设为首页收藏本站

爱吱声

 找回密码
 注册
搜索
楼主: moletronic
打印 上一主题 下一主题

[科普知识] 国产光刻机猜测

[复制链接]
  • TA的每日心情
    慵懒
    2022-8-27 22:14
  • 签到天数: 351 天

    [LV.8]合体

    21#
    发表于 2024-9-17 08:06:46 | 只看该作者
    晨枫 发表于 2024-9-16 14:009 F' o# c# X2 D8 C8 I3 {8 z
    也就是说,即使28nm现在还有光刻机瓶颈,其他也都就绪、只欠东风了。这是好事!
    4 T: q  l1 n6 v: v
    7 c" b" f, b0 ~+ W3 X% e0 N个人感觉:相比于前一阵 ...

    8 d7 j. w7 `0 c" e" `
    4 A- D8 `$ o7 {- F5 H
    这就要西方好好领教什么叫产能过剩了。

    8 p6 P* u6 w+ V2 x# e应该会在5年内实现吧。
    & S& G. T4 }6 b" E# K! o2 d" e: w  W* J% o" _0 b
    微博上有位“沉睡之书11”说的。(不一定准确,可以看看)
    ) X  G2 {  c  }9 I24-9-16 23:55- @# e0 A; B0 N! w9 ^- X6 f# }
    发布于 湖南
    9 ~( X9 ?: P/ |! P8 X/ E# B' ^来自 微博网页版! {" i9 y# W5 D! G+ m4 b
    啊,说过很多次了,#光刻机# 不是挖机/ z- h4 ?. e( |3 H+ C+ b
    不是运过来就能直接开工的。
    % P1 f$ A8 M& h; J他需要调试,需要不断的用,一边用一边调整,等光学畸变稳定——你可以理解为拷机或者汽车发动热机暖机。6 T) W8 P! H+ z, j0 S- j5 g
    " F+ W" G, {; g3 b1 @% P, Z: S+ w2 w
    这个时间很长,也是我常年说:
    9 D) V1 `* @6 J) Z' N8 `# u9 k" _就算今天ASML传送一台EUV给咱,我们拿到第一批量产的芯片流片完(无论7nm,5nm还是多少)起码2年后——这最乐观的2年时间,还得是对EUV非常有经验的顶级工程师来操作优化。
    ! v% ]. q- `, e3 A; r+ H) A- m1 N/ ~+ d* }% e4 ~" W
    现在发布的这台机器是起码3年前就验收了(科工),现在工信部验收推广(产业链),成熟得不行了才拿出来的。你需要,给钱就有,不限量。
    ( Z# C+ S, w% p, T& N: G* u
    " f, {7 e3 G8 @& D简单理解就是——这机子是干式光刻机,做的是65-55nm的芯片,一次曝光。0 Q% K8 v& y: _/ p7 J8 r
    干式光刻机没啥意义,为什么呢?因为改进之后的也可以出产低制程的,向下兼容并且良率更高(成本低方案成熟)
    * T" \2 {% c7 y6 g" N# _多重曝光也不是这哥们来做……(我是不清楚干式光刻机有没人搞这个)
    . f/ x7 X7 h8 g) `2 g4 e5 v3 ]但这玩意的光路设计啥的,是成型了的。有了它,就加浸没式透镜,修改物镜,最终成品是目前没有验收但肯定存在某个地方的浸没式光刻机,但起码上线了2年了
      Z' C' H$ Z, Y# Q7 o: @% M9 {4 ]
    没公布的那个肯定还在不断的调试,修改,更换国产配件。( }6 L' G; g9 {+ h7 B1 K/ J, r: D
    普通人不用管光刻机啥情况——你就看最终产品就是。
    ! Z* O7 ]/ L. V! @/ l. ^#华为mate70# 也没多久了。
    $ x. Y$ h. H3 u4 F; k8 z, K7 {

    点评

    给力: 5.0 涨姿势: 5.0
    这真是极好的: 5.0
    涨姿势: 5
      发表于 2024-9-18 15:38
    给力: 5 涨姿势: 5 这真是极好的: 5
      发表于 2024-9-17 08:38
    回复 支持 反对

