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楼主: moletronic
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[科普知识] 国产光刻机猜测

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  • TA的每日心情
    慵懒
    2022-8-27 22:14
  • 签到天数: 351 天

    [LV.8]合体

    21#
    发表于 2024-9-17 08:06:46 | 只看该作者
    晨枫 发表于 2024-9-16 14:00
    * x& }. X4 l, f$ Q1 V也就是说,即使28nm现在还有光刻机瓶颈,其他也都就绪、只欠东风了。这是好事!: F" }* w: Z/ M0 z; B
    ! e. ?9 n4 C! w- n& ]
    个人感觉:相比于前一阵 ...
    & a0 h8 r; w7 P: B& e

    & P% [! o. i" o3 ?1 T9 @! @- i7 ]
    这就要西方好好领教什么叫产能过剩了。

    8 M/ @2 ]0 N- Y4 x0 m; a应该会在5年内实现吧。
    6 S" c, C0 j1 J1 @% c) }  [/ s% B: f$ U1 _5 y
    微博上有位“沉睡之书11”说的。(不一定准确,可以看看)0 U' M. M) y5 [/ G# g6 _, a
    24-9-16 23:55! y8 D1 ]* i2 p$ q( i& B, K9 J) E
    发布于 湖南
    " J7 B0 r$ N2 |- L来自 微博网页版; O" p5 b* U7 h# Q
    啊,说过很多次了,#光刻机# 不是挖机
    1 L9 V4 z+ @1 \. r# W2 f不是运过来就能直接开工的。
    / X& D8 L$ k- u+ R8 v; o# e他需要调试,需要不断的用,一边用一边调整,等光学畸变稳定——你可以理解为拷机或者汽车发动热机暖机。
    4 U# p' o$ v& l: m6 N7 ?; ], ?2 d. U9 s
    这个时间很长,也是我常年说:6 H. w5 c5 b2 e
    就算今天ASML传送一台EUV给咱,我们拿到第一批量产的芯片流片完(无论7nm,5nm还是多少)起码2年后——这最乐观的2年时间,还得是对EUV非常有经验的顶级工程师来操作优化。& t" K9 L( g* y$ T# f

    # [7 e4 F: o  \3 T0 k: T现在发布的这台机器是起码3年前就验收了(科工),现在工信部验收推广(产业链),成熟得不行了才拿出来的。你需要,给钱就有,不限量。
    / G  l$ c- j$ V+ F( }1 \
    6 X  t, [, @3 b3 A: |, [简单理解就是——这机子是干式光刻机,做的是65-55nm的芯片,一次曝光。
    8 w% y6 L. T$ g6 ?# H干式光刻机没啥意义,为什么呢?因为改进之后的也可以出产低制程的,向下兼容并且良率更高(成本低方案成熟), p! d4 j$ x- Y# H  s/ J- Z0 M
    多重曝光也不是这哥们来做……(我是不清楚干式光刻机有没人搞这个)
    0 @3 `0 G! d# |  G% ~3 i" v9 [但这玩意的光路设计啥的,是成型了的。有了它,就加浸没式透镜,修改物镜,最终成品是目前没有验收但肯定存在某个地方的浸没式光刻机,但起码上线了2年了
    # @' J; i$ d% Y. D* F- [+ e% q+ \3 u# V
    没公布的那个肯定还在不断的调试,修改,更换国产配件。
      k9 w9 N( ]4 L! y: F普通人不用管光刻机啥情况——你就看最终产品就是。
    5 |6 m* y  W" ^- g3 X#华为mate70# 也没多久了。
    # B( E( @; c3 K4 w* N

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    这真是极好的: 5.0
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      发表于 2024-9-18 15:38
    给力: 5 涨姿势: 5 这真是极好的: 5
      发表于 2024-9-17 08:38
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  • TA的每日心情
    开心
    2023-2-8 04:51
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    [LV.Master]无

    22#
     楼主| 发表于 2024-9-17 08:15:36 | 只看该作者
    老财迷 发表于 2024-9-16 16:06
    5 C' M4 ~; ~- z, {应该会在5年内实现吧。
      x$ B0 H% n6 n% U: l, `
    . A1 T/ [/ `" M3 Z+ y1 U微博上有位“沉睡之书11”说的。(不一定准确,可以看看)
    & K0 z: s( p, f* V0 r$ P3 W

    ( B2 `8 v' t, {4 n4 C" f/ m这个有点扯,新机到货后肯定要调试的,但绝对用不了两年的时间。

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    以你说的为准 :)  发表于 2024-9-17 15:27

