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[科普知识] 国产光刻机猜测

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  • TA的每日心情
    慵懒
    2022-8-27 22:14
  • 签到天数: 351 天

    [LV.8]合体

    21#
    发表于 2024-9-17 08:06:46 | 只看该作者
    晨枫 发表于 2024-9-16 14:00
    # |2 R) }) R& Q  ~4 t3 N9 O% w也就是说,即使28nm现在还有光刻机瓶颈,其他也都就绪、只欠东风了。这是好事!
    5 j2 h/ K0 I8 D3 b$ ^$ E
    , |3 A7 C/ p$ R$ e个人感觉:相比于前一阵 ...
    + ~& l" O+ p, d3 D. m* P; _

    2 o- T# ~  |8 E) S3 ?% v
    这就要西方好好领教什么叫产能过剩了。

      _% q4 W: Q& E应该会在5年内实现吧。
    ! o5 `. l: D! g. N7 A1 e0 F  g, h6 T# Q
    微博上有位“沉睡之书11”说的。(不一定准确,可以看看)
    + @7 z% A  {  p% q) `7 |$ f; H24-9-16 23:55. e9 f/ N( g' \8 ^; o8 m, `
    发布于 湖南2 r. ^5 R) u* g6 G$ H
    来自 微博网页版
    + F( o8 Z, i6 K; ^- B啊,说过很多次了,#光刻机# 不是挖机7 }8 e+ D* a  L5 |: g
    不是运过来就能直接开工的。- O  X: z7 m- ?7 B; `
    他需要调试,需要不断的用,一边用一边调整,等光学畸变稳定——你可以理解为拷机或者汽车发动热机暖机。
    : Q. R8 A' y! t
    ' i9 V1 i7 Z$ q这个时间很长,也是我常年说:6 R  i% b( t) U5 i" f) I
    就算今天ASML传送一台EUV给咱,我们拿到第一批量产的芯片流片完(无论7nm,5nm还是多少)起码2年后——这最乐观的2年时间,还得是对EUV非常有经验的顶级工程师来操作优化。$ s1 A- O6 `, ~9 M' {

    1 f/ g) _2 |, K1 l% p, a现在发布的这台机器是起码3年前就验收了(科工),现在工信部验收推广(产业链),成熟得不行了才拿出来的。你需要,给钱就有,不限量。
    0 x" j# g3 a* b5 ^1 v. }# s# ^, X1 E5 c$ r
    简单理解就是——这机子是干式光刻机,做的是65-55nm的芯片,一次曝光。* _3 l: I" \: B: \; y% k% E
    干式光刻机没啥意义,为什么呢?因为改进之后的也可以出产低制程的,向下兼容并且良率更高(成本低方案成熟)
    ) y) c& R  f3 D6 _5 R$ Q多重曝光也不是这哥们来做……(我是不清楚干式光刻机有没人搞这个)! y- p' j' i6 i5 |. z
    但这玩意的光路设计啥的,是成型了的。有了它,就加浸没式透镜,修改物镜,最终成品是目前没有验收但肯定存在某个地方的浸没式光刻机,但起码上线了2年了$ J5 O! s! K1 ^! X8 a' {. o3 j5 X& p
      z, v  X+ {7 h- I: s" q
    没公布的那个肯定还在不断的调试,修改,更换国产配件。1 i" O1 _4 R$ {8 I/ w6 C
    普通人不用管光刻机啥情况——你就看最终产品就是。$ z' n' q( f7 [3 t. k( _4 T! c
    #华为mate70# 也没多久了。
    ; }6 Z% `8 x, L, X

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    这真是极好的: 5.0
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      发表于 2024-9-18 15:38
    给力: 5 涨姿势: 5 这真是极好的: 5
      发表于 2024-9-17 08:38
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  • TA的每日心情
    开心
    2023-2-8 04:51
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    [LV.Master]无

    22#
     楼主| 发表于 2024-9-17 08:15:36 | 只看该作者
    老财迷 发表于 2024-9-16 16:06
    5 Z2 L, L( L& s0 z9 r  H0 b应该会在5年内实现吧。% D: Q8 s# k" w! h

    2 S+ ~7 \) P: a; h+ u微博上有位“沉睡之书11”说的。(不一定准确,可以看看)
    6 R+ J- ]! Y8 t3 `7 F8 t/ R

    1 u: t  s# ^6 l. u  _( q这个有点扯,新机到货后肯定要调试的,但绝对用不了两年的时间。

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    以你说的为准 :)  发表于 2024-9-17 15:27

