设为首页收藏本站

爱吱声

 找回密码
 注册
搜索
楼主: moletronic
打印 上一主题 下一主题

[科普知识] 国产光刻机猜测

[复制链接]
  • TA的每日心情
    慵懒
    2022-8-27 22:14
  • 签到天数: 351 天

    [LV.8]合体

    21#
    发表于 2024-9-17 08:06:46 | 只看该作者
    晨枫 发表于 2024-9-16 14:00
    $ F! V( Z0 k  T+ Z# _4 k也就是说,即使28nm现在还有光刻机瓶颈,其他也都就绪、只欠东风了。这是好事!
    ) t' W! s( ]- w3 V
    . `- [+ _; X, V0 J" M4 a* v个人感觉:相比于前一阵 ...
    0 [* t$ s+ k2 i: B: y) P
    + Q0 M# {" g3 V8 O
    这就要西方好好领教什么叫产能过剩了。

    1 v: N- M& i1 S4 j& y  B应该会在5年内实现吧。% q3 Q$ R9 Z2 k% C! w
    " w2 N2 \3 d" P: t7 j
    微博上有位“沉睡之书11”说的。(不一定准确,可以看看)/ w  W2 c) l5 ~; P
    24-9-16 23:55+ h9 F7 X2 h+ N. R. S5 m
    发布于 湖南
    $ S( ~9 M$ }4 c3 W来自 微博网页版
    , r( d5 z" ~7 g啊,说过很多次了,#光刻机# 不是挖机
    ) k# L: L' X' \% _' _  L不是运过来就能直接开工的。
    # c+ W, N; _; d. k7 X他需要调试,需要不断的用,一边用一边调整,等光学畸变稳定——你可以理解为拷机或者汽车发动热机暖机。
    , p- F' b* q+ n4 Q  t# Z7 T" J4 R; c+ k+ E
    * K. k2 ~* E( _: e# I% H6 Q1 Q这个时间很长,也是我常年说:1 a) I' n5 o$ U: ?5 H7 e* i/ U
    就算今天ASML传送一台EUV给咱,我们拿到第一批量产的芯片流片完(无论7nm,5nm还是多少)起码2年后——这最乐观的2年时间,还得是对EUV非常有经验的顶级工程师来操作优化。
    / O$ V9 I+ v+ s% z1 V" o9 w/ }3 C1 q% t/ x! w
    现在发布的这台机器是起码3年前就验收了(科工),现在工信部验收推广(产业链),成熟得不行了才拿出来的。你需要,给钱就有,不限量。3 X. R( {6 X4 [- ~

    3 t. q7 ^, E# Z( f3 Q, I7 c2 n1 |简单理解就是——这机子是干式光刻机,做的是65-55nm的芯片,一次曝光。$ c7 y9 S! G- ]6 ]
    干式光刻机没啥意义,为什么呢?因为改进之后的也可以出产低制程的,向下兼容并且良率更高(成本低方案成熟)( Y. A3 u4 n' f, J1 ^  {8 s
    多重曝光也不是这哥们来做……(我是不清楚干式光刻机有没人搞这个)
    1 i0 N/ S* q) W4 z% N但这玩意的光路设计啥的,是成型了的。有了它,就加浸没式透镜,修改物镜,最终成品是目前没有验收但肯定存在某个地方的浸没式光刻机,但起码上线了2年了* b& ^' p4 s! B1 q1 o$ r
    2 G3 `& A6 e. n5 D" P
    没公布的那个肯定还在不断的调试,修改,更换国产配件。
    $ G4 }4 e: d" Y  \2 K( O. p2 p- r- D普通人不用管光刻机啥情况——你就看最终产品就是。) y) O- B5 I* k5 k9 P) J
    #华为mate70# 也没多久了。
    9 p3 o2 ?& D2 V# Z% @

    点评

    给力: 5.0 涨姿势: 5.0
    这真是极好的: 5.0
    涨姿势: 5
      发表于 2024-9-18 15:38
    给力: 5 涨姿势: 5 这真是极好的: 5
      发表于 2024-9-17 08:38
    回复 支持 反对

