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[科普知识] 国产光刻机猜测

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  • TA的每日心情
    慵懒
    2022-8-27 22:14
  • 签到天数: 351 天

    [LV.8]合体

    21#
    发表于 2024-9-17 08:06:46 | 只看该作者
    晨枫 发表于 2024-9-16 14:00* Q9 P+ ^4 s7 t( ?: w$ A
    也就是说,即使28nm现在还有光刻机瓶颈,其他也都就绪、只欠东风了。这是好事!/ U* W$ ^4 _7 r, V
    3 y7 O; D/ y5 n6 H/ M
    个人感觉:相比于前一阵 ...

    2 ^9 C6 k: \& M4 j9 r! w) }! o
    0 l8 V- C( ~' d! Y; b+ K. f4 n, z3 J
    这就要西方好好领教什么叫产能过剩了。

    - _/ ^7 B3 e0 {: S& u应该会在5年内实现吧。) P9 }4 E6 E0 W
    8 q& E, u8 p) k  B( _! J
    微博上有位“沉睡之书11”说的。(不一定准确,可以看看)% W7 i" U1 L" a9 C8 A8 T0 g
    24-9-16 23:553 ?  h8 A6 y/ U
    发布于 湖南  |: D- H) q( i& n
    来自 微博网页版
    ( j" J" R4 z0 M0 |/ o. ~啊,说过很多次了,#光刻机# 不是挖机, |, v( X8 X. z! i1 }$ }
    不是运过来就能直接开工的。
      ^! p. Q$ l8 w' n) W2 Q# X他需要调试,需要不断的用,一边用一边调整,等光学畸变稳定——你可以理解为拷机或者汽车发动热机暖机。
    / T( I* {) ~2 ^8 z9 [
    * P; Q- z" h3 p; R; C1 }% g  w这个时间很长,也是我常年说:
    / P' t+ g" j4 g: j就算今天ASML传送一台EUV给咱,我们拿到第一批量产的芯片流片完(无论7nm,5nm还是多少)起码2年后——这最乐观的2年时间,还得是对EUV非常有经验的顶级工程师来操作优化。- ^8 o5 E- ^* n3 h* D& V

    ' V/ j- w, H) n9 R0 Q现在发布的这台机器是起码3年前就验收了(科工),现在工信部验收推广(产业链),成熟得不行了才拿出来的。你需要,给钱就有,不限量。7 I: C# B1 V' F% ?8 h
    8 n* n( y* l$ K4 C/ T9 V
    简单理解就是——这机子是干式光刻机,做的是65-55nm的芯片,一次曝光。
    2 D! h7 r' w, h干式光刻机没啥意义,为什么呢?因为改进之后的也可以出产低制程的,向下兼容并且良率更高(成本低方案成熟)
    # X, n. c% x2 I, i2 Z3 w多重曝光也不是这哥们来做……(我是不清楚干式光刻机有没人搞这个)8 A8 r+ G. l0 T9 Q$ E9 Q
    但这玩意的光路设计啥的,是成型了的。有了它,就加浸没式透镜,修改物镜,最终成品是目前没有验收但肯定存在某个地方的浸没式光刻机,但起码上线了2年了
    : x8 z' {- k) a- V4 S3 n& Z( ?; ]" B4 l
    没公布的那个肯定还在不断的调试,修改,更换国产配件。0 A9 a* \& _' A& P4 [* U  T
    普通人不用管光刻机啥情况——你就看最终产品就是。
    8 R9 T. R! ~3 R% G, m/ m- q5 c+ U#华为mate70# 也没多久了。/ n/ o. n4 P- D. Z$ m2 K7 f

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    这真是极好的: 5.0
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      发表于 2024-9-18 15:38
    给力: 5 涨姿势: 5 这真是极好的: 5
      发表于 2024-9-17 08:38
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  • TA的每日心情
    开心
    2023-2-8 04:51
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    [LV.Master]无

    22#
     楼主| 发表于 2024-9-17 08:15:36 | 只看该作者
    老财迷 发表于 2024-9-16 16:060 \2 M# O. Q4 L* G& S5 p
    应该会在5年内实现吧。  V) y1 x! ^- r4 E# S

    - m1 _5 J8 V  ~! x微博上有位“沉睡之书11”说的。(不一定准确,可以看看)

