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[科普知识] 国产光刻机猜测

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  • TA的每日心情
    慵懒
    2022-8-27 22:14
  • 签到天数: 351 天

    [LV.8]合体

    21#
    发表于 2024-9-17 08:06:46 | 只看该作者
    晨枫 发表于 2024-9-16 14:00/ A0 _* }9 C+ i, c
    也就是说,即使28nm现在还有光刻机瓶颈,其他也都就绪、只欠东风了。这是好事!
    ; C; P) B$ n# Z" \- d
    3 s. H5 m: H* p  c个人感觉:相比于前一阵 ...

    + W/ {$ P2 y0 ^: [1 g- T$ \* ]9 ~  Y& _  Y% h4 r) }1 b
    这就要西方好好领教什么叫产能过剩了。

    # f0 u) f% p7 R; G应该会在5年内实现吧。# t# |& I+ P6 f& J- [

    1 y* `; R4 ^+ ^- ~# y7 R微博上有位“沉睡之书11”说的。(不一定准确,可以看看)
    8 S! Q5 s! Z) y4 [! a2 @2 ^$ M24-9-16 23:550 z- S$ S+ O1 m* q# N& N
    发布于 湖南! y3 v8 {0 r  k" b& F
    来自 微博网页版
    8 [; w/ q0 ~* ~3 \; M% }啊,说过很多次了,#光刻机# 不是挖机
    $ h5 t+ g$ u( n+ j不是运过来就能直接开工的。+ A# f8 Q2 ^- u# _
    他需要调试,需要不断的用,一边用一边调整,等光学畸变稳定——你可以理解为拷机或者汽车发动热机暖机。
    9 r) l* C( N- Z. H2 Y/ ]* e
    $ h  x2 s. |* b1 C" z. K- i; m这个时间很长,也是我常年说:  v6 q: ]. p3 L/ e4 J$ z
    就算今天ASML传送一台EUV给咱,我们拿到第一批量产的芯片流片完(无论7nm,5nm还是多少)起码2年后——这最乐观的2年时间,还得是对EUV非常有经验的顶级工程师来操作优化。
    * c8 K3 P; w' g) V' C* ]; M: Z7 G. v% b+ k
    现在发布的这台机器是起码3年前就验收了(科工),现在工信部验收推广(产业链),成熟得不行了才拿出来的。你需要,给钱就有,不限量。, `3 v; c" x* X; a
    7 I, k9 J+ }6 a- Q6 Q1 o; u4 X5 @
    简单理解就是——这机子是干式光刻机,做的是65-55nm的芯片,一次曝光。& ?" E% V, [! \. C! c- B
    干式光刻机没啥意义,为什么呢?因为改进之后的也可以出产低制程的,向下兼容并且良率更高(成本低方案成熟)
    ( b4 ?: ?4 P3 S多重曝光也不是这哥们来做……(我是不清楚干式光刻机有没人搞这个)
    ) a2 l$ i2 ]+ a, F" `但这玩意的光路设计啥的,是成型了的。有了它,就加浸没式透镜,修改物镜,最终成品是目前没有验收但肯定存在某个地方的浸没式光刻机,但起码上线了2年了3 ], h/ A+ x2 H! l7 l; B

    ; U, K  n1 g. C+ U/ P没公布的那个肯定还在不断的调试,修改,更换国产配件。
    . j$ h$ g4 N, B& x普通人不用管光刻机啥情况——你就看最终产品就是。) `, \1 \4 ?1 ]. ^1 X0 z- M& C$ h
    #华为mate70# 也没多久了。! y3 k; U6 f1 C2 l3 E( f4 X5 @7 G

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    这真是极好的: 5.0
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      发表于 2024-9-18 15:38
    给力: 5 涨姿势: 5 这真是极好的: 5
      发表于 2024-9-17 08:38
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  • TA的每日心情
    开心
    2023-2-8 04:51
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    [LV.Master]无

    22#
     楼主| 发表于 2024-9-17 08:15:36 | 只看该作者
    老财迷 发表于 2024-9-16 16:06
    ! j* l2 F: P" B: U& }应该会在5年内实现吧。" U6 \- L  w. [

    ; c8 g% J2 r& \0 M) C9 Q' ]微博上有位“沉睡之书11”说的。(不一定准确,可以看看)
    ; R; K$ v; w6 y5 d" Z: o( J

    ; \' p; P# t/ L( Q" ~这个有点扯,新机到货后肯定要调试的,但绝对用不了两年的时间。

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    以你说的为准 :)  发表于 2024-9-17 15:27

