设为首页收藏本站

爱吱声

 找回密码
 注册
搜索
楼主: moletronic
打印 上一主题 下一主题

[科普知识] 国产光刻机猜测

[复制链接]
  • TA的每日心情
    慵懒
    2022-8-27 22:14
  • 签到天数: 351 天

    [LV.8]合体

    21#
    发表于 2024-9-17 08:06:46 | 只看该作者
    晨枫 发表于 2024-9-16 14:00$ k6 O7 b7 ?' d/ J8 U6 C
    也就是说,即使28nm现在还有光刻机瓶颈,其他也都就绪、只欠东风了。这是好事!* p1 O6 ^, O0 G9 d( m' i8 Q

    7 G) n% u5 u9 y/ ]" B- N, c' P8 w个人感觉:相比于前一阵 ...

    ) D1 T+ w* ], Z! \7 L: [# z# b/ @
    这就要西方好好领教什么叫产能过剩了。

    ; a3 \1 u( I% O3 P应该会在5年内实现吧。! V/ y6 n& P9 a1 ^4 G) l$ J
    8 g& R1 |/ ]$ @4 f0 O* V( |
    微博上有位“沉睡之书11”说的。(不一定准确,可以看看)
    5 X* W% _: X( Z2 y- k& n5 s' ]24-9-16 23:55
    1 @" P1 Z, n, @) d4 z* D9 m发布于 湖南, j/ f6 A! Z; D5 Q7 F
    来自 微博网页版: M' J  f2 J( {$ W4 q; Y
    啊,说过很多次了,#光刻机# 不是挖机& Q( |. D* L& g3 P8 x3 T
    不是运过来就能直接开工的。
    $ T- x/ k1 g( a他需要调试,需要不断的用,一边用一边调整,等光学畸变稳定——你可以理解为拷机或者汽车发动热机暖机。* ^$ q6 q+ u& M! v/ p# g

    2 V1 Y! X9 z4 b0 s3 f9 B- Y. i# Y这个时间很长,也是我常年说:! i. R* z, `0 m/ i# C
    就算今天ASML传送一台EUV给咱,我们拿到第一批量产的芯片流片完(无论7nm,5nm还是多少)起码2年后——这最乐观的2年时间,还得是对EUV非常有经验的顶级工程师来操作优化。: S9 m+ P7 x9 ^+ o3 X+ x
    ) A8 K) o1 ^& f5 x* G
    现在发布的这台机器是起码3年前就验收了(科工),现在工信部验收推广(产业链),成熟得不行了才拿出来的。你需要,给钱就有,不限量。9 O% N* X2 t- }5 g  q% z3 G

    6 Q0 ?/ ^2 L' J* m* o简单理解就是——这机子是干式光刻机,做的是65-55nm的芯片,一次曝光。
    ( `5 s& v2 ]1 P7 O干式光刻机没啥意义,为什么呢?因为改进之后的也可以出产低制程的,向下兼容并且良率更高(成本低方案成熟)
    % j$ G! @. g' ]3 C8 I1 w% C多重曝光也不是这哥们来做……(我是不清楚干式光刻机有没人搞这个). A/ {: R9 D" W* H, V$ h' N
    但这玩意的光路设计啥的,是成型了的。有了它,就加浸没式透镜,修改物镜,最终成品是目前没有验收但肯定存在某个地方的浸没式光刻机,但起码上线了2年了" C, j2 V4 \: N* g( P4 @0 L4 w

    6 |& d. {! `, [- D8 _. d没公布的那个肯定还在不断的调试,修改,更换国产配件。7 Z3 w9 W8 Z: [
    普通人不用管光刻机啥情况——你就看最终产品就是。
    8 _2 Z0 L+ |( w# V4 ]! g#华为mate70# 也没多久了。6 ~9 O5 q( P) l1 T0 B: t

    点评

    给力: 5.0 涨姿势: 5.0
    这真是极好的: 5.0
    涨姿势: 5
      发表于 2024-9-18 15:38
    给力: 5 涨姿势: 5 这真是极好的: 5
      发表于 2024-9-17 08:38
    回复 支持 反对