    2 K# P( ]$ C7 [; I8 [
    1 G$ s1 N/ K* j* q9 [+ d这个有点扯,新机到货后肯定要调试的,但绝对用不了两年的时间。

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    以你说的为准 :)  发表于 2024-9-17 15:27

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    23#
    发表于 2024-9-17 08:39:20 | 只看该作者
    moletronic 发表于 2024-9-16 18:15- B! `% [% Q1 K0 Q2 W( ~* r( a
    这个有点扯,新机到货后肯定要调试的,但绝对用不了两年的时间。
    0 X: Y  p, k% f- l6 \  P
    但干式到浸润的步子没那么大,这说对了吗?
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  • TA的每日心情
    开心
    2023-2-8 04:51
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    [LV.Master]无

    24#
     楼主| 发表于 2024-9-17 10:54:17 | 只看该作者
    本帖最后由 moletronic 于 2024-9-16 18:56 编辑 , a) S& [  M6 f+ T1 p/ w
    晨枫 发表于 2024-9-16 16:39  F: V" ~" {, n( R" C2 v
    但干式到浸润的步子没那么大,这说对了吗?

    0 w8 V9 e6 r6 {7 L+ w
    : C  V' \! o5 j8 z5 j3 J按说这个跨越不算大,但Nikon就是浸水没搞定
    ! T* D- B0 r1 u; D所以俺不敢做预测,只敢对已知的做评述

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    25#
    发表于 2024-9-17 11:08:25 | 只看该作者
    晨枫 发表于 2024-9-17 03:34
    / O7 X+ K2 E  ^2 G0 \) p' }不过EUV制作7nm可以轻易一次曝光,产率和良率应该提高很多?

    2 M3 ?& E: N6 C( k! e- }; r理论上是这样。但制造芯片是个复杂的过程,需要各方面不断打磨,才能接近理想的结果。现实中的例子,台积电用193nm光刻机率先量产7nm,三星则以更先进的EUV光刻机应战,由于对新型光刻机的熟悉不足,结果良率低下,很多人抛弃三星。最后三星赔本赚吆喝,开出比台积电低30%的代工费用,才勉强留下大客户。

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      发表于 2024-9-17 15:28

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    26#
    发表于 2024-9-17 11:13:01 | 只看该作者
    moletronic 发表于 2024-9-16 20:545 q0 H1 |% k: L6 Q
    按说这个跨越不算大,但Nikon就是浸水没搞定
    ; m5 L: X4 {9 N) {所以俺不敢做预测,只敢对已知的做评述 ...

    9 P8 j1 x4 V9 G/ H( @有道理。
    9 g2 J/ {( ]2 I7 r7 Q% a* O+ {7 U* Z
    不过现在看尼康和佳能的光刻机,总有感觉他们已经三心二意了。既然干不过阿斯麦,就用最小投资吊着。不退场,但也不全力以赴。' c# f6 ]1 ^% ~+ Z
    / s. o$ ~4 G- X) b5 ]/ }
    中国肯定是全力以赴的。而且倾国之力肯定大于尼康、佳能。' G- j  h* v+ a5 Y. A3 O, ^( t1 B
    ! K4 y6 p& b- q* v2 c
    这会有差别吗?
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    27#
    发表于 2024-9-17 11:13:37 | 只看该作者
    沉宝 发表于 2024-9-16 21:08
    + _  J! H. _9 S; Y1 ]( f% X理论上是这样。但制造芯片是个复杂的过程,需要各方面不断打磨,才能接近理想的结果。现实中的例子,台积 ...

    2 H( i' R8 ^! r. _这倒是个问题。都说韩国人拼,看来还是拼不过中国人。台湾人也是中国人嘛。
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    28#
    发表于 2024-9-17 11:19:08 | 只看该作者
    moletronic 发表于 2024-9-17 10:545 m$ L& e8 t7 E) Y( q
    按说这个跨越不算大,但Nikon就是浸水没搞定* _0 ~* z5 x  B* P
    所以俺不敢做预测,只敢对已知的做评述 ...
    " h/ V5 b6 _: b7 A
    还没搞定?
    0 s0 L+ k" ]3 Y6 M8 g2 J9 l我可能是09年去给Nikon做实验,他们想搞明白光刻机里面为什么会产生微气泡,想买个做实验的系统。我在的小破公司搭了一个,然后过去一起做,看能不能用。那个时候估计还是早期,这些基础的问题都没个数。做了几个实验,证明可以捕捉到微气泡发生,成长和运动的轨迹,我就撤了。这都十五年过去了。
    - [/ ~% E( [1 V+ J$ ?尼康那时候已经有点不灵的迹象,食堂里面睡满了安装队的人。正常的话那些人都是满世界跑给别人装机器的。, U* T/ o3 |" J5 X' P0 q