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    23#
    发表于 2024-9-17 08:39:20 | 只看该作者
    moletronic 发表于 2024-9-16 18:15
    . z% W- r$ L- H8 F4 ^这个有点扯,新机到货后肯定要调试的,但绝对用不了两年的时间。

    1 E! @& r% L: ~+ l3 a5 D1 K但干式到浸润的步子没那么大,这说对了吗?
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  • TA的每日心情
    开心
    2023-2-8 04:51
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    [LV.Master]无

    24#
     楼主| 发表于 2024-9-17 10:54:17 | 只看该作者
    本帖最后由 moletronic 于 2024-9-16 18:56 编辑
    # N5 M: Y  Z  k
    晨枫 发表于 2024-9-16 16:39
    ) E( P$ z& b2 ~6 P( N/ S但干式到浸润的步子没那么大,这说对了吗?
    " T! H+ a' D$ ]$ J: v

    ' {6 r& ~& P4 y" t' k按说这个跨越不算大,但Nikon就是浸水没搞定6 {7 D3 x2 ]) D7 I0 g
    所以俺不敢做预测,只敢对已知的做评述

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    25#
    发表于 2024-9-17 11:08:25 | 只看该作者
    晨枫 发表于 2024-9-17 03:34
    8 ~, l4 ~% b1 X+ P; W不过EUV制作7nm可以轻易一次曝光,产率和良率应该提高很多?
    7 f) ?% N9 M" r
    理论上是这样。但制造芯片是个复杂的过程,需要各方面不断打磨,才能接近理想的结果。现实中的例子,台积电用193nm光刻机率先量产7nm,三星则以更先进的EUV光刻机应战,由于对新型光刻机的熟悉不足,结果良率低下,很多人抛弃三星。最后三星赔本赚吆喝,开出比台积电低30%的代工费用,才勉强留下大客户。

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      发表于 2024-9-17 15:28

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    26#
    发表于 2024-9-17 11:13:01 | 只看该作者
    moletronic 发表于 2024-9-16 20:54
    ! e0 m- ^9 [) ]按说这个跨越不算大,但Nikon就是浸水没搞定) B* l& N. g1 o, J# }
    所以俺不敢做预测,只敢对已知的做评述 ...

    & Q+ ]* E/ p8 Z( U有道理。1 Z0 }7 v+ n* h

    , Z# ]1 h3 `7 f不过现在看尼康和佳能的光刻机,总有感觉他们已经三心二意了。既然干不过阿斯麦,就用最小投资吊着。不退场,但也不全力以赴。( ~2 L% w8 G8 H( y4 r% k
    $ E6 p5 B, w+ e
    中国肯定是全力以赴的。而且倾国之力肯定大于尼康、佳能。
    4 ~' f" J, c2 I5 H" g. z. y- M
    - N! `/ ]/ E7 M这会有差别吗?
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    27#
    发表于 2024-9-17 11:13:37 | 只看该作者
    沉宝 发表于 2024-9-16 21:085 w. {3 V- v0 l$ R: j
    理论上是这样。但制造芯片是个复杂的过程,需要各方面不断打磨,才能接近理想的结果。现实中的例子,台积 ...

    ; F+ l6 z1 n6 k  D这倒是个问题。都说韩国人拼,看来还是拼不过中国人。台湾人也是中国人嘛。
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    28#
    发表于 2024-9-17 11:19:08 | 只看该作者
    moletronic 发表于 2024-9-17 10:54; J3 Y/ H3 ?8 d- j0 j; q9 Q
    按说这个跨越不算大,但Nikon就是浸水没搞定
    2 p9 s( z0 F: W: K所以俺不敢做预测,只敢对已知的做评述 ...

    . W: ^7 j8 g( ?还没搞定?
    5 n( a: J8 g4 p8 D- Y, E% |6 y我可能是09年去给Nikon做实验,他们想搞明白光刻机里面为什么会产生微气泡,想买个做实验的系统。我在的小破公司搭了一个,然后过去一起做,看能不能用。那个时候估计还是早期,这些基础的问题都没个数。做了几个实验,证明可以捕捉到微气泡发生,成长和运动的轨迹,我就撤了。这都十五年过去了。% d, n% K; [3 c& y) ?4 @
    尼康那时候已经有点不灵的迹象,食堂里面睡满了安装队的人。正常的话那些人都是满世界跑给别人装机器的。7 J/ F( Q+ k; M8 O8 v( [, r# v! X

