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楼主: moletronic
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[科普知识] 国产光刻机猜测

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  • TA的每日心情
    慵懒
    2022-8-27 22:14
  • 签到天数: 351 天

    [LV.8]合体

    21#
    发表于 2024-9-17 08:06:46 | 只看该作者
    晨枫 发表于 2024-9-16 14:004 g" |4 ~! b: |; m. l' u0 u
    也就是说,即使28nm现在还有光刻机瓶颈,其他也都就绪、只欠东风了。这是好事!& K. t- n1 B! E5 H
    * Y# g; p& Q( t$ {; _, G* r
    个人感觉:相比于前一阵 ...

    3 f1 G5 y3 E8 Z+ E$ L- |! Q! C0 k- ?$ \
    这就要西方好好领教什么叫产能过剩了。
    5 Z- p% j( z9 e3 U
    应该会在5年内实现吧。
    0 J1 j3 o8 w' w3 `1 V$ Y
    & N+ b; t' m+ {& C微博上有位“沉睡之书11”说的。(不一定准确,可以看看)
    : A% j. M8 @$ ]( n6 G( x8 i24-9-16 23:55
    ( U* x! A- d7 c( ~* b6 N' T! @发布于 湖南- b' a' D' H$ s: {
    来自 微博网页版0 _5 M6 Q8 {1 d' \5 r. f. j
    啊,说过很多次了,#光刻机# 不是挖机( v7 }+ k: d3 G8 [7 b# X
    不是运过来就能直接开工的。
    # G9 o. |! B3 \/ s+ a他需要调试,需要不断的用,一边用一边调整,等光学畸变稳定——你可以理解为拷机或者汽车发动热机暖机。1 T/ t: x9 G: ~% N; D8 M

    3 b4 T' L4 L! O这个时间很长,也是我常年说:
    5 Q- o/ E4 Z+ ]1 B' @% U* }; |( L: x/ J就算今天ASML传送一台EUV给咱,我们拿到第一批量产的芯片流片完(无论7nm,5nm还是多少)起码2年后——这最乐观的2年时间,还得是对EUV非常有经验的顶级工程师来操作优化。
    . C1 m! I5 i+ x$ Q4 L
    3 C* E& D" M1 a7 B0 x; S) S( v- _0 u现在发布的这台机器是起码3年前就验收了(科工),现在工信部验收推广(产业链),成熟得不行了才拿出来的。你需要,给钱就有,不限量。  A3 n9 \# G# S: Z6 e7 v* t6 e

    ' ~. c9 N( ]( U3 d5 i简单理解就是——这机子是干式光刻机,做的是65-55nm的芯片,一次曝光。
    + C6 U6 n, {2 X% n: R+ g干式光刻机没啥意义,为什么呢?因为改进之后的也可以出产低制程的,向下兼容并且良率更高(成本低方案成熟)6 n5 p* h7 G( x$ J1 ~/ i; l
    多重曝光也不是这哥们来做……(我是不清楚干式光刻机有没人搞这个)
    . d1 P! W4 z* g7 o) h% x$ F& \* A但这玩意的光路设计啥的,是成型了的。有了它,就加浸没式透镜,修改物镜,最终成品是目前没有验收但肯定存在某个地方的浸没式光刻机,但起码上线了2年了, c( u$ ~. L' C9 e! ~
    ! o2 k, X+ w  _
    没公布的那个肯定还在不断的调试,修改,更换国产配件。
    & w/ v/ R  U0 Y: k0 \普通人不用管光刻机啥情况——你就看最终产品就是。
    + ~' L1 }/ s" I. ?3 C#华为mate70# 也没多久了。
    0 T# n* x: D! O' N( u5 r5 z

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    这真是极好的: 5.0
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      发表于 2024-9-18 15:38
    给力: 5 涨姿势: 5 这真是极好的: 5
      发表于 2024-9-17 08:38
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  • TA的每日心情
    开心
    2023-2-8 04:51
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    [LV.Master]无

    22#
     楼主| 发表于 2024-9-17 08:15:36 | 只看该作者
    老财迷 发表于 2024-9-16 16:063 m7 f1 V/ N8 x
    应该会在5年内实现吧。
    6 h2 a9 h- W* S& H7 a: Y: w" X5 W6 u: u. q
    微博上有位“沉睡之书11”说的。(不一定准确,可以看看)
    3 A9 z" i7 ~) J7 H: }4 \; ?: X
    ( j- g- V9 Y+ C" E4 M) }2 h8 |
    这个有点扯,新机到货后肯定要调试的,但绝对用不了两年的时间。

