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楼主: moletronic
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[科普知识] 国产光刻机猜测

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  • TA的每日心情
    慵懒
    2022-8-27 22:14
  • 签到天数: 351 天

    [LV.8]合体

    21#
    发表于 2024-9-17 08:06:46 | 只看该作者
    晨枫 发表于 2024-9-16 14:00
    . Z9 o7 c" g# D- }也就是说,即使28nm现在还有光刻机瓶颈,其他也都就绪、只欠东风了。这是好事!
    % d% j7 D# y3 \3 m5 V+ E% `" T! R5 O
    个人感觉:相比于前一阵 ...
    : F8 s- l  N: g/ f" D' q8 k6 H$ B

    * N- X  P7 x5 B8 I8 h$ e
    这就要西方好好领教什么叫产能过剩了。

    / p; {, |2 |8 r0 P4 w  w" V应该会在5年内实现吧。* C# x" A! O8 f6 m1 w- V. X
    1 C! Z& K+ w' e( {! l. g3 i
    微博上有位“沉睡之书11”说的。(不一定准确,可以看看)- r# _' F+ Z2 Y; A( p8 Q" i
    24-9-16 23:55
    0 `7 }, T2 j3 v# N* D5 A* e发布于 湖南# }2 ~5 ?$ V- I) v& g6 l
    来自 微博网页版8 S9 x3 ?) q7 ^6 \7 I! `
    啊,说过很多次了,#光刻机# 不是挖机
    0 }9 n% P7 A9 Z不是运过来就能直接开工的。% j8 C& D( w9 ?' o+ F- m
    他需要调试,需要不断的用,一边用一边调整,等光学畸变稳定——你可以理解为拷机或者汽车发动热机暖机。
    8 L/ b" d4 h/ @3 r( s! _9 R  J6 i  ~
    这个时间很长,也是我常年说:3 T6 M8 m( ^: \% q# ]
    就算今天ASML传送一台EUV给咱,我们拿到第一批量产的芯片流片完(无论7nm,5nm还是多少)起码2年后——这最乐观的2年时间,还得是对EUV非常有经验的顶级工程师来操作优化。
    9 U. ?# v2 U2 A: Z3 {" ^3 h& ]% r# T$ o- @7 v
    现在发布的这台机器是起码3年前就验收了(科工),现在工信部验收推广(产业链),成熟得不行了才拿出来的。你需要,给钱就有,不限量。/ V5 g3 q& q+ F7 T
    + o4 O7 R# k; H* d+ f& r
    简单理解就是——这机子是干式光刻机,做的是65-55nm的芯片,一次曝光。& M4 O0 I5 n4 Z' [
    干式光刻机没啥意义,为什么呢?因为改进之后的也可以出产低制程的,向下兼容并且良率更高(成本低方案成熟)
    ' Y1 c1 H6 M3 E7 W5 L/ i; b2 v多重曝光也不是这哥们来做……(我是不清楚干式光刻机有没人搞这个)
    1 `3 T" X& G4 ?: Z但这玩意的光路设计啥的,是成型了的。有了它,就加浸没式透镜,修改物镜,最终成品是目前没有验收但肯定存在某个地方的浸没式光刻机,但起码上线了2年了' y* ]( w' B7 K6 n

    ( t4 J4 t5 k7 Q4 @# }: ^没公布的那个肯定还在不断的调试,修改,更换国产配件。
    : s# G3 h! I2 j普通人不用管光刻机啥情况——你就看最终产品就是。) v& g& v% Q2 d5 ?4 r
    #华为mate70# 也没多久了。
    # X# u. T* n3 y0 `7 m

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    这真是极好的: 5.0
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      发表于 2024-9-18 15:38
    给力: 5 涨姿势: 5 这真是极好的: 5
      发表于 2024-9-17 08:38
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  • TA的每日心情
    开心
    2023-2-8 04:51
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    [LV.Master]无

    22#
     楼主| 发表于 2024-9-17 08:15:36 | 只看该作者
    老财迷 发表于 2024-9-16 16:065 B% a& D+ `' s" o4 e
    应该会在5年内实现吧。
    . B3 H2 q1 H3 J) ?# }; t% {. k1 H3 _8 |# y
    微博上有位“沉睡之书11”说的。(不一定准确,可以看看)

    ' V* ~$ i; c. U. [! ?+ F8 ?3 t: N% m, J* ]- ^
    这个有点扯,新机到货后肯定要调试的,但绝对用不了两年的时间。

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    以你说的为准 :)  发表于 2024-9-17 15:27

