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[科普知识] 国产光刻机猜测

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  • TA的每日心情
    慵懒
    2022-8-27 22:14
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    [LV.8]合体

    21#
    发表于 2024-9-17 08:06:46 | 只看该作者
    晨枫 发表于 2024-9-16 14:00% y! R" \8 ^$ ]) x9 r2 p5 _6 s0 @3 t
    也就是说,即使28nm现在还有光刻机瓶颈,其他也都就绪、只欠东风了。这是好事!
    - x1 Z5 Y$ o- K% [1 T. `
    + W) T3 A# H: T. W个人感觉:相比于前一阵 ...

    5 t4 T9 ]: j- Y+ D  o6 g" J& q- [+ i" z5 c8 f+ o6 X
    这就要西方好好领教什么叫产能过剩了。

    : [# m8 a! g6 J- u6 L, Y( ^应该会在5年内实现吧。
    6 Y7 J+ X4 g/ t: d# Y* w! S
    ( U( ]+ |5 p6 Z* l微博上有位“沉睡之书11”说的。(不一定准确,可以看看)$ h# j6 [$ m, q1 v7 N8 z, n
    24-9-16 23:55
    * }& b- |( X) S2 B  L" \% g5 X1 K' c发布于 湖南
    1 r5 e% V. ~$ w: w来自 微博网页版9 D& O$ w( g4 E8 {0 I) Z
    啊,说过很多次了,#光刻机# 不是挖机' Z3 d+ A2 V& L, @/ x6 p: C
    不是运过来就能直接开工的。
    & I6 o  y2 @; V( c* \3 X0 p他需要调试,需要不断的用,一边用一边调整,等光学畸变稳定——你可以理解为拷机或者汽车发动热机暖机。
    + Q2 m- v7 v( |7 C9 @# k( i. u$ e6 E! i8 ?) m; i# j' j
    这个时间很长,也是我常年说:/ \+ z. W: e; T6 z6 d
    就算今天ASML传送一台EUV给咱,我们拿到第一批量产的芯片流片完(无论7nm,5nm还是多少)起码2年后——这最乐观的2年时间,还得是对EUV非常有经验的顶级工程师来操作优化。8 A; z1 I! d' a( H! ^% v  R. j

    7 ~4 J' P/ i7 a2 d; R" p; j5 R现在发布的这台机器是起码3年前就验收了(科工),现在工信部验收推广(产业链),成熟得不行了才拿出来的。你需要,给钱就有,不限量。
    - L8 l( B% @1 @% ^& c
    8 |) w4 z6 Q, A& d简单理解就是——这机子是干式光刻机,做的是65-55nm的芯片,一次曝光。
    0 E' k+ \1 ]4 v, \. c8 Z7 _干式光刻机没啥意义,为什么呢?因为改进之后的也可以出产低制程的,向下兼容并且良率更高(成本低方案成熟)
    5 v6 x4 T' R6 r3 J多重曝光也不是这哥们来做……(我是不清楚干式光刻机有没人搞这个)- U& d5 s0 o' y* K. s& H- t
    但这玩意的光路设计啥的,是成型了的。有了它,就加浸没式透镜,修改物镜,最终成品是目前没有验收但肯定存在某个地方的浸没式光刻机,但起码上线了2年了! t: Z0 w4 J  n. b

    : O& H- E) P: @- d0 g没公布的那个肯定还在不断的调试,修改,更换国产配件。
    3 Z: Z" C; P4 Z- u) i/ b: @6 t2 R普通人不用管光刻机啥情况——你就看最终产品就是。- W6 P  l) ^. f9 Y
    #华为mate70# 也没多久了。- h, C$ h8 S. u9 n9 z
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  • TA的每日心情
    开心
    2023-2-8 04:51
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    22#
     楼主| 发表于 2024-9-17 08:15:36 | 只看该作者
    老财迷 发表于 2024-9-16 16:06
    ( K/ l4 j2 b/ ?. G+ m应该会在5年内实现吧。* ?' r9 q& [; I3 W" E% Q

    , k: ?) ?3 [3 \$ \微博上有位“沉睡之书11”说的。(不一定准确,可以看看)
    . u8 {% I+ v5 |: {

    3 i. V% c( {1 @  b* ^8 V6 }9 P, X9 d* k4 V这个有点扯,新机到货后肯定要调试的,但绝对用不了两年的时间。

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    以你说的为准 :)  发表于 2024-9-17 15:27