    使用道具 举报

  • TA的每日心情
    开心
    2023-2-8 04:51
  • 签到天数: 1811 天

    [LV.Master]无

    22#
     楼主| 发表于 2024-9-17 08:15:36 | 只看该作者
    老财迷 发表于 2024-9-16 16:06
    & ?0 c1 z: P# ~6 \( @应该会在5年内实现吧。
    ; Q2 J" X! s. r# e- f6 N" `% G
    ! @2 V; r+ c* K- K; r微博上有位“沉睡之书11”说的。(不一定准确,可以看看)
    " Z0 i" s6 s  s! U9 G+ ]$ C$ e3 \% W
    ; o, u3 x6 o" m; @9 f# {
    这个有点扯,新机到货后肯定要调试的,但绝对用不了两年的时间。

    点评

    油菜: 5.0 给力: 5.0
    油菜: 5 给力: 5
    以你说的为准 :)  发表于 2024-9-17 15:27

    评分

    参与人数 1爱元 +8 收起 理由
    老财迷 + 8

    查看全部评分

    回复 支持 反对

    使用道具 举报

    该用户从未签到

    23#
    发表于 2024-9-17 08:39:20 | 只看该作者
    moletronic 发表于 2024-9-16 18:15
    ' O3 _4 v* q: D  p这个有点扯,新机到货后肯定要调试的,但绝对用不了两年的时间。
    - G$ v2 [+ S, g. p: u, f0 h
    但干式到浸润的步子没那么大,这说对了吗?
    回复 支持 反对

    使用道具 举报

  • TA的每日心情
    开心
    2023-2-8 04:51
  • 签到天数: 1811 天

    [LV.Master]无

    24#
     楼主| 发表于 2024-9-17 10:54:17 | 只看该作者
    本帖最后由 moletronic 于 2024-9-16 18:56 编辑
    : B1 C5 f/ r4 B- E6 `, g6 x
    晨枫 发表于 2024-9-16 16:39. F; {% s7 d  w9 X- m+ _
    但干式到浸润的步子没那么大,这说对了吗?
    3 E: D* k9 n9 f/ x- j

      N" U& k% J3 W1 T6 G3 [( m+ P& W5 x按说这个跨越不算大,但Nikon就是浸水没搞定$ F) p& F' P! v  t6 N
    所以俺不敢做预测,只敢对已知的做评述

    评分

    参与人数 2爱元 +18 学识 +2 收起 理由
    老票 + 10 + 2 给力
    老财迷 + 8 涨姿势

    查看全部评分

    回复 支持 反对

    使用道具 举报

    该用户从未签到

    25#
    发表于 2024-9-17 11:08:25 | 只看该作者
    晨枫 发表于 2024-9-17 03:345 ], O4 a8 T( F1 ?( e
    不过EUV制作7nm可以轻易一次曝光,产率和良率应该提高很多?
    ! |; c# J) Z, K+ o/ E
    理论上是这样。但制造芯片是个复杂的过程,需要各方面不断打磨,才能接近理想的结果。现实中的例子,台积电用193nm光刻机率先量产7nm,三星则以更先进的EUV光刻机应战,由于对新型光刻机的熟悉不足,结果良率低下,很多人抛弃三星。最后三星赔本赚吆喝,开出比台积电低30%的代工费用,才勉强留下大客户。

    点评

    油菜: 5.0 涨姿势: 5.0
    油菜: 5 涨姿势: 5
      发表于 2024-9-17 15:28

    评分

    参与人数 1爱元 +8 收起 理由
    老财迷 + 8

    查看全部评分

    回复 支持 反对

    使用道具 举报

    该用户从未签到

    26#
    发表于 2024-9-17 11:13:01 | 只看该作者
    moletronic 发表于 2024-9-16 20:548 J' }+ W; A3 p2 Z; ~- r9 k3 p
    按说这个跨越不算大,但Nikon就是浸水没搞定$ N* O5 m6 w+ E3 @4 ^
    所以俺不敢做预测,只敢对已知的做评述 ...
    - y- g6 a9 D0 o4 W  E
    有道理。
    $ g. A  l' ?; d- t0 _" q% k3 g
    # D$ y% D+ T' N5 v不过现在看尼康和佳能的光刻机,总有感觉他们已经三心二意了。既然干不过阿斯麦,就用最小投资吊着。不退场,但也不全力以赴。
    5 I# n" k( o* F, [& B; K) n; p' R" s# n2 _
    中国肯定是全力以赴的。而且倾国之力肯定大于尼康、佳能。
    1 f0 s. q0 x  x2 J% X) P# c4 _7 s1 }1 H& l2 J$ D0 b6 W$ m, D
    这会有差别吗?
    回复 支持 反对

