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[科普知识] 国产光刻机猜测

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  • TA的每日心情
    慵懒
    2022-8-27 22:14
  • 签到天数: 351 天

    [LV.8]合体

    21#
    发表于 2024-9-17 08:06:46 | 只看该作者
    晨枫 发表于 2024-9-16 14:00
    2 z* @  |/ d5 X5 D$ f! P也就是说,即使28nm现在还有光刻机瓶颈,其他也都就绪、只欠东风了。这是好事!
    - j+ L5 w8 O9 L
    8 U" E4 H" u7 m! x0 W; z% Y个人感觉:相比于前一阵 ...
    6 |" }7 ~* E' n- J0 Z( U* Z7 w

    6 _3 |7 _* v: c  o1 Q" R7 `
    这就要西方好好领教什么叫产能过剩了。
    ( V  z8 V8 V: l
    应该会在5年内实现吧。
    6 h+ j- x; f  Y: ]& u' ~/ j  g! y9 Z. a8 A4 y) `6 ^% p6 C- t3 ]
    微博上有位“沉睡之书11”说的。(不一定准确,可以看看)6 a3 s9 l1 [3 W3 Y( s
    24-9-16 23:55
    " z' Z) \- ^! m! a7 ?6 }发布于 湖南
    3 f& _+ @( u" g3 E# _% C来自 微博网页版' Z, e, o3 z* b: l0 Y3 ]0 T% H6 Q$ W/ X
    啊,说过很多次了,#光刻机# 不是挖机/ b' ~) P' d7 E
    不是运过来就能直接开工的。
      i  J4 _2 f: V他需要调试,需要不断的用,一边用一边调整,等光学畸变稳定——你可以理解为拷机或者汽车发动热机暖机。
    " {3 d5 l2 j. v2 q2 j* S) L& U) J! a! V) E8 G# s" a& i$ [( H; n. p7 e
    这个时间很长,也是我常年说:5 B+ L, c9 S/ D1 n; d; u
    就算今天ASML传送一台EUV给咱,我们拿到第一批量产的芯片流片完(无论7nm,5nm还是多少)起码2年后——这最乐观的2年时间,还得是对EUV非常有经验的顶级工程师来操作优化。* E2 I; X& }) B. F9 `

    0 q0 ^/ \; S9 A* @: q现在发布的这台机器是起码3年前就验收了(科工),现在工信部验收推广(产业链),成熟得不行了才拿出来的。你需要,给钱就有,不限量。, P* c; U+ c4 L% Z
    ' N9 }9 Q* F- G; R5 K
    简单理解就是——这机子是干式光刻机,做的是65-55nm的芯片,一次曝光。, |3 X7 s4 B  o! w5 J  c
    干式光刻机没啥意义,为什么呢?因为改进之后的也可以出产低制程的,向下兼容并且良率更高(成本低方案成熟)) H2 X5 g: j( I: x0 L5 ~( ^, G4 n2 X8 |
    多重曝光也不是这哥们来做……(我是不清楚干式光刻机有没人搞这个)
    7 k" T; m* g9 I9 e但这玩意的光路设计啥的,是成型了的。有了它,就加浸没式透镜,修改物镜,最终成品是目前没有验收但肯定存在某个地方的浸没式光刻机,但起码上线了2年了4 `: Y# P  i( I% U# l
    2 `& k6 f4 s/ M- v
    没公布的那个肯定还在不断的调试,修改,更换国产配件。
    - T: y3 W& A. u, r普通人不用管光刻机啥情况——你就看最终产品就是。
    . e& y8 w9 J' ?#华为mate70# 也没多久了。
    9 x& [& s3 n+ t; ?

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    这真是极好的: 5.0
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      发表于 2024-9-18 15:38
    给力: 5 涨姿势: 5 这真是极好的: 5
      发表于 2024-9-17 08:38
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  • TA的每日心情
    开心
    2023-2-8 04:51
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    [LV.Master]无

    22#
     楼主| 发表于 2024-9-17 08:15:36 | 只看该作者
    老财迷 发表于 2024-9-16 16:06
    - M" B! j) `- s( I- X. m应该会在5年内实现吧。# C7 C/ b( Z) r5 x
    5 l1 Q6 K. _2 A: L8 d' D2 }+ d5 W9 l4 G
    微博上有位“沉睡之书11”说的。(不一定准确,可以看看)

    ' e4 K7 ~, `2 D( A( Y3 r( k' K6 j# k3 P6 ^- |# y/ L. N
    这个有点扯,新机到货后肯定要调试的,但绝对用不了两年的时间。

