设为首页收藏本站

爱吱声

 找回密码
 注册
搜索
楼主: moletronic
打印 上一主题 下一主题

[科普知识] 国产光刻机猜测

[复制链接]
  • TA的每日心情
    慵懒
    2022-8-27 22:14
  • 签到天数: 351 天

    [LV.8]合体

    21#
    发表于 2024-9-17 08:06:46 | 只看该作者
    晨枫 发表于 2024-9-16 14:00
    ! A4 O. w) ^7 X8 `* n$ L& |( H4 I也就是说,即使28nm现在还有光刻机瓶颈,其他也都就绪、只欠东风了。这是好事!  A  `0 }5 v/ Z! I/ K' e* e

    + T: g, t, a: c2 r" v个人感觉:相比于前一阵 ...

      p, ~2 N) d: v' A4 l6 T
    ( n7 C- }; {7 F  @) e
    这就要西方好好领教什么叫产能过剩了。

    / {' S7 k$ ^* y' j4 o# o2 f  w6 b应该会在5年内实现吧。
    0 q, d5 W3 {( S$ ~- r+ e1 P
    + Y' x/ C2 V+ E* C微博上有位“沉睡之书11”说的。(不一定准确,可以看看)
    ! ^' r# t" T7 u2 d24-9-16 23:551 i0 u. P0 N% B& _0 `% H) t% _
    发布于 湖南
    ! l$ H5 \3 c2 ~来自 微博网页版3 h9 Q1 ]$ c, U( b2 V' G
    啊,说过很多次了,#光刻机# 不是挖机( B/ a+ |+ ?0 q# {
    不是运过来就能直接开工的。+ n1 t4 e. M3 m; y
    他需要调试,需要不断的用,一边用一边调整,等光学畸变稳定——你可以理解为拷机或者汽车发动热机暖机。
    % T& C$ S+ j2 v2 |6 I: J  W9 O( l1 p, B8 y  w, I: x& d9 j
    这个时间很长,也是我常年说:
    - S! Z" t) p+ S. m% [) T: L+ V0 S就算今天ASML传送一台EUV给咱,我们拿到第一批量产的芯片流片完(无论7nm,5nm还是多少)起码2年后——这最乐观的2年时间,还得是对EUV非常有经验的顶级工程师来操作优化。5 i. F  ~" \) U  H

    $ j4 e9 G- x' \! j0 I现在发布的这台机器是起码3年前就验收了(科工),现在工信部验收推广(产业链),成熟得不行了才拿出来的。你需要,给钱就有,不限量。3 s' ~8 P  X" A* n! p1 d" p

    7 C" a7 u) L' m5 ]2 f简单理解就是——这机子是干式光刻机,做的是65-55nm的芯片,一次曝光。( }' e2 I( j; k6 @& D4 u5 X
    干式光刻机没啥意义,为什么呢?因为改进之后的也可以出产低制程的,向下兼容并且良率更高(成本低方案成熟)3 A) S  ]% w- e$ k: `
    多重曝光也不是这哥们来做……(我是不清楚干式光刻机有没人搞这个)
    , ^2 ~$ {  r! c0 t6 D但这玩意的光路设计啥的,是成型了的。有了它,就加浸没式透镜,修改物镜,最终成品是目前没有验收但肯定存在某个地方的浸没式光刻机,但起码上线了2年了
    0 @% ]' d! T" F) I! ]+ A2 ~0 r  \& U: J3 o! j
    没公布的那个肯定还在不断的调试,修改,更换国产配件。
    9 _+ X2 @$ l* {0 v; c" ?, T普通人不用管光刻机啥情况——你就看最终产品就是。8 {, Q& h+ _+ h
    #华为mate70# 也没多久了。+ {' A! i* p6 G1 N% P' q0 H

    点评

    给力: 5.0 涨姿势: 5.0
    这真是极好的: 5.0
    涨姿势: 5
      发表于 2024-9-18 15:38
    给力: 5 涨姿势: 5 这真是极好的: 5
      发表于 2024-9-17 08:38
    回复 支持 反对