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    23#
    发表于 2024-9-17 08:39:20 | 只看该作者
    moletronic 发表于 2024-9-16 18:15
    5 z4 h# N. j* S这个有点扯,新机到货后肯定要调试的,但绝对用不了两年的时间。

    , W; U4 s/ E" z! D2 A但干式到浸润的步子没那么大,这说对了吗?
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  • TA的每日心情
    开心
    2023-2-8 04:51
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    [LV.Master]无

    24#
     楼主| 发表于 2024-9-17 10:54:17 | 只看该作者
    本帖最后由 moletronic 于 2024-9-16 18:56 编辑
    : P7 [5 {; H* ~
    晨枫 发表于 2024-9-16 16:39
    2 k9 }4 {! r: D1 S. e% `. ]但干式到浸润的步子没那么大,这说对了吗?

    4 C4 l$ B+ S$ X; n  Z/ Y
    , h  {* d$ r! N/ {/ S9 H. k; {按说这个跨越不算大,但Nikon就是浸水没搞定9 b* S' V2 s+ e, k. G! E1 d# M
    所以俺不敢做预测,只敢对已知的做评述

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    25#
    发表于 2024-9-17 11:08:25 | 只看该作者
    晨枫 发表于 2024-9-17 03:34
    , B) t9 ]& f9 S5 D9 Y+ r6 C. [不过EUV制作7nm可以轻易一次曝光,产率和良率应该提高很多?

    ( y  A+ j% b7 r% [7 L5 a1 W1 H. m, J理论上是这样。但制造芯片是个复杂的过程,需要各方面不断打磨,才能接近理想的结果。现实中的例子,台积电用193nm光刻机率先量产7nm,三星则以更先进的EUV光刻机应战,由于对新型光刻机的熟悉不足,结果良率低下,很多人抛弃三星。最后三星赔本赚吆喝,开出比台积电低30%的代工费用,才勉强留下大客户。

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      发表于 2024-9-17 15:28

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    26#
    发表于 2024-9-17 11:13:01 | 只看该作者
    moletronic 发表于 2024-9-16 20:54% Q) v% L+ |  B6 `
    按说这个跨越不算大,但Nikon就是浸水没搞定
    ) G2 \, k, ^* ^7 D; f所以俺不敢做预测,只敢对已知的做评述 ...
    ; j2 p: E$ g/ O! @6 u9 ^2 Y7 z: t
    有道理。
    & |  \6 ?" Z* t$ l% |  @6 S, t( J- U% H+ i8 D- A
    不过现在看尼康和佳能的光刻机,总有感觉他们已经三心二意了。既然干不过阿斯麦,就用最小投资吊着。不退场,但也不全力以赴。
    ! x# A) Z* r" U4 y/ Z+ B0 a. P, N0 J! ^. H$ D7 K# \
    中国肯定是全力以赴的。而且倾国之力肯定大于尼康、佳能。
    0 {" G% B( x5 a% Q: }7 x
    5 q4 @# @+ a# F! a  f这会有差别吗?
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    27#
    发表于 2024-9-17 11:13:37 | 只看该作者
    沉宝 发表于 2024-9-16 21:08
    - b$ D8 z( L6 w7 F1 [理论上是这样。但制造芯片是个复杂的过程,需要各方面不断打磨,才能接近理想的结果。现实中的例子,台积 ...
    ) m, b. e4 A" r+ t: `4 R
    这倒是个问题。都说韩国人拼,看来还是拼不过中国人。台湾人也是中国人嘛。
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    28#
    发表于 2024-9-17 11:19:08 | 只看该作者
    moletronic 发表于 2024-9-17 10:54
    5 w; a/ K  ^' H  \" h' p0 t; ~按说这个跨越不算大,但Nikon就是浸水没搞定$ k2 U- X! c+ Y4 _
    所以俺不敢做预测,只敢对已知的做评述 ...
    % Z$ U- r! N# i, g
    还没搞定? . j; }1 M0 L  s7 D+ V7 j* E' w7 q9 ]5 ~
    我可能是09年去给Nikon做实验,他们想搞明白光刻机里面为什么会产生微气泡,想买个做实验的系统。我在的小破公司搭了一个,然后过去一起做,看能不能用。那个时候估计还是早期,这些基础的问题都没个数。做了几个实验,证明可以捕捉到微气泡发生,成长和运动的轨迹,我就撤了。这都十五年过去了。
    ( ]1 t' `5 B) F. }尼康那时候已经有点不灵的迹象,食堂里面睡满了安装队的人。正常的话那些人都是满世界跑给别人装机器的。$ L7 Q8 e$ ^$ A

