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[科普知识] 国产光刻机猜测

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  • TA的每日心情
    慵懒
    2022-8-27 22:14
  • 签到天数: 351 天

    [LV.8]合体

    21#
    发表于 2024-9-17 08:06:46 | 只看该作者
    晨枫 发表于 2024-9-16 14:00: c2 P% o. }- f8 g7 o. M6 G
    也就是说,即使28nm现在还有光刻机瓶颈,其他也都就绪、只欠东风了。这是好事!
    % V! k# ?. e+ z7 i+ a& ?8 ~6 N, c0 B
    . O; N& X+ I3 P& h; R个人感觉:相比于前一阵 ...
    0 a9 u; S4 q  d& g1 |' I

    " z) w: [! V- B( q
    这就要西方好好领教什么叫产能过剩了。

      d' b3 A3 S8 v3 a! r应该会在5年内实现吧。
    $ e6 I1 Z  a% F* c9 ~  L
    ' U5 V3 Z6 r$ a; R4 N微博上有位“沉睡之书11”说的。(不一定准确,可以看看)
    " m) Q" d: A; m24-9-16 23:55
    , p& L6 h, v+ V) a5 D5 q发布于 湖南: G' a+ _* b  b, ]. A7 V8 F& @! w% m
    来自 微博网页版
    . j: r0 z" U2 u6 u啊,说过很多次了,#光刻机# 不是挖机0 d$ t9 V! y* C  k# S, c: c! r0 k
    不是运过来就能直接开工的。$ U+ q0 N! G4 B
    他需要调试,需要不断的用,一边用一边调整,等光学畸变稳定——你可以理解为拷机或者汽车发动热机暖机。; c2 w. q& ]5 P0 _
    1 d; l8 x+ |) e6 ]) \
    这个时间很长,也是我常年说:$ H& }2 P  K( ~/ [
    就算今天ASML传送一台EUV给咱,我们拿到第一批量产的芯片流片完(无论7nm,5nm还是多少)起码2年后——这最乐观的2年时间,还得是对EUV非常有经验的顶级工程师来操作优化。
    0 G4 }% n% W" f2 X
    5 U+ f/ {" Y- ^" U" J+ {现在发布的这台机器是起码3年前就验收了(科工),现在工信部验收推广(产业链),成熟得不行了才拿出来的。你需要,给钱就有,不限量。5 |" q" s4 t! _& ]6 l. y# L# y

    0 X6 P9 W# [. l- U$ }' ]1 W- ]8 x简单理解就是——这机子是干式光刻机,做的是65-55nm的芯片,一次曝光。
    5 s. ]) W5 P( [  G) o* w0 Z4 p干式光刻机没啥意义,为什么呢?因为改进之后的也可以出产低制程的,向下兼容并且良率更高(成本低方案成熟)
    / R; S! D6 ~! F$ c7 E5 M多重曝光也不是这哥们来做……(我是不清楚干式光刻机有没人搞这个)
    ( U& ^& v1 v: y* _3 Z* O; m但这玩意的光路设计啥的,是成型了的。有了它,就加浸没式透镜,修改物镜,最终成品是目前没有验收但肯定存在某个地方的浸没式光刻机,但起码上线了2年了
    . l! a& P5 W: [6 ^6 e3 W
    7 Q: }6 c9 |  w& y8 \# U8 I9 s没公布的那个肯定还在不断的调试,修改,更换国产配件。7 s0 ~! ?1 ~0 n) @% L# }
    普通人不用管光刻机啥情况——你就看最终产品就是。
    " f, [2 R/ m  c9 V#华为mate70# 也没多久了。2 o' o) j4 ]6 {1 }. N

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    这真是极好的: 5.0
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      发表于 2024-9-18 15:38
    给力: 5 涨姿势: 5 这真是极好的: 5
      发表于 2024-9-17 08:38
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  • TA的每日心情
    开心
    2023-2-8 04:51
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    [LV.Master]无

    22#
     楼主| 发表于 2024-9-17 08:15:36 | 只看该作者
    老财迷 发表于 2024-9-16 16:06* S' b1 ^& _4 ~) m* d3 B
    应该会在5年内实现吧。
    ' {$ q6 ]$ g8 C) i; F! e4 d' F
    . N" H1 p, s. S" v8 r+ Y0 |* ~微博上有位“沉睡之书11”说的。(不一定准确,可以看看)