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    以你说的为准 :)  发表于 2024-9-17 15:27

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    23#
    发表于 2024-9-17 08:39:20 | 只看该作者
    moletronic 发表于 2024-9-16 18:15" K" e7 k$ p+ ]& a
    这个有点扯,新机到货后肯定要调试的,但绝对用不了两年的时间。

    1 R% p! ]' w1 _0 C但干式到浸润的步子没那么大,这说对了吗?
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  • TA的每日心情
    开心
    2023-2-8 04:51
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    [LV.Master]无

    24#
     楼主| 发表于 2024-9-17 10:54:17 | 只看该作者
    本帖最后由 moletronic 于 2024-9-16 18:56 编辑 1 Q+ F3 c; L/ G. R, t. \
    晨枫 发表于 2024-9-16 16:39
    9 W. p& H; O1 v: M3 v0 O0 x但干式到浸润的步子没那么大,这说对了吗?
    - |( S" ?9 \1 _2 m4 }8 T' o4 Y2 z  f
    5 F  l* b. g  m/ q
    按说这个跨越不算大,但Nikon就是浸水没搞定
    $ O. ^4 o4 A7 n& \8 l1 T所以俺不敢做预测,只敢对已知的做评述

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    25#
    发表于 2024-9-17 11:08:25 | 只看该作者
    晨枫 发表于 2024-9-17 03:341 U* D7 ?: X1 ^4 S, Y3 j
    不过EUV制作7nm可以轻易一次曝光,产率和良率应该提高很多?

    : B( Q2 I+ S: l( b  M, ?, `% R4 L" t理论上是这样。但制造芯片是个复杂的过程,需要各方面不断打磨,才能接近理想的结果。现实中的例子,台积电用193nm光刻机率先量产7nm,三星则以更先进的EUV光刻机应战,由于对新型光刻机的熟悉不足,结果良率低下,很多人抛弃三星。最后三星赔本赚吆喝,开出比台积电低30%的代工费用,才勉强留下大客户。

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      发表于 2024-9-17 15:28

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    26#
    发表于 2024-9-17 11:13:01 | 只看该作者
    moletronic 发表于 2024-9-16 20:54
    4 z1 S0 b# Z2 @" j7 q: c按说这个跨越不算大,但Nikon就是浸水没搞定( Q* o3 _6 j* c: Z1 u
    所以俺不敢做预测,只敢对已知的做评述 ...
    : G7 K0 o$ t+ j& @5 t0 q  i: f% d! M
    有道理。: E; i/ o# l& G1 i$ j

    " D  Y4 `9 X, M9 Q0 R不过现在看尼康和佳能的光刻机,总有感觉他们已经三心二意了。既然干不过阿斯麦,就用最小投资吊着。不退场,但也不全力以赴。2 @. B! ^1 h5 N$ S! F  z3 z3 E  Q* a
    $ `5 Z  q) R2 ]
    中国肯定是全力以赴的。而且倾国之力肯定大于尼康、佳能。- v% ^/ _7 [  `. i) Q

    . ?. k* c4 A" {9 \4 g! J; u2 n这会有差别吗?
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    27#
    发表于 2024-9-17 11:13:37 | 只看该作者
    沉宝 发表于 2024-9-16 21:087 N, _: Q: o# N; o; ]7 b) L% W
    理论上是这样。但制造芯片是个复杂的过程,需要各方面不断打磨,才能接近理想的结果。现实中的例子,台积 ...

    & J+ u* b/ c; L: K6 S- V7 F这倒是个问题。都说韩国人拼,看来还是拼不过中国人。台湾人也是中国人嘛。
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    28#
    发表于 2024-9-17 11:19:08 | 只看该作者
    moletronic 发表于 2024-9-17 10:54  }& n( w+ G8 c( u" z" M( X' l/ V
    按说这个跨越不算大,但Nikon就是浸水没搞定; e& r4 Q. l/ }  ]5 g
    所以俺不敢做预测,只敢对已知的做评述 ...
    3 n, b$ s. q  S% V6 e5 J
    还没搞定?
    8 O2 J' G6 m7 v0 u2 G我可能是09年去给Nikon做实验,他们想搞明白光刻机里面为什么会产生微气泡,想买个做实验的系统。我在的小破公司搭了一个,然后过去一起做,看能不能用。那个时候估计还是早期,这些基础的问题都没个数。做了几个实验,证明可以捕捉到微气泡发生,成长和运动的轨迹,我就撤了。这都十五年过去了。
    . I1 D6 h2 B% d$ G, e尼康那时候已经有点不灵的迹象,食堂里面睡满了安装队的人。正常的话那些人都是满世界跑给别人装机器的。
    8 D4 @. V. R- \3 \- N7 w