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    坛里藏龙卧虎啊  发表于 2024-9-17 15:31

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    29#
    发表于 2024-9-17 11:21:47 | 只看该作者
    moletronic 发表于 2024-9-16 20:54
    " m; B! o9 ^6 a" \! x% I按说这个跨越不算大,但Nikon就是浸水没搞定
    ' p3 f, u5 ~! e+ e5 ?5 t0 O$ f所以俺不敢做预测,只敢对已知的做评述 ...
    $ T1 h1 L' }  E6 z& G2 u
    突然想起来:现在就聚焦于逻辑芯片,存储芯片用的芯片技术一样吗?前一段听说长江还是谁的128还是256层NAND也被卡了,因为光刻机的事,这说法准确吗?高端NAND需要多少nm节点的光刻机?
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    30#
    发表于 2024-9-17 11:23:33 | 只看该作者
    晨枫 发表于 2024-9-17 11:13) _7 Y% H5 r9 h# |) e
    有道理。
    4 p$ \1 D- n  g2 ^. _& l
    9 w4 q. l: V" E3 _不过现在看尼康和佳能的光刻机,总有感觉他们已经三心二意了。既然干不过阿斯麦,就用最小投资 ...

    2 P2 O; q9 w& V" B) X; d; Q可能是真没钱投资了。这些钱政府应该赞助的,可是政府也难呐,到处都是嗷嗷待哺的嘴,捉了个虫也不知道塞哪张嘴里。
    ) ]% F' h0 W" v很多年前日本媒体评价日本财政用了很形象的词,叫硬直化。所有的钱都有定好的用处,几乎没有活动钱。需要财政支持的时候十分狼狈。该做的事情做不了,钱全都拿去维持日常运转了。

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      发表于 2024-9-17 15:32

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  • TA的每日心情
    开心
    2023-2-8 04:51
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    31#
     楼主| 发表于 2024-9-17 11:28:54 | 只看该作者
    本帖最后由 moletronic 于 2024-9-16 19:33 编辑 8 T, @! v& x8 u% c
    雷声 发表于 2024-9-16 19:190 Q, m" f) D: Q8 v9 h/ [
    还没搞定?
    . [) R/ k3 D$ n: [( s  V我可能是09年去给Nikon做实验,他们想搞明白光刻机里面为什么会产生微气泡,想买个做实验的 ...

    5 S9 W5 f$ {1 H/ m& `5 q- e  Z, i! X9 f6 Q# u
    Nikon是稳定性不行,被牙膏退货后就没人再买。疫情前去开spie的会,Nikon还吹牛自己行了,但主流客户没人用。
    2 \1 p/ f* U5 }( S有网上谣言说华为买了些Nikon自己魔改做出了9100…俺比较怀疑真实性。
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    开心
    2023-2-8 04:51
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    [LV.Master]无

    32#
     楼主| 发表于 2024-9-17 11:31:01 | 只看该作者
    晨枫 发表于 2024-9-16 19:218 G8 v$ H" n0 d4 ]3 @
    突然想起来:现在就聚焦于逻辑芯片,存储芯片用的芯片技术一样吗?前一段听说长江还是谁的128还是256层NA ...

    7 [+ J  P/ t8 F8 H$ F* l+ K9 g存储和逻辑的工艺重点不一样,节点体系也不同。存储那边现在还没上EUV。
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    33#
    发表于 2024-9-17 11:34:00 | 只看该作者
    moletronic 发表于 2024-9-16 21:31
    ! _: C7 P8 F/ X! A* G存储和逻辑的工艺重点不一样,节点体系也不同。存储那边现在还没上EUV。 ...
    $ w1 F4 @  w/ F( U
    需要用到浸润DUV吗?
    0 |8 Z+ D, Z. H0 o# `
    & r9 o6 L6 k- s$ X3 D我的问题其实是:65nm光刻机能解决国内NAND厂的设备禁运问题吗?
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  • TA的每日心情
    开心
    2023-2-8 04:51
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    [LV.Master]无

    34#
     楼主| 发表于 2024-9-17 11:37:50 | 只看该作者
    晨枫 发表于 2024-9-16 19:346 m: t+ ?- @! V( |5 M& u# V
    需要用到浸润DUV吗?
    , B  F' m, w6 ?
    + S" ^& L5 K* U$ }3 Z我的问题其实是:65nm光刻机能解决国内NAND厂的设备禁运问题吗? ...

