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楼主: moletronic
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[科普知识] 国产光刻机猜测

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  • TA的每日心情
    慵懒
    2022-8-27 22:14
  • 签到天数: 351 天

    [LV.8]合体

    21#
    发表于 2024-9-17 08:06:46 | 只看该作者
    晨枫 发表于 2024-9-16 14:00* |% T0 O% V7 K2 u0 i8 Y$ m; f& |
    也就是说,即使28nm现在还有光刻机瓶颈,其他也都就绪、只欠东风了。这是好事!4 R7 u  I9 o" k/ T& }3 J% F; h- y2 h

    3 H' F  n( i1 w/ z个人感觉:相比于前一阵 ...

    ; O$ ?( w3 u4 U) @) t) E+ I1 C9 u# z, [/ z
    这就要西方好好领教什么叫产能过剩了。

    0 w7 \  T1 X2 n% Y% H' H+ f8 b应该会在5年内实现吧。2 G) I7 J" E' U9 X" [9 j) [) Z

      R. ]: d9 D2 w# A8 V# J1 F+ R+ V微博上有位“沉睡之书11”说的。(不一定准确,可以看看)! |* J8 W$ p, R6 R
    24-9-16 23:55: Y% ~5 M4 _* t( W: Q2 M
    发布于 湖南
    9 i' N0 u3 {8 Y3 B来自 微博网页版! B# W+ U, B- |
    啊,说过很多次了,#光刻机# 不是挖机
    : G" u) w( S. _2 O6 N不是运过来就能直接开工的。
      i! U7 }) ^+ R& P0 B: _他需要调试,需要不断的用,一边用一边调整,等光学畸变稳定——你可以理解为拷机或者汽车发动热机暖机。
    $ x' p# S' x" G7 @5 g
    " ?- `! ^+ d  M, E# V- I/ O这个时间很长,也是我常年说:
    / v4 I7 T$ a/ h# x1 v就算今天ASML传送一台EUV给咱,我们拿到第一批量产的芯片流片完(无论7nm,5nm还是多少)起码2年后——这最乐观的2年时间,还得是对EUV非常有经验的顶级工程师来操作优化。+ Q  Y; B' u% b$ J

      p3 s/ ?- E  Q现在发布的这台机器是起码3年前就验收了(科工),现在工信部验收推广(产业链),成熟得不行了才拿出来的。你需要,给钱就有,不限量。
    # d+ @0 {6 O+ J& R9 o2 Q. k( \: d; Z% v% ~/ X- k" w9 v
    简单理解就是——这机子是干式光刻机,做的是65-55nm的芯片,一次曝光。
    4 n( d  l- w- j( i干式光刻机没啥意义,为什么呢?因为改进之后的也可以出产低制程的,向下兼容并且良率更高(成本低方案成熟)8 ^) o- R! z, G% C
    多重曝光也不是这哥们来做……(我是不清楚干式光刻机有没人搞这个)
    5 e8 \2 {0 i& w$ J但这玩意的光路设计啥的,是成型了的。有了它,就加浸没式透镜,修改物镜,最终成品是目前没有验收但肯定存在某个地方的浸没式光刻机,但起码上线了2年了
    0 A- G' K3 \# B4 O$ W. Q1 v& B; k$ Q# \5 n
    没公布的那个肯定还在不断的调试,修改,更换国产配件。8 B) T/ w2 i7 R, u+ y" \
    普通人不用管光刻机啥情况——你就看最终产品就是。
    9 g2 R. v/ p: [" m5 H#华为mate70# 也没多久了。5 v( P2 p8 k% I

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    这真是极好的: 5.0
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      发表于 2024-9-18 15:38
    给力: 5 涨姿势: 5 这真是极好的: 5
      发表于 2024-9-17 08:38
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  • TA的每日心情
    开心
    2023-2-8 04:51
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    [LV.Master]无

    22#
     楼主| 发表于 2024-9-17 08:15:36 | 只看该作者
    老财迷 发表于 2024-9-16 16:064 s# ?( l5 ?" n
    应该会在5年内实现吧。
    4 Q3 w2 M0 _3 D* v( W# J0 T4 @7 G5 g5 l9 \9 W* x
    微博上有位“沉睡之书11”说的。(不一定准确,可以看看)

    ; D7 Q1 A: s- c6 @+ I. [1 Y. _5 E7 l( O9 [) e( |
    这个有点扯,新机到货后肯定要调试的,但绝对用不了两年的时间。