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    坛里藏龙卧虎啊  发表于 2024-9-17 15:31

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    29#
    发表于 2024-9-17 11:21:47 | 只看该作者
    moletronic 发表于 2024-9-16 20:54% x9 V1 ]. _/ k. r
    按说这个跨越不算大,但Nikon就是浸水没搞定7 L9 k, h! E  {! v3 }7 `  S: O. J! K
    所以俺不敢做预测,只敢对已知的做评述 ...
    6 I8 [1 B  _* s
    突然想起来:现在就聚焦于逻辑芯片,存储芯片用的芯片技术一样吗?前一段听说长江还是谁的128还是256层NAND也被卡了,因为光刻机的事,这说法准确吗?高端NAND需要多少nm节点的光刻机?
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    30#
    发表于 2024-9-17 11:23:33 | 只看该作者
    晨枫 发表于 2024-9-17 11:13
    " d% V9 c8 P! ~2 u  U有道理。; d5 p: D5 b. \) S. K6 H
    : m/ g. y6 p# C' z- y6 d
    不过现在看尼康和佳能的光刻机,总有感觉他们已经三心二意了。既然干不过阿斯麦,就用最小投资 ...

    + y3 U5 D! {9 ^( a! c1 y$ y3 V- ]可能是真没钱投资了。这些钱政府应该赞助的,可是政府也难呐,到处都是嗷嗷待哺的嘴,捉了个虫也不知道塞哪张嘴里。
      r: |2 e4 r% ~- ~很多年前日本媒体评价日本财政用了很形象的词,叫硬直化。所有的钱都有定好的用处,几乎没有活动钱。需要财政支持的时候十分狼狈。该做的事情做不了,钱全都拿去维持日常运转了。

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      发表于 2024-9-17 15:32

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    31#
     楼主| 发表于 2024-9-17 11:28:54 | 只看该作者
    本帖最后由 moletronic 于 2024-9-16 19:33 编辑 ) E8 F  Q, l5 Z3 x+ N
    雷声 发表于 2024-9-16 19:19( C# m8 U' }( ]1 X- l' r
    还没搞定?
    1 m4 ~  S+ S* o) c. T我可能是09年去给Nikon做实验,他们想搞明白光刻机里面为什么会产生微气泡,想买个做实验的 ...

    : O  w1 k( p% r
    : N' _& k( b- ?Nikon是稳定性不行,被牙膏退货后就没人再买。疫情前去开spie的会,Nikon还吹牛自己行了,但主流客户没人用。
    # a& {$ @! R. [. C, b有网上谣言说华为买了些Nikon自己魔改做出了9100…俺比较怀疑真实性。
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    2023-2-8 04:51
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    32#
     楼主| 发表于 2024-9-17 11:31:01 | 只看该作者
    晨枫 发表于 2024-9-16 19:21' w9 _2 s% W8 U- x( R
    突然想起来:现在就聚焦于逻辑芯片,存储芯片用的芯片技术一样吗?前一段听说长江还是谁的128还是256层NA ...
    + E5 W1 S3 R0 D) u& H7 J* z
    存储和逻辑的工艺重点不一样,节点体系也不同。存储那边现在还没上EUV。
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    33#
    发表于 2024-9-17 11:34:00 | 只看该作者
    moletronic 发表于 2024-9-16 21:313 I' [( v/ B3 @2 m' G
    存储和逻辑的工艺重点不一样,节点体系也不同。存储那边现在还没上EUV。 ...

