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楼主: moletronic
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[科普知识] 国产光刻机猜测

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  • TA的每日心情
    慵懒
    2022-8-27 22:14
  • 签到天数: 351 天

    [LV.8]合体

    21#
    发表于 2024-9-17 08:06:46 | 只看该作者
    晨枫 发表于 2024-9-16 14:00
    5 w: P4 E- {7 k1 h6 z也就是说,即使28nm现在还有光刻机瓶颈,其他也都就绪、只欠东风了。这是好事!  g2 N9 J' H8 O8 z6 i

    % I) O* n$ y3 O) _9 q个人感觉:相比于前一阵 ...

    % |. V& @3 r7 j, X9 d7 _' j$ }: S/ e- w1 }# c9 \$ U2 @# y
    这就要西方好好领教什么叫产能过剩了。

    5 u5 ~1 s7 j4 a* B应该会在5年内实现吧。
    1 j2 c/ N) M6 f5 v3 q) u
    6 a* B2 k& i6 f: l7 a微博上有位“沉睡之书11”说的。(不一定准确,可以看看)+ j/ O0 M& N8 m3 A4 w8 V; ]1 y
    24-9-16 23:55
    / r0 M( I) g' Z$ |9 b: [  k' ?发布于 湖南
    : J- P3 g' N: i; O  c, L+ X来自 微博网页版! j! J3 T, J& x0 j
    啊,说过很多次了,#光刻机# 不是挖机) |% [: j( k6 u# _0 V
    不是运过来就能直接开工的。( j. b4 p. @% v, V% F; o, s3 [% M5 R
    他需要调试,需要不断的用,一边用一边调整,等光学畸变稳定——你可以理解为拷机或者汽车发动热机暖机。
    ; _" Q) {! y( i  D& F: ~6 j, x9 h# N- X; G; a  U
    这个时间很长,也是我常年说:" p# H" S% q6 y: Y6 F3 u
    就算今天ASML传送一台EUV给咱,我们拿到第一批量产的芯片流片完(无论7nm,5nm还是多少)起码2年后——这最乐观的2年时间,还得是对EUV非常有经验的顶级工程师来操作优化。, P( L7 w; ~) u. z3 F

    3 I1 B& ?0 f6 k( f& F( s$ i& J现在发布的这台机器是起码3年前就验收了(科工),现在工信部验收推广(产业链),成熟得不行了才拿出来的。你需要,给钱就有,不限量。
    : G3 d% {/ Q: i; \* @1 r3 A2 J; L1 {: O7 i  X- g2 K
    简单理解就是——这机子是干式光刻机,做的是65-55nm的芯片,一次曝光。
    ' M& A3 B. Y0 z. T; Z+ S) e干式光刻机没啥意义,为什么呢?因为改进之后的也可以出产低制程的,向下兼容并且良率更高(成本低方案成熟)
    9 b# Y$ v  F2 O, L' \5 g, d. k: m多重曝光也不是这哥们来做……(我是不清楚干式光刻机有没人搞这个)
    , a# ]4 `- \; D% h但这玩意的光路设计啥的,是成型了的。有了它,就加浸没式透镜,修改物镜,最终成品是目前没有验收但肯定存在某个地方的浸没式光刻机,但起码上线了2年了
    0 w- p* t  D/ p6 A7 W. D4 L2 m9 M$ {0 |7 ~7 p0 y% R( S
    没公布的那个肯定还在不断的调试,修改,更换国产配件。1 ^5 T! a  q: Z
    普通人不用管光刻机啥情况——你就看最终产品就是。/ U% ^4 y: F$ e3 C
    #华为mate70# 也没多久了。7 W8 Z0 U0 {  V4 t

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    这真是极好的: 5.0
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      发表于 2024-9-18 15:38
    给力: 5 涨姿势: 5 这真是极好的: 5
      发表于 2024-9-17 08:38
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  • TA的每日心情
    开心
    2023-2-8 04:51
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    [LV.Master]无

    22#
     楼主| 发表于 2024-9-17 08:15:36 | 只看该作者
    老财迷 发表于 2024-9-16 16:06) R3 u' e- D- b* @$ S. B, c
    应该会在5年内实现吧。+ a, h$ R+ n7 z1 y9 x7 `; ^' }

    / X" k0 Q, s& `$ Q0 N: r$ c微博上有位“沉睡之书11”说的。(不一定准确,可以看看)
    / c! E+ q( e; M7 |8 i2 Q