    使用道具 举报

  • TA的每日心情
    开心
    2023-2-8 04:51
  • 签到天数: 1811 天

    [LV.Master]无

    22#
     楼主| 发表于 2024-9-17 08:15:36 | 只看该作者
    老财迷 发表于 2024-9-16 16:06
    5 F/ J- S( B) F1 Z应该会在5年内实现吧。3 a- Y# k% ?& \
    ) i. j; b% f6 Y7 b4 b4 ]
    微博上有位“沉睡之书11”说的。(不一定准确,可以看看)

    % Z' x; w0 U, o
    & a# H: S  }3 j' |3 r; S这个有点扯,新机到货后肯定要调试的,但绝对用不了两年的时间。

    点评

    油菜: 5.0 给力: 5.0
    油菜: 5 给力: 5
    以你说的为准 :)  发表于 2024-9-17 15:27

    评分

    参与人数 1爱元 +8 收起 理由
    老财迷 + 8

    查看全部评分

    回复 支持 反对

    使用道具 举报

    该用户从未签到

    23#
    发表于 2024-9-17 08:39:20 | 只看该作者
    moletronic 发表于 2024-9-16 18:15" I2 I2 k3 n) o0 y. n/ G# C5 @
    这个有点扯,新机到货后肯定要调试的,但绝对用不了两年的时间。

    5 i% ]8 M/ R8 ~3 x7 K8 O. Y但干式到浸润的步子没那么大,这说对了吗?
    回复 支持 反对

    使用道具 举报

  • TA的每日心情
    开心
    2023-2-8 04:51
  • 签到天数: 1811 天

    [LV.Master]无

    24#
     楼主| 发表于 2024-9-17 10:54:17 | 只看该作者
    本帖最后由 moletronic 于 2024-9-16 18:56 编辑
    * A4 x# Y. [! L
    晨枫 发表于 2024-9-16 16:39
    % C( f' T2 r1 j7 Z* U但干式到浸润的步子没那么大,这说对了吗?
    * n2 l! C5 P  F; w8 E

    3 ]- u% i1 P. Z+ X6 c0 r  |+ m按说这个跨越不算大,但Nikon就是浸水没搞定
    # U0 S3 `# T: @0 O5 W1 e所以俺不敢做预测,只敢对已知的做评述

    评分

    参与人数 2爱元 +18 学识 +2 收起 理由
    老票 + 10 + 2 给力
    老财迷 + 8 涨姿势

    查看全部评分

    回复 支持 反对

    使用道具 举报

    该用户从未签到

    25#
    发表于 2024-9-17 11:08:25 | 只看该作者
    晨枫 发表于 2024-9-17 03:34
    1 J( `4 Q( |+ I; w不过EUV制作7nm可以轻易一次曝光,产率和良率应该提高很多?

    / t/ G  K9 F) D理论上是这样。但制造芯片是个复杂的过程,需要各方面不断打磨,才能接近理想的结果。现实中的例子,台积电用193nm光刻机率先量产7nm,三星则以更先进的EUV光刻机应战,由于对新型光刻机的熟悉不足,结果良率低下,很多人抛弃三星。最后三星赔本赚吆喝,开出比台积电低30%的代工费用,才勉强留下大客户。

    点评

    油菜: 5.0 涨姿势: 5.0
    油菜: 5 涨姿势: 5
      发表于 2024-9-17 15:28

    评分

    参与人数 1爱元 +8 收起 理由
    老财迷 + 8

    查看全部评分

    回复 支持 反对

    使用道具 举报

    该用户从未签到

    26#
    发表于 2024-9-17 11:13:01 | 只看该作者
    moletronic 发表于 2024-9-16 20:54
    6 s" c6 l  L. A0 b按说这个跨越不算大,但Nikon就是浸水没搞定/ R; R/ ?* E4 O% p: N
    所以俺不敢做预测,只敢对已知的做评述 ...