    使用道具 举报

  • TA的每日心情
    开心
    2023-2-8 04:51
  • 签到天数: 1811 天

    [LV.Master]无

    22#
     楼主| 发表于 2024-9-17 08:15:36 | 只看该作者
    老财迷 发表于 2024-9-16 16:06
    3 C- l4 _4 `4 w  M应该会在5年内实现吧。' F( S1 j4 D4 ^/ _1 h

    * ?! u+ F+ o! n' H微博上有位“沉睡之书11”说的。(不一定准确,可以看看)
    - ?3 k( K+ ^5 z3 G' x9 @- c% H
    1 X" M& n5 K& j" O
    这个有点扯,新机到货后肯定要调试的,但绝对用不了两年的时间。

    点评

    油菜: 5.0 给力: 5.0
    油菜: 5 给力: 5
    以你说的为准 :)  发表于 2024-9-17 15:27

    评分

    参与人数 1爱元 +8 收起 理由
    老财迷 + 8

    查看全部评分

    回复 支持 反对

    使用道具 举报

    该用户从未签到

    23#
    发表于 2024-9-17 08:39:20 | 只看该作者
    moletronic 发表于 2024-9-16 18:15  B) g+ m/ V0 v9 @
    这个有点扯,新机到货后肯定要调试的,但绝对用不了两年的时间。

    / K9 P9 t. ^6 z6 a( h5 P4 g, c但干式到浸润的步子没那么大,这说对了吗?
    回复 支持 反对

    使用道具 举报

  • TA的每日心情
    开心
    2023-2-8 04:51
  • 签到天数: 1811 天

    [LV.Master]无

    24#
     楼主| 发表于 2024-9-17 10:54:17 | 只看该作者
    本帖最后由 moletronic 于 2024-9-16 18:56 编辑
    5 u" J: s( E* Z7 N. h, C7 N
    晨枫 发表于 2024-9-16 16:39# d1 S% G2 @7 X0 K
    但干式到浸润的步子没那么大,这说对了吗?

    3 q4 ~; V7 d8 g$ M2 w5 |( J% Q4 f" f7 h+ O
    按说这个跨越不算大,但Nikon就是浸水没搞定. E. ?! `( A" j5 U
    所以俺不敢做预测,只敢对已知的做评述

    评分

    参与人数 2爱元 +18 学识 +2 收起 理由
    老票 + 10 + 2 给力
    老财迷 + 8 涨姿势

    查看全部评分

    回复 支持 反对

    使用道具 举报

    该用户从未签到

    25#
    发表于 2024-9-17 11:08:25 | 只看该作者
    晨枫 发表于 2024-9-17 03:343 A- F5 H! g9 `( T' X
    不过EUV制作7nm可以轻易一次曝光,产率和良率应该提高很多?

    / x- k3 j3 {8 L' g1 u8 |. l理论上是这样。但制造芯片是个复杂的过程,需要各方面不断打磨,才能接近理想的结果。现实中的例子,台积电用193nm光刻机率先量产7nm,三星则以更先进的EUV光刻机应战,由于对新型光刻机的熟悉不足,结果良率低下,很多人抛弃三星。最后三星赔本赚吆喝,开出比台积电低30%的代工费用,才勉强留下大客户。

    点评

    油菜: 5.0 涨姿势: 5.0
    油菜: 5 涨姿势: 5
      发表于 2024-9-17 15:28

    评分

    参与人数 1爱元 +8 收起 理由
    老财迷 + 8

    查看全部评分

    回复 支持 反对

    使用道具 举报

    该用户从未签到

    26#
    发表于 2024-9-17 11:13:01 | 只看该作者
    moletronic 发表于 2024-9-16 20:54" E, Z0 {+ P' |# E1 N* d% [
    按说这个跨越不算大,但Nikon就是浸水没搞定
    / m9 a& b2 T( M- O; r/ @4 H所以俺不敢做预测,只敢对已知的做评述 ...
    3 A  \7 ]) i4 p" w* C, E5 `+ k# G( B
    有道理。
    * l  X# N5 h7 f  i0 t# d  H' u& R, v
    6 i9 [- u& k- S1 e% P! L不过现在看尼康和佳能的光刻机,总有感觉他们已经三心二意了。既然干不过阿斯麦,就用最小投资吊着。不退场,但也不全力以赴。0 ]' ]. m7 d  V6 ^0 }
    , T0 H9 D! H3 S" M5 ~& Q+ m
    中国肯定是全力以赴的。而且倾国之力肯定大于尼康、佳能。
    3 N6 E1 }4 k) s0 s* A0 y$ Z, t  l& s0 @  M6 a" S
    这会有差别吗?
    回复 支持 反对

    使用道具 举报

    该用户从未签到

    27#
    发表于 2024-9-17 11:13:37 | 只看该作者
    沉宝 发表于 2024-9-16 21:081 o" d: C; L% c
    理论上是这样。但制造芯片是个复杂的过程,需要各方面不断打磨,才能接近理想的结果。现实中的例子,台积 ...

