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[科普知识] 国产光刻机猜测

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  • TA的每日心情
    慵懒
    2022-8-27 22:14
  • 签到天数: 351 天

    [LV.8]合体

    21#
    发表于 2024-9-17 08:06:46 | 只看该作者
    晨枫 发表于 2024-9-16 14:00
    ( ~; }8 g; C# M, }. }也就是说,即使28nm现在还有光刻机瓶颈,其他也都就绪、只欠东风了。这是好事!
    ' j2 M. n$ o( @8 N3 M2 F. I& J7 B* V9 b9 w/ b6 D7 B# i
    个人感觉:相比于前一阵 ...

    / n1 v" r/ W8 \/ _& g  o% k7 l+ F
    - B; f$ l. {  _+ C
    这就要西方好好领教什么叫产能过剩了。
    ; p8 ~3 _- _$ V( C8 I
    应该会在5年内实现吧。, ]0 M% H& o! `+ [. P

    / p' y- Q! j6 [2 q1 ?4 O( D4 w/ _6 j" \微博上有位“沉睡之书11”说的。(不一定准确,可以看看)
    7 G& M4 E0 C1 q* Z24-9-16 23:55) l6 R, C& n* z4 T9 p* p& K# M
    发布于 湖南
    : M" S* d  z7 \3 D0 @来自 微博网页版" T6 `8 j- L$ p- _1 Y
    啊,说过很多次了,#光刻机# 不是挖机( Y* X' N5 c5 i
    不是运过来就能直接开工的。
    & }' I- A6 \/ D- G他需要调试,需要不断的用,一边用一边调整,等光学畸变稳定——你可以理解为拷机或者汽车发动热机暖机。
    # Y& \2 N0 d' }1 O! k
    ( k, [& f" H. R1 u. _这个时间很长,也是我常年说:# r! _" O$ i3 F- V; f" F% l
    就算今天ASML传送一台EUV给咱,我们拿到第一批量产的芯片流片完(无论7nm,5nm还是多少)起码2年后——这最乐观的2年时间,还得是对EUV非常有经验的顶级工程师来操作优化。, z  \6 d& b8 V& N
    . \+ Q8 j1 t1 w* X, H/ i
    现在发布的这台机器是起码3年前就验收了(科工),现在工信部验收推广(产业链),成熟得不行了才拿出来的。你需要,给钱就有,不限量。) A  [0 p6 y2 T
    0 H- C" r. R3 x0 q
    简单理解就是——这机子是干式光刻机,做的是65-55nm的芯片,一次曝光。+ g9 b7 f8 b- d
    干式光刻机没啥意义,为什么呢?因为改进之后的也可以出产低制程的,向下兼容并且良率更高(成本低方案成熟)0 a/ @5 b% O( H& q
    多重曝光也不是这哥们来做……(我是不清楚干式光刻机有没人搞这个)
    . j8 n8 b' }/ X5 E# C但这玩意的光路设计啥的,是成型了的。有了它,就加浸没式透镜,修改物镜,最终成品是目前没有验收但肯定存在某个地方的浸没式光刻机,但起码上线了2年了5 K9 e7 v; K" r) U% y' z0 K

    ) J) @+ A: R( q- z1 ^; Q没公布的那个肯定还在不断的调试,修改,更换国产配件。
    ( j( P' ^" x0 q7 w& s普通人不用管光刻机啥情况——你就看最终产品就是。
    8 g+ ?1 Z. T# K1 m8 y+ u#华为mate70# 也没多久了。; L- }5 o, D. b+ V! _3 \

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    这真是极好的: 5.0
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      发表于 2024-9-18 15:38
    给力: 5 涨姿势: 5 这真是极好的: 5
      发表于 2024-9-17 08:38
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  • TA的每日心情
    开心
    2023-2-8 04:51
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    [LV.Master]无

    22#
     楼主| 发表于 2024-9-17 08:15:36 | 只看该作者
    老财迷 发表于 2024-9-16 16:06
    $ Q8 Y( ?8 Q( g# @应该会在5年内实现吧。
    3 ~8 H2 [, `( m2 q; p/ p" u+ |& |' M$ g4 z  @" o
    微博上有位“沉睡之书11”说的。(不一定准确,可以看看)

    9 H& p9 y( l( q2 N2 I, w( Y' h) c
    这个有点扯,新机到货后肯定要调试的,但绝对用不了两年的时间。

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    以你说的为准 :)  发表于 2024-9-17 15:27