    , u8 [2 n3 u- w& q2 `, T8 L有道理。6 U7 `* L4 U) J/ J5 l6 O: N0 _
    # j7 }6 S& u+ h; v; Z$ S
    不过现在看尼康和佳能的光刻机,总有感觉他们已经三心二意了。既然干不过阿斯麦,就用最小投资吊着。不退场,但也不全力以赴。- N$ y% f, j7 i1 I+ g

    , K9 B! c# q& X- l3 q中国肯定是全力以赴的。而且倾国之力肯定大于尼康、佳能。& K( ?  P" U5 Z1 l5 R  ]

    # \) m7 G: C: d5 X" v* `4 ]+ K这会有差别吗?
    回复 支持 反对

    使用道具 举报

    该用户从未签到

    27#
    发表于 2024-9-17 11:13:37 | 只看该作者
    沉宝 发表于 2024-9-16 21:086 `4 o' r3 N0 i; o% \, a0 @
    理论上是这样。但制造芯片是个复杂的过程,需要各方面不断打磨,才能接近理想的结果。现实中的例子,台积 ...
    3 Y3 h( D# W$ @
    这倒是个问题。都说韩国人拼,看来还是拼不过中国人。台湾人也是中国人嘛。
    回复 支持 反对

    使用道具 举报

    该用户从未签到

    28#
    发表于 2024-9-17 11:19:08 | 只看该作者
    moletronic 发表于 2024-9-17 10:54
    5 F& \. j3 \8 ]; m- A4 A按说这个跨越不算大,但Nikon就是浸水没搞定
    1 S& v$ Q) u/ p所以俺不敢做预测,只敢对已知的做评述 ...
    . N9 ~) F* a9 ~* c% {6 Y
    还没搞定?
    / l4 e( k+ ~1 s/ G1 `5 y我可能是09年去给Nikon做实验,他们想搞明白光刻机里面为什么会产生微气泡,想买个做实验的系统。我在的小破公司搭了一个,然后过去一起做,看能不能用。那个时候估计还是早期,这些基础的问题都没个数。做了几个实验,证明可以捕捉到微气泡发生,成长和运动的轨迹,我就撤了。这都十五年过去了。
    2 B) M0 r0 n; j: N8 t尼康那时候已经有点不灵的迹象,食堂里面睡满了安装队的人。正常的话那些人都是满世界跑给别人装机器的。' s+ _, T+ ~/ \9 l: P

    点评

    油菜: 5.0 给力: 0.0
    涨姿势: 5.0
    油菜: 5 给力: 0 涨姿势: 5
    坛里藏龙卧虎啊  发表于 2024-9-17 15:31

    评分

    参与人数 3爱元 +22 学识 +2 收起 理由
    老票 + 10 + 2 涨姿势
    唐家山 + 4 伙呆了
    老财迷 + 8

    查看全部评分

    回复 支持 反对

    使用道具 举报

    该用户从未签到

    29#
    发表于 2024-9-17 11:21:47 | 只看该作者
    moletronic 发表于 2024-9-16 20:54# z- w9 d4 n# D* R. Z0 }% s1 o
    按说这个跨越不算大,但Nikon就是浸水没搞定
    ) ^, e+ o- R( U所以俺不敢做预测,只敢对已知的做评述 ...

    & L! m$ v# B( T! R2 p突然想起来:现在就聚焦于逻辑芯片,存储芯片用的芯片技术一样吗?前一段听说长江还是谁的128还是256层NAND也被卡了,因为光刻机的事,这说法准确吗?高端NAND需要多少nm节点的光刻机?
    回复 支持 反对

    使用道具 举报

    该用户从未签到

    30#
    发表于 2024-9-17 11:23:33 | 只看该作者
    晨枫 发表于 2024-9-17 11:13
    8 b4 g$ K$ w4 s6 v3 ?/ \' M1 y有道理。
    4 y+ y/ v2 U6 b4 W* c$ o/ r( M5 G' P8 T& V
    不过现在看尼康和佳能的光刻机,总有感觉他们已经三心二意了。既然干不过阿斯麦,就用最小投资 ...

    * A4 g5 C5 t) y, i可能是真没钱投资了。这些钱政府应该赞助的,可是政府也难呐,到处都是嗷嗷待哺的嘴,捉了个虫也不知道塞哪张嘴里。6 \. }, [2 V; x- z" v$ P: J
    很多年前日本媒体评价日本财政用了很形象的词,叫硬直化。所有的钱都有定好的用处,几乎没有活动钱。需要财政支持的时候十分狼狈。该做的事情做不了,钱全都拿去维持日常运转了。