    6 [7 C& e2 w- ~% t# ]8 c这倒是个问题。都说韩国人拼,看来还是拼不过中国人。台湾人也是中国人嘛。
    回复 支持 反对

    使用道具 举报

    该用户从未签到

    28#
    发表于 2024-9-17 11:19:08 | 只看该作者
    moletronic 发表于 2024-9-17 10:54$ s/ L9 V) y0 [: g4 q' n
    按说这个跨越不算大,但Nikon就是浸水没搞定
    ! T2 H( U! G* _所以俺不敢做预测,只敢对已知的做评述 ...

    7 A1 X9 C3 n' L9 D% V4 ~0 i还没搞定? : q; H  o$ N4 k0 |) Y5 ]
    我可能是09年去给Nikon做实验,他们想搞明白光刻机里面为什么会产生微气泡,想买个做实验的系统。我在的小破公司搭了一个,然后过去一起做,看能不能用。那个时候估计还是早期,这些基础的问题都没个数。做了几个实验,证明可以捕捉到微气泡发生,成长和运动的轨迹,我就撤了。这都十五年过去了。4 U  `; w' h/ L/ t8 W' N. ]- s1 F
    尼康那时候已经有点不灵的迹象,食堂里面睡满了安装队的人。正常的话那些人都是满世界跑给别人装机器的。" ]9 `) v  v1 f

    点评

    油菜: 5.0 给力: 0.0
    涨姿势: 5.0
    油菜: 5 给力: 0 涨姿势: 5
    坛里藏龙卧虎啊  发表于 2024-9-17 15:31

    评分

    参与人数 3爱元 +22 学识 +2 收起 理由
    老票 + 10 + 2 涨姿势
    唐家山 + 4 伙呆了
    老财迷 + 8

    查看全部评分

    回复 支持 反对

    使用道具 举报

    该用户从未签到

    29#
    发表于 2024-9-17 11:21:47 | 只看该作者
    moletronic 发表于 2024-9-16 20:54. Z, ?) \6 w0 u8 N
    按说这个跨越不算大,但Nikon就是浸水没搞定
    . m* a0 i/ y, f$ ~& I0 [" n所以俺不敢做预测,只敢对已知的做评述 ...

    " t, g6 ~6 H0 o! M突然想起来:现在就聚焦于逻辑芯片,存储芯片用的芯片技术一样吗?前一段听说长江还是谁的128还是256层NAND也被卡了,因为光刻机的事,这说法准确吗?高端NAND需要多少nm节点的光刻机?
    回复 支持 反对

    使用道具 举报

    该用户从未签到

    30#
    发表于 2024-9-17 11:23:33 | 只看该作者
    晨枫 发表于 2024-9-17 11:13- d; p3 ?1 `5 y& U3 S. L" _
    有道理。: e" J; S4 B/ O( E

    & z" K' Z" B5 i6 g不过现在看尼康和佳能的光刻机,总有感觉他们已经三心二意了。既然干不过阿斯麦,就用最小投资 ...

    . J/ l& ~  F! @( a. ?9 m+ n可能是真没钱投资了。这些钱政府应该赞助的,可是政府也难呐,到处都是嗷嗷待哺的嘴,捉了个虫也不知道塞哪张嘴里。# M$ I8 x! l8 m- F
    很多年前日本媒体评价日本财政用了很形象的词,叫硬直化。所有的钱都有定好的用处,几乎没有活动钱。需要财政支持的时候十分狼狈。该做的事情做不了,钱全都拿去维持日常运转了。