    使用道具 举报

    该用户从未签到

    27#
    发表于 2024-9-17 11:13:37 | 只看该作者
    沉宝 发表于 2024-9-16 21:08
    9 ~$ z3 ^3 h, c' a2 h理论上是这样。但制造芯片是个复杂的过程,需要各方面不断打磨,才能接近理想的结果。现实中的例子,台积 ...
    4 U- A& i: B: e9 M
    这倒是个问题。都说韩国人拼,看来还是拼不过中国人。台湾人也是中国人嘛。
    回复 支持 反对

    使用道具 举报

    该用户从未签到

    28#
    发表于 2024-9-17 11:19:08 | 只看该作者
    moletronic 发表于 2024-9-17 10:54
    + a" y1 @; f7 c. }按说这个跨越不算大,但Nikon就是浸水没搞定
    0 A9 |! a& w1 ]所以俺不敢做预测,只敢对已知的做评述 ...
    & H- a: ^5 o5 }: U% T$ r; m
    还没搞定? 8 q7 O) T. {: F: q  ^2 ?9 V
    我可能是09年去给Nikon做实验,他们想搞明白光刻机里面为什么会产生微气泡,想买个做实验的系统。我在的小破公司搭了一个,然后过去一起做,看能不能用。那个时候估计还是早期,这些基础的问题都没个数。做了几个实验,证明可以捕捉到微气泡发生,成长和运动的轨迹,我就撤了。这都十五年过去了。
    7 t6 |7 a# \/ ?8 J5 X' N( [, h尼康那时候已经有点不灵的迹象,食堂里面睡满了安装队的人。正常的话那些人都是满世界跑给别人装机器的。9 @7 s8 E  {. j- ]

    点评

    油菜: 5.0 给力: 0.0
    涨姿势: 5.0
    油菜: 5 给力: 0 涨姿势: 5
    坛里藏龙卧虎啊  发表于 2024-9-17 15:31

    评分

    参与人数 3爱元 +22 学识 +2 收起 理由
    老票 + 10 + 2 涨姿势
    唐家山 + 4 伙呆了
    老财迷 + 8

    查看全部评分

    回复 支持 反对

    使用道具 举报

    该用户从未签到

    29#
    发表于 2024-9-17 11:21:47 | 只看该作者
    moletronic 发表于 2024-9-16 20:54
    8 Z, E% L& c% @) u2 t& R按说这个跨越不算大,但Nikon就是浸水没搞定% X# ?' P; `7 \* a4 }. p" ]+ Q
    所以俺不敢做预测,只敢对已知的做评述 ...
      }" K% m% d) p0 a
    突然想起来:现在就聚焦于逻辑芯片,存储芯片用的芯片技术一样吗?前一段听说长江还是谁的128还是256层NAND也被卡了,因为光刻机的事,这说法准确吗?高端NAND需要多少nm节点的光刻机?
    回复 支持 反对

    使用道具 举报

    该用户从未签到

    30#
    发表于 2024-9-17 11:23:33 | 只看该作者
    晨枫 发表于 2024-9-17 11:13+ a4 A3 N7 V, n3 C
    有道理。, x) h' ]" ?4 X, I0 B

    ; Z: p" _- I9 N, A0 g不过现在看尼康和佳能的光刻机,总有感觉他们已经三心二意了。既然干不过阿斯麦,就用最小投资 ...
      g" ]0 q( Q4 N# n1 j- r
    可能是真没钱投资了。这些钱政府应该赞助的,可是政府也难呐,到处都是嗷嗷待哺的嘴,捉了个虫也不知道塞哪张嘴里。1 |" B7 t1 K! x0 }7 ?& `$ X- O
    很多年前日本媒体评价日本财政用了很形象的词,叫硬直化。所有的钱都有定好的用处,几乎没有活动钱。需要财政支持的时候十分狼狈。该做的事情做不了,钱全都拿去维持日常运转了。