    点评

    油菜: 5.0 涨姿势: 5.0
    油菜: 5 涨姿势: 5
      发表于 2024-9-17 15:32

    评分

    参与人数 1爱元 +4 收起 理由
    老财迷 + 4

    查看全部评分

    回复 支持 反对

    使用道具 举报

  • TA的每日心情
    开心
    2023-2-8 04:51
  • 签到天数: 1811 天

    [LV.Master]无

    31#
     楼主| 发表于 2024-9-17 11:28:54 | 只看该作者
    本帖最后由 moletronic 于 2024-9-16 19:33 编辑 # c: X8 _" B* @) _
    雷声 发表于 2024-9-16 19:19: h" I; n5 n3 h$ N
    还没搞定? & ?0 e: X3 q3 V! ]1 _
    我可能是09年去给Nikon做实验,他们想搞明白光刻机里面为什么会产生微气泡,想买个做实验的 ...

      \9 p. x/ Q7 n( @8 t, n7 H) Z! P* @% W
    Nikon是稳定性不行,被牙膏退货后就没人再买。疫情前去开spie的会,Nikon还吹牛自己行了,但主流客户没人用。
    # R! Z, g  {7 z3 F有网上谣言说华为买了些Nikon自己魔改做出了9100…俺比较怀疑真实性。
    回复 支持 反对

    使用道具 举报

  • TA的每日心情
    开心
    2023-2-8 04:51
  • 签到天数: 1811 天

    [LV.Master]无

    32#
     楼主| 发表于 2024-9-17 11:31:01 | 只看该作者
    晨枫 发表于 2024-9-16 19:219 p  j5 o$ g/ C
    突然想起来:现在就聚焦于逻辑芯片,存储芯片用的芯片技术一样吗?前一段听说长江还是谁的128还是256层NA ...
    ! N2 h# }2 L) R7 I5 f- ?; v
    存储和逻辑的工艺重点不一样,节点体系也不同。存储那边现在还没上EUV。
    回复 支持 反对

    使用道具 举报

    该用户从未签到

    33#
    发表于 2024-9-17 11:34:00 | 只看该作者
    moletronic 发表于 2024-9-16 21:31
    ; y, X" a8 n3 }; r$ f$ N5 `# `2 S存储和逻辑的工艺重点不一样,节点体系也不同。存储那边现在还没上EUV。 ...
    ; w  m! V# H6 L% L: f
    需要用到浸润DUV吗?+ m; `2 J- r' h
    , M: u0 o& D" {. ~
    我的问题其实是:65nm光刻机能解决国内NAND厂的设备禁运问题吗?
    回复 支持 反对

    使用道具 举报

  • TA的每日心情
    开心
    2023-2-8 04:51
  • 签到天数: 1811 天

    [LV.Master]无

    34#
     楼主| 发表于 2024-9-17 11:37:50 | 只看该作者
    晨枫 发表于 2024-9-16 19:34, b4 l9 r1 f$ n8 x, O
    需要用到浸润DUV吗?4 R' s5 d- T7 q$ i. k; R8 a
    ' k' `7 t( R! i0 a$ {5 a9 C
    我的问题其实是:65nm光刻机能解决国内NAND厂的设备禁运问题吗? ...

    : D! c; k. s$ N浸水还是要的,这国产光刻机按公布的指标应该还是没法满足YMTC的全部要求。
    回复 支持 反对

    使用道具 举报

    该用户从未签到

    35#
    发表于 2024-9-17 11:38:06 | 只看该作者
    雷声 发表于 2024-9-16 21:23
    1 V! X/ a2 x  J) Z0 e* c* A/ z可能是真没钱投资了。这些钱政府应该赞助的,可是政府也难呐,到处都是嗷嗷待哺的嘴,捉了个虫也不知道塞 ...
    3 T! K, B1 A: b& @& [$ ?9 o
    是的,需要钱的地方太多,但光刻机和芯片可能是不计代价砸钱的方向,优先级比谁都高。这个瓶颈突破后,不只是军事、科技上的阳关道,经济上也是大片的处女地啊。; n6 b# k* }$ V5 `
    6 I6 h! l: J% k/ ]: I( @+ |8 ?
    硬直化很形象。确实,西方家大业大,花钱手笔也大,但每一笔钱都预定了用处,活动余地真心很小。你看看美国在预算削减时那个鸡飞狗跳,就知道真是谁都动不得。“平均剃头”是公认的最坏选择,但是唯一大家可接受的选择。
    回复 支持 反对

    使用道具 举报

    该用户从未签到

    36#
    发表于 2024-9-17 11:40:47 | 只看该作者
    moletronic 发表于 2024-9-16 21:378 Z5 h& |7 {2 I+ A
    浸水还是要的,这国产光刻机按公布的指标应该还是没法满足YMTC的全部要求。 ...