    点评

    油菜: 5.0 涨姿势: 5.0
    油菜: 5 涨姿势: 5
      发表于 2024-9-17 15:32

    评分

    参与人数 1爱元 +4 收起 理由
    老财迷 + 4

    查看全部评分

    回复 支持 反对

    使用道具 举报

  • TA的每日心情
    开心
    2023-2-8 04:51
  • 签到天数: 1811 天

    [LV.Master]无

    31#
     楼主| 发表于 2024-9-17 11:28:54 | 只看该作者
    本帖最后由 moletronic 于 2024-9-16 19:33 编辑 / C. X; U! L, X9 q6 S$ B
    雷声 发表于 2024-9-16 19:19
    & v' B+ m" M3 n7 r还没搞定?
    " F. g9 I+ G* Y: T7 K' `我可能是09年去给Nikon做实验,他们想搞明白光刻机里面为什么会产生微气泡,想买个做实验的 ...
    4 \$ V: r6 D1 j3 f8 L

    , V! G2 R, F1 o( mNikon是稳定性不行,被牙膏退货后就没人再买。疫情前去开spie的会,Nikon还吹牛自己行了,但主流客户没人用。/ Z' a% ]# ^) d  f: }
    有网上谣言说华为买了些Nikon自己魔改做出了9100…俺比较怀疑真实性。
    回复 支持 反对

    使用道具 举报

  • TA的每日心情
    开心
    2023-2-8 04:51
  • 签到天数: 1811 天

    [LV.Master]无

    32#
     楼主| 发表于 2024-9-17 11:31:01 | 只看该作者
    晨枫 发表于 2024-9-16 19:21' {& C3 j* o, q, C2 l
    突然想起来:现在就聚焦于逻辑芯片,存储芯片用的芯片技术一样吗?前一段听说长江还是谁的128还是256层NA ...
    # W" F6 y* b  z- D/ i5 l( J
    存储和逻辑的工艺重点不一样,节点体系也不同。存储那边现在还没上EUV。
    回复 支持 反对

    使用道具 举报

    该用户从未签到

    33#
    发表于 2024-9-17 11:34:00 | 只看该作者
    moletronic 发表于 2024-9-16 21:312 e4 k, ~/ C- L0 ~1 E
    存储和逻辑的工艺重点不一样,节点体系也不同。存储那边现在还没上EUV。 ...

    # g/ V4 |; s, r6 b# g需要用到浸润DUV吗?: y' g: d* P0 @+ o. [: t
    $ p- ]& e1 T1 T+ N% y5 }/ E
    我的问题其实是:65nm光刻机能解决国内NAND厂的设备禁运问题吗?
    回复 支持 反对

    使用道具 举报

  • TA的每日心情
    开心
    2023-2-8 04:51
  • 签到天数: 1811 天

    [LV.Master]无

    34#
     楼主| 发表于 2024-9-17 11:37:50 | 只看该作者
    晨枫 发表于 2024-9-16 19:34  ^% g0 m/ N+ }! c8 y$ X' `# X; r
    需要用到浸润DUV吗?
    6 J5 o& K: b6 L) a: ]8 f; L$ T- l' B; l$ Y
    我的问题其实是:65nm光刻机能解决国内NAND厂的设备禁运问题吗? ...

    , a0 t8 l; X9 m5 R浸水还是要的,这国产光刻机按公布的指标应该还是没法满足YMTC的全部要求。
    回复 支持 反对

    使用道具 举报

    该用户从未签到

    35#
    发表于 2024-9-17 11:38:06 | 只看该作者
    雷声 发表于 2024-9-16 21:237 L. s& P1 ?+ w5 H
    可能是真没钱投资了。这些钱政府应该赞助的,可是政府也难呐,到处都是嗷嗷待哺的嘴,捉了个虫也不知道塞 ...

