5 m+ \8 ^. M/ t- l2 v$ [( i0 r
    具体工作中还是有很多细节要克服。例如曝光时照到光的水会比遮蔽区的水热一点,这个温差会让水的密度不均匀,从而折射率不均匀,影响成像。为了避免温差,必须让水快速流动混合,但又要避免产生漩涡或者析出气泡。水可以把所接触物品上的杂质洗下来,带到晶圆上,形成缺陷。当初ASML搞浸润式光刻机时,在浸液系统上与林本坚团队合作,方案修改了7-8回,耗时两年多才取得满意的结果。

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  • TA的每日心情
    开心
    2023-2-8 04:51
  • 签到天数: 1811 天

    [LV.Master]无

    38#
     楼主| 发表于 2024-9-17 11:59:49 | 只看该作者
    本帖最后由 moletronic 于 2024-9-16 20:02 编辑
    - ~' V2 w0 k9 ^$ ^
    沉宝 发表于 2024-9-16 19:43" K) I( H+ V& h+ S/ T( g
    具体工作中还是有很多细节要克服。例如曝光时照到光的水会比遮蔽区的水热一点,这个温差会让水的密度不均 ...

    ! ?7 L5 R% N$ q/ t7 Z' W# g' i6 K, M# z
    这当然不容易,不过两年挺快啦,看看牙膏的10nm……
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  • TA的每日心情
    开心
    2023-2-8 04:51
  • 签到天数: 1811 天

    [LV.Master]无

    39#
     楼主| 发表于 2024-9-17 12:01:58 | 只看该作者
    晨枫 发表于 2024-9-16 19:40; z4 W% U% X) U8 p, K% J# `# j
    都说工信部这光刻机不是浸润式,但193nm光源,65nm分辨率,正好是2*1.44倍,是不是太巧了? ...

    9 s$ E& x, f4 }. c3 r4 J0 T% r不知道啦,也许是隐晦放风的说法。
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    40#
    发表于 2024-9-17 17:38:39 | 只看该作者
    晨枫 发表于 2024-9-17 11:13* V3 e& P7 C( ?. j9 p1 B- i+ ?
    这倒是个问题。都说韩国人拼,看来还是拼不过中国人。台湾人也是中国人嘛。 ...

    + X# \$ Y0 c6 D中国大,各地方人气质不一,各擅胜场。精细活儿江南地方超过东北山东。如此说来,韩国近东北山东,台湾精英是江浙后代。
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