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    23#
    发表于 2024-9-17 08:39:20 | 只看该作者
    moletronic 发表于 2024-9-16 18:15
      R; |2 M4 |( |, T' w$ ]这个有点扯,新机到货后肯定要调试的,但绝对用不了两年的时间。
    # j1 y4 H- w& R" K3 s0 w
    但干式到浸润的步子没那么大,这说对了吗?
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  • TA的每日心情
    开心
    2023-2-8 04:51
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    [LV.Master]无

    24#
     楼主| 发表于 2024-9-17 10:54:17 | 只看该作者
    本帖最后由 moletronic 于 2024-9-16 18:56 编辑
    2 u% Y4 H, f: Z
    晨枫 发表于 2024-9-16 16:39
    , r0 l/ }. C6 y- O/ w6 r3 W: u但干式到浸润的步子没那么大,这说对了吗?
    ) F$ g3 i9 Z1 Y2 l0 P; w5 q3 p" j
    $ g1 H" y) ~5 I6 p
    按说这个跨越不算大,但Nikon就是浸水没搞定
    % }% b# h8 o) y/ n所以俺不敢做预测,只敢对已知的做评述

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    25#
    发表于 2024-9-17 11:08:25 | 只看该作者
    晨枫 发表于 2024-9-17 03:349 S1 |1 a8 J, ~- d
    不过EUV制作7nm可以轻易一次曝光,产率和良率应该提高很多?

      s* V0 o2 Y4 F0 D7 ?3 L% Y理论上是这样。但制造芯片是个复杂的过程,需要各方面不断打磨,才能接近理想的结果。现实中的例子,台积电用193nm光刻机率先量产7nm,三星则以更先进的EUV光刻机应战,由于对新型光刻机的熟悉不足,结果良率低下,很多人抛弃三星。最后三星赔本赚吆喝,开出比台积电低30%的代工费用,才勉强留下大客户。

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      发表于 2024-9-17 15:28

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    26#
    发表于 2024-9-17 11:13:01 | 只看该作者
    moletronic 发表于 2024-9-16 20:54; x  I. N- k. b) ]
    按说这个跨越不算大,但Nikon就是浸水没搞定
    $ G" R6 {' C7 ^6 C5 a所以俺不敢做预测,只敢对已知的做评述 ...

    2 Z  V1 U3 s; d$ i有道理。
    / n* ~6 |+ u2 j0 A. U0 }
    " `! N1 A. Y( D6 X不过现在看尼康和佳能的光刻机,总有感觉他们已经三心二意了。既然干不过阿斯麦,就用最小投资吊着。不退场,但也不全力以赴。. X* x( v7 G( ~: E: {

    2 h9 y" u. i8 j. t) W6 N中国肯定是全力以赴的。而且倾国之力肯定大于尼康、佳能。
    * w2 N2 q1 o  _9 g3 X
    & K0 c: b, N/ t+ M; m- W这会有差别吗?
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    27#
    发表于 2024-9-17 11:13:37 | 只看该作者
    沉宝 发表于 2024-9-16 21:08
    3 M& L; d! j: ^0 U; e* O理论上是这样。但制造芯片是个复杂的过程,需要各方面不断打磨,才能接近理想的结果。现实中的例子,台积 ...

    $ u! E. N" L3 i& [3 a这倒是个问题。都说韩国人拼,看来还是拼不过中国人。台湾人也是中国人嘛。
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    28#
    发表于 2024-9-17 11:19:08 | 只看该作者
    moletronic 发表于 2024-9-17 10:54
    & M1 e5 M4 B1 p4 X按说这个跨越不算大,但Nikon就是浸水没搞定0 m1 z- e& q: t2 u' A' A
    所以俺不敢做预测,只敢对已知的做评述 ...

    " F  h: H/ F  k" c' d7 K还没搞定?
    ) I7 K& d' W% e$ O我可能是09年去给Nikon做实验,他们想搞明白光刻机里面为什么会产生微气泡,想买个做实验的系统。我在的小破公司搭了一个,然后过去一起做,看能不能用。那个时候估计还是早期,这些基础的问题都没个数。做了几个实验,证明可以捕捉到微气泡发生,成长和运动的轨迹,我就撤了。这都十五年过去了。
    , h/ v  ?' U! U6 ]% m尼康那时候已经有点不灵的迹象,食堂里面睡满了安装队的人。正常的话那些人都是满世界跑给别人装机器的。
    + I1 h) |% M5 g  x( r* X

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    坛里藏龙卧虎啊  发表于 2024-9-17 15:31

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    29#
    发表于 2024-9-17 11:21:47 | 只看该作者
    moletronic 发表于 2024-9-16 20:54
    . Q% t" p8 B8 i' i: y! e2 v按说这个跨越不算大,但Nikon就是浸水没搞定( {9 `  r- ?9 l1 D1 x
    所以俺不敢做预测,只敢对已知的做评述 ...