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    23#
    发表于 2024-9-17 08:39:20 | 只看该作者
    moletronic 发表于 2024-9-16 18:15
    7 N, Y, G7 D( O这个有点扯,新机到货后肯定要调试的,但绝对用不了两年的时间。

    9 W" p, N) D; Y# e6 ^) k% o但干式到浸润的步子没那么大,这说对了吗?
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  • TA的每日心情
    开心
    2023-2-8 04:51
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    [LV.Master]无

    24#
     楼主| 发表于 2024-9-17 10:54:17 | 只看该作者
    本帖最后由 moletronic 于 2024-9-16 18:56 编辑
    " A" B( E4 F' p/ X
    晨枫 发表于 2024-9-16 16:393 R% j- \6 A% `% _9 H
    但干式到浸润的步子没那么大,这说对了吗?
    8 _! o. `% M: Z9 A
    " n/ N. m, j, n) a9 u
    按说这个跨越不算大,但Nikon就是浸水没搞定. z# j! n; V! P/ V5 N
    所以俺不敢做预测,只敢对已知的做评述

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    25#
    发表于 2024-9-17 11:08:25 | 只看该作者
    晨枫 发表于 2024-9-17 03:34
    ; n5 i  o9 d+ w4 W& v不过EUV制作7nm可以轻易一次曝光,产率和良率应该提高很多?
    2 ~  q+ p& `7 D$ K- J2 b
    理论上是这样。但制造芯片是个复杂的过程,需要各方面不断打磨,才能接近理想的结果。现实中的例子,台积电用193nm光刻机率先量产7nm,三星则以更先进的EUV光刻机应战,由于对新型光刻机的熟悉不足,结果良率低下,很多人抛弃三星。最后三星赔本赚吆喝,开出比台积电低30%的代工费用,才勉强留下大客户。

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    26#
    发表于 2024-9-17 11:13:01 | 只看该作者
    moletronic 发表于 2024-9-16 20:54& W8 V$ I4 a) m) |
    按说这个跨越不算大,但Nikon就是浸水没搞定
    9 u1 T6 c) s/ B$ s: O/ W( j2 ~所以俺不敢做预测,只敢对已知的做评述 ...

    ; R) {' I" I. I4 y  S. a* A* c' ^有道理。
    8 A# ^" H7 {0 e' `6 ^. J% Z
    ; ?. N. x. F$ x/ S* @5 }不过现在看尼康和佳能的光刻机,总有感觉他们已经三心二意了。既然干不过阿斯麦,就用最小投资吊着。不退场,但也不全力以赴。
    2 c! M0 |: V0 W3 [# c
    : y7 g- }/ B1 V中国肯定是全力以赴的。而且倾国之力肯定大于尼康、佳能。9 d4 z( V4 j' U& A# b
    - m) }0 N3 h  T8 \
    这会有差别吗?
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    27#
    发表于 2024-9-17 11:13:37 | 只看该作者
    沉宝 发表于 2024-9-16 21:08
    % |7 x0 d" z% ^4 O1 X1 U理论上是这样。但制造芯片是个复杂的过程,需要各方面不断打磨,才能接近理想的结果。现实中的例子,台积 ...
    * [8 M1 J! l' A# |3 @& L. N0 O
    这倒是个问题。都说韩国人拼,看来还是拼不过中国人。台湾人也是中国人嘛。
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    28#
    发表于 2024-9-17 11:19:08 | 只看该作者
    moletronic 发表于 2024-9-17 10:54
    2 {8 I8 [  s9 u. s! _( n* v, _按说这个跨越不算大,但Nikon就是浸水没搞定
    6 h3 l: h  \, p. k" S6 ^. T  r0 Z: O所以俺不敢做预测,只敢对已知的做评述 ...