    点评

    油菜: 5.0 涨姿势: 5.0
    油菜: 5 涨姿势: 5
      发表于 2024-9-17 15:32

    评分

    参与人数 1爱元 +4 收起 理由
    老财迷 + 4

    查看全部评分

    回复 支持 反对

    使用道具 举报

  • TA的每日心情
    开心
    2023-2-8 04:51
  • 签到天数: 1811 天

    [LV.Master]无

    31#
     楼主| 发表于 2024-9-17 11:28:54 | 只看该作者
    本帖最后由 moletronic 于 2024-9-16 19:33 编辑 / L! _- C) C( `1 Y5 |: \! u# n
    雷声 发表于 2024-9-16 19:19& C3 {& J3 q6 V$ f3 ~
    还没搞定? 3 C7 j  z2 n# d) L5 c/ R# y
    我可能是09年去给Nikon做实验,他们想搞明白光刻机里面为什么会产生微气泡,想买个做实验的 ...
    8 @3 X, |" f. p* I' ~/ a

    / |, a) X% k" D. K% s% qNikon是稳定性不行,被牙膏退货后就没人再买。疫情前去开spie的会,Nikon还吹牛自己行了,但主流客户没人用。7 \( f/ Z8 e! m
    有网上谣言说华为买了些Nikon自己魔改做出了9100…俺比较怀疑真实性。
    回复 支持 反对

    使用道具 举报

  • TA的每日心情
    开心
    2023-2-8 04:51
  • 签到天数: 1811 天

    [LV.Master]无

    32#
     楼主| 发表于 2024-9-17 11:31:01 | 只看该作者
    晨枫 发表于 2024-9-16 19:21
    + p' G/ }* k0 \' c$ R, {! t突然想起来:现在就聚焦于逻辑芯片,存储芯片用的芯片技术一样吗?前一段听说长江还是谁的128还是256层NA ...

    : x" h3 r. M3 I5 e1 U存储和逻辑的工艺重点不一样,节点体系也不同。存储那边现在还没上EUV。
    回复 支持 反对

    使用道具 举报

    该用户从未签到

    33#
    发表于 2024-9-17 11:34:00 | 只看该作者
    moletronic 发表于 2024-9-16 21:31' H3 s; d1 @7 N; n
    存储和逻辑的工艺重点不一样,节点体系也不同。存储那边现在还没上EUV。 ...

    & A7 I5 C- I  J! b需要用到浸润DUV吗?/ e" _( @8 c, U' [! A; a
    7 {. n' n  j" ?  I3 Z
    我的问题其实是:65nm光刻机能解决国内NAND厂的设备禁运问题吗?
    回复 支持 反对

    使用道具 举报

  • TA的每日心情
    开心
    2023-2-8 04:51
  • 签到天数: 1811 天

    [LV.Master]无

    34#
     楼主| 发表于 2024-9-17 11:37:50 | 只看该作者
    晨枫 发表于 2024-9-16 19:34
    + j1 `8 f  X9 ~需要用到浸润DUV吗?0 d- k0 e0 g: l# Y1 Y+ o7 ^

    & M! s8 a/ L$ o% Y3 X1 _2 j我的问题其实是:65nm光刻机能解决国内NAND厂的设备禁运问题吗? ...

    ; j& Q8 [7 W1 B8 s8 ?浸水还是要的,这国产光刻机按公布的指标应该还是没法满足YMTC的全部要求。
    回复 支持 反对

    使用道具 举报

    该用户从未签到

    35#
    发表于 2024-9-17 11:38:06 | 只看该作者
    雷声 发表于 2024-9-16 21:23
      a' N- G5 B% ^! p' i可能是真没钱投资了。这些钱政府应该赞助的,可是政府也难呐,到处都是嗷嗷待哺的嘴,捉了个虫也不知道塞 ...
    3 q4 R8 M0 S# M, z4 O
    是的,需要钱的地方太多,但光刻机和芯片可能是不计代价砸钱的方向,优先级比谁都高。这个瓶颈突破后,不只是军事、科技上的阳关道,经济上也是大片的处女地啊。
    8 x+ z0 j8 D! x; K4 }  Y3 ~, j3 c* u9 X" w+ \2 X, O
    硬直化很形象。确实,西方家大业大,花钱手笔也大,但每一笔钱都预定了用处,活动余地真心很小。你看看美国在预算削减时那个鸡飞狗跳,就知道真是谁都动不得。“平均剃头”是公认的最坏选择,但是唯一大家可接受的选择。
    回复 支持 反对