    $ |' c# K9 o- w# T: R4 Z, s2 E这个有点扯,新机到货后肯定要调试的,但绝对用不了两年的时间。

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    以你说的为准 :)  发表于 2024-9-17 15:27

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    23#
    发表于 2024-9-17 08:39:20 | 只看该作者
    moletronic 发表于 2024-9-16 18:15
    4 W: _+ a) U" T: @/ L7 [" o  o这个有点扯,新机到货后肯定要调试的,但绝对用不了两年的时间。

    ; J9 \# O9 k1 `& u但干式到浸润的步子没那么大,这说对了吗?
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  • TA的每日心情
    开心
    2023-2-8 04:51
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    [LV.Master]无

    24#
     楼主| 发表于 2024-9-17 10:54:17 | 只看该作者
    本帖最后由 moletronic 于 2024-9-16 18:56 编辑 ( W9 y$ D' p3 {. |  o4 \/ G
    晨枫 发表于 2024-9-16 16:399 J' h" A$ F6 z# y- a: ~& }
    但干式到浸润的步子没那么大,这说对了吗?

    " r2 v% D7 q1 ?' s( q; j9 I1 z& R! D; P2 l0 z1 l3 J9 T6 P* }) ~( g
    按说这个跨越不算大,但Nikon就是浸水没搞定& Y. e$ u# Y4 U$ b
    所以俺不敢做预测,只敢对已知的做评述

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    25#
    发表于 2024-9-17 11:08:25 | 只看该作者
    晨枫 发表于 2024-9-17 03:34% I, v: R/ C0 I- {- q
    不过EUV制作7nm可以轻易一次曝光,产率和良率应该提高很多?
    & F4 q) z) V. x* V& Y0 c* B4 |
    理论上是这样。但制造芯片是个复杂的过程,需要各方面不断打磨,才能接近理想的结果。现实中的例子,台积电用193nm光刻机率先量产7nm,三星则以更先进的EUV光刻机应战,由于对新型光刻机的熟悉不足,结果良率低下,很多人抛弃三星。最后三星赔本赚吆喝,开出比台积电低30%的代工费用,才勉强留下大客户。

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      发表于 2024-9-17 15:28

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    26#
    发表于 2024-9-17 11:13:01 | 只看该作者
    moletronic 发表于 2024-9-16 20:54) g' k. J  w' f- Q( i6 ]
    按说这个跨越不算大,但Nikon就是浸水没搞定
    : c: X) U2 G3 _7 u所以俺不敢做预测,只敢对已知的做评述 ...

    / D$ ~  B% W* ~1 e+ @0 t有道理。5 J/ P  B' |: d( v9 l) I+ m& I

    6 g5 Q& `4 c$ t! l6 b' K不过现在看尼康和佳能的光刻机,总有感觉他们已经三心二意了。既然干不过阿斯麦,就用最小投资吊着。不退场,但也不全力以赴。) w. H; V; B# H  N# ~+ ^! h9 _
    " K7 Y* |. V; d; _
    中国肯定是全力以赴的。而且倾国之力肯定大于尼康、佳能。
    * X- I, b9 {/ s6 B' X2 Z
    4 W3 T5 ]; [! w8 e. P这会有差别吗?
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    27#
    发表于 2024-9-17 11:13:37 | 只看该作者
    沉宝 发表于 2024-9-16 21:08
    ' `2 ^: E+ P% M5 T! Q9 q( o理论上是这样。但制造芯片是个复杂的过程,需要各方面不断打磨,才能接近理想的结果。现实中的例子,台积 ...

    ' q3 u" W' i5 l, j& i) n! B  j这倒是个问题。都说韩国人拼,看来还是拼不过中国人。台湾人也是中国人嘛。
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    28#
    发表于 2024-9-17 11:19:08 | 只看该作者
    moletronic 发表于 2024-9-17 10:543 M3 i- |9 u6 Z/ \0 w) }" \
    按说这个跨越不算大,但Nikon就是浸水没搞定
    ) ^( W7 H. S' m" _6 [所以俺不敢做预测,只敢对已知的做评述 ...

    ' b+ x4 m1 f5 V3 e还没搞定? - {- G1 d2 I4 G8 c
    我可能是09年去给Nikon做实验,他们想搞明白光刻机里面为什么会产生微气泡,想买个做实验的系统。我在的小破公司搭了一个,然后过去一起做,看能不能用。那个时候估计还是早期,这些基础的问题都没个数。做了几个实验,证明可以捕捉到微气泡发生,成长和运动的轨迹,我就撤了。这都十五年过去了。
    ) s/ y9 P" o6 Q: @9 m+ m尼康那时候已经有点不灵的迹象,食堂里面睡满了安装队的人。正常的话那些人都是满世界跑给别人装机器的。
    5 s" s! \; v" V+ Q- V* r/ ?