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    23#
    发表于 2024-9-17 08:39:20 | 只看该作者
    moletronic 发表于 2024-9-16 18:15  ]# D) _2 b9 h$ R& g" j' {
    这个有点扯,新机到货后肯定要调试的,但绝对用不了两年的时间。

    ' {# I3 k6 w1 F4 h7 s3 F但干式到浸润的步子没那么大,这说对了吗?
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  • TA的每日心情
    开心
    2023-2-8 04:51
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    [LV.Master]无

    24#
     楼主| 发表于 2024-9-17 10:54:17 | 只看该作者
    本帖最后由 moletronic 于 2024-9-16 18:56 编辑
    $ [$ z! d4 t( X- A4 O
    晨枫 发表于 2024-9-16 16:39
    0 J* t) E' G( c5 c# i3 s但干式到浸润的步子没那么大,这说对了吗?

    ( E& @" w$ ?/ p& Q: C9 [5 `' P* b, M0 j  l5 D- }
    按说这个跨越不算大,但Nikon就是浸水没搞定, e' {/ k% t; e; H% B$ u6 O! d
    所以俺不敢做预测,只敢对已知的做评述

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    25#
    发表于 2024-9-17 11:08:25 | 只看该作者
    晨枫 发表于 2024-9-17 03:349 w, t8 S% I, O8 e1 ?4 A8 _( \
    不过EUV制作7nm可以轻易一次曝光,产率和良率应该提高很多?
    - s; i5 w, a* ^- w1 }
    理论上是这样。但制造芯片是个复杂的过程,需要各方面不断打磨,才能接近理想的结果。现实中的例子,台积电用193nm光刻机率先量产7nm,三星则以更先进的EUV光刻机应战,由于对新型光刻机的熟悉不足,结果良率低下,很多人抛弃三星。最后三星赔本赚吆喝,开出比台积电低30%的代工费用,才勉强留下大客户。

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      发表于 2024-9-17 15:28

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    26#
    发表于 2024-9-17 11:13:01 | 只看该作者
    moletronic 发表于 2024-9-16 20:54% \9 x) ]6 Q/ y
    按说这个跨越不算大,但Nikon就是浸水没搞定; c* E- @) e; F- G. l( J- X
    所以俺不敢做预测,只敢对已知的做评述 ...
    % T' j0 o/ R% V6 j
    有道理。
    & _0 o3 }7 y8 W7 o3 R
    9 ?( o5 H, P2 w+ \6 y4 J不过现在看尼康和佳能的光刻机,总有感觉他们已经三心二意了。既然干不过阿斯麦,就用最小投资吊着。不退场,但也不全力以赴。8 ?9 t/ N% ~! ^3 O" [" `2 N

    : q- V2 I( R# \$ J+ C. e! _中国肯定是全力以赴的。而且倾国之力肯定大于尼康、佳能。; p, U5 ~+ @6 j' v3 `8 a
    " h1 |) |7 R( B  G5 g( x' z7 E$ ^
    这会有差别吗?
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    27#
    发表于 2024-9-17 11:13:37 | 只看该作者
    沉宝 发表于 2024-9-16 21:08) B/ r0 w5 @' l- f  V! _( z
    理论上是这样。但制造芯片是个复杂的过程,需要各方面不断打磨,才能接近理想的结果。现实中的例子,台积 ...

    : B9 K  b$ i( `- k- n$ U6 O这倒是个问题。都说韩国人拼,看来还是拼不过中国人。台湾人也是中国人嘛。
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    28#
    发表于 2024-9-17 11:19:08 | 只看该作者
    moletronic 发表于 2024-9-17 10:54$ J+ J) ~; H) d6 T) q6 Z, L6 x* A" q
    按说这个跨越不算大,但Nikon就是浸水没搞定% i) O) ~7 ^' R4 d; b: P
    所以俺不敢做预测,只敢对已知的做评述 ...

