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[科普知识] 国产光刻机猜测

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  • TA的每日心情
    慵懒
    2022-8-27 22:14
  • 签到天数: 351 天

    [LV.8]合体

    21#
    发表于 2024-9-17 08:06:46 | 只看该作者
    晨枫 发表于 2024-9-16 14:00( M$ I# z5 g# N1 J- L4 H6 T: m- i: r
    也就是说,即使28nm现在还有光刻机瓶颈,其他也都就绪、只欠东风了。这是好事!& {4 O5 M+ u2 g

    " K7 l) F" o$ G- I3 F个人感觉:相比于前一阵 ...
    / G" Z" s+ L4 t+ N( C% j. m

    3 J) p; C. }  c; r" F" [
    这就要西方好好领教什么叫产能过剩了。

    . S# r. v2 t8 u& U% ]8 u. P4 c1 V( y应该会在5年内实现吧。
      v0 [2 V, s- W/ V+ o5 o$ T5 D/ s  Q% T- o
    微博上有位“沉睡之书11”说的。(不一定准确,可以看看)
    6 t: P. W$ y( S( }, m' ^. x24-9-16 23:554 L* E! {5 C2 e7 |6 R
    发布于 湖南
    % z3 H- i" V2 R1 H, L* V$ r来自 微博网页版
    2 i( G4 Y+ G! i! q啊,说过很多次了,#光刻机# 不是挖机' ~- T4 L5 l2 [8 L0 y! M
    不是运过来就能直接开工的。& ^# d$ [- t4 N+ m% s* R1 N
    他需要调试,需要不断的用,一边用一边调整,等光学畸变稳定——你可以理解为拷机或者汽车发动热机暖机。$ o" F  F# B6 \1 D' k# y

    6 |+ q1 W& n8 u这个时间很长,也是我常年说:- K8 l  u5 E4 N5 _
    就算今天ASML传送一台EUV给咱,我们拿到第一批量产的芯片流片完(无论7nm,5nm还是多少)起码2年后——这最乐观的2年时间,还得是对EUV非常有经验的顶级工程师来操作优化。
      p0 p9 g$ L2 O1 A  J0 j9 }
    # c3 S; {& O# I5 r4 m5 v; D7 |现在发布的这台机器是起码3年前就验收了(科工),现在工信部验收推广(产业链),成熟得不行了才拿出来的。你需要,给钱就有,不限量。& y* A. x' x! W3 ?0 p  O, X
    2 g3 ]* q2 _1 c; \5 H
    简单理解就是——这机子是干式光刻机,做的是65-55nm的芯片,一次曝光。0 \. b: y; [3 ?1 x; E$ r
    干式光刻机没啥意义,为什么呢?因为改进之后的也可以出产低制程的,向下兼容并且良率更高(成本低方案成熟)
    * M! P% W6 a( H* R/ [( D# `多重曝光也不是这哥们来做……(我是不清楚干式光刻机有没人搞这个)' z4 E) H/ W4 d! X( y5 d+ S( p8 W
    但这玩意的光路设计啥的,是成型了的。有了它,就加浸没式透镜,修改物镜,最终成品是目前没有验收但肯定存在某个地方的浸没式光刻机,但起码上线了2年了
    6 s, b/ p3 X+ g& W
    ' F  j- y) g! l/ B没公布的那个肯定还在不断的调试,修改,更换国产配件。- h2 u. p; u) F! R% t# e# _. y
    普通人不用管光刻机啥情况——你就看最终产品就是。  ~9 L; g3 `' f9 U  }( w# ^. O
    #华为mate70# 也没多久了。
    / @5 A' T6 G" X" I

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    这真是极好的: 5.0
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      发表于 2024-9-18 15:38
    给力: 5 涨姿势: 5 这真是极好的: 5
      发表于 2024-9-17 08:38
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  • TA的每日心情
    开心
    2023-2-8 04:51
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    [LV.Master]无

    22#
     楼主| 发表于 2024-9-17 08:15:36 | 只看该作者
    老财迷 发表于 2024-9-16 16:06* j. x4 d4 ?# P! |, Y% o$ Y
    应该会在5年内实现吧。. j" y$ f. W) ]$ o! A6 G

    5 Y. l% Z) Q" E, ]+ ?微博上有位“沉睡之书11”说的。(不一定准确,可以看看)

    9 a1 Y  }' g9 n' F/ ^+ z1 t
    7 H2 H9 S. u0 _& \! A: q这个有点扯,新机到货后肯定要调试的,但绝对用不了两年的时间。