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    23#
    发表于 2024-9-17 08:39:20 | 只看该作者
    moletronic 发表于 2024-9-16 18:15/ a; ]6 N" q6 d3 }" q; n* q
    这个有点扯,新机到货后肯定要调试的,但绝对用不了两年的时间。
    2 N+ P, ?9 f, H6 {/ D" G' _
    但干式到浸润的步子没那么大,这说对了吗?
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  • TA的每日心情
    开心
    2023-2-8 04:51
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    24#
     楼主| 发表于 2024-9-17 10:54:17 | 只看该作者
    本帖最后由 moletronic 于 2024-9-16 18:56 编辑 % c' h9 l1 q/ c& v$ D
    晨枫 发表于 2024-9-16 16:390 E7 h6 Y2 D! H* T
    但干式到浸润的步子没那么大,这说对了吗?
      G6 x0 C2 T' F* a* `

    * e& y$ d$ J2 W7 }( z" _按说这个跨越不算大,但Nikon就是浸水没搞定
    ; P% C: _- `% w( {所以俺不敢做预测,只敢对已知的做评述

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    25#
    发表于 2024-9-17 11:08:25 | 只看该作者
    晨枫 发表于 2024-9-17 03:34. n& c3 H! b2 J! k( e7 K/ `
    不过EUV制作7nm可以轻易一次曝光,产率和良率应该提高很多?

    4 F7 P0 |* m( o' }' T: q理论上是这样。但制造芯片是个复杂的过程,需要各方面不断打磨,才能接近理想的结果。现实中的例子,台积电用193nm光刻机率先量产7nm,三星则以更先进的EUV光刻机应战,由于对新型光刻机的熟悉不足,结果良率低下,很多人抛弃三星。最后三星赔本赚吆喝,开出比台积电低30%的代工费用,才勉强留下大客户。

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      发表于 2024-9-17 15:28

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    26#
    发表于 2024-9-17 11:13:01 | 只看该作者
    moletronic 发表于 2024-9-16 20:54
    , B  X+ d/ c) s% Y0 j  Y( `按说这个跨越不算大,但Nikon就是浸水没搞定  {# y2 m5 B* k) W
    所以俺不敢做预测,只敢对已知的做评述 ...
    6 `# f7 B. }1 f7 s
    有道理。
    / L, a+ ]0 ~: x& r; t7 a! L6 b
    , b) X; A- C. m4 A* O5 y不过现在看尼康和佳能的光刻机,总有感觉他们已经三心二意了。既然干不过阿斯麦,就用最小投资吊着。不退场,但也不全力以赴。8 y( H. T! Y: e+ y' |' s

    1 ]2 s3 [% w7 s2 E# u/ C% @中国肯定是全力以赴的。而且倾国之力肯定大于尼康、佳能。
    4 @& A3 |) f. N8 o. B) m, L" u! R
    & w* O' {* w8 B# Q这会有差别吗?
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    27#
    发表于 2024-9-17 11:13:37 | 只看该作者
    沉宝 发表于 2024-9-16 21:089 R  T* J) {' l5 u
    理论上是这样。但制造芯片是个复杂的过程,需要各方面不断打磨,才能接近理想的结果。现实中的例子,台积 ...

    " I% r8 _! J5 H% }% s/ J7 L6 K* x" n; l1 H这倒是个问题。都说韩国人拼,看来还是拼不过中国人。台湾人也是中国人嘛。
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    28#
    发表于 2024-9-17 11:19:08 | 只看该作者
    moletronic 发表于 2024-9-17 10:54/ I' |* e4 P3 {, x$ O
    按说这个跨越不算大,但Nikon就是浸水没搞定
    * @% i" t  J* O0 x% N所以俺不敢做预测,只敢对已知的做评述 ...