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    以你说的为准 :)  发表于 2024-9-17 15:27

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    23#
    发表于 2024-9-17 08:39:20 | 只看该作者
    moletronic 发表于 2024-9-16 18:15
    # B! @5 V0 q! ?. l6 v' Z5 x这个有点扯,新机到货后肯定要调试的,但绝对用不了两年的时间。

    & v3 W+ _: G0 a3 {, g但干式到浸润的步子没那么大,这说对了吗?
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  • TA的每日心情
    开心
    2023-2-8 04:51
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    [LV.Master]无

    24#
     楼主| 发表于 2024-9-17 10:54:17 | 只看该作者
    本帖最后由 moletronic 于 2024-9-16 18:56 编辑
    9 b( R0 N5 l3 S) r0 l4 H
    晨枫 发表于 2024-9-16 16:39
      R8 O% e9 g0 J1 ]7 P但干式到浸润的步子没那么大,这说对了吗?

    + ]  b& c; p4 R+ I- H
    # `$ r7 c8 z6 {$ X+ m3 T按说这个跨越不算大,但Nikon就是浸水没搞定
    + g3 z* b/ s9 \7 b1 |$ q所以俺不敢做预测,只敢对已知的做评述

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    25#
    发表于 2024-9-17 11:08:25 | 只看该作者
    晨枫 发表于 2024-9-17 03:34
    : j9 P7 I1 e  s" c2 z不过EUV制作7nm可以轻易一次曝光,产率和良率应该提高很多?
    " E* s- J7 p& V
    理论上是这样。但制造芯片是个复杂的过程,需要各方面不断打磨,才能接近理想的结果。现实中的例子,台积电用193nm光刻机率先量产7nm,三星则以更先进的EUV光刻机应战,由于对新型光刻机的熟悉不足,结果良率低下,很多人抛弃三星。最后三星赔本赚吆喝,开出比台积电低30%的代工费用,才勉强留下大客户。

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      发表于 2024-9-17 15:28

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    26#
    发表于 2024-9-17 11:13:01 | 只看该作者
    moletronic 发表于 2024-9-16 20:54, \9 E' Z% S# t1 }4 ~7 @! k# x
    按说这个跨越不算大,但Nikon就是浸水没搞定% e: Q) u% E2 ~) U8 b
    所以俺不敢做预测,只敢对已知的做评述 ...
    " V+ `% M; B8 h" V1 l  o
    有道理。! }6 a4 ^% F# Z5 Q; l/ Q
    ' `9 q3 Q/ [4 S- q9 ~9 x3 r) r
    不过现在看尼康和佳能的光刻机,总有感觉他们已经三心二意了。既然干不过阿斯麦,就用最小投资吊着。不退场,但也不全力以赴。4 s4 l, Z7 e0 W
    - Z2 a9 `1 l( [/ T* G7 C4 W( l0 s) C
    中国肯定是全力以赴的。而且倾国之力肯定大于尼康、佳能。
    5 Z% z3 h" U  V- U/ k. r
    4 x8 p9 x7 A$ e0 R3 _/ q! p这会有差别吗?
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    27#
    发表于 2024-9-17 11:13:37 | 只看该作者
    沉宝 发表于 2024-9-16 21:08
    $ s7 }/ _" U  s* n1 C5 S理论上是这样。但制造芯片是个复杂的过程,需要各方面不断打磨,才能接近理想的结果。现实中的例子,台积 ...

    7 }& J0 z8 o) B/ ^* a: _& c4 ?+ H9 o这倒是个问题。都说韩国人拼,看来还是拼不过中国人。台湾人也是中国人嘛。
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    28#
    发表于 2024-9-17 11:19:08 | 只看该作者
    moletronic 发表于 2024-9-17 10:54
    * Y- h' K% R7 `/ q, U按说这个跨越不算大,但Nikon就是浸水没搞定/ _" N  F6 G* |# h% r0 s& M/ E
    所以俺不敢做预测,只敢对已知的做评述 ...
    7 l, g+ S+ ?/ r* P+ N& q
    还没搞定? * |" `2 g( s% G1 z  }+ `
    我可能是09年去给Nikon做实验,他们想搞明白光刻机里面为什么会产生微气泡,想买个做实验的系统。我在的小破公司搭了一个,然后过去一起做,看能不能用。那个时候估计还是早期,这些基础的问题都没个数。做了几个实验,证明可以捕捉到微气泡发生,成长和运动的轨迹,我就撤了。这都十五年过去了。
    $ r% x3 Y/ y: b- O, ]& I尼康那时候已经有点不灵的迹象,食堂里面睡满了安装队的人。正常的话那些人都是满世界跑给别人装机器的。, `$ {( N  @2 ^