    9 T" _- \3 m% X6 z: J# y/ y1 w
    * u  r! Z5 f$ q6 Z6 c+ K9 f0 p这个有点扯,新机到货后肯定要调试的,但绝对用不了两年的时间。

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    以你说的为准 :)  发表于 2024-9-17 15:27

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    23#
    发表于 2024-9-17 08:39:20 | 只看该作者
    moletronic 发表于 2024-9-16 18:15
    " K) k/ h4 v$ T& C# r4 s, |7 }+ V这个有点扯,新机到货后肯定要调试的,但绝对用不了两年的时间。

    0 [- c3 L7 c# h5 V9 L* ?但干式到浸润的步子没那么大,这说对了吗?
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  • TA的每日心情
    开心
    2023-2-8 04:51
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    [LV.Master]无

    24#
     楼主| 发表于 2024-9-17 10:54:17 | 只看该作者
    本帖最后由 moletronic 于 2024-9-16 18:56 编辑 0 k) g8 b/ Q* j( G) K7 W+ ^
    晨枫 发表于 2024-9-16 16:39
    7 g* A+ c( [. u# ]5 V但干式到浸润的步子没那么大,这说对了吗?
    1 |9 v0 U% S7 x. T- n5 m3 R
    3 Y' s# U7 q2 V& U* m! V) F
    按说这个跨越不算大,但Nikon就是浸水没搞定
    3 w4 K- L7 M% d% E所以俺不敢做预测,只敢对已知的做评述

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    25#
    发表于 2024-9-17 11:08:25 | 只看该作者
    晨枫 发表于 2024-9-17 03:346 w: w% c/ n2 O* \6 l
    不过EUV制作7nm可以轻易一次曝光,产率和良率应该提高很多?

    / N* j+ [& L5 m0 _) Z4 {  V理论上是这样。但制造芯片是个复杂的过程,需要各方面不断打磨,才能接近理想的结果。现实中的例子,台积电用193nm光刻机率先量产7nm,三星则以更先进的EUV光刻机应战,由于对新型光刻机的熟悉不足,结果良率低下,很多人抛弃三星。最后三星赔本赚吆喝,开出比台积电低30%的代工费用,才勉强留下大客户。

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      发表于 2024-9-17 15:28

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    26#
    发表于 2024-9-17 11:13:01 | 只看该作者
    moletronic 发表于 2024-9-16 20:54, E* c- B7 o1 H( C4 t
    按说这个跨越不算大,但Nikon就是浸水没搞定
    + D9 x, W  }3 ~4 N0 Y" L* x& n- J所以俺不敢做预测,只敢对已知的做评述 ...

    ; x5 Z% Y: q' E* k8 |6 \有道理。
    6 [% `: ?; _9 b& K0 ~* o' O( E! k$ \6 j6 `4 ?
    不过现在看尼康和佳能的光刻机,总有感觉他们已经三心二意了。既然干不过阿斯麦,就用最小投资吊着。不退场,但也不全力以赴。, G4 f  m# A6 F9 @+ K
    & f! \5 W9 u3 J7 @9 ^
    中国肯定是全力以赴的。而且倾国之力肯定大于尼康、佳能。
    9 b" J. Z; p4 O4 G/ h0 r5 x" P8 Z
    & M0 L/ K% f7 y6 X! o3 M8 b这会有差别吗?
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    27#
    发表于 2024-9-17 11:13:37 | 只看该作者
    沉宝 发表于 2024-9-16 21:08
    2 Y. A% k6 s8 X6 i0 _; B9 ~理论上是这样。但制造芯片是个复杂的过程,需要各方面不断打磨,才能接近理想的结果。现实中的例子,台积 ...
    $ ^* V6 ~3 D; ]/ b' j5 ~2 X' j$ ^( T
    这倒是个问题。都说韩国人拼,看来还是拼不过中国人。台湾人也是中国人嘛。
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    28#
    发表于 2024-9-17 11:19:08 | 只看该作者
    moletronic 发表于 2024-9-17 10:54/ j8 f0 R- Q( e3 n2 Y
    按说这个跨越不算大,但Nikon就是浸水没搞定% S5 p9 O3 y+ p0 Q2 k, J* O
    所以俺不敢做预测,只敢对已知的做评述 ...

