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[科普知识] 国产光刻机猜测

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  • TA的每日心情
    慵懒
    2022-8-27 22:14
  • 签到天数: 351 天

    [LV.8]合体

    21#
    发表于 2024-9-17 08:06:46 | 只看该作者
    晨枫 发表于 2024-9-16 14:00: z# ^% ?0 O' z* C2 ]
    也就是说,即使28nm现在还有光刻机瓶颈,其他也都就绪、只欠东风了。这是好事!
    6 P5 F: i8 O9 A* z' E, T" T7 s0 C3 {" d' F' p$ i1 B( e
    个人感觉:相比于前一阵 ...

    8 ^- a, O% x# Z/ [) H# Q  c6 R, R! R  b/ s: |3 {
    这就要西方好好领教什么叫产能过剩了。
    : [! r  o5 I. p
    应该会在5年内实现吧。
      Z1 [. X/ J- D: r7 T: o! E' u& B9 I4 x' W7 v
    微博上有位“沉睡之书11”说的。(不一定准确,可以看看)
    5 ]3 v# ?# t& g8 m& \9 l& ]& b: b( s24-9-16 23:55
    , X% u! n9 Y$ a! }8 g6 M" A发布于 湖南
    6 {, q# ^1 \) j; ^, |; B+ }$ J来自 微博网页版
    0 F$ ]6 X  p) p' O啊,说过很多次了,#光刻机# 不是挖机
    1 G! Z& A( X3 Y' Z不是运过来就能直接开工的。: Z8 L5 b2 W8 S% [3 R
    他需要调试,需要不断的用,一边用一边调整,等光学畸变稳定——你可以理解为拷机或者汽车发动热机暖机。
    0 z7 |& R" O  M9 _6 m8 U
    3 v# b5 _( Y# R5 d) T8 @4 g3 k这个时间很长,也是我常年说:7 Y; Y2 ^# I, H4 W5 v7 p' ]9 I
    就算今天ASML传送一台EUV给咱,我们拿到第一批量产的芯片流片完(无论7nm,5nm还是多少)起码2年后——这最乐观的2年时间,还得是对EUV非常有经验的顶级工程师来操作优化。& \* e( v0 Y0 ]0 J* Z. _

    2 V4 Q8 f# L/ s" w8 Z# X9 V现在发布的这台机器是起码3年前就验收了(科工),现在工信部验收推广(产业链),成熟得不行了才拿出来的。你需要,给钱就有,不限量。* K! S; b4 Q, D* q! s4 I) d  T% q

    9 O) ^2 U! P- s6 m1 Q简单理解就是——这机子是干式光刻机,做的是65-55nm的芯片,一次曝光。
    7 \3 v/ P9 G) Z" G: J# T3 e干式光刻机没啥意义,为什么呢?因为改进之后的也可以出产低制程的,向下兼容并且良率更高(成本低方案成熟)
      m' m2 y# Z8 u多重曝光也不是这哥们来做……(我是不清楚干式光刻机有没人搞这个)
    . n! c- j4 o6 J. ?. f但这玩意的光路设计啥的,是成型了的。有了它,就加浸没式透镜,修改物镜,最终成品是目前没有验收但肯定存在某个地方的浸没式光刻机,但起码上线了2年了' H3 V- t2 B+ m, d; R
    ; U( Z6 Q% V) y+ \; z  ~/ o; D
    没公布的那个肯定还在不断的调试,修改,更换国产配件。- X0 L7 c8 J3 n; H
    普通人不用管光刻机啥情况——你就看最终产品就是。
    , p% n+ B' I1 A9 X) [#华为mate70# 也没多久了。
    : Q4 H; e5 f+ S2 b$ z' G% T

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    这真是极好的: 5.0
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      发表于 2024-9-18 15:38
    给力: 5 涨姿势: 5 这真是极好的: 5
      发表于 2024-9-17 08:38
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  • TA的每日心情
    开心
    2023-2-8 04:51
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    [LV.Master]无

    22#
     楼主| 发表于 2024-9-17 08:15:36 | 只看该作者
    老财迷 发表于 2024-9-16 16:06' f1 A4 ^6 m  |% e7 @
    应该会在5年内实现吧。; v1 v6 z1 U& E- O  |- b
    $ L' L9 B, R. q
    微博上有位“沉睡之书11”说的。(不一定准确,可以看看)

    , ^; Z% w" J8 ~) }. H" v
    1 }9 x2 W7 ?+ L这个有点扯,新机到货后肯定要调试的,但绝对用不了两年的时间。

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    以你说的为准 :)  发表于 2024-9-17 15:27