    使用道具 举报

  • TA的每日心情
    开心
    2023-2-8 04:51
  • 签到天数: 1811 天

    [LV.Master]无

    22#
     楼主| 发表于 2024-9-17 08:15:36 | 只看该作者
    老财迷 发表于 2024-9-16 16:06% q7 f8 n+ S! I! ^" Z! j
    应该会在5年内实现吧。  z7 C/ y+ N& `, ~
    8 |* u- ~* W6 v9 k, c
    微博上有位“沉睡之书11”说的。(不一定准确,可以看看)

    1 t: u" L5 X7 _; ^' ^: [' K+ ^3 E2 R1 _2 e
    这个有点扯,新机到货后肯定要调试的,但绝对用不了两年的时间。

    点评

    油菜: 5.0 给力: 5.0
    油菜: 5 给力: 5
    以你说的为准 :)  发表于 2024-9-17 15:27

    评分

    参与人数 1爱元 +8 收起 理由
    老财迷 + 8

    查看全部评分

    回复 支持 反对

    使用道具 举报

    该用户从未签到

    23#
    发表于 2024-9-17 08:39:20 | 只看该作者
    moletronic 发表于 2024-9-16 18:157 e  [( U, G) b! H! x
    这个有点扯,新机到货后肯定要调试的,但绝对用不了两年的时间。

    / u* r3 S: m, h但干式到浸润的步子没那么大,这说对了吗?
    回复 支持 反对

    使用道具 举报

  • TA的每日心情
    开心
    2023-2-8 04:51
  • 签到天数: 1811 天

    [LV.Master]无

    24#
     楼主| 发表于 2024-9-17 10:54:17 | 只看该作者
    本帖最后由 moletronic 于 2024-9-16 18:56 编辑 ( y7 o8 I' ^4 ?8 H/ h! J
    晨枫 发表于 2024-9-16 16:39
    8 R+ r. D0 @* N6 d但干式到浸润的步子没那么大,这说对了吗?
    1 f1 w4 t3 R8 p% m0 U" p

    - d" g2 ?3 G+ j- J- R* f" `按说这个跨越不算大,但Nikon就是浸水没搞定/ n: @& F- u, Y' d- e
    所以俺不敢做预测,只敢对已知的做评述

    评分

    参与人数 2爱元 +18 学识 +2 收起 理由
    老票 + 10 + 2 给力
    老财迷 + 8 涨姿势

    查看全部评分

    回复 支持 反对

    使用道具 举报

    该用户从未签到

    25#
    发表于 2024-9-17 11:08:25 | 只看该作者
    晨枫 发表于 2024-9-17 03:34
    1 B: h' O5 s! c! w不过EUV制作7nm可以轻易一次曝光,产率和良率应该提高很多?

    7 ]& k2 Z5 p0 I' Z' h( ?. A理论上是这样。但制造芯片是个复杂的过程,需要各方面不断打磨,才能接近理想的结果。现实中的例子,台积电用193nm光刻机率先量产7nm,三星则以更先进的EUV光刻机应战,由于对新型光刻机的熟悉不足,结果良率低下,很多人抛弃三星。最后三星赔本赚吆喝,开出比台积电低30%的代工费用,才勉强留下大客户。

    点评

    油菜: 5.0 涨姿势: 5.0
    油菜: 5 涨姿势: 5
      发表于 2024-9-17 15:28

    评分

    参与人数 1爱元 +8 收起 理由
    老财迷 + 8

    查看全部评分

    回复 支持 反对

    使用道具 举报

    该用户从未签到

    26#
    发表于 2024-9-17 11:13:01 | 只看该作者
    moletronic 发表于 2024-9-16 20:54
    3 l9 I7 {' G# x' ]: v! l% y) e* e, i按说这个跨越不算大,但Nikon就是浸水没搞定
      k/ z3 S& d8 s所以俺不敢做预测,只敢对已知的做评述 ...
    ! q0 P! b! ]& V' o/ ]/ ]1 I
    有道理。0 F) a, T3 Z5 |" o& S! s1 s5 X8 H

    ; ~1 K! x3 K& x不过现在看尼康和佳能的光刻机,总有感觉他们已经三心二意了。既然干不过阿斯麦,就用最小投资吊着。不退场,但也不全力以赴。$ _6 J/ ~9 ?9 ?& v0 E! t
    7 r. ]+ N1 v- N; Q+ ?6 w# {
    中国肯定是全力以赴的。而且倾国之力肯定大于尼康、佳能。* a6 Y$ k9 r/ S$ {# E+ S2 ^. u! `
    / R8 v/ C; {6 P$ p+ f6 {/ ]+ p8 l9 l
    这会有差别吗?
    回复 支持 反对

    使用道具 举报

    该用户从未签到

    27#
    发表于 2024-9-17 11:13:37 | 只看该作者
    沉宝 发表于 2024-9-16 21:08) i, U( ^* |, V
    理论上是这样。但制造芯片是个复杂的过程,需要各方面不断打磨,才能接近理想的结果。现实中的例子,台积 ...