    使用道具 举报

    该用户从未签到

    36#
    发表于 2024-9-17 11:40:47 | 只看该作者
    moletronic 发表于 2024-9-16 21:373 g$ ^/ c! o% D* g& L
    浸水还是要的,这国产光刻机按公布的指标应该还是没法满足YMTC的全部要求。 ...
    , e& K/ L" R; L
    都说工信部这光刻机不是浸润式,但193nm光源,65nm分辨率,正好是2*1.44倍,是不是太巧了?
    回复 支持 反对

    使用道具 举报

    该用户从未签到

    37#
    发表于 2024-9-17 11:43:29 | 只看该作者
    moletronic 发表于 2024-9-17 10:548 O) M( C% ^2 N6 }& `9 O  J
    按说这个跨越不算大,但Nikon就是浸水没搞定5 S0 Y0 G8 v5 X0 w- `
    所以俺不敢做预测,只敢对已知的做评述 ...
    & s- V  W) m% A2 J
    具体工作中还是有很多细节要克服。例如曝光时照到光的水会比遮蔽区的水热一点,这个温差会让水的密度不均匀,从而折射率不均匀,影响成像。为了避免温差,必须让水快速流动混合,但又要避免产生漩涡或者析出气泡。水可以把所接触物品上的杂质洗下来,带到晶圆上,形成缺陷。当初ASML搞浸润式光刻机时,在浸液系统上与林本坚团队合作,方案修改了7-8回,耗时两年多才取得满意的结果。

    评分

    参与人数 1爱元 +10 学识 +2 收起 理由
    老票 + 10 + 2 涨姿势

    查看全部评分

    回复 支持 反对

    使用道具 举报

  • TA的每日心情
    开心
    2023-2-8 04:51
  • 签到天数: 1811 天

    [LV.Master]无

    38#
     楼主| 发表于 2024-9-17 11:59:49 | 只看该作者
    本帖最后由 moletronic 于 2024-9-16 20:02 编辑 ) a: p( x9 P. c. v* D: o' A8 B
    沉宝 发表于 2024-9-16 19:43; I# k% S8 U7 M% G: `
    具体工作中还是有很多细节要克服。例如曝光时照到光的水会比遮蔽区的水热一点,这个温差会让水的密度不均 ...
    $ `" c2 _2 d5 _6 Y
    ' G* ^8 B3 t* ~
    这当然不容易,不过两年挺快啦,看看牙膏的10nm……
    回复 支持 反对

    使用道具 举报

  • TA的每日心情
    开心
    2023-2-8 04:51
  • 签到天数: 1811 天

    [LV.Master]无

    39#
     楼主| 发表于 2024-9-17 12:01:58 | 只看该作者
    晨枫 发表于 2024-9-16 19:40
    ) U7 w2 ]4 v7 s6 t都说工信部这光刻机不是浸润式,但193nm光源,65nm分辨率,正好是2*1.44倍,是不是太巧了? ...
    & m& ^7 b' Z( C* @* G
    不知道啦,也许是隐晦放风的说法。
    回复 支持 反对

    使用道具 举报

    该用户从未签到

    40#
    发表于 2024-9-17 17:38:39 | 只看该作者
    晨枫 发表于 2024-9-17 11:13/ m- I  q0 |- B1 X1 u. \/ z
    这倒是个问题。都说韩国人拼,看来还是拼不过中国人。台湾人也是中国人嘛。 ...

    % X7 P/ [: A( `0 u' r2 |中国大,各地方人气质不一,各擅胜场。精细活儿江南地方超过东北山东。如此说来,韩国近东北山东,台湾精英是江浙后代。
    回复 支持 反对

    使用道具 举报

    手机版|小黑屋|Archiver|网站错误报告|爱吱声   

    GMT+8, 2025-11-5 18:03 , Processed in 0.059611 second(s), 26 queries , Gzip On.

    Powered by Discuz! X3.2

    © 2001-2013 Comsenz Inc.

    快速回复 返回顶部 返回列表