    1 v3 Y" ?* y, h, w: q0 d- g7 t$ n还没搞定? / n. |5 \3 g5 U3 j3 A
    我可能是09年去给Nikon做实验,他们想搞明白光刻机里面为什么会产生微气泡,想买个做实验的系统。我在的小破公司搭了一个,然后过去一起做,看能不能用。那个时候估计还是早期,这些基础的问题都没个数。做了几个实验,证明可以捕捉到微气泡发生,成长和运动的轨迹,我就撤了。这都十五年过去了。' {( V& z+ E: J5 k
    尼康那时候已经有点不灵的迹象,食堂里面睡满了安装队的人。正常的话那些人都是满世界跑给别人装机器的。; N: l7 h7 y8 o- ^* R0 d- N& {

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    29#
    发表于 2024-9-17 11:21:47 | 只看该作者
    moletronic 发表于 2024-9-16 20:54
    ! k8 O' G# ^( v0 X% I" E按说这个跨越不算大,但Nikon就是浸水没搞定. C8 Q. W# k+ O3 o8 O7 w
    所以俺不敢做预测,只敢对已知的做评述 ...
    9 R( v1 y' t" C4 e; p$ B1 V" Y- |+ ]
    突然想起来:现在就聚焦于逻辑芯片,存储芯片用的芯片技术一样吗?前一段听说长江还是谁的128还是256层NAND也被卡了,因为光刻机的事,这说法准确吗?高端NAND需要多少nm节点的光刻机?
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    30#
    发表于 2024-9-17 11:23:33 | 只看该作者
    晨枫 发表于 2024-9-17 11:13
    6 ^5 X" S: Q1 {/ a3 w有道理。
    - @1 A1 j. l% d( x! {  t0 d1 `! N; \7 ^* ^0 A  `+ f, _3 }
    不过现在看尼康和佳能的光刻机,总有感觉他们已经三心二意了。既然干不过阿斯麦,就用最小投资 ...
    + _( N$ ]! K( B  R- x
    可能是真没钱投资了。这些钱政府应该赞助的,可是政府也难呐,到处都是嗷嗷待哺的嘴,捉了个虫也不知道塞哪张嘴里。
    - T1 V2 {  a) {很多年前日本媒体评价日本财政用了很形象的词,叫硬直化。所有的钱都有定好的用处,几乎没有活动钱。需要财政支持的时候十分狼狈。该做的事情做不了,钱全都拿去维持日常运转了。

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    开心
    2023-2-8 04:51
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    31#
     楼主| 发表于 2024-9-17 11:28:54 | 只看该作者
    本帖最后由 moletronic 于 2024-9-16 19:33 编辑 7 e7 }& X& E9 A0 q! |; K( Q# @
    雷声 发表于 2024-9-16 19:19+ n" k7 p# U% Z' u
    还没搞定? 5 x5 X& ~/ E) ~- Q. h: o4 k9 O
    我可能是09年去给Nikon做实验,他们想搞明白光刻机里面为什么会产生微气泡,想买个做实验的 ...

    . @5 E9 s2 [3 Q! q+ A- B
    8 ^8 A9 B+ v. J$ g+ }Nikon是稳定性不行,被牙膏退货后就没人再买。疫情前去开spie的会,Nikon还吹牛自己行了,但主流客户没人用。
    - C) j# u/ q- ?. b3 x' s2 G有网上谣言说华为买了些Nikon自己魔改做出了9100…俺比较怀疑真实性。
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    32#
     楼主| 发表于 2024-9-17 11:31:01 | 只看该作者
    晨枫 发表于 2024-9-16 19:21
    ! g' E5 j/ A# z4 }$ [0 m- ^突然想起来:现在就聚焦于逻辑芯片,存储芯片用的芯片技术一样吗?前一段听说长江还是谁的128还是256层NA ...

      u5 R: o8 f# V& F7 D4 P0 Q& t存储和逻辑的工艺重点不一样,节点体系也不同。存储那边现在还没上EUV。
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    33#
    发表于 2024-9-17 11:34:00 | 只看该作者
    moletronic 发表于 2024-9-16 21:31
    1 Q. q7 \2 d8 M6 z存储和逻辑的工艺重点不一样,节点体系也不同。存储那边现在还没上EUV。 ...
    : I+ |; N% g! I
    需要用到浸润DUV吗?$ H" W% ?" r8 O9 h1 u' o1 J6 V! H
    3 T8 L* R- ~/ s/ C
    我的问题其实是:65nm光刻机能解决国内NAND厂的设备禁运问题吗?
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    开心
    2023-2-8 04:51
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    [LV.Master]无

    34#
     楼主| 发表于 2024-9-17 11:37:50 | 只看该作者
    晨枫 发表于 2024-9-16 19:34+ y" C8 y$ |: a& N: A
    需要用到浸润DUV吗?
    0 v: v; d1 m$ e$ B1 t) |" |6 ~
    # M; ^  a: G$ C: ~& _我的问题其实是:65nm光刻机能解决国内NAND厂的设备禁运问题吗? ...