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    油菜: 5 给力: 5
    以你说的为准 :)  发表于 2024-9-17 15:27

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    23#
    发表于 2024-9-17 08:39:20 | 只看该作者
    moletronic 发表于 2024-9-16 18:15
    ( w# B% G1 f/ C& a3 q这个有点扯,新机到货后肯定要调试的,但绝对用不了两年的时间。

    + w  g* C1 x2 K$ z" Q2 {6 f5 k/ p但干式到浸润的步子没那么大,这说对了吗?
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  • TA的每日心情
    开心
    2023-2-8 04:51
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    [LV.Master]无

    24#
     楼主| 发表于 2024-9-17 10:54:17 | 只看该作者
    本帖最后由 moletronic 于 2024-9-16 18:56 编辑
    , H- t8 G! S/ w* u" M; Z- s/ Z9 w
    晨枫 发表于 2024-9-16 16:39
    1 S0 C( H% a" F8 z& i. [) m1 g6 I但干式到浸润的步子没那么大,这说对了吗?
    8 R( s* D( }" {

    & A. F- o, t1 N: e* C8 f. x按说这个跨越不算大,但Nikon就是浸水没搞定
    , K9 h9 n3 E. R# F$ E所以俺不敢做预测,只敢对已知的做评述

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    25#
    发表于 2024-9-17 11:08:25 | 只看该作者
    晨枫 发表于 2024-9-17 03:34
    $ @4 ?, H8 ]) Z6 i3 \; ~2 X: }6 Q" N/ F不过EUV制作7nm可以轻易一次曝光,产率和良率应该提高很多?
    % Q" H& u  @4 R8 ~: K
    理论上是这样。但制造芯片是个复杂的过程,需要各方面不断打磨,才能接近理想的结果。现实中的例子,台积电用193nm光刻机率先量产7nm,三星则以更先进的EUV光刻机应战,由于对新型光刻机的熟悉不足,结果良率低下,很多人抛弃三星。最后三星赔本赚吆喝,开出比台积电低30%的代工费用,才勉强留下大客户。

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      发表于 2024-9-17 15:28

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    26#
    发表于 2024-9-17 11:13:01 | 只看该作者
    moletronic 发表于 2024-9-16 20:54
    0 H3 I; r% b1 ~  \7 z, n. B# f按说这个跨越不算大,但Nikon就是浸水没搞定
    0 o  Y+ w8 [# `" z- `, Q所以俺不敢做预测,只敢对已知的做评述 ...

    % V" ]  z: ]- i* u( v有道理。5 M6 Z3 R$ H* B# c; Q& r4 C
    7 |2 h# o+ y( s) \( p
    不过现在看尼康和佳能的光刻机,总有感觉他们已经三心二意了。既然干不过阿斯麦,就用最小投资吊着。不退场,但也不全力以赴。
    / P; h1 m2 i1 e9 I) N; Q1 o; X, s& u' T) F) Z/ Y! }8 H% Z
    中国肯定是全力以赴的。而且倾国之力肯定大于尼康、佳能。
    4 H8 S+ H+ [/ ?) o5 S1 Z
    ; K  N7 _! S; \3 q这会有差别吗?
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    27#
    发表于 2024-9-17 11:13:37 | 只看该作者
    沉宝 发表于 2024-9-16 21:08% t- H' s$ q5 ~6 i% J
    理论上是这样。但制造芯片是个复杂的过程,需要各方面不断打磨,才能接近理想的结果。现实中的例子,台积 ...

    4 o% [+ y: S. n$ A$ o* o7 X" y这倒是个问题。都说韩国人拼,看来还是拼不过中国人。台湾人也是中国人嘛。
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    28#
    发表于 2024-9-17 11:19:08 | 只看该作者
    moletronic 发表于 2024-9-17 10:54
    . @# F2 J7 F! c% d( g- o& T按说这个跨越不算大,但Nikon就是浸水没搞定
    # i0 {4 Q8 p& }" G4 `# z) g  Z2 a所以俺不敢做预测,只敢对已知的做评述 ...