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    坛里藏龙卧虎啊  发表于 2024-9-17 15:31

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    唐家山 + 4 伙呆了
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    29#
    发表于 2024-9-17 11:21:47 | 只看该作者
    moletronic 发表于 2024-9-16 20:54
    ! z: j$ r* {6 ]( t/ f) W按说这个跨越不算大,但Nikon就是浸水没搞定
    % s8 ^% u% L& w2 A4 h# M所以俺不敢做预测,只敢对已知的做评述 ...
    0 |6 Z& j, l. r1 |
    突然想起来:现在就聚焦于逻辑芯片,存储芯片用的芯片技术一样吗?前一段听说长江还是谁的128还是256层NAND也被卡了,因为光刻机的事,这说法准确吗?高端NAND需要多少nm节点的光刻机?
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    30#
    发表于 2024-9-17 11:23:33 | 只看该作者
    晨枫 发表于 2024-9-17 11:13( V* n( ~! t# b5 h( |  z
    有道理。/ H5 s# {  e; z
    ' ^* `, n# B4 j( ]& F/ B7 I$ a
    不过现在看尼康和佳能的光刻机,总有感觉他们已经三心二意了。既然干不过阿斯麦,就用最小投资 ...
    / b7 b9 O/ ?2 U. I% w+ g* \
    可能是真没钱投资了。这些钱政府应该赞助的,可是政府也难呐,到处都是嗷嗷待哺的嘴,捉了个虫也不知道塞哪张嘴里。& G" `6 U6 ]4 v7 t
    很多年前日本媒体评价日本财政用了很形象的词,叫硬直化。所有的钱都有定好的用处,几乎没有活动钱。需要财政支持的时候十分狼狈。该做的事情做不了,钱全都拿去维持日常运转了。

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      发表于 2024-9-17 15:32

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  • TA的每日心情
    开心
    2023-2-8 04:51
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    31#
     楼主| 发表于 2024-9-17 11:28:54 | 只看该作者
    本帖最后由 moletronic 于 2024-9-16 19:33 编辑
    * u7 z' k& b# v/ M' V9 C) I! i
    雷声 发表于 2024-9-16 19:19
    / j1 {5 w- g, g3 x# {还没搞定? ; u: D" }4 j' N
    我可能是09年去给Nikon做实验,他们想搞明白光刻机里面为什么会产生微气泡,想买个做实验的 ...

    5 {& S& y# C* Y0 M' L- P" k, U& e* f1 g
    # P9 A5 x2 l* {7 F4 c8 r' ANikon是稳定性不行,被牙膏退货后就没人再买。疫情前去开spie的会,Nikon还吹牛自己行了,但主流客户没人用。2 `) h- Z. V0 Y& ]
    有网上谣言说华为买了些Nikon自己魔改做出了9100…俺比较怀疑真实性。
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    开心
    2023-2-8 04:51
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    [LV.Master]无

    32#
     楼主| 发表于 2024-9-17 11:31:01 | 只看该作者
    晨枫 发表于 2024-9-16 19:215 I( |1 z# `, `* g/ _+ m% v+ z
    突然想起来:现在就聚焦于逻辑芯片,存储芯片用的芯片技术一样吗?前一段听说长江还是谁的128还是256层NA ...

    ! n/ I  P1 N  y存储和逻辑的工艺重点不一样,节点体系也不同。存储那边现在还没上EUV。
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    33#
    发表于 2024-9-17 11:34:00 | 只看该作者
    moletronic 发表于 2024-9-16 21:31
    3 X- ^. |7 t5 T) b" h存储和逻辑的工艺重点不一样,节点体系也不同。存储那边现在还没上EUV。 ...

    4 S; l3 q* P' N; B" E/ M/ w/ B需要用到浸润DUV吗?" F+ F# n: U2 U: x5 Q  h
    0 h( P" b! p- H; V) Q
    我的问题其实是:65nm光刻机能解决国内NAND厂的设备禁运问题吗?
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    开心
    2023-2-8 04:51
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    [LV.Master]无

    34#
     楼主| 发表于 2024-9-17 11:37:50 | 只看该作者
    晨枫 发表于 2024-9-16 19:34
    9 c- `' h% c0 v& C# O7 c9 I需要用到浸润DUV吗?/ u9 {4 e2 s3 C$ ~

    ) ^* w+ j/ m! h我的问题其实是:65nm光刻机能解决国内NAND厂的设备禁运问题吗? ...
    ; E) ?% z2 H9 {$ Z! h* ^( x
    浸水还是要的,这国产光刻机按公布的指标应该还是没法满足YMTC的全部要求。
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    35#
    发表于 2024-9-17 11:38:06 | 只看该作者
    雷声 发表于 2024-9-16 21:23/ p0 H3 c: x* i% d% d) q& Y# s
    可能是真没钱投资了。这些钱政府应该赞助的,可是政府也难呐,到处都是嗷嗷待哺的嘴,捉了个虫也不知道塞 ...