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    坛里藏龙卧虎啊  发表于 2024-9-17 15:31

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    29#
    发表于 2024-9-17 11:21:47 | 只看该作者
    moletronic 发表于 2024-9-16 20:54
    # H; N8 s0 `1 o* Z* V$ U5 L按说这个跨越不算大,但Nikon就是浸水没搞定: z% Q$ e: C0 `$ R( D
    所以俺不敢做预测,只敢对已知的做评述 ...

    - q) ?1 _+ A+ G突然想起来:现在就聚焦于逻辑芯片,存储芯片用的芯片技术一样吗?前一段听说长江还是谁的128还是256层NAND也被卡了,因为光刻机的事,这说法准确吗?高端NAND需要多少nm节点的光刻机?
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    30#
    发表于 2024-9-17 11:23:33 | 只看该作者
    晨枫 发表于 2024-9-17 11:13; T8 C+ H. _) u" S& L2 i
    有道理。( K1 J! x1 o9 ~& B: r" y

    * V4 n  k1 R$ R- X5 Y: V, G' m不过现在看尼康和佳能的光刻机,总有感觉他们已经三心二意了。既然干不过阿斯麦,就用最小投资 ...
    $ a( t. _' n* B+ ^
    可能是真没钱投资了。这些钱政府应该赞助的,可是政府也难呐,到处都是嗷嗷待哺的嘴,捉了个虫也不知道塞哪张嘴里。
    : b$ g4 j0 |) m3 }* R很多年前日本媒体评价日本财政用了很形象的词,叫硬直化。所有的钱都有定好的用处,几乎没有活动钱。需要财政支持的时候十分狼狈。该做的事情做不了,钱全都拿去维持日常运转了。

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      发表于 2024-9-17 15:32

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    31#
     楼主| 发表于 2024-9-17 11:28:54 | 只看该作者
    本帖最后由 moletronic 于 2024-9-16 19:33 编辑 3 `3 I+ m1 H* _
    雷声 发表于 2024-9-16 19:19
    8 @1 I) ~& d; g9 D( V/ K还没搞定? * y  A6 S* {. f
    我可能是09年去给Nikon做实验,他们想搞明白光刻机里面为什么会产生微气泡,想买个做实验的 ...
    6 T+ B) P0 j. a4 J  Z. _3 w

    3 H# s) D' [0 X& j. f# HNikon是稳定性不行,被牙膏退货后就没人再买。疫情前去开spie的会,Nikon还吹牛自己行了,但主流客户没人用。2 N3 t8 l* g4 S( I4 }$ n4 j; E5 L
    有网上谣言说华为买了些Nikon自己魔改做出了9100…俺比较怀疑真实性。
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    2023-2-8 04:51
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    [LV.Master]无

    32#
     楼主| 发表于 2024-9-17 11:31:01 | 只看该作者
    晨枫 发表于 2024-9-16 19:21/ Q+ ?9 p5 T1 W, u3 P0 X& q( \& e
    突然想起来:现在就聚焦于逻辑芯片,存储芯片用的芯片技术一样吗?前一段听说长江还是谁的128还是256层NA ...
    8 W- I) |5 @  \  x9 |9 w  ]. i
    存储和逻辑的工艺重点不一样,节点体系也不同。存储那边现在还没上EUV。
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    33#
    发表于 2024-9-17 11:34:00 | 只看该作者
    moletronic 发表于 2024-9-16 21:31
    ) q* W) p) R, Z! b2 m  d( f3 }存储和逻辑的工艺重点不一样,节点体系也不同。存储那边现在还没上EUV。 ...
    , w3 m9 s0 q% z/ i
    需要用到浸润DUV吗?
    8 @7 Z2 |) H# Z% m2 Z* d- {. T
    $ F  U( W# w3 S6 }1 g我的问题其实是:65nm光刻机能解决国内NAND厂的设备禁运问题吗?
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    开心
    2023-2-8 04:51
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    [LV.Master]无