    8 R7 a6 s3 p& Z3 j需要用到浸润DUV吗?1 v/ x) Q. G9 o

    ' ^. w0 ?& Q1 Z3 i/ v9 W* I我的问题其实是:65nm光刻机能解决国内NAND厂的设备禁运问题吗?
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    开心
    2023-2-8 04:51
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    34#
     楼主| 发表于 2024-9-17 11:37:50 | 只看该作者
    晨枫 发表于 2024-9-16 19:34
    6 p- c# @& l- e" ^需要用到浸润DUV吗?
    ( F) s, L) l2 K7 C5 `* ?
    / a' Z7 S9 U! X: V# @我的问题其实是:65nm光刻机能解决国内NAND厂的设备禁运问题吗? ...
    + b5 @4 N1 G3 G! w7 k9 L4 w" _
    浸水还是要的,这国产光刻机按公布的指标应该还是没法满足YMTC的全部要求。
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    35#
    发表于 2024-9-17 11:38:06 | 只看该作者
    雷声 发表于 2024-9-16 21:23
    . O7 I, q1 A: v0 {6 ?- @可能是真没钱投资了。这些钱政府应该赞助的,可是政府也难呐,到处都是嗷嗷待哺的嘴,捉了个虫也不知道塞 ...
    + B, \5 q0 y" j3 i5 [* l% k1 r8 g" P
    是的,需要钱的地方太多,但光刻机和芯片可能是不计代价砸钱的方向,优先级比谁都高。这个瓶颈突破后,不只是军事、科技上的阳关道,经济上也是大片的处女地啊。
    # {! s' b% U: `- v5 ~, F1 }3 k# Z7 U0 ^+ K+ [* w
    硬直化很形象。确实,西方家大业大,花钱手笔也大,但每一笔钱都预定了用处,活动余地真心很小。你看看美国在预算削减时那个鸡飞狗跳,就知道真是谁都动不得。“平均剃头”是公认的最坏选择,但是唯一大家可接受的选择。
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    36#
    发表于 2024-9-17 11:40:47 | 只看该作者
    moletronic 发表于 2024-9-16 21:37
    * x. X6 @  B. p( R浸水还是要的,这国产光刻机按公布的指标应该还是没法满足YMTC的全部要求。 ...
    2 |: L# M* j. l* I/ l
    都说工信部这光刻机不是浸润式,但193nm光源,65nm分辨率,正好是2*1.44倍,是不是太巧了?
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    37#
    发表于 2024-9-17 11:43:29 | 只看该作者
    moletronic 发表于 2024-9-17 10:549 L( m  P% I# }0 p, `; _! D
    按说这个跨越不算大,但Nikon就是浸水没搞定( k3 U) M& ]4 e* Z6 K" J$ k6 n/ ]
    所以俺不敢做预测,只敢对已知的做评述 ...

    , Z% u/ ?* j, H具体工作中还是有很多细节要克服。例如曝光时照到光的水会比遮蔽区的水热一点,这个温差会让水的密度不均匀,从而折射率不均匀,影响成像。为了避免温差,必须让水快速流动混合,但又要避免产生漩涡或者析出气泡。水可以把所接触物品上的杂质洗下来,带到晶圆上,形成缺陷。当初ASML搞浸润式光刻机时,在浸液系统上与林本坚团队合作,方案修改了7-8回,耗时两年多才取得满意的结果。

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  • TA的每日心情
    开心
    2023-2-8 04:51
  • 签到天数: 1811 天

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    38#
     楼主| 发表于 2024-9-17 11:59:49 | 只看该作者
    本帖最后由 moletronic 于 2024-9-16 20:02 编辑
    & ^3 G) b  h" S; m" F+ f
    沉宝 发表于 2024-9-16 19:43
    3 J/ i( o' |7 O5 e. _具体工作中还是有很多细节要克服。例如曝光时照到光的水会比遮蔽区的水热一点,这个温差会让水的密度不均 ...
    & B1 y: D3 N. k5 H! n2 s

    2 |: s1 t6 M, \( V- `这当然不容易,不过两年挺快啦,看看牙膏的10nm……
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  • TA的每日心情
    开心
    2023-2-8 04:51
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    39#
     楼主| 发表于 2024-9-17 12:01:58 | 只看该作者
    晨枫 发表于 2024-9-16 19:40
    6 g3 l5 M/ A3 ?  U都说工信部这光刻机不是浸润式,但193nm光源,65nm分辨率,正好是2*1.44倍,是不是太巧了? ...

    . U5 v9 u7 V9 L7 g不知道啦,也许是隐晦放风的说法。
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    40#
    发表于 2024-9-17 17:38:39 | 只看该作者
    晨枫 发表于 2024-9-17 11:13
    ( p& [( o3 b% G/ r这倒是个问题。都说韩国人拼,看来还是拼不过中国人。台湾人也是中国人嘛。 ...

    8 H, i2 O; e) U  h中国大,各地方人气质不一,各擅胜场。精细活儿江南地方超过东北山东。如此说来,韩国近东北山东,台湾精英是江浙后代。
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