    % W- D5 ^: f, Y# Q$ r) [' b还没搞定?
    : n) f1 L8 {$ C5 C- a0 k我可能是09年去给Nikon做实验,他们想搞明白光刻机里面为什么会产生微气泡,想买个做实验的系统。我在的小破公司搭了一个,然后过去一起做,看能不能用。那个时候估计还是早期,这些基础的问题都没个数。做了几个实验,证明可以捕捉到微气泡发生,成长和运动的轨迹,我就撤了。这都十五年过去了。
    1 O9 p7 h/ S4 I5 G尼康那时候已经有点不灵的迹象,食堂里面睡满了安装队的人。正常的话那些人都是满世界跑给别人装机器的。
    * C4 V- z2 S& J3 a& O

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    坛里藏龙卧虎啊  发表于 2024-9-17 15:31

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    唐家山 + 4 伙呆了
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    29#
    发表于 2024-9-17 11:21:47 | 只看该作者
    moletronic 发表于 2024-9-16 20:54
    * _: B* ]& M% X按说这个跨越不算大,但Nikon就是浸水没搞定
    ) c- |3 h& v5 v8 `. g6 w9 o8 E所以俺不敢做预测,只敢对已知的做评述 ...
    " v9 ?# e) }' N# Z
    突然想起来:现在就聚焦于逻辑芯片,存储芯片用的芯片技术一样吗?前一段听说长江还是谁的128还是256层NAND也被卡了,因为光刻机的事,这说法准确吗?高端NAND需要多少nm节点的光刻机?
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    30#
    发表于 2024-9-17 11:23:33 | 只看该作者
    晨枫 发表于 2024-9-17 11:13
    2 z' L7 g5 O$ Q有道理。
    - h& x5 L$ }: o; C/ M4 {6 w( d& \# P3 P1 m( `: v! ]
    不过现在看尼康和佳能的光刻机,总有感觉他们已经三心二意了。既然干不过阿斯麦,就用最小投资 ...
    , t6 N% ~; ]. q, f" T
    可能是真没钱投资了。这些钱政府应该赞助的,可是政府也难呐,到处都是嗷嗷待哺的嘴,捉了个虫也不知道塞哪张嘴里。
    ; q+ y4 t* x( e7 X  m% q很多年前日本媒体评价日本财政用了很形象的词,叫硬直化。所有的钱都有定好的用处,几乎没有活动钱。需要财政支持的时候十分狼狈。该做的事情做不了,钱全都拿去维持日常运转了。

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      发表于 2024-9-17 15:32

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    开心
    2023-2-8 04:51
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    31#
     楼主| 发表于 2024-9-17 11:28:54 | 只看该作者
    本帖最后由 moletronic 于 2024-9-16 19:33 编辑 $ `' F" F1 ^( I7 e/ C: r
    雷声 发表于 2024-9-16 19:19
    " ^6 x) s- K+ i. G# R还没搞定? & L. @5 D, f7 o9 i1 h* T3 H( v
    我可能是09年去给Nikon做实验,他们想搞明白光刻机里面为什么会产生微气泡,想买个做实验的 ...
    , `4 n6 w7 G  S3 }6 u( u4 _

    9 A3 n+ F2 X% INikon是稳定性不行,被牙膏退货后就没人再买。疫情前去开spie的会,Nikon还吹牛自己行了,但主流客户没人用。
    ( K. \/ t. d8 ^' h- q$ x有网上谣言说华为买了些Nikon自己魔改做出了9100…俺比较怀疑真实性。
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    开心
    2023-2-8 04:51
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    [LV.Master]无

    32#
     楼主| 发表于 2024-9-17 11:31:01 | 只看该作者
    晨枫 发表于 2024-9-16 19:21) ^" \( v2 z; }1 I$ a9 l
    突然想起来:现在就聚焦于逻辑芯片,存储芯片用的芯片技术一样吗?前一段听说长江还是谁的128还是256层NA ...

    ! U7 o" z6 n/ Q存储和逻辑的工艺重点不一样,节点体系也不同。存储那边现在还没上EUV。
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    33#
    发表于 2024-9-17 11:34:00 | 只看该作者
    moletronic 发表于 2024-9-16 21:31
    . s$ Z5 c; j3 ^. V9 o. \存储和逻辑的工艺重点不一样,节点体系也不同。存储那边现在还没上EUV。 ...