    5 P/ V# H7 L3 \+ g( z) g6 h$ }还没搞定?   t4 p+ p( N2 e& s1 {2 q
    我可能是09年去给Nikon做实验,他们想搞明白光刻机里面为什么会产生微气泡,想买个做实验的系统。我在的小破公司搭了一个,然后过去一起做,看能不能用。那个时候估计还是早期,这些基础的问题都没个数。做了几个实验,证明可以捕捉到微气泡发生,成长和运动的轨迹,我就撤了。这都十五年过去了。
    6 f# F; S& B- w: R; j* S5 U9 }7 i3 \尼康那时候已经有点不灵的迹象,食堂里面睡满了安装队的人。正常的话那些人都是满世界跑给别人装机器的。, m0 m" V- D, Q9 k9 x- @

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    坛里藏龙卧虎啊  发表于 2024-9-17 15:31

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    唐家山 + 4 伙呆了
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    29#
    发表于 2024-9-17 11:21:47 | 只看该作者
    moletronic 发表于 2024-9-16 20:54$ K# Y2 }$ u/ T* b6 G. E
    按说这个跨越不算大,但Nikon就是浸水没搞定8 l  i/ `8 V  |  R' H+ c7 r7 w! T
    所以俺不敢做预测,只敢对已知的做评述 ...

    9 e; C: h! x# {+ M突然想起来:现在就聚焦于逻辑芯片,存储芯片用的芯片技术一样吗?前一段听说长江还是谁的128还是256层NAND也被卡了,因为光刻机的事,这说法准确吗?高端NAND需要多少nm节点的光刻机?
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    30#
    发表于 2024-9-17 11:23:33 | 只看该作者
    晨枫 发表于 2024-9-17 11:13
    4 X8 ~- ^5 d" W有道理。, a/ ]' R( I7 ?
    9 n7 m! k7 S( w3 I4 }
    不过现在看尼康和佳能的光刻机,总有感觉他们已经三心二意了。既然干不过阿斯麦,就用最小投资 ...
    ; @. g0 @9 L: j
    可能是真没钱投资了。这些钱政府应该赞助的,可是政府也难呐,到处都是嗷嗷待哺的嘴,捉了个虫也不知道塞哪张嘴里。) [# A( Z- [  c
    很多年前日本媒体评价日本财政用了很形象的词,叫硬直化。所有的钱都有定好的用处,几乎没有活动钱。需要财政支持的时候十分狼狈。该做的事情做不了,钱全都拿去维持日常运转了。

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      发表于 2024-9-17 15:32

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    2023-2-8 04:51
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    31#
     楼主| 发表于 2024-9-17 11:28:54 | 只看该作者
    本帖最后由 moletronic 于 2024-9-16 19:33 编辑
    , q& d. ]8 g" I
    雷声 发表于 2024-9-16 19:19
    - |+ E9 ^! f- y# U2 i! H还没搞定? ' o0 I. M- g! J- ^) A
    我可能是09年去给Nikon做实验,他们想搞明白光刻机里面为什么会产生微气泡,想买个做实验的 ...

    + a. s$ P" f# [, d, A3 p7 z7 Y) s- r8 o3 _0 I
    Nikon是稳定性不行,被牙膏退货后就没人再买。疫情前去开spie的会,Nikon还吹牛自己行了,但主流客户没人用。
    . c1 }2 A" S0 K9 v0 R有网上谣言说华为买了些Nikon自己魔改做出了9100…俺比较怀疑真实性。
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    2023-2-8 04:51
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    [LV.Master]无

    32#
     楼主| 发表于 2024-9-17 11:31:01 | 只看该作者
    晨枫 发表于 2024-9-16 19:21
    ; f* g5 d2 g+ w突然想起来:现在就聚焦于逻辑芯片,存储芯片用的芯片技术一样吗?前一段听说长江还是谁的128还是256层NA ...

    # b9 [; e& c- y) [存储和逻辑的工艺重点不一样,节点体系也不同。存储那边现在还没上EUV。
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    33#
    发表于 2024-9-17 11:34:00 | 只看该作者
    moletronic 发表于 2024-9-16 21:31
      }1 Y0 |, v7 @* R# s  ~& U存储和逻辑的工艺重点不一样,节点体系也不同。存储那边现在还没上EUV。 ...
    $ F. @' y9 R/ S5 h) v$ ?
    需要用到浸润DUV吗?+ e2 o! |3 J) Q2 N8 A) R

    ' m! H* b6 H9 _9 S6 a! ~& ~: s  H我的问题其实是:65nm光刻机能解决国内NAND厂的设备禁运问题吗?
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    开心
    2023-2-8 04:51
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    [LV.Master]无