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    23#
    发表于 2024-9-17 08:39:20 | 只看该作者
    moletronic 发表于 2024-9-16 18:15
    + p$ t' L) `1 m- @这个有点扯,新机到货后肯定要调试的,但绝对用不了两年的时间。

    9 x% e* E& @+ S: ^但干式到浸润的步子没那么大,这说对了吗?
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  • TA的每日心情
    开心
    2023-2-8 04:51
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    [LV.Master]无

    24#
     楼主| 发表于 2024-9-17 10:54:17 | 只看该作者
    本帖最后由 moletronic 于 2024-9-16 18:56 编辑
    7 f2 \  ^; S$ _6 w; l% O5 X" A) z7 q
    晨枫 发表于 2024-9-16 16:39
    # ?# e- s& V" W" }( d1 \但干式到浸润的步子没那么大,这说对了吗?
    , j% v+ z# q& E# c# h, P! b
    * @0 c: a' z% X9 p# L4 E( j& J1 q
    按说这个跨越不算大,但Nikon就是浸水没搞定% H' u% d" h  S7 n
    所以俺不敢做预测,只敢对已知的做评述

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    25#
    发表于 2024-9-17 11:08:25 | 只看该作者
    晨枫 发表于 2024-9-17 03:349 N' C% h* ?' ~( B, z& h5 g  `  |
    不过EUV制作7nm可以轻易一次曝光,产率和良率应该提高很多?

    ( P) O/ Q. V& c) a: e  q理论上是这样。但制造芯片是个复杂的过程,需要各方面不断打磨,才能接近理想的结果。现实中的例子,台积电用193nm光刻机率先量产7nm,三星则以更先进的EUV光刻机应战,由于对新型光刻机的熟悉不足,结果良率低下,很多人抛弃三星。最后三星赔本赚吆喝,开出比台积电低30%的代工费用,才勉强留下大客户。

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      发表于 2024-9-17 15:28

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    26#
    发表于 2024-9-17 11:13:01 | 只看该作者
    moletronic 发表于 2024-9-16 20:54
      J5 S3 u& C9 N9 {, t4 {0 q按说这个跨越不算大,但Nikon就是浸水没搞定
    ; @% k2 O- w# i5 {: W" J4 I) ~所以俺不敢做预测,只敢对已知的做评述 ...

    . O/ y/ T% @0 p$ \( v+ x9 A; Z4 ^有道理。
    9 @  f; P1 ]; d( u+ g# ?
    - p7 i+ q' D, i+ H2 |% `9 o不过现在看尼康和佳能的光刻机,总有感觉他们已经三心二意了。既然干不过阿斯麦,就用最小投资吊着。不退场,但也不全力以赴。; I* A7 d' Q1 m4 {" N
    * H8 ]. }/ a5 V9 G6 C% L
    中国肯定是全力以赴的。而且倾国之力肯定大于尼康、佳能。
    ! f, f, n4 z0 V; a' g6 ]! d; f2 B. j) o. J& L$ Z; n7 T' B
    这会有差别吗?
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    27#
    发表于 2024-9-17 11:13:37 | 只看该作者
    沉宝 发表于 2024-9-16 21:08
    ) ^$ j4 B7 N* H1 l( |理论上是这样。但制造芯片是个复杂的过程,需要各方面不断打磨,才能接近理想的结果。现实中的例子,台积 ...

    1 D( J/ k: {; ^' Y3 m) o) Z这倒是个问题。都说韩国人拼,看来还是拼不过中国人。台湾人也是中国人嘛。
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    28#
    发表于 2024-9-17 11:19:08 | 只看该作者
    moletronic 发表于 2024-9-17 10:544 e' C) W( g+ u+ a# g
    按说这个跨越不算大,但Nikon就是浸水没搞定1 R" m! I9 K& Q1 q% h$ O: }
    所以俺不敢做预测,只敢对已知的做评述 ...
    3 |% C6 D; e& P. t% J
    还没搞定? ( T) f8 T% h, j$ m6 v# S8 I: x5 b
    我可能是09年去给Nikon做实验,他们想搞明白光刻机里面为什么会产生微气泡,想买个做实验的系统。我在的小破公司搭了一个,然后过去一起做,看能不能用。那个时候估计还是早期,这些基础的问题都没个数。做了几个实验,证明可以捕捉到微气泡发生,成长和运动的轨迹,我就撤了。这都十五年过去了。
    3 r; j. [( `* F$ q5 h9 B尼康那时候已经有点不灵的迹象,食堂里面睡满了安装队的人。正常的话那些人都是满世界跑给别人装机器的。. P$ ?. S8 O# ?) x