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    坛里藏龙卧虎啊  发表于 2024-9-17 15:31

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    29#
    发表于 2024-9-17 11:21:47 | 只看该作者
    moletronic 发表于 2024-9-16 20:54
    1 P0 p6 o! [9 e6 |- a按说这个跨越不算大,但Nikon就是浸水没搞定
    7 n# v+ H  M1 a, D! P3 r) k所以俺不敢做预测,只敢对已知的做评述 ...
    $ ~5 s- M2 r+ Q
    突然想起来:现在就聚焦于逻辑芯片,存储芯片用的芯片技术一样吗?前一段听说长江还是谁的128还是256层NAND也被卡了,因为光刻机的事,这说法准确吗?高端NAND需要多少nm节点的光刻机?
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    30#
    发表于 2024-9-17 11:23:33 | 只看该作者
    晨枫 发表于 2024-9-17 11:13
    ' w; d7 u: u" a, P" P- A$ K有道理。, L9 r- ~* Z$ w, }

    4 l. R/ g2 H8 G4 e4 N不过现在看尼康和佳能的光刻机,总有感觉他们已经三心二意了。既然干不过阿斯麦,就用最小投资 ...

    2 U4 H/ C* a5 [5 l7 h; c& ~9 ~$ x7 ?4 c可能是真没钱投资了。这些钱政府应该赞助的,可是政府也难呐,到处都是嗷嗷待哺的嘴,捉了个虫也不知道塞哪张嘴里。! s6 k8 j( F; x' x/ h. t
    很多年前日本媒体评价日本财政用了很形象的词,叫硬直化。所有的钱都有定好的用处,几乎没有活动钱。需要财政支持的时候十分狼狈。该做的事情做不了,钱全都拿去维持日常运转了。

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      发表于 2024-9-17 15:32

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    开心
    2023-2-8 04:51
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    31#
     楼主| 发表于 2024-9-17 11:28:54 | 只看该作者
    本帖最后由 moletronic 于 2024-9-16 19:33 编辑
    : n8 E2 o8 S; u" u3 o
    雷声 发表于 2024-9-16 19:19
    & V3 ]3 S: F" l  s. R) O. {还没搞定?
    ' \. S5 O& K# b5 H4 q- P! T我可能是09年去给Nikon做实验,他们想搞明白光刻机里面为什么会产生微气泡,想买个做实验的 ...

    / t( f! L& y7 f2 V3 L
    ) g  [3 T+ `. T% z( u5 J- q0 }8 l  b4 nNikon是稳定性不行,被牙膏退货后就没人再买。疫情前去开spie的会,Nikon还吹牛自己行了,但主流客户没人用。
    9 h3 z( A. m" V) x有网上谣言说华为买了些Nikon自己魔改做出了9100…俺比较怀疑真实性。
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    开心
    2023-2-8 04:51
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    [LV.Master]无

    32#
     楼主| 发表于 2024-9-17 11:31:01 | 只看该作者
    晨枫 发表于 2024-9-16 19:21
    ' [/ H* [+ y8 T6 x( i突然想起来:现在就聚焦于逻辑芯片,存储芯片用的芯片技术一样吗?前一段听说长江还是谁的128还是256层NA ...

    / Y! x2 Q: |6 ?" o3 g5 v# @存储和逻辑的工艺重点不一样,节点体系也不同。存储那边现在还没上EUV。
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    33#
    发表于 2024-9-17 11:34:00 | 只看该作者
    moletronic 发表于 2024-9-16 21:31
    5 L9 @# r0 j8 a% A$ I存储和逻辑的工艺重点不一样,节点体系也不同。存储那边现在还没上EUV。 ...
    - Q" [1 h9 k) }+ ^
    需要用到浸润DUV吗?8 X3 e+ N0 b9 @! B& Z' X( d
    . P. K/ ]1 u* H
    我的问题其实是:65nm光刻机能解决国内NAND厂的设备禁运问题吗?
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    开心
    2023-2-8 04:51
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    34#
     楼主| 发表于 2024-9-17 11:37:50 | 只看该作者
    晨枫 发表于 2024-9-16 19:34, E. \4 H( j1 S) ~2 N2 F
    需要用到浸润DUV吗?
    0 w) U; J9 Q3 Q; U  |. K6 B5 R/ U" k/ S
    我的问题其实是:65nm光刻机能解决国内NAND厂的设备禁运问题吗? ...