    3 }( _0 L. J7 o( c浸水还是要的,这国产光刻机按公布的指标应该还是没法满足YMTC的全部要求。
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    35#
    发表于 2024-9-17 11:38:06 | 只看该作者
    雷声 发表于 2024-9-16 21:23
    8 u' k, F( L& A+ o' W可能是真没钱投资了。这些钱政府应该赞助的,可是政府也难呐,到处都是嗷嗷待哺的嘴,捉了个虫也不知道塞 ...

    1 e8 ?, p8 r; W  f( ?$ {是的,需要钱的地方太多,但光刻机和芯片可能是不计代价砸钱的方向,优先级比谁都高。这个瓶颈突破后,不只是军事、科技上的阳关道,经济上也是大片的处女地啊。, m3 ]" [8 z! R" U0 Z' s5 @$ v
    7 k9 w( K" W6 A2 A- M* R
    硬直化很形象。确实,西方家大业大,花钱手笔也大,但每一笔钱都预定了用处,活动余地真心很小。你看看美国在预算削减时那个鸡飞狗跳,就知道真是谁都动不得。“平均剃头”是公认的最坏选择,但是唯一大家可接受的选择。
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    36#
    发表于 2024-9-17 11:40:47 | 只看该作者
    moletronic 发表于 2024-9-16 21:373 k" [; J/ l8 u6 Q. o
    浸水还是要的,这国产光刻机按公布的指标应该还是没法满足YMTC的全部要求。 ...

    $ h' H" v9 Z' I( W都说工信部这光刻机不是浸润式,但193nm光源,65nm分辨率,正好是2*1.44倍,是不是太巧了?
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    37#
    发表于 2024-9-17 11:43:29 | 只看该作者
    moletronic 发表于 2024-9-17 10:545 C& n  n- p$ y$ D5 Q* x: G
    按说这个跨越不算大,但Nikon就是浸水没搞定! r. f; C6 S- w' v4 d* X7 I% u
    所以俺不敢做预测,只敢对已知的做评述 ...
    ' ~. V" l' P% Y  o
    具体工作中还是有很多细节要克服。例如曝光时照到光的水会比遮蔽区的水热一点,这个温差会让水的密度不均匀,从而折射率不均匀,影响成像。为了避免温差,必须让水快速流动混合,但又要避免产生漩涡或者析出气泡。水可以把所接触物品上的杂质洗下来,带到晶圆上,形成缺陷。当初ASML搞浸润式光刻机时,在浸液系统上与林本坚团队合作,方案修改了7-8回,耗时两年多才取得满意的结果。

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  • TA的每日心情
    开心
    2023-2-8 04:51
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    38#
     楼主| 发表于 2024-9-17 11:59:49 | 只看该作者
    本帖最后由 moletronic 于 2024-9-16 20:02 编辑
    4 h; a  ?+ z0 j1 x& U5 P
    沉宝 发表于 2024-9-16 19:433 R# U/ q! p& w4 I0 Y- Z0 V4 L7 W
    具体工作中还是有很多细节要克服。例如曝光时照到光的水会比遮蔽区的水热一点,这个温差会让水的密度不均 ...

    / d9 S9 \7 ]4 @3 C' X
    7 V/ R  {8 a) C  P1 \这当然不容易,不过两年挺快啦,看看牙膏的10nm……
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  • TA的每日心情
    开心
    2023-2-8 04:51
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    39#
     楼主| 发表于 2024-9-17 12:01:58 | 只看该作者
    晨枫 发表于 2024-9-16 19:40" k# {8 p, i; V( l5 j' t
    都说工信部这光刻机不是浸润式,但193nm光源,65nm分辨率,正好是2*1.44倍,是不是太巧了? ...

    7 J4 W4 N+ r' d0 A# T- ~不知道啦,也许是隐晦放风的说法。
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    40#
    发表于 2024-9-17 17:38:39 | 只看该作者
    晨枫 发表于 2024-9-17 11:137 G9 _# X' J3 p# b, b' f. U
    这倒是个问题。都说韩国人拼,看来还是拼不过中国人。台湾人也是中国人嘛。 ...
    ( q  c; h5 ^! p) d
    中国大,各地方人气质不一,各擅胜场。精细活儿江南地方超过东北山东。如此说来,韩国近东北山东,台湾精英是江浙后代。
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