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    坛里藏龙卧虎啊  发表于 2024-9-17 15:31

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    29#
    发表于 2024-9-17 11:21:47 | 只看该作者
    moletronic 发表于 2024-9-16 20:54$ T) w1 k) G8 _  Q) n! c" r
    按说这个跨越不算大,但Nikon就是浸水没搞定
    & @: G1 m- J* W所以俺不敢做预测,只敢对已知的做评述 ...
    # X3 U5 X! F; ^
    突然想起来:现在就聚焦于逻辑芯片,存储芯片用的芯片技术一样吗?前一段听说长江还是谁的128还是256层NAND也被卡了,因为光刻机的事,这说法准确吗?高端NAND需要多少nm节点的光刻机?
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    30#
    发表于 2024-9-17 11:23:33 | 只看该作者
    晨枫 发表于 2024-9-17 11:13
    . D4 P  D; l% @* p. _有道理。
    # Q7 j7 H1 i- k, i- z
    ; f; n+ h* t& b, m2 E1 |! z$ ?3 `3 `不过现在看尼康和佳能的光刻机,总有感觉他们已经三心二意了。既然干不过阿斯麦,就用最小投资 ...

    ) q, W" u8 f. e, M$ I1 U可能是真没钱投资了。这些钱政府应该赞助的,可是政府也难呐,到处都是嗷嗷待哺的嘴,捉了个虫也不知道塞哪张嘴里。
    % r3 S1 J0 B. g% e, e' @很多年前日本媒体评价日本财政用了很形象的词,叫硬直化。所有的钱都有定好的用处,几乎没有活动钱。需要财政支持的时候十分狼狈。该做的事情做不了,钱全都拿去维持日常运转了。

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      发表于 2024-9-17 15:32

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    31#
     楼主| 发表于 2024-9-17 11:28:54 | 只看该作者
    本帖最后由 moletronic 于 2024-9-16 19:33 编辑 / {3 T( L' j0 Z0 }/ y
    雷声 发表于 2024-9-16 19:191 x, z9 K$ K! H2 |' K
    还没搞定? 3 V' t8 f8 ^; B6 j* D
    我可能是09年去给Nikon做实验,他们想搞明白光刻机里面为什么会产生微气泡,想买个做实验的 ...
    % z* b! l! K7 F3 m% `! }3 }0 B

    8 Y" t) J1 m% E* \3 h; q: CNikon是稳定性不行,被牙膏退货后就没人再买。疫情前去开spie的会,Nikon还吹牛自己行了,但主流客户没人用。
    % m; k; Q- n5 q+ w5 w有网上谣言说华为买了些Nikon自己魔改做出了9100…俺比较怀疑真实性。
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    2023-2-8 04:51
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    [LV.Master]无

    32#
     楼主| 发表于 2024-9-17 11:31:01 | 只看该作者
    晨枫 发表于 2024-9-16 19:218 i& ^7 @) A* O0 i
    突然想起来:现在就聚焦于逻辑芯片,存储芯片用的芯片技术一样吗?前一段听说长江还是谁的128还是256层NA ...
    0 B# y7 E1 Z% Y+ k. r$ L
    存储和逻辑的工艺重点不一样,节点体系也不同。存储那边现在还没上EUV。
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    33#
    发表于 2024-9-17 11:34:00 | 只看该作者
    moletronic 发表于 2024-9-16 21:31! o2 f( U( m7 j" \4 e
    存储和逻辑的工艺重点不一样,节点体系也不同。存储那边现在还没上EUV。 ...

    4 y( J! V4 p4 `1 A' B) t需要用到浸润DUV吗?. J2 U+ o4 Y/ R& b  J# i

    . \* b' |; M" I/ Q& N9 g我的问题其实是:65nm光刻机能解决国内NAND厂的设备禁运问题吗?
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    开心
    2023-2-8 04:51
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    [LV.Master]无

    34#
     楼主| 发表于 2024-9-17 11:37:50 | 只看该作者
    晨枫 发表于 2024-9-16 19:34
    + U* c# ]4 ~% ]1 o) ]6 N& Y, L需要用到浸润DUV吗?
    , a2 R- d) l2 h% y& M4 a/ h8 ~! V; c! D4 l0 b1 B5 R# ]+ Q7 W
    我的问题其实是:65nm光刻机能解决国内NAND厂的设备禁运问题吗? ...