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    坛里藏龙卧虎啊  发表于 2024-9-17 15:31

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    29#
    发表于 2024-9-17 11:21:47 | 只看该作者
    moletronic 发表于 2024-9-16 20:546 |9 ]+ Q: m$ v. s4 W8 v7 ]& U
    按说这个跨越不算大,但Nikon就是浸水没搞定
    ! |6 M* T( Q/ v. M; D( \所以俺不敢做预测,只敢对已知的做评述 ...

    2 \8 R; H1 W5 }$ P) N1 m突然想起来:现在就聚焦于逻辑芯片,存储芯片用的芯片技术一样吗?前一段听说长江还是谁的128还是256层NAND也被卡了,因为光刻机的事,这说法准确吗?高端NAND需要多少nm节点的光刻机?
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    30#
    发表于 2024-9-17 11:23:33 | 只看该作者
    晨枫 发表于 2024-9-17 11:13
    2 |; Q: k; W' r7 I. y有道理。. U' L7 T4 a! g) u, u- J& P

    " t. X$ D% A- N. D+ z  C3 w/ D% A) x不过现在看尼康和佳能的光刻机,总有感觉他们已经三心二意了。既然干不过阿斯麦,就用最小投资 ...
    ! W  W/ a) t5 h2 s" Z; X8 G! I
    可能是真没钱投资了。这些钱政府应该赞助的,可是政府也难呐,到处都是嗷嗷待哺的嘴,捉了个虫也不知道塞哪张嘴里。
    ; s3 n2 \1 X  d, d很多年前日本媒体评价日本财政用了很形象的词,叫硬直化。所有的钱都有定好的用处,几乎没有活动钱。需要财政支持的时候十分狼狈。该做的事情做不了,钱全都拿去维持日常运转了。

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      发表于 2024-9-17 15:32

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    31#
     楼主| 发表于 2024-9-17 11:28:54 | 只看该作者
    本帖最后由 moletronic 于 2024-9-16 19:33 编辑 1 F/ n3 E  L+ O1 ?1 u; H3 u
    雷声 发表于 2024-9-16 19:19
    + K: h+ X( \8 c4 f! W  m  O还没搞定?
    % T( r0 C# [1 e1 f) p$ g我可能是09年去给Nikon做实验,他们想搞明白光刻机里面为什么会产生微气泡,想买个做实验的 ...
    ' I4 b+ T5 v) @  o& N
    , ^* i, p2 j( L) X7 i. W% E
    Nikon是稳定性不行,被牙膏退货后就没人再买。疫情前去开spie的会,Nikon还吹牛自己行了,但主流客户没人用。+ R) w1 ^9 i! |
    有网上谣言说华为买了些Nikon自己魔改做出了9100…俺比较怀疑真实性。
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    2023-2-8 04:51
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    32#
     楼主| 发表于 2024-9-17 11:31:01 | 只看该作者
    晨枫 发表于 2024-9-16 19:21+ B2 V4 g( r" M) S( G
    突然想起来:现在就聚焦于逻辑芯片,存储芯片用的芯片技术一样吗?前一段听说长江还是谁的128还是256层NA ...
    5 ~' }: M! N2 r7 M4 i% ^
    存储和逻辑的工艺重点不一样,节点体系也不同。存储那边现在还没上EUV。
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    33#
    发表于 2024-9-17 11:34:00 | 只看该作者
    moletronic 发表于 2024-9-16 21:31; g( A7 c) D* p
    存储和逻辑的工艺重点不一样,节点体系也不同。存储那边现在还没上EUV。 ...
    2 W$ w: [5 T! M% E6 U
    需要用到浸润DUV吗?
    ! z9 K, l2 _" U" P0 _; K5 ?
    , a6 j, f; t1 [我的问题其实是:65nm光刻机能解决国内NAND厂的设备禁运问题吗?
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    开心
    2023-2-8 04:51
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    [LV.Master]无

    34#
     楼主| 发表于 2024-9-17 11:37:50 | 只看该作者
    晨枫 发表于 2024-9-16 19:34
    $ N  [+ d2 H7 X( F& y7 n5 G2 l需要用到浸润DUV吗?
    7 {3 ?3 @4 Q" @' c. p) b( V4 ^+ [! |
    我的问题其实是:65nm光刻机能解决国内NAND厂的设备禁运问题吗? ...