    34#
     楼主| 发表于 2024-9-17 11:37:50 | 只看该作者
    晨枫 发表于 2024-9-16 19:34
    + O  A$ k) G6 z2 H: ?需要用到浸润DUV吗?
    # J% S4 g- f3 c& G
    " B0 e4 g: @% t( N. Q+ {我的问题其实是:65nm光刻机能解决国内NAND厂的设备禁运问题吗? ...
    " o# {+ F. O7 m* q) h3 q$ w+ ?
    浸水还是要的,这国产光刻机按公布的指标应该还是没法满足YMTC的全部要求。
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    35#
    发表于 2024-9-17 11:38:06 | 只看该作者
    雷声 发表于 2024-9-16 21:23
    ! E0 Z" ^! B- X( H) S) k/ }可能是真没钱投资了。这些钱政府应该赞助的,可是政府也难呐,到处都是嗷嗷待哺的嘴,捉了个虫也不知道塞 ...
    ( a( m' i7 t5 P) `6 A
    是的,需要钱的地方太多,但光刻机和芯片可能是不计代价砸钱的方向,优先级比谁都高。这个瓶颈突破后,不只是军事、科技上的阳关道,经济上也是大片的处女地啊。7 h7 L# {; O2 ?! ~
    7 n( `: ]$ |  f/ x7 i
    硬直化很形象。确实,西方家大业大,花钱手笔也大,但每一笔钱都预定了用处,活动余地真心很小。你看看美国在预算削减时那个鸡飞狗跳,就知道真是谁都动不得。“平均剃头”是公认的最坏选择,但是唯一大家可接受的选择。
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    36#
    发表于 2024-9-17 11:40:47 | 只看该作者
    moletronic 发表于 2024-9-16 21:37
    & B: A2 W# m' w* f/ m) y1 v浸水还是要的,这国产光刻机按公布的指标应该还是没法满足YMTC的全部要求。 ...
    ) T/ o% Z  E* M+ a6 K0 j
    都说工信部这光刻机不是浸润式,但193nm光源,65nm分辨率,正好是2*1.44倍,是不是太巧了?
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    37#
    发表于 2024-9-17 11:43:29 | 只看该作者
    moletronic 发表于 2024-9-17 10:54
    ' j5 ^+ O( i- w按说这个跨越不算大,但Nikon就是浸水没搞定
    - x$ ^/ q6 ~# M1 u5 ~所以俺不敢做预测,只敢对已知的做评述 ...

    + n6 i1 z. w2 Q$ {4 Q具体工作中还是有很多细节要克服。例如曝光时照到光的水会比遮蔽区的水热一点,这个温差会让水的密度不均匀,从而折射率不均匀,影响成像。为了避免温差,必须让水快速流动混合,但又要避免产生漩涡或者析出气泡。水可以把所接触物品上的杂质洗下来,带到晶圆上,形成缺陷。当初ASML搞浸润式光刻机时,在浸液系统上与林本坚团队合作,方案修改了7-8回,耗时两年多才取得满意的结果。

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  • TA的每日心情
    开心
    2023-2-8 04:51
  • 签到天数: 1811 天

    [LV.Master]无

    38#
     楼主| 发表于 2024-9-17 11:59:49 | 只看该作者
    本帖最后由 moletronic 于 2024-9-16 20:02 编辑
    ; b; k" ]" p% f* D* U/ f! j- Y1 \
    沉宝 发表于 2024-9-16 19:43
    . ^$ |! ]6 u! p6 w8 r具体工作中还是有很多细节要克服。例如曝光时照到光的水会比遮蔽区的水热一点,这个温差会让水的密度不均 ...
    ; \$ X3 z' g8 h: V  ~
      f* B9 z( `2 n+ s
    这当然不容易,不过两年挺快啦,看看牙膏的10nm……
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  • TA的每日心情
    开心
    2023-2-8 04:51
  • 签到天数: 1811 天

    [LV.Master]无

    39#
     楼主| 发表于 2024-9-17 12:01:58 | 只看该作者
    晨枫 发表于 2024-9-16 19:40
    ' k7 K8 b1 J. u+ |& ]" I# S都说工信部这光刻机不是浸润式,但193nm光源,65nm分辨率,正好是2*1.44倍,是不是太巧了? ...

    5 A0 V0 C: \' B) g0 N  D8 o不知道啦,也许是隐晦放风的说法。
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    40#
    发表于 2024-9-17 17:38:39 | 只看该作者
    晨枫 发表于 2024-9-17 11:13# f$ h1 G0 _1 l( z# v: T
    这倒是个问题。都说韩国人拼,看来还是拼不过中国人。台湾人也是中国人嘛。 ...

    * a7 Y7 a- R2 b% R3 ?中国大,各地方人气质不一,各擅胜场。精细活儿江南地方超过东北山东。如此说来,韩国近东北山东,台湾精英是江浙后代。
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