    7 ~; p- C) f% A6 d2 h) l都说工信部这光刻机不是浸润式,但193nm光源,65nm分辨率,正好是2*1.44倍,是不是太巧了?
    回复 支持 反对

    使用道具 举报

    该用户从未签到

    37#
    发表于 2024-9-17 11:43:29 | 只看该作者
    moletronic 发表于 2024-9-17 10:54& ?: N9 X5 ]7 E, x) j3 b, T% q
    按说这个跨越不算大,但Nikon就是浸水没搞定
    - Z3 J; N* {: t/ J所以俺不敢做预测,只敢对已知的做评述 ...

      P, ?( U* F# C, n) R/ |: ^具体工作中还是有很多细节要克服。例如曝光时照到光的水会比遮蔽区的水热一点,这个温差会让水的密度不均匀,从而折射率不均匀,影响成像。为了避免温差,必须让水快速流动混合,但又要避免产生漩涡或者析出气泡。水可以把所接触物品上的杂质洗下来,带到晶圆上,形成缺陷。当初ASML搞浸润式光刻机时,在浸液系统上与林本坚团队合作,方案修改了7-8回,耗时两年多才取得满意的结果。

    评分

    参与人数 1爱元 +10 学识 +2 收起 理由
    老票 + 10 + 2 涨姿势

    查看全部评分

    回复 支持 反对

    使用道具 举报

  • TA的每日心情
    开心
    2023-2-8 04:51
  • 签到天数: 1811 天

    [LV.Master]无

    38#
     楼主| 发表于 2024-9-17 11:59:49 | 只看该作者
    本帖最后由 moletronic 于 2024-9-16 20:02 编辑 . E1 N5 G& F8 Z
    沉宝 发表于 2024-9-16 19:43
    ( y4 K2 i7 v4 y1 y具体工作中还是有很多细节要克服。例如曝光时照到光的水会比遮蔽区的水热一点,这个温差会让水的密度不均 ...

    % \5 X( z; a! u8 U. {( C+ C3 S& C  c* o; F0 l" E5 n! P& R7 P7 G2 v
    这当然不容易,不过两年挺快啦,看看牙膏的10nm……
    回复 支持 反对

    使用道具 举报

  • TA的每日心情
    开心
    2023-2-8 04:51
  • 签到天数: 1811 天

    [LV.Master]无

    39#
     楼主| 发表于 2024-9-17 12:01:58 | 只看该作者
    晨枫 发表于 2024-9-16 19:40
    / A( u2 e4 e% p' B/ B4 z! m8 a% [! S, s都说工信部这光刻机不是浸润式,但193nm光源,65nm分辨率,正好是2*1.44倍,是不是太巧了? ...
    ) I' Q& ]' _# d: K
    不知道啦,也许是隐晦放风的说法。
    回复 支持 反对

    使用道具 举报

    该用户从未签到

    40#
    发表于 2024-9-17 17:38:39 | 只看该作者
    晨枫 发表于 2024-9-17 11:13& t8 A0 ^+ n# z2 r4 Z' E4 D% y
    这倒是个问题。都说韩国人拼,看来还是拼不过中国人。台湾人也是中国人嘛。 ...

    . Q7 Z* j7 V" H. u/ i# ?1 i4 j2 n中国大,各地方人气质不一,各擅胜场。精细活儿江南地方超过东北山东。如此说来,韩国近东北山东,台湾精英是江浙后代。
    回复 支持 反对

    使用道具 举报

    手机版|小黑屋|Archiver|网站错误报告|爱吱声   

    GMT+8, 2025-10-16 09:39 , Processed in 0.052592 second(s), 17 queries , Gzip On.

    Powered by Discuz! X3.2

    © 2001-2013 Comsenz Inc.

    快速回复 返回顶部 返回列表