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    23#
    发表于 2024-9-17 08:39:20 | 只看该作者
    moletronic 发表于 2024-9-16 18:15
    5 k8 L3 b6 D5 d% L( P; T/ r( w3 b这个有点扯,新机到货后肯定要调试的,但绝对用不了两年的时间。

    & b4 N2 H+ r5 t: o& ^5 g2 |但干式到浸润的步子没那么大,这说对了吗?
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  • TA的每日心情
    开心
    2023-2-8 04:51
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    [LV.Master]无

    24#
     楼主| 发表于 2024-9-17 10:54:17 | 只看该作者
    本帖最后由 moletronic 于 2024-9-16 18:56 编辑 9 g# _! S. Y; G0 O
    晨枫 发表于 2024-9-16 16:39+ z3 W9 ^) a3 O' O. k
    但干式到浸润的步子没那么大,这说对了吗?
    & V( [, H# w  I% e! x7 Z0 j

    5 e8 [/ T% q/ |- @4 {" W+ @' [按说这个跨越不算大,但Nikon就是浸水没搞定
    9 a! L; B( y  L8 ]所以俺不敢做预测,只敢对已知的做评述

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    25#
    发表于 2024-9-17 11:08:25 | 只看该作者
    晨枫 发表于 2024-9-17 03:34
    - b1 D) c- N0 H1 r6 L不过EUV制作7nm可以轻易一次曝光,产率和良率应该提高很多?

    6 C" Y( @8 L0 C# i8 c$ J) ~6 o理论上是这样。但制造芯片是个复杂的过程,需要各方面不断打磨,才能接近理想的结果。现实中的例子,台积电用193nm光刻机率先量产7nm,三星则以更先进的EUV光刻机应战,由于对新型光刻机的熟悉不足,结果良率低下,很多人抛弃三星。最后三星赔本赚吆喝,开出比台积电低30%的代工费用,才勉强留下大客户。

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      发表于 2024-9-17 15:28

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    26#
    发表于 2024-9-17 11:13:01 | 只看该作者
    moletronic 发表于 2024-9-16 20:543 V  @, U' u9 O4 _8 G
    按说这个跨越不算大,但Nikon就是浸水没搞定, |: g  U: R7 p9 v# z
    所以俺不敢做预测,只敢对已知的做评述 ...

    * k; G) J  X$ d0 t, Y& E1 ]& ]有道理。9 f0 S* T5 a. f: s) R

    9 A  J* ~( Y" N  ^, {不过现在看尼康和佳能的光刻机,总有感觉他们已经三心二意了。既然干不过阿斯麦,就用最小投资吊着。不退场,但也不全力以赴。  K# ~9 Y5 g) B  m% @0 Y. |

    , M8 {. }8 `7 s3 \中国肯定是全力以赴的。而且倾国之力肯定大于尼康、佳能。
    $ {' o$ v# X( V4 N/ }
    & g$ ~  [% C' O这会有差别吗?
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    27#
    发表于 2024-9-17 11:13:37 | 只看该作者
    沉宝 发表于 2024-9-16 21:08
    : f3 I6 P' q9 [3 ^) {8 O5 @理论上是这样。但制造芯片是个复杂的过程,需要各方面不断打磨,才能接近理想的结果。现实中的例子,台积 ...

    * Y) a8 C3 s  g' y( n这倒是个问题。都说韩国人拼,看来还是拼不过中国人。台湾人也是中国人嘛。
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    28#
    发表于 2024-9-17 11:19:08 | 只看该作者
    moletronic 发表于 2024-9-17 10:54! J! P7 v2 m4 x1 u0 `
    按说这个跨越不算大,但Nikon就是浸水没搞定
    $ j3 A! P* v  V0 q所以俺不敢做预测,只敢对已知的做评述 ...

    , Q3 U4 X! j( L  S: ]7 A4 v4 n还没搞定?
    ; ?' R# H5 u5 a7 a: w, b: p0 G我可能是09年去给Nikon做实验,他们想搞明白光刻机里面为什么会产生微气泡,想买个做实验的系统。我在的小破公司搭了一个,然后过去一起做,看能不能用。那个时候估计还是早期,这些基础的问题都没个数。做了几个实验,证明可以捕捉到微气泡发生,成长和运动的轨迹,我就撤了。这都十五年过去了。
    - j4 @/ y0 o, J! i; ]7 V1 D$ z尼康那时候已经有点不灵的迹象,食堂里面睡满了安装队的人。正常的话那些人都是满世界跑给别人装机器的。
    1 N2 k0 P3 y; F0 G$ N, k5 {