    34#
     楼主| 发表于 2024-9-17 11:37:50 | 只看该作者
    晨枫 发表于 2024-9-16 19:34  V- U: g& c. u
    需要用到浸润DUV吗?
    & s7 F: a) U2 u4 x  T) A! ~, S$ z/ P1 @9 t+ q
    我的问题其实是:65nm光刻机能解决国内NAND厂的设备禁运问题吗? ...
    4 U* a+ ]. o  I# A: l+ L7 H
    浸水还是要的,这国产光刻机按公布的指标应该还是没法满足YMTC的全部要求。
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    35#
    发表于 2024-9-17 11:38:06 | 只看该作者
    雷声 发表于 2024-9-16 21:23+ [3 y% _" r) F
    可能是真没钱投资了。这些钱政府应该赞助的,可是政府也难呐,到处都是嗷嗷待哺的嘴,捉了个虫也不知道塞 ...
    3 B+ k4 @  _3 R# Y& D& S2 G
    是的,需要钱的地方太多,但光刻机和芯片可能是不计代价砸钱的方向,优先级比谁都高。这个瓶颈突破后,不只是军事、科技上的阳关道,经济上也是大片的处女地啊。
    # l6 t) I5 g; c! |; m1 _/ ]- [$ h) {
    硬直化很形象。确实,西方家大业大,花钱手笔也大,但每一笔钱都预定了用处,活动余地真心很小。你看看美国在预算削减时那个鸡飞狗跳,就知道真是谁都动不得。“平均剃头”是公认的最坏选择,但是唯一大家可接受的选择。
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    36#
    发表于 2024-9-17 11:40:47 | 只看该作者
    moletronic 发表于 2024-9-16 21:37
    % a/ r, l, ^2 q4 a" J5 a% u( M浸水还是要的,这国产光刻机按公布的指标应该还是没法满足YMTC的全部要求。 ...

    , w" s6 X: B2 R! |+ r都说工信部这光刻机不是浸润式,但193nm光源,65nm分辨率,正好是2*1.44倍,是不是太巧了?
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    37#
    发表于 2024-9-17 11:43:29 | 只看该作者
    moletronic 发表于 2024-9-17 10:54
      `# s" }: c; v0 q& c$ P按说这个跨越不算大,但Nikon就是浸水没搞定2 O; y' U( y& i4 ?
    所以俺不敢做预测,只敢对已知的做评述 ...
    ' x2 \( K) ?. f( ^# C1 ~
    具体工作中还是有很多细节要克服。例如曝光时照到光的水会比遮蔽区的水热一点,这个温差会让水的密度不均匀,从而折射率不均匀,影响成像。为了避免温差,必须让水快速流动混合,但又要避免产生漩涡或者析出气泡。水可以把所接触物品上的杂质洗下来,带到晶圆上,形成缺陷。当初ASML搞浸润式光刻机时,在浸液系统上与林本坚团队合作,方案修改了7-8回,耗时两年多才取得满意的结果。

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  • TA的每日心情
    开心
    2023-2-8 04:51
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    38#
     楼主| 发表于 2024-9-17 11:59:49 | 只看该作者
    本帖最后由 moletronic 于 2024-9-16 20:02 编辑
    8 c( j. F* \2 u9 M/ e' r
    沉宝 发表于 2024-9-16 19:430 q) n& ^: [. S9 R& T* \7 m
    具体工作中还是有很多细节要克服。例如曝光时照到光的水会比遮蔽区的水热一点,这个温差会让水的密度不均 ...
    , c# @& [# H8 D- K( w: _0 H

    + i, @- P5 j9 A6 D- Q这当然不容易,不过两年挺快啦,看看牙膏的10nm……
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  • TA的每日心情
    开心
    2023-2-8 04:51
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    39#
     楼主| 发表于 2024-9-17 12:01:58 | 只看该作者
    晨枫 发表于 2024-9-16 19:408 z8 h/ a7 |$ D$ s* `! X% B0 k3 N
    都说工信部这光刻机不是浸润式,但193nm光源,65nm分辨率,正好是2*1.44倍,是不是太巧了? ...
      n. S! p9 j/ `' H
    不知道啦,也许是隐晦放风的说法。
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    40#
    发表于 2024-9-17 17:38:39 | 只看该作者
    晨枫 发表于 2024-9-17 11:13
    . j7 ^) y6 H9 d* I8 e+ U& |* {+ q这倒是个问题。都说韩国人拼,看来还是拼不过中国人。台湾人也是中国人嘛。 ...

    / O& g8 W# C; T: b* W中国大,各地方人气质不一,各擅胜场。精细活儿江南地方超过东北山东。如此说来,韩国近东北山东,台湾精英是江浙后代。
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