    ! ^: z5 c8 i8 p需要用到浸润DUV吗?) m& I8 o* M' C& r4 u. S9 v; C# i

    ( z7 j6 y3 G( @9 |我的问题其实是:65nm光刻机能解决国内NAND厂的设备禁运问题吗?
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    开心
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    [LV.Master]无

    34#
     楼主| 发表于 2024-9-17 11:37:50 | 只看该作者
    晨枫 发表于 2024-9-16 19:34
    3 a1 B3 b/ ?" A: J0 c; J需要用到浸润DUV吗?$ c- b% e: S) k
    9 N& s- X7 X6 A7 _! g  _' {  z0 F
    我的问题其实是:65nm光刻机能解决国内NAND厂的设备禁运问题吗? ...
    4 n9 @/ D2 F# |8 ^
    浸水还是要的,这国产光刻机按公布的指标应该还是没法满足YMTC的全部要求。
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    35#
    发表于 2024-9-17 11:38:06 | 只看该作者
    雷声 发表于 2024-9-16 21:23
    % u& j8 l8 R+ S# M. C# K可能是真没钱投资了。这些钱政府应该赞助的,可是政府也难呐,到处都是嗷嗷待哺的嘴,捉了个虫也不知道塞 ...

    : q' n2 q, l& y+ ?是的,需要钱的地方太多,但光刻机和芯片可能是不计代价砸钱的方向,优先级比谁都高。这个瓶颈突破后,不只是军事、科技上的阳关道,经济上也是大片的处女地啊。  c1 x) b5 e$ D% P
    : S3 Q7 v2 {- L+ P- n/ R
    硬直化很形象。确实,西方家大业大,花钱手笔也大,但每一笔钱都预定了用处,活动余地真心很小。你看看美国在预算削减时那个鸡飞狗跳,就知道真是谁都动不得。“平均剃头”是公认的最坏选择,但是唯一大家可接受的选择。
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    36#
    发表于 2024-9-17 11:40:47 | 只看该作者
    moletronic 发表于 2024-9-16 21:37) ?1 s$ K9 Z, r. t9 h
    浸水还是要的,这国产光刻机按公布的指标应该还是没法满足YMTC的全部要求。 ...
    0 G% t7 w; Q( E  U# P
    都说工信部这光刻机不是浸润式,但193nm光源,65nm分辨率,正好是2*1.44倍,是不是太巧了?
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    37#
    发表于 2024-9-17 11:43:29 | 只看该作者
    moletronic 发表于 2024-9-17 10:544 c1 G# l/ q1 M$ a: w. H- [
    按说这个跨越不算大,但Nikon就是浸水没搞定
    " O: b" N2 I% E所以俺不敢做预测,只敢对已知的做评述 ...

    9 k3 z+ B! l9 D; g# D具体工作中还是有很多细节要克服。例如曝光时照到光的水会比遮蔽区的水热一点,这个温差会让水的密度不均匀,从而折射率不均匀,影响成像。为了避免温差,必须让水快速流动混合,但又要避免产生漩涡或者析出气泡。水可以把所接触物品上的杂质洗下来,带到晶圆上,形成缺陷。当初ASML搞浸润式光刻机时,在浸液系统上与林本坚团队合作,方案修改了7-8回,耗时两年多才取得满意的结果。

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  • TA的每日心情
    开心
    2023-2-8 04:51
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    38#
     楼主| 发表于 2024-9-17 11:59:49 | 只看该作者
    本帖最后由 moletronic 于 2024-9-16 20:02 编辑
    / W6 W- \3 k5 m8 |# q$ l
    沉宝 发表于 2024-9-16 19:43
    ' G% T( A7 Z* ~- o. k1 [具体工作中还是有很多细节要克服。例如曝光时照到光的水会比遮蔽区的水热一点,这个温差会让水的密度不均 ...
    ! w2 H+ C3 r' M# b

    ! P) o# |0 c+ m- o  t. t这当然不容易,不过两年挺快啦,看看牙膏的10nm……
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  • TA的每日心情
    开心
    2023-2-8 04:51
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    [LV.Master]无

    39#
     楼主| 发表于 2024-9-17 12:01:58 | 只看该作者
    晨枫 发表于 2024-9-16 19:40$ S9 c* W4 f* q
    都说工信部这光刻机不是浸润式,但193nm光源,65nm分辨率,正好是2*1.44倍,是不是太巧了? ...
    ' E4 w0 }+ A, {6 d$ t& O. S
    不知道啦,也许是隐晦放风的说法。
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    40#
    发表于 2024-9-17 17:38:39 | 只看该作者
    晨枫 发表于 2024-9-17 11:13: X  B9 K. y8 m: Y8 c* M
    这倒是个问题。都说韩国人拼,看来还是拼不过中国人。台湾人也是中国人嘛。 ...
    1 A% Z5 {5 O$ c" Z6 a# q
    中国大,各地方人气质不一,各擅胜场。精细活儿江南地方超过东北山东。如此说来,韩国近东北山东,台湾精英是江浙后代。
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