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    坛里藏龙卧虎啊  发表于 2024-9-17 15:31

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    唐家山 + 4 伙呆了
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    29#
    发表于 2024-9-17 11:21:47 | 只看该作者
    moletronic 发表于 2024-9-16 20:54
    ) G. t. D! R) ?' b# |按说这个跨越不算大,但Nikon就是浸水没搞定6 m! s: y* d; p$ M/ S( F/ @% _' a
    所以俺不敢做预测,只敢对已知的做评述 ...
      R' Y& ?5 |: Z0 I* a, T
    突然想起来:现在就聚焦于逻辑芯片,存储芯片用的芯片技术一样吗?前一段听说长江还是谁的128还是256层NAND也被卡了,因为光刻机的事,这说法准确吗?高端NAND需要多少nm节点的光刻机?
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    30#
    发表于 2024-9-17 11:23:33 | 只看该作者
    晨枫 发表于 2024-9-17 11:13$ }" |0 \. H- c5 S
    有道理。
    # g# _* _" O4 [6 Y3 |5 H; m4 q+ D: Y) X& u% A4 G. @3 k- w
    不过现在看尼康和佳能的光刻机,总有感觉他们已经三心二意了。既然干不过阿斯麦,就用最小投资 ...

    + F) [2 t$ k" R* u可能是真没钱投资了。这些钱政府应该赞助的,可是政府也难呐,到处都是嗷嗷待哺的嘴,捉了个虫也不知道塞哪张嘴里。* @) [4 O0 Z1 D1 n* i  h6 A
    很多年前日本媒体评价日本财政用了很形象的词,叫硬直化。所有的钱都有定好的用处,几乎没有活动钱。需要财政支持的时候十分狼狈。该做的事情做不了,钱全都拿去维持日常运转了。

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      发表于 2024-9-17 15:32

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    开心
    2023-2-8 04:51
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    31#
     楼主| 发表于 2024-9-17 11:28:54 | 只看该作者
    本帖最后由 moletronic 于 2024-9-16 19:33 编辑 4 K) [  y  z( [: t+ U
    雷声 发表于 2024-9-16 19:19# i3 N+ K( V! Y2 L4 g8 t9 b
    还没搞定? 5 Y& C0 F/ _; V! b, z# S; W
    我可能是09年去给Nikon做实验,他们想搞明白光刻机里面为什么会产生微气泡,想买个做实验的 ...
    ; V7 p" w8 q' i

    ( u1 b0 E3 N0 `  [% U. s5 \; O$ SNikon是稳定性不行,被牙膏退货后就没人再买。疫情前去开spie的会,Nikon还吹牛自己行了,但主流客户没人用。: q; }& \5 w. a* W; E
    有网上谣言说华为买了些Nikon自己魔改做出了9100…俺比较怀疑真实性。
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    开心
    2023-2-8 04:51
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    32#
     楼主| 发表于 2024-9-17 11:31:01 | 只看该作者
    晨枫 发表于 2024-9-16 19:21
    + c! S7 D. ^1 {9 s突然想起来:现在就聚焦于逻辑芯片,存储芯片用的芯片技术一样吗?前一段听说长江还是谁的128还是256层NA ...
    ) w* g) @( o1 M, C& A, p! P# B6 a
    存储和逻辑的工艺重点不一样,节点体系也不同。存储那边现在还没上EUV。
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    33#
    发表于 2024-9-17 11:34:00 | 只看该作者
    moletronic 发表于 2024-9-16 21:310 ^, K' t, @& [/ T4 ]" {6 T
    存储和逻辑的工艺重点不一样,节点体系也不同。存储那边现在还没上EUV。 ...

    : R- e0 ?, I) r3 ^1 Z4 x6 M3 q) t需要用到浸润DUV吗?
    . e  Z; `, d9 \8 J! l) o
    ) s9 \- R+ m9 _; m- t/ U% v我的问题其实是:65nm光刻机能解决国内NAND厂的设备禁运问题吗?
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  • TA的每日心情
    开心
    2023-2-8 04:51
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    [LV.Master]无

    34#
     楼主| 发表于 2024-9-17 11:37:50 | 只看该作者
    晨枫 发表于 2024-9-16 19:34
    & {4 E, [) m$ S( x$ k7 ]" f( y需要用到浸润DUV吗?
    0 c+ e! U# L  t; d- }& U
    ; P; R$ k2 O1 h. G3 C/ L我的问题其实是:65nm光刻机能解决国内NAND厂的设备禁运问题吗? ...