    % I: f. p3 e1 ~0 B; k0 @) r" {还没搞定?
    / h( K" Z1 n" b8 w9 i) u我可能是09年去给Nikon做实验,他们想搞明白光刻机里面为什么会产生微气泡,想买个做实验的系统。我在的小破公司搭了一个,然后过去一起做,看能不能用。那个时候估计还是早期,这些基础的问题都没个数。做了几个实验,证明可以捕捉到微气泡发生,成长和运动的轨迹,我就撤了。这都十五年过去了。  h0 ]' W- ~3 B" n4 A
    尼康那时候已经有点不灵的迹象,食堂里面睡满了安装队的人。正常的话那些人都是满世界跑给别人装机器的。2 b. t( t* {* y3 o" s6 u: V

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    坛里藏龙卧虎啊  发表于 2024-9-17 15:31

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    唐家山 + 4 伙呆了
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    29#
    发表于 2024-9-17 11:21:47 | 只看该作者
    moletronic 发表于 2024-9-16 20:54; h8 Q) h4 g! z9 z- J& ]
    按说这个跨越不算大,但Nikon就是浸水没搞定
    - k% N: ]% n0 t' y. y) ?# E% V) F! R所以俺不敢做预测,只敢对已知的做评述 ...

    $ ^" {8 W  z/ c0 U0 o# Z  \突然想起来:现在就聚焦于逻辑芯片,存储芯片用的芯片技术一样吗?前一段听说长江还是谁的128还是256层NAND也被卡了,因为光刻机的事,这说法准确吗?高端NAND需要多少nm节点的光刻机?
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    30#
    发表于 2024-9-17 11:23:33 | 只看该作者
    晨枫 发表于 2024-9-17 11:132 i$ Q* Y1 {& n0 ]' _# K3 U
    有道理。
    6 e/ f+ W9 {& I2 q  l( `3 [: N+ H8 m) y
    不过现在看尼康和佳能的光刻机,总有感觉他们已经三心二意了。既然干不过阿斯麦,就用最小投资 ...

    ' V9 ]; L2 l6 k: ?可能是真没钱投资了。这些钱政府应该赞助的,可是政府也难呐,到处都是嗷嗷待哺的嘴,捉了个虫也不知道塞哪张嘴里。
    1 V0 U9 O  m* X很多年前日本媒体评价日本财政用了很形象的词,叫硬直化。所有的钱都有定好的用处,几乎没有活动钱。需要财政支持的时候十分狼狈。该做的事情做不了,钱全都拿去维持日常运转了。

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      发表于 2024-9-17 15:32

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    31#
     楼主| 发表于 2024-9-17 11:28:54 | 只看该作者
    本帖最后由 moletronic 于 2024-9-16 19:33 编辑 0 q9 K; i( [& T2 N8 c
    雷声 发表于 2024-9-16 19:19, x% K! G2 }1 [# Q+ R2 C: t1 E3 Z
    还没搞定? + W3 ]" Z0 v3 U' P2 t4 q
    我可能是09年去给Nikon做实验,他们想搞明白光刻机里面为什么会产生微气泡,想买个做实验的 ...

      ~6 t- R" X) O" Y. k$ ^, j: z" V" E
    Nikon是稳定性不行,被牙膏退货后就没人再买。疫情前去开spie的会,Nikon还吹牛自己行了,但主流客户没人用。2 ^! Y. G* c2 r
    有网上谣言说华为买了些Nikon自己魔改做出了9100…俺比较怀疑真实性。
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    [LV.Master]无

    32#
     楼主| 发表于 2024-9-17 11:31:01 | 只看该作者
    晨枫 发表于 2024-9-16 19:21
    . U  ^3 w% g  F) S7 Z突然想起来:现在就聚焦于逻辑芯片,存储芯片用的芯片技术一样吗?前一段听说长江还是谁的128还是256层NA ...
    , t/ Z" s- m! P0 W7 z
    存储和逻辑的工艺重点不一样,节点体系也不同。存储那边现在还没上EUV。
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    33#
    发表于 2024-9-17 11:34:00 | 只看该作者
    moletronic 发表于 2024-9-16 21:317 C' {, {1 K1 z! K+ \" W* H
    存储和逻辑的工艺重点不一样,节点体系也不同。存储那边现在还没上EUV。 ...

      ~2 {2 n1 H' j需要用到浸润DUV吗?9 q8 E) w8 s7 M" r6 P7 \( F

    7 `0 n, l2 h6 u我的问题其实是:65nm光刻机能解决国内NAND厂的设备禁运问题吗?
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  • TA的每日心情
    开心
    2023-2-8 04:51
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    [LV.Master]无

    34#
     楼主| 发表于 2024-9-17 11:37:50 | 只看该作者
    晨枫 发表于 2024-9-16 19:34. ~  L+ x7 t' u+ B$ m
    需要用到浸润DUV吗?
    $ a+ i. }' ~+ `& K: M/ w+ z* K1 ]- d- h
    我的问题其实是:65nm光刻机能解决国内NAND厂的设备禁运问题吗? ...
    + h; C8 F6 s0 }, d& l; f& C7 w
    浸水还是要的,这国产光刻机按公布的指标应该还是没法满足YMTC的全部要求。
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    35#
    发表于 2024-9-17 11:38:06 | 只看该作者
    雷声 发表于 2024-9-16 21:23
    " C. Z6 M$ X: ~  c6 Y5 H' L可能是真没钱投资了。这些钱政府应该赞助的,可是政府也难呐,到处都是嗷嗷待哺的嘴,捉了个虫也不知道塞 ...