    % [" [& l4 ~: L% W; c突然想起来:现在就聚焦于逻辑芯片,存储芯片用的芯片技术一样吗?前一段听说长江还是谁的128还是256层NAND也被卡了,因为光刻机的事,这说法准确吗?高端NAND需要多少nm节点的光刻机?
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    30#
    发表于 2024-9-17 11:23:33 | 只看该作者
    晨枫 发表于 2024-9-17 11:13
    # I3 k& ]. a% ^1 C6 W$ B1 W" X有道理。
    % g( t  S, d0 \5 f4 _/ p* \! ^9 }1 Q. A1 h/ _3 Y
    不过现在看尼康和佳能的光刻机,总有感觉他们已经三心二意了。既然干不过阿斯麦,就用最小投资 ...

    $ \3 \, Q  _7 B: S可能是真没钱投资了。这些钱政府应该赞助的,可是政府也难呐,到处都是嗷嗷待哺的嘴,捉了个虫也不知道塞哪张嘴里。5 a7 F2 v- k3 b3 C
    很多年前日本媒体评价日本财政用了很形象的词,叫硬直化。所有的钱都有定好的用处,几乎没有活动钱。需要财政支持的时候十分狼狈。该做的事情做不了,钱全都拿去维持日常运转了。

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      发表于 2024-9-17 15:32

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  • TA的每日心情
    开心
    2023-2-8 04:51
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    [LV.Master]无

    31#
     楼主| 发表于 2024-9-17 11:28:54 | 只看该作者
    本帖最后由 moletronic 于 2024-9-16 19:33 编辑
    6 {" ?( x! N1 ?& z
    雷声 发表于 2024-9-16 19:193 H% S) _* p! g; w1 K
    还没搞定? 3 W2 S. j3 j* H0 ]. z, M
    我可能是09年去给Nikon做实验,他们想搞明白光刻机里面为什么会产生微气泡,想买个做实验的 ...
    ; g  x: ?* f( @& N" `' }. K! ]
    . U) e7 P0 |! j" B' F. j: s! i( q
    Nikon是稳定性不行,被牙膏退货后就没人再买。疫情前去开spie的会,Nikon还吹牛自己行了,但主流客户没人用。
    7 m# N6 \* f5 [) h3 d有网上谣言说华为买了些Nikon自己魔改做出了9100…俺比较怀疑真实性。
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    开心
    2023-2-8 04:51
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    [LV.Master]无

    32#
     楼主| 发表于 2024-9-17 11:31:01 | 只看该作者
    晨枫 发表于 2024-9-16 19:219 k1 i9 a, u! h
    突然想起来:现在就聚焦于逻辑芯片,存储芯片用的芯片技术一样吗?前一段听说长江还是谁的128还是256层NA ...

    ! U8 @1 r) e2 {% F: `  W/ R8 ^8 r存储和逻辑的工艺重点不一样,节点体系也不同。存储那边现在还没上EUV。
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    33#
    发表于 2024-9-17 11:34:00 | 只看该作者
    moletronic 发表于 2024-9-16 21:31
    / B/ e  e, g3 d( [' u( J4 P* h8 W存储和逻辑的工艺重点不一样,节点体系也不同。存储那边现在还没上EUV。 ...
    & _6 M4 q/ S0 {" w9 h( S, c! k
    需要用到浸润DUV吗?  {: D; B8 g' V
    % ^$ l# P' @& u0 [
    我的问题其实是:65nm光刻机能解决国内NAND厂的设备禁运问题吗?
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    开心
    2023-2-8 04:51
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    [LV.Master]无

    34#
     楼主| 发表于 2024-9-17 11:37:50 | 只看该作者
    晨枫 发表于 2024-9-16 19:34
    0 `4 E$ [2 t( S* B; e' o9 ?" L  `* T需要用到浸润DUV吗?
    # k* }4 q6 U7 d) z2 I6 a* c5 g# h% P
    2 R5 j5 h0 l( }+ @我的问题其实是:65nm光刻机能解决国内NAND厂的设备禁运问题吗? ...