    6 n% w3 O1 T) P6 H' L浸水还是要的,这国产光刻机按公布的指标应该还是没法满足YMTC的全部要求。
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    该用户从未签到

    35#
    发表于 2024-9-17 11:38:06 | 只看该作者
    雷声 发表于 2024-9-16 21:23
    % J2 z. W7 d$ |可能是真没钱投资了。这些钱政府应该赞助的,可是政府也难呐,到处都是嗷嗷待哺的嘴,捉了个虫也不知道塞 ...
    7 }2 ~4 [, Z* ~( c! A
    是的,需要钱的地方太多,但光刻机和芯片可能是不计代价砸钱的方向,优先级比谁都高。这个瓶颈突破后,不只是军事、科技上的阳关道,经济上也是大片的处女地啊。
    5 Y5 V& v5 R* {7 m6 S: C
    ( X# {2 u3 P- ?+ t硬直化很形象。确实,西方家大业大,花钱手笔也大,但每一笔钱都预定了用处,活动余地真心很小。你看看美国在预算削减时那个鸡飞狗跳,就知道真是谁都动不得。“平均剃头”是公认的最坏选择,但是唯一大家可接受的选择。
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    36#
    发表于 2024-9-17 11:40:47 | 只看该作者
    moletronic 发表于 2024-9-16 21:37' ~) T/ U+ R4 |; j3 N! h
    浸水还是要的,这国产光刻机按公布的指标应该还是没法满足YMTC的全部要求。 ...

    0 C2 a3 ~! H2 U. L都说工信部这光刻机不是浸润式,但193nm光源,65nm分辨率,正好是2*1.44倍,是不是太巧了?
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    37#
    发表于 2024-9-17 11:43:29 | 只看该作者
    moletronic 发表于 2024-9-17 10:54
    3 L1 @/ h8 ]5 s+ _( s( }5 l/ r按说这个跨越不算大,但Nikon就是浸水没搞定
    5 o! N1 o2 e: Q( f所以俺不敢做预测,只敢对已知的做评述 ...
    4 R5 Z! X6 [: m% E% c4 d3 w" w( j' u
    具体工作中还是有很多细节要克服。例如曝光时照到光的水会比遮蔽区的水热一点,这个温差会让水的密度不均匀,从而折射率不均匀,影响成像。为了避免温差,必须让水快速流动混合,但又要避免产生漩涡或者析出气泡。水可以把所接触物品上的杂质洗下来,带到晶圆上,形成缺陷。当初ASML搞浸润式光刻机时,在浸液系统上与林本坚团队合作,方案修改了7-8回,耗时两年多才取得满意的结果。

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  • TA的每日心情
    开心
    2023-2-8 04:51
  • 签到天数: 1811 天

    [LV.Master]无

    38#
     楼主| 发表于 2024-9-17 11:59:49 | 只看该作者
    本帖最后由 moletronic 于 2024-9-16 20:02 编辑
    9 V6 Q! t2 h: \  P9 g
    沉宝 发表于 2024-9-16 19:43: h& a1 {% `( u2 z: t
    具体工作中还是有很多细节要克服。例如曝光时照到光的水会比遮蔽区的水热一点,这个温差会让水的密度不均 ...

    # |3 G* c  N, z( y$ {/ Y5 w) A0 r+ O- S3 j, H: a
    这当然不容易,不过两年挺快啦,看看牙膏的10nm……
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  • TA的每日心情
    开心
    2023-2-8 04:51
  • 签到天数: 1811 天

    [LV.Master]无

    39#
     楼主| 发表于 2024-9-17 12:01:58 | 只看该作者
    晨枫 发表于 2024-9-16 19:40  K# t( O/ |' q8 j- J) V3 g
    都说工信部这光刻机不是浸润式,但193nm光源,65nm分辨率,正好是2*1.44倍,是不是太巧了? ...
    - [) y/ `6 Q7 ^  g
    不知道啦,也许是隐晦放风的说法。
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    40#
    发表于 2024-9-17 17:38:39 | 只看该作者
    晨枫 发表于 2024-9-17 11:13& p; s/ E* U4 i* B1 C7 s! N  D- }
    这倒是个问题。都说韩国人拼,看来还是拼不过中国人。台湾人也是中国人嘛。 ...

    ! j3 U8 I  C  C! O中国大,各地方人气质不一,各擅胜场。精细活儿江南地方超过东北山东。如此说来,韩国近东北山东,台湾精英是江浙后代。
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