    1 _  T. a2 c+ z( L$ a3 C' W3 U是的,需要钱的地方太多,但光刻机和芯片可能是不计代价砸钱的方向,优先级比谁都高。这个瓶颈突破后,不只是军事、科技上的阳关道,经济上也是大片的处女地啊。" f% U2 Q6 c" Q5 X

    6 _& X7 t, L" c0 T+ w, U1 i* i- S硬直化很形象。确实,西方家大业大,花钱手笔也大,但每一笔钱都预定了用处,活动余地真心很小。你看看美国在预算削减时那个鸡飞狗跳,就知道真是谁都动不得。“平均剃头”是公认的最坏选择,但是唯一大家可接受的选择。
    回复 支持 反对

    使用道具 举报

    该用户从未签到

    36#
    发表于 2024-9-17 11:40:47 | 只看该作者
    moletronic 发表于 2024-9-16 21:37
    " B$ w5 ~2 U$ k) d6 V6 N5 b/ I浸水还是要的,这国产光刻机按公布的指标应该还是没法满足YMTC的全部要求。 ...
      O4 T' C4 B. I  m9 Z6 A* H. v, {
    都说工信部这光刻机不是浸润式,但193nm光源,65nm分辨率,正好是2*1.44倍,是不是太巧了?
    回复 支持 反对

    使用道具 举报

    该用户从未签到

    37#
    发表于 2024-9-17 11:43:29 | 只看该作者
    moletronic 发表于 2024-9-17 10:54
    - Q* q1 m8 y9 O' A1 [, k0 z2 j' ]按说这个跨越不算大,但Nikon就是浸水没搞定
    ' g+ G# Z# `0 T. t' {所以俺不敢做预测,只敢对已知的做评述 ...

    * u! A, ?2 x8 H3 M) o具体工作中还是有很多细节要克服。例如曝光时照到光的水会比遮蔽区的水热一点,这个温差会让水的密度不均匀,从而折射率不均匀,影响成像。为了避免温差,必须让水快速流动混合,但又要避免产生漩涡或者析出气泡。水可以把所接触物品上的杂质洗下来,带到晶圆上,形成缺陷。当初ASML搞浸润式光刻机时,在浸液系统上与林本坚团队合作,方案修改了7-8回,耗时两年多才取得满意的结果。

    评分

    参与人数 1爱元 +10 学识 +2 收起 理由
    老票 + 10 + 2 涨姿势

    查看全部评分

    回复 支持 反对

    使用道具 举报

  • TA的每日心情
    开心
    2023-2-8 04:51
  • 签到天数: 1811 天

    [LV.Master]无

    38#
     楼主| 发表于 2024-9-17 11:59:49 | 只看该作者
    本帖最后由 moletronic 于 2024-9-16 20:02 编辑 & S: X7 X6 U' O+ U% y: Q
    沉宝 发表于 2024-9-16 19:432 N7 p1 s. t& D4 G7 F9 R: p
    具体工作中还是有很多细节要克服。例如曝光时照到光的水会比遮蔽区的水热一点,这个温差会让水的密度不均 ...
    / p4 z! a. m/ ~, H. ^" J
    0 U" n' _, q" f8 |+ c% ?
    这当然不容易,不过两年挺快啦,看看牙膏的10nm……
    回复 支持 反对

    使用道具 举报

  • TA的每日心情
    开心
    2023-2-8 04:51
  • 签到天数: 1811 天

    [LV.Master]无

    39#
     楼主| 发表于 2024-9-17 12:01:58 | 只看该作者
    晨枫 发表于 2024-9-16 19:40
    1 `! f* U, X( X$ |# Z- _# G2 ~: I; P都说工信部这光刻机不是浸润式,但193nm光源,65nm分辨率,正好是2*1.44倍,是不是太巧了? ...
    ; s0 n. V$ k9 x- u1 S* w. a; i& A( y
    不知道啦,也许是隐晦放风的说法。
    回复 支持 反对

    使用道具 举报

    该用户从未签到

    40#
    发表于 2024-9-17 17:38:39 | 只看该作者
    晨枫 发表于 2024-9-17 11:13
    2 f3 C/ J- r2 G8 }这倒是个问题。都说韩国人拼,看来还是拼不过中国人。台湾人也是中国人嘛。 ...
    + [6 r1 ?7 V$ }& ]% Q
    中国大,各地方人气质不一,各擅胜场。精细活儿江南地方超过东北山东。如此说来,韩国近东北山东,台湾精英是江浙后代。
    回复 支持 反对

    使用道具 举报

    手机版|小黑屋|Archiver|网站错误报告|爱吱声   

    GMT+8, 2026-5-18 02:05 , Processed in 0.081786 second(s), 17 queries , Gzip On.

    Powered by Discuz! X3.2

    © 2001-2013 Comsenz Inc.

    快速回复 返回顶部 返回列表