    . W7 N2 E  C' V浸水还是要的,这国产光刻机按公布的指标应该还是没法满足YMTC的全部要求。
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    35#
    发表于 2024-9-17 11:38:06 | 只看该作者
    雷声 发表于 2024-9-16 21:23
    & E9 l, M6 k- D4 h4 m可能是真没钱投资了。这些钱政府应该赞助的,可是政府也难呐,到处都是嗷嗷待哺的嘴,捉了个虫也不知道塞 ...

    ! O# o! D( ?5 L是的,需要钱的地方太多,但光刻机和芯片可能是不计代价砸钱的方向,优先级比谁都高。这个瓶颈突破后,不只是军事、科技上的阳关道,经济上也是大片的处女地啊。' F, z0 k1 g, X5 l( L

    4 E( S/ d: l: [+ E& o; d! O" u硬直化很形象。确实,西方家大业大,花钱手笔也大,但每一笔钱都预定了用处,活动余地真心很小。你看看美国在预算削减时那个鸡飞狗跳,就知道真是谁都动不得。“平均剃头”是公认的最坏选择,但是唯一大家可接受的选择。
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    36#
    发表于 2024-9-17 11:40:47 | 只看该作者
    moletronic 发表于 2024-9-16 21:375 e- f6 G8 g' d% c* c
    浸水还是要的,这国产光刻机按公布的指标应该还是没法满足YMTC的全部要求。 ...
    / L0 m  k$ F. _6 P
    都说工信部这光刻机不是浸润式,但193nm光源,65nm分辨率,正好是2*1.44倍,是不是太巧了?
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    37#
    发表于 2024-9-17 11:43:29 | 只看该作者
    moletronic 发表于 2024-9-17 10:54& s/ _8 v2 R- c7 k" r4 B
    按说这个跨越不算大,但Nikon就是浸水没搞定
    ( K; U! }+ }5 {5 ~2 Y" p- H" I所以俺不敢做预测,只敢对已知的做评述 ...

    " d" u( L( U8 w; S具体工作中还是有很多细节要克服。例如曝光时照到光的水会比遮蔽区的水热一点,这个温差会让水的密度不均匀,从而折射率不均匀,影响成像。为了避免温差,必须让水快速流动混合,但又要避免产生漩涡或者析出气泡。水可以把所接触物品上的杂质洗下来,带到晶圆上,形成缺陷。当初ASML搞浸润式光刻机时,在浸液系统上与林本坚团队合作,方案修改了7-8回,耗时两年多才取得满意的结果。

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  • TA的每日心情
    开心
    2023-2-8 04:51
  • 签到天数: 1811 天

    [LV.Master]无

    38#
     楼主| 发表于 2024-9-17 11:59:49 | 只看该作者
    本帖最后由 moletronic 于 2024-9-16 20:02 编辑 ) E9 A8 o: X- v7 M" p1 b" z. c
    沉宝 发表于 2024-9-16 19:43& p; O) O( K8 M9 A& d+ Y1 x& t5 X7 f" E
    具体工作中还是有很多细节要克服。例如曝光时照到光的水会比遮蔽区的水热一点,这个温差会让水的密度不均 ...

    9 r! v# a2 _( J1 A3 d5 [! B9 D- @" m/ c! d- o3 Y
    这当然不容易,不过两年挺快啦,看看牙膏的10nm……
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  • TA的每日心情
    开心
    2023-2-8 04:51
  • 签到天数: 1811 天

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    39#
     楼主| 发表于 2024-9-17 12:01:58 | 只看该作者
    晨枫 发表于 2024-9-16 19:40* C' X' W: F6 {( j; a
    都说工信部这光刻机不是浸润式,但193nm光源,65nm分辨率,正好是2*1.44倍,是不是太巧了? ...

    ( M7 I) m3 g$ B& E& ?- |2 J不知道啦,也许是隐晦放风的说法。
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    40#
    发表于 2024-9-17 17:38:39 | 只看该作者
    晨枫 发表于 2024-9-17 11:13" K; z% K3 ]' @9 a+ N( x$ v
    这倒是个问题。都说韩国人拼,看来还是拼不过中国人。台湾人也是中国人嘛。 ...
    9 d: r' E$ Q5 ?+ V  W0 {
    中国大,各地方人气质不一,各擅胜场。精细活儿江南地方超过东北山东。如此说来,韩国近东北山东,台湾精英是江浙后代。
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