    ; d  n6 n% N+ k; H! H浸水还是要的,这国产光刻机按公布的指标应该还是没法满足YMTC的全部要求。
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    35#
    发表于 2024-9-17 11:38:06 | 只看该作者
    雷声 发表于 2024-9-16 21:23
    + E) ?3 L* Y) Y可能是真没钱投资了。这些钱政府应该赞助的,可是政府也难呐,到处都是嗷嗷待哺的嘴,捉了个虫也不知道塞 ...

    * P6 c8 Y2 ~$ {" K是的,需要钱的地方太多,但光刻机和芯片可能是不计代价砸钱的方向,优先级比谁都高。这个瓶颈突破后,不只是军事、科技上的阳关道,经济上也是大片的处女地啊。0 V2 A/ U4 N2 ^$ ^

    & e0 K  B5 n, `: H! H2 S硬直化很形象。确实,西方家大业大,花钱手笔也大,但每一笔钱都预定了用处,活动余地真心很小。你看看美国在预算削减时那个鸡飞狗跳,就知道真是谁都动不得。“平均剃头”是公认的最坏选择,但是唯一大家可接受的选择。
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    36#
    发表于 2024-9-17 11:40:47 | 只看该作者
    moletronic 发表于 2024-9-16 21:37
    1 Z/ ^. M3 b, W1 L' T* f浸水还是要的,这国产光刻机按公布的指标应该还是没法满足YMTC的全部要求。 ...
    1 Q& e! F2 Y8 H
    都说工信部这光刻机不是浸润式,但193nm光源,65nm分辨率,正好是2*1.44倍,是不是太巧了?
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    37#
    发表于 2024-9-17 11:43:29 | 只看该作者
    moletronic 发表于 2024-9-17 10:54- C. V1 ?3 G6 W. X* P
    按说这个跨越不算大,但Nikon就是浸水没搞定; g; I: d( Q, J: B( o% ^
    所以俺不敢做预测,只敢对已知的做评述 ...
    6 P, L3 d/ U  l! r8 q' c& P0 r- L
    具体工作中还是有很多细节要克服。例如曝光时照到光的水会比遮蔽区的水热一点,这个温差会让水的密度不均匀,从而折射率不均匀,影响成像。为了避免温差,必须让水快速流动混合,但又要避免产生漩涡或者析出气泡。水可以把所接触物品上的杂质洗下来,带到晶圆上,形成缺陷。当初ASML搞浸润式光刻机时,在浸液系统上与林本坚团队合作,方案修改了7-8回,耗时两年多才取得满意的结果。

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  • TA的每日心情
    开心
    2023-2-8 04:51
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    38#
     楼主| 发表于 2024-9-17 11:59:49 | 只看该作者
    本帖最后由 moletronic 于 2024-9-16 20:02 编辑   c1 H# W: k7 \; F
    沉宝 发表于 2024-9-16 19:43
    # ?$ ~/ z. n: l- x3 p具体工作中还是有很多细节要克服。例如曝光时照到光的水会比遮蔽区的水热一点,这个温差会让水的密度不均 ...

    ; Z) Y$ L0 p4 s$ W6 V- }% n1 G0 S! c8 @- W7 D6 G
    这当然不容易,不过两年挺快啦,看看牙膏的10nm……
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  • TA的每日心情
    开心
    2023-2-8 04:51
  • 签到天数: 1811 天

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    39#
     楼主| 发表于 2024-9-17 12:01:58 | 只看该作者
    晨枫 发表于 2024-9-16 19:407 _" Z5 g+ n5 V4 g0 _+ ~: C+ g2 |9 J
    都说工信部这光刻机不是浸润式,但193nm光源,65nm分辨率,正好是2*1.44倍,是不是太巧了? ...

    / _( V' s5 X; J8 R' V3 Z不知道啦,也许是隐晦放风的说法。
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    40#
    发表于 2024-9-17 17:38:39 | 只看该作者
    晨枫 发表于 2024-9-17 11:137 P. y. A- Y% \# J$ G
    这倒是个问题。都说韩国人拼,看来还是拼不过中国人。台湾人也是中国人嘛。 ...

    5 L) s3 {3 p) A5 y中国大,各地方人气质不一,各擅胜场。精细活儿江南地方超过东北山东。如此说来,韩国近东北山东,台湾精英是江浙后代。
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