    4 j; W7 J4 b$ G+ j9 w是的,需要钱的地方太多,但光刻机和芯片可能是不计代价砸钱的方向,优先级比谁都高。这个瓶颈突破后,不只是军事、科技上的阳关道,经济上也是大片的处女地啊。
    1 i+ k' s" c3 n; o, d( N/ `% N
    : N2 v( P- r* }7 f4 ]6 S' l* ~. |5 M硬直化很形象。确实,西方家大业大,花钱手笔也大,但每一笔钱都预定了用处,活动余地真心很小。你看看美国在预算削减时那个鸡飞狗跳,就知道真是谁都动不得。“平均剃头”是公认的最坏选择,但是唯一大家可接受的选择。
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    36#
    发表于 2024-9-17 11:40:47 | 只看该作者
    moletronic 发表于 2024-9-16 21:37
    9 W; H9 ^4 S% w+ ~浸水还是要的,这国产光刻机按公布的指标应该还是没法满足YMTC的全部要求。 ...
    # {. r" a+ G/ ]$ C
    都说工信部这光刻机不是浸润式,但193nm光源,65nm分辨率,正好是2*1.44倍,是不是太巧了?
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    37#
    发表于 2024-9-17 11:43:29 | 只看该作者
    moletronic 发表于 2024-9-17 10:54
    + E9 Y. b1 b* L. l, E按说这个跨越不算大,但Nikon就是浸水没搞定; v4 f" _5 |3 a- G0 B" u
    所以俺不敢做预测,只敢对已知的做评述 ...
    * `5 ?% _! o& b0 _% m
    具体工作中还是有很多细节要克服。例如曝光时照到光的水会比遮蔽区的水热一点,这个温差会让水的密度不均匀,从而折射率不均匀,影响成像。为了避免温差,必须让水快速流动混合,但又要避免产生漩涡或者析出气泡。水可以把所接触物品上的杂质洗下来,带到晶圆上,形成缺陷。当初ASML搞浸润式光刻机时,在浸液系统上与林本坚团队合作,方案修改了7-8回,耗时两年多才取得满意的结果。

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  • TA的每日心情
    开心
    2023-2-8 04:51
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    [LV.Master]无

    38#
     楼主| 发表于 2024-9-17 11:59:49 | 只看该作者
    本帖最后由 moletronic 于 2024-9-16 20:02 编辑
    1 I- D, p0 W% A/ w- S; J: Z8 r) {+ i
    沉宝 发表于 2024-9-16 19:43" F) |& D& h4 V+ }+ K+ u# h
    具体工作中还是有很多细节要克服。例如曝光时照到光的水会比遮蔽区的水热一点,这个温差会让水的密度不均 ...

    7 f7 y( _5 X) ?. T- L" _0 Y# F' K, l- L! k: V
    这当然不容易,不过两年挺快啦,看看牙膏的10nm……
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  • TA的每日心情
    开心
    2023-2-8 04:51
  • 签到天数: 1811 天

    [LV.Master]无

    39#
     楼主| 发表于 2024-9-17 12:01:58 | 只看该作者
    晨枫 发表于 2024-9-16 19:40
    ' j) K1 |, G  v3 d6 R5 X+ |都说工信部这光刻机不是浸润式,但193nm光源,65nm分辨率,正好是2*1.44倍,是不是太巧了? ...

    , l5 g8 X- B# R8 s  E) f, l" T8 n不知道啦,也许是隐晦放风的说法。
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    40#
    发表于 2024-9-17 17:38:39 | 只看该作者
    晨枫 发表于 2024-9-17 11:13
    9 Y& R! m* Q5 Y4 t; C* ]这倒是个问题。都说韩国人拼,看来还是拼不过中国人。台湾人也是中国人嘛。 ...

    * L/ x$ s- E+ _5 S- G7 L  D中国大,各地方人气质不一,各擅胜场。精细活儿江南地方超过东北山东。如此说来,韩国近东北山东,台湾精英是江浙后代。
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