    ) t( ]1 X' F$ Y( O# w浸水还是要的,这国产光刻机按公布的指标应该还是没法满足YMTC的全部要求。
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    35#
    发表于 2024-9-17 11:38:06 | 只看该作者
    雷声 发表于 2024-9-16 21:23
    7 Y' u) l8 |! ]+ [8 ?可能是真没钱投资了。这些钱政府应该赞助的,可是政府也难呐,到处都是嗷嗷待哺的嘴,捉了个虫也不知道塞 ...

    : Q8 A4 B4 S1 v+ W是的,需要钱的地方太多,但光刻机和芯片可能是不计代价砸钱的方向,优先级比谁都高。这个瓶颈突破后,不只是军事、科技上的阳关道,经济上也是大片的处女地啊。
    : Q" ?/ I5 k' a$ R' h
    1 A7 L* _: i8 `; X1 v0 M& G硬直化很形象。确实,西方家大业大,花钱手笔也大,但每一笔钱都预定了用处,活动余地真心很小。你看看美国在预算削减时那个鸡飞狗跳,就知道真是谁都动不得。“平均剃头”是公认的最坏选择,但是唯一大家可接受的选择。
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    36#
    发表于 2024-9-17 11:40:47 | 只看该作者
    moletronic 发表于 2024-9-16 21:37+ m  m1 e) c6 f2 T' @5 L5 R  o
    浸水还是要的,这国产光刻机按公布的指标应该还是没法满足YMTC的全部要求。 ...
    5 p5 L# J! _. I$ W
    都说工信部这光刻机不是浸润式,但193nm光源,65nm分辨率,正好是2*1.44倍,是不是太巧了?
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    37#
    发表于 2024-9-17 11:43:29 | 只看该作者
    moletronic 发表于 2024-9-17 10:54  D. K( q* w& E. C
    按说这个跨越不算大,但Nikon就是浸水没搞定0 C  a9 r: L0 L) X
    所以俺不敢做预测,只敢对已知的做评述 ...

    $ H* }( h: q* g% {( `7 B. x4 K具体工作中还是有很多细节要克服。例如曝光时照到光的水会比遮蔽区的水热一点,这个温差会让水的密度不均匀,从而折射率不均匀,影响成像。为了避免温差,必须让水快速流动混合,但又要避免产生漩涡或者析出气泡。水可以把所接触物品上的杂质洗下来,带到晶圆上,形成缺陷。当初ASML搞浸润式光刻机时,在浸液系统上与林本坚团队合作,方案修改了7-8回,耗时两年多才取得满意的结果。

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  • TA的每日心情
    开心
    2023-2-8 04:51
  • 签到天数: 1811 天

    [LV.Master]无

    38#
     楼主| 发表于 2024-9-17 11:59:49 | 只看该作者
    本帖最后由 moletronic 于 2024-9-16 20:02 编辑 " L* F' N6 W$ P+ _9 ^8 ]0 X& R  X
    沉宝 发表于 2024-9-16 19:43% t9 V4 x! c3 w  J- `7 A) q" D; i
    具体工作中还是有很多细节要克服。例如曝光时照到光的水会比遮蔽区的水热一点,这个温差会让水的密度不均 ...

    ' }6 O! I! j9 p( ?3 i9 F# z# x+ p% I1 n  Y7 R& q
    这当然不容易,不过两年挺快啦,看看牙膏的10nm……
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  • TA的每日心情
    开心
    2023-2-8 04:51
  • 签到天数: 1811 天

    [LV.Master]无

    39#
     楼主| 发表于 2024-9-17 12:01:58 | 只看该作者
    晨枫 发表于 2024-9-16 19:40
    6 O" A/ ~! H; d! h0 v都说工信部这光刻机不是浸润式,但193nm光源,65nm分辨率,正好是2*1.44倍,是不是太巧了? ...
    / R1 X2 w% d* Q9 B
    不知道啦,也许是隐晦放风的说法。
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    40#
    发表于 2024-9-17 17:38:39 | 只看该作者
    晨枫 发表于 2024-9-17 11:137 _4 D$ J4 }$ N8 j( {
    这倒是个问题。都说韩国人拼,看来还是拼不过中国人。台湾人也是中国人嘛。 ...
    ; y9 O, G+ r/ M3 k
    中国大,各地方人气质不一,各擅胜场。精细活儿江南地方超过东北山东。如此说来,韩国近东北山东,台湾精英是江浙后代。
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