    ' f+ k& P( S' m' J1 X- S9 N是的,需要钱的地方太多,但光刻机和芯片可能是不计代价砸钱的方向,优先级比谁都高。这个瓶颈突破后,不只是军事、科技上的阳关道,经济上也是大片的处女地啊。
      B" N% i* y1 z" O/ |, S& u2 f# T
    2 [  s) s! N" a0 l; h硬直化很形象。确实,西方家大业大,花钱手笔也大,但每一笔钱都预定了用处,活动余地真心很小。你看看美国在预算削减时那个鸡飞狗跳,就知道真是谁都动不得。“平均剃头”是公认的最坏选择,但是唯一大家可接受的选择。
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    36#
    发表于 2024-9-17 11:40:47 | 只看该作者
    moletronic 发表于 2024-9-16 21:37
    , B$ v- y& K3 P5 Y浸水还是要的,这国产光刻机按公布的指标应该还是没法满足YMTC的全部要求。 ...
    $ D5 ?9 Z( w$ ~) @
    都说工信部这光刻机不是浸润式,但193nm光源,65nm分辨率,正好是2*1.44倍,是不是太巧了?
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    37#
    发表于 2024-9-17 11:43:29 | 只看该作者
    moletronic 发表于 2024-9-17 10:54
    ; r$ E! W# a: \按说这个跨越不算大,但Nikon就是浸水没搞定' I0 B, g+ u0 k( _- F) l
    所以俺不敢做预测,只敢对已知的做评述 ...

    & I7 @$ B  W: w# u  Z& V具体工作中还是有很多细节要克服。例如曝光时照到光的水会比遮蔽区的水热一点,这个温差会让水的密度不均匀,从而折射率不均匀,影响成像。为了避免温差,必须让水快速流动混合,但又要避免产生漩涡或者析出气泡。水可以把所接触物品上的杂质洗下来,带到晶圆上,形成缺陷。当初ASML搞浸润式光刻机时,在浸液系统上与林本坚团队合作,方案修改了7-8回,耗时两年多才取得满意的结果。

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  • TA的每日心情
    开心
    2023-2-8 04:51
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    [LV.Master]无

    38#
     楼主| 发表于 2024-9-17 11:59:49 | 只看该作者
    本帖最后由 moletronic 于 2024-9-16 20:02 编辑
    6 G5 n2 l( d5 s* l+ G
    沉宝 发表于 2024-9-16 19:43
    . H  H% \( P' u( ]: g) J' }具体工作中还是有很多细节要克服。例如曝光时照到光的水会比遮蔽区的水热一点,这个温差会让水的密度不均 ...
    % r* v$ L- [0 z. }
    * ]7 ~7 }8 Z+ _  S4 Z( F) h1 ]
    这当然不容易,不过两年挺快啦,看看牙膏的10nm……
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  • TA的每日心情
    开心
    2023-2-8 04:51
  • 签到天数: 1811 天

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    39#
     楼主| 发表于 2024-9-17 12:01:58 | 只看该作者
    晨枫 发表于 2024-9-16 19:40
    ( H' `' z4 I& e# f8 R# C8 u都说工信部这光刻机不是浸润式,但193nm光源,65nm分辨率,正好是2*1.44倍,是不是太巧了? ...

    . W$ T( K# Q' ~0 m+ U不知道啦,也许是隐晦放风的说法。
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    40#
    发表于 2024-9-17 17:38:39 | 只看该作者
    晨枫 发表于 2024-9-17 11:13
    - |4 U' @' G# ?2 e, @, ~这倒是个问题。都说韩国人拼,看来还是拼不过中国人。台湾人也是中国人嘛。 ...

    ' x. v4 Q/ u% D* G中国大,各地方人气质不一,各擅胜场。精细活儿江南地方超过东北山东。如此说来,韩国近东北山东,台湾精英是江浙后代。
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