    , @7 v3 Z. p) Q' _7 ?+ K还没搞定? * l0 J" i# k6 n( ^
    我可能是09年去给Nikon做实验,他们想搞明白光刻机里面为什么会产生微气泡,想买个做实验的系统。我在的小破公司搭了一个,然后过去一起做,看能不能用。那个时候估计还是早期,这些基础的问题都没个数。做了几个实验,证明可以捕捉到微气泡发生,成长和运动的轨迹,我就撤了。这都十五年过去了。. l: G* o6 ^* G' |! z7 I
    尼康那时候已经有点不灵的迹象,食堂里面睡满了安装队的人。正常的话那些人都是满世界跑给别人装机器的。
    2 y, k  z6 l1 d( R7 o, h5 ~# P

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    坛里藏龙卧虎啊  发表于 2024-9-17 15:31

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    唐家山 + 4 伙呆了
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    29#
    发表于 2024-9-17 11:21:47 | 只看该作者
    moletronic 发表于 2024-9-16 20:54
    1 g; m% m% q' T, t4 C" G% r按说这个跨越不算大,但Nikon就是浸水没搞定' Q1 V* }, d+ p$ X4 n
    所以俺不敢做预测,只敢对已知的做评述 ...
    * _9 n: x' Z9 \, v2 ?/ M& p
    突然想起来:现在就聚焦于逻辑芯片,存储芯片用的芯片技术一样吗?前一段听说长江还是谁的128还是256层NAND也被卡了,因为光刻机的事,这说法准确吗?高端NAND需要多少nm节点的光刻机?
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    30#
    发表于 2024-9-17 11:23:33 | 只看该作者
    晨枫 发表于 2024-9-17 11:13
    2 N* ?% v+ R! {* `# k有道理。
    0 Q, t0 u7 E# O* G# P8 X) V% X6 E  q3 Y8 C* S  \
    不过现在看尼康和佳能的光刻机,总有感觉他们已经三心二意了。既然干不过阿斯麦,就用最小投资 ...
    . d4 ^0 F3 j* L  X! E+ ^
    可能是真没钱投资了。这些钱政府应该赞助的,可是政府也难呐,到处都是嗷嗷待哺的嘴,捉了个虫也不知道塞哪张嘴里。- W1 l9 N1 c; N4 u, i
    很多年前日本媒体评价日本财政用了很形象的词,叫硬直化。所有的钱都有定好的用处,几乎没有活动钱。需要财政支持的时候十分狼狈。该做的事情做不了,钱全都拿去维持日常运转了。

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      发表于 2024-9-17 15:32

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    31#
     楼主| 发表于 2024-9-17 11:28:54 | 只看该作者
    本帖最后由 moletronic 于 2024-9-16 19:33 编辑 2 J* K8 S: ~7 Q  e* i
    雷声 发表于 2024-9-16 19:19
    : q) D0 c6 ]5 u+ i' e: `还没搞定?
    + v3 L) V) {, V7 H我可能是09年去给Nikon做实验,他们想搞明白光刻机里面为什么会产生微气泡,想买个做实验的 ...
    0 S4 g, a8 _4 w9 |' ]6 t9 Q9 r$ U/ \

      k; F) J& z  l& h( F% kNikon是稳定性不行,被牙膏退货后就没人再买。疫情前去开spie的会,Nikon还吹牛自己行了,但主流客户没人用。
    9 b+ J! L# D/ A) |8 W. o有网上谣言说华为买了些Nikon自己魔改做出了9100…俺比较怀疑真实性。
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    32#
     楼主| 发表于 2024-9-17 11:31:01 | 只看该作者
    晨枫 发表于 2024-9-16 19:21
    , z3 R- h, V+ `& U: q. X突然想起来:现在就聚焦于逻辑芯片,存储芯片用的芯片技术一样吗?前一段听说长江还是谁的128还是256层NA ...
    % F% |7 Y- g9 C8 k: ^
    存储和逻辑的工艺重点不一样,节点体系也不同。存储那边现在还没上EUV。
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    33#
    发表于 2024-9-17 11:34:00 | 只看该作者
    moletronic 发表于 2024-9-16 21:311 I; g0 z5 |4 Z" h1 r: j
    存储和逻辑的工艺重点不一样,节点体系也不同。存储那边现在还没上EUV。 ...
    1 G4 k6 i; D5 B5 U6 j3 ]
    需要用到浸润DUV吗?
    0 q* p7 Y# J8 ]) |+ V3 y- m& q4 `6 L; h* Z2 U, T
    我的问题其实是:65nm光刻机能解决国内NAND厂的设备禁运问题吗?
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    开心
    2023-2-8 04:51
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    34#
     楼主| 发表于 2024-9-17 11:37:50 | 只看该作者
    晨枫 发表于 2024-9-16 19:34
    " |1 A2 K( l7 y* }! W需要用到浸润DUV吗?
    7 a, ^9 ?# i0 P+ m6 M5 W4 t5 a# `6 U
    5 N- E, h' m4 h9 [( f6 c$ _: ~我的问题其实是:65nm光刻机能解决国内NAND厂的设备禁运问题吗? ...