    ; d# m/ L1 r; T- Y- l7 P1 E  V6 n浸水还是要的,这国产光刻机按公布的指标应该还是没法满足YMTC的全部要求。
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    35#
    发表于 2024-9-17 11:38:06 | 只看该作者
    雷声 发表于 2024-9-16 21:23
    6 J# A" e, i$ n3 p可能是真没钱投资了。这些钱政府应该赞助的,可是政府也难呐,到处都是嗷嗷待哺的嘴,捉了个虫也不知道塞 ...
    ! u* w9 i6 b- h
    是的,需要钱的地方太多,但光刻机和芯片可能是不计代价砸钱的方向,优先级比谁都高。这个瓶颈突破后,不只是军事、科技上的阳关道,经济上也是大片的处女地啊。+ L( M  M; v1 }4 Z
    " W( L% G. `0 L0 o+ R2 I
    硬直化很形象。确实,西方家大业大,花钱手笔也大,但每一笔钱都预定了用处,活动余地真心很小。你看看美国在预算削减时那个鸡飞狗跳,就知道真是谁都动不得。“平均剃头”是公认的最坏选择,但是唯一大家可接受的选择。
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    36#
    发表于 2024-9-17 11:40:47 | 只看该作者
    moletronic 发表于 2024-9-16 21:37
    ' _$ ~8 c* c( x+ X7 J/ E) M% s" s, L浸水还是要的,这国产光刻机按公布的指标应该还是没法满足YMTC的全部要求。 ...

    ; T0 J+ @7 }# K  J/ i都说工信部这光刻机不是浸润式,但193nm光源,65nm分辨率,正好是2*1.44倍,是不是太巧了?
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    37#
    发表于 2024-9-17 11:43:29 | 只看该作者
    moletronic 发表于 2024-9-17 10:548 R% x# n0 b% ]
    按说这个跨越不算大,但Nikon就是浸水没搞定% R. b- Y9 O' ?
    所以俺不敢做预测,只敢对已知的做评述 ...
    $ m" f% H6 L' I
    具体工作中还是有很多细节要克服。例如曝光时照到光的水会比遮蔽区的水热一点,这个温差会让水的密度不均匀,从而折射率不均匀,影响成像。为了避免温差,必须让水快速流动混合,但又要避免产生漩涡或者析出气泡。水可以把所接触物品上的杂质洗下来,带到晶圆上,形成缺陷。当初ASML搞浸润式光刻机时,在浸液系统上与林本坚团队合作,方案修改了7-8回,耗时两年多才取得满意的结果。

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  • TA的每日心情
    开心
    2023-2-8 04:51
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    38#
     楼主| 发表于 2024-9-17 11:59:49 | 只看该作者
    本帖最后由 moletronic 于 2024-9-16 20:02 编辑
    / E$ C% r% n0 h( t  }: V
    沉宝 发表于 2024-9-16 19:43
    * A) h9 G: G: q5 }0 h具体工作中还是有很多细节要克服。例如曝光时照到光的水会比遮蔽区的水热一点,这个温差会让水的密度不均 ...

    * O$ }; g& x. y) p! L. S& n" a
    $ p2 z- H7 V) g  v3 U; E+ q2 S这当然不容易,不过两年挺快啦,看看牙膏的10nm……
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  • TA的每日心情
    开心
    2023-2-8 04:51
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    39#
     楼主| 发表于 2024-9-17 12:01:58 | 只看该作者
    晨枫 发表于 2024-9-16 19:40
    ' G; r, k9 i( D- p0 ?% q都说工信部这光刻机不是浸润式,但193nm光源,65nm分辨率,正好是2*1.44倍,是不是太巧了? ...
    9 x1 B" ], `# i* a
    不知道啦,也许是隐晦放风的说法。
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    40#
    发表于 2024-9-17 17:38:39 | 只看该作者
    晨枫 发表于 2024-9-17 11:13: q* m7 W! \6 K* E
    这倒是个问题。都说韩国人拼,看来还是拼不过中国人。台湾人也是中国人嘛。 ...
    ; }4 X* J. N( {, k$ ]4 c$ N( l
    中国大,各地方人气质不一,各擅胜场。精细活儿江南地方超过东北山东。如此说来,韩国近东北山东,台湾精英是江浙后代。
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