    ( N- d0 H3 x) A浸水还是要的,这国产光刻机按公布的指标应该还是没法满足YMTC的全部要求。
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    35#
    发表于 2024-9-17 11:38:06 | 只看该作者
    雷声 发表于 2024-9-16 21:23- i; y! P( q8 n# k7 I
    可能是真没钱投资了。这些钱政府应该赞助的,可是政府也难呐,到处都是嗷嗷待哺的嘴,捉了个虫也不知道塞 ...
    ) m( v, \. P" |; K; h* A) J
    是的,需要钱的地方太多,但光刻机和芯片可能是不计代价砸钱的方向,优先级比谁都高。这个瓶颈突破后,不只是军事、科技上的阳关道,经济上也是大片的处女地啊。
    5 q) s8 l' r+ m' n6 |/ ^. w
    + Z. {3 O6 w9 \+ R, R% d硬直化很形象。确实,西方家大业大,花钱手笔也大,但每一笔钱都预定了用处,活动余地真心很小。你看看美国在预算削减时那个鸡飞狗跳,就知道真是谁都动不得。“平均剃头”是公认的最坏选择,但是唯一大家可接受的选择。
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    36#
    发表于 2024-9-17 11:40:47 | 只看该作者
    moletronic 发表于 2024-9-16 21:37
    % r3 q) }6 u, h6 ], x  d* v浸水还是要的,这国产光刻机按公布的指标应该还是没法满足YMTC的全部要求。 ...
    # z7 Y0 {, U5 d; [, T3 E: l
    都说工信部这光刻机不是浸润式,但193nm光源,65nm分辨率,正好是2*1.44倍,是不是太巧了?
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    37#
    发表于 2024-9-17 11:43:29 | 只看该作者
    moletronic 发表于 2024-9-17 10:54
    7 [  d6 @0 F$ G: K9 ^4 F按说这个跨越不算大,但Nikon就是浸水没搞定# v% m; s7 u8 ?) K
    所以俺不敢做预测,只敢对已知的做评述 ...
    ' ?2 ~/ N! F  z( a
    具体工作中还是有很多细节要克服。例如曝光时照到光的水会比遮蔽区的水热一点,这个温差会让水的密度不均匀,从而折射率不均匀,影响成像。为了避免温差,必须让水快速流动混合,但又要避免产生漩涡或者析出气泡。水可以把所接触物品上的杂质洗下来,带到晶圆上,形成缺陷。当初ASML搞浸润式光刻机时,在浸液系统上与林本坚团队合作,方案修改了7-8回,耗时两年多才取得满意的结果。

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  • TA的每日心情
    开心
    2023-2-8 04:51
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    [LV.Master]无

    38#
     楼主| 发表于 2024-9-17 11:59:49 | 只看该作者
    本帖最后由 moletronic 于 2024-9-16 20:02 编辑
    / I! e* B9 I2 h$ \/ v2 d* r
    沉宝 发表于 2024-9-16 19:43* q1 E$ u/ f4 y
    具体工作中还是有很多细节要克服。例如曝光时照到光的水会比遮蔽区的水热一点,这个温差会让水的密度不均 ...
    2 X9 v9 l6 m: q* [* n

    * ^2 d8 L- d+ ^3 A# f! u! y这当然不容易,不过两年挺快啦,看看牙膏的10nm……
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  • TA的每日心情
    开心
    2023-2-8 04:51
  • 签到天数: 1811 天

    [LV.Master]无

    39#
     楼主| 发表于 2024-9-17 12:01:58 | 只看该作者
    晨枫 发表于 2024-9-16 19:40' f- z8 B; e4 o# J% C- B1 P
    都说工信部这光刻机不是浸润式,但193nm光源,65nm分辨率,正好是2*1.44倍,是不是太巧了? ...

    6 d3 ?9 r3 z6 b" U& [! Q不知道啦,也许是隐晦放风的说法。
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    40#
    发表于 2024-9-17 17:38:39 | 只看该作者
    晨枫 发表于 2024-9-17 11:13: J: Z" K% B! ^0 \' F1 A% C) \' ~8 z
    这倒是个问题。都说韩国人拼,看来还是拼不过中国人。台湾人也是中国人嘛。 ...

    4 g/ r/ O! `7 l/ y中国大,各地方人气质不一,各擅胜场。精细活儿江南地方超过东北山东。如此说来,韩国近东北山东,台湾精英是江浙后代。
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