    " V! D- |$ S; ?2 @' p" y浸水还是要的,这国产光刻机按公布的指标应该还是没法满足YMTC的全部要求。
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    35#
    发表于 2024-9-17 11:38:06 | 只看该作者
    雷声 发表于 2024-9-16 21:23
    " Y# Y) V6 X0 w可能是真没钱投资了。这些钱政府应该赞助的,可是政府也难呐,到处都是嗷嗷待哺的嘴,捉了个虫也不知道塞 ...

    * x2 k) `$ L4 T0 x; }* }; A) u" R" d是的,需要钱的地方太多,但光刻机和芯片可能是不计代价砸钱的方向,优先级比谁都高。这个瓶颈突破后,不只是军事、科技上的阳关道,经济上也是大片的处女地啊。
    ( t) I* ?* S  M1 n
    0 H' |4 @% _, E- B4 c硬直化很形象。确实,西方家大业大,花钱手笔也大,但每一笔钱都预定了用处,活动余地真心很小。你看看美国在预算削减时那个鸡飞狗跳,就知道真是谁都动不得。“平均剃头”是公认的最坏选择,但是唯一大家可接受的选择。
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    36#
    发表于 2024-9-17 11:40:47 | 只看该作者
    moletronic 发表于 2024-9-16 21:37  u8 Y+ t. a7 Q3 {8 O6 w8 K
    浸水还是要的,这国产光刻机按公布的指标应该还是没法满足YMTC的全部要求。 ...
    * D$ V8 j% Y, h: {( d2 ]
    都说工信部这光刻机不是浸润式,但193nm光源,65nm分辨率,正好是2*1.44倍,是不是太巧了?
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    37#
    发表于 2024-9-17 11:43:29 | 只看该作者
    moletronic 发表于 2024-9-17 10:542 ~6 a' g: I9 `5 i1 j4 z
    按说这个跨越不算大,但Nikon就是浸水没搞定2 _# q  y# l/ d5 H
    所以俺不敢做预测,只敢对已知的做评述 ...
    4 t: n+ o. \$ Y3 X: {
    具体工作中还是有很多细节要克服。例如曝光时照到光的水会比遮蔽区的水热一点,这个温差会让水的密度不均匀,从而折射率不均匀,影响成像。为了避免温差,必须让水快速流动混合,但又要避免产生漩涡或者析出气泡。水可以把所接触物品上的杂质洗下来,带到晶圆上,形成缺陷。当初ASML搞浸润式光刻机时,在浸液系统上与林本坚团队合作,方案修改了7-8回,耗时两年多才取得满意的结果。

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  • TA的每日心情
    开心
    2023-2-8 04:51
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    38#
     楼主| 发表于 2024-9-17 11:59:49 | 只看该作者
    本帖最后由 moletronic 于 2024-9-16 20:02 编辑 & p5 }" y) [5 _2 P: K7 g
    沉宝 发表于 2024-9-16 19:43
    " i5 ~% i, E+ s具体工作中还是有很多细节要克服。例如曝光时照到光的水会比遮蔽区的水热一点,这个温差会让水的密度不均 ...

    4 h/ H# E1 C0 r4 p; r9 O* P% F* T. {! Y2 R7 X1 S) ]3 z/ L  c
    这当然不容易,不过两年挺快啦,看看牙膏的10nm……
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  • TA的每日心情
    开心
    2023-2-8 04:51
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    39#
     楼主| 发表于 2024-9-17 12:01:58 | 只看该作者
    晨枫 发表于 2024-9-16 19:407 Z( R. \2 {; I! P( v- m: Y
    都说工信部这光刻机不是浸润式,但193nm光源,65nm分辨率,正好是2*1.44倍,是不是太巧了? ...

    ! V3 c+ F( S2 s; T不知道啦,也许是隐晦放风的说法。
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    40#
    发表于 2024-9-17 17:38:39 | 只看该作者
    晨枫 发表于 2024-9-17 11:13
    ) p5 Z1 N* e; V: ]这倒是个问题。都说韩国人拼,看来还是拼不过中国人。台湾人也是中国人嘛。 ...

    - a+ _' S$ q2 \3 K: D% N中国大,各地方人气质不一,各擅胜场。精细活儿江南地方超过东北山东。如此说来,韩国近东北山东,台湾精英是江浙后代。
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