    5 ~1 d. X0 x: ^3 Q  e9 O这倒是个问题。都说韩国人拼,看来还是拼不过中国人。台湾人也是中国人嘛。
    回复 支持 反对

    使用道具 举报

    该用户从未签到

    28#
    发表于 2024-9-17 11:19:08 | 只看该作者
    moletronic 发表于 2024-9-17 10:54& r8 N2 X8 y+ \8 ?
    按说这个跨越不算大,但Nikon就是浸水没搞定
    7 q3 z& q# V1 k8 X8 X; ]所以俺不敢做预测,只敢对已知的做评述 ...
    ' f8 |4 Y& a. `
    还没搞定?
    . G$ o' K+ P2 d  A5 j4 z我可能是09年去给Nikon做实验,他们想搞明白光刻机里面为什么会产生微气泡,想买个做实验的系统。我在的小破公司搭了一个,然后过去一起做,看能不能用。那个时候估计还是早期,这些基础的问题都没个数。做了几个实验,证明可以捕捉到微气泡发生,成长和运动的轨迹,我就撤了。这都十五年过去了。
    ( s" B7 j2 J& j: G尼康那时候已经有点不灵的迹象,食堂里面睡满了安装队的人。正常的话那些人都是满世界跑给别人装机器的。
    - ~3 _9 E) @, z5 L( p  R1 t

    点评

    油菜: 5.0 给力: 0.0
    涨姿势: 5.0
    油菜: 5 给力: 0 涨姿势: 5
    坛里藏龙卧虎啊  发表于 2024-9-17 15:31

    评分

    参与人数 3爱元 +22 学识 +2 收起 理由
    老票 + 10 + 2 涨姿势
    唐家山 + 4 伙呆了
    老财迷 + 8

    查看全部评分

    回复 支持 反对

    使用道具 举报

    该用户从未签到

    29#
    发表于 2024-9-17 11:21:47 | 只看该作者
    moletronic 发表于 2024-9-16 20:54
    ! k& `( a9 u) F, @  l" G4 \按说这个跨越不算大,但Nikon就是浸水没搞定% U) P  R0 g" U, H
    所以俺不敢做预测,只敢对已知的做评述 ...
    & w1 L" _4 a$ ~
    突然想起来:现在就聚焦于逻辑芯片,存储芯片用的芯片技术一样吗?前一段听说长江还是谁的128还是256层NAND也被卡了,因为光刻机的事,这说法准确吗?高端NAND需要多少nm节点的光刻机?
    回复 支持 反对

    使用道具 举报

    该用户从未签到

    30#
    发表于 2024-9-17 11:23:33 | 只看该作者
    晨枫 发表于 2024-9-17 11:13. F1 L' c: X9 ^+ C$ B5 F5 R
    有道理。
    2 h1 W# _( N9 ?; q: b5 r5 h! S3 j( W/ y! c/ _) X9 a
    不过现在看尼康和佳能的光刻机,总有感觉他们已经三心二意了。既然干不过阿斯麦,就用最小投资 ...

    ( s& ^% D$ C: b可能是真没钱投资了。这些钱政府应该赞助的,可是政府也难呐,到处都是嗷嗷待哺的嘴,捉了个虫也不知道塞哪张嘴里。& B( P; {1 V. y; J: ^7 ?# e* ]
    很多年前日本媒体评价日本财政用了很形象的词,叫硬直化。所有的钱都有定好的用处,几乎没有活动钱。需要财政支持的时候十分狼狈。该做的事情做不了,钱全都拿去维持日常运转了。

    点评

    油菜: 5.0 涨姿势: 5.0
    油菜: 5 涨姿势: 5
      发表于 2024-9-17 15:32

    评分

    参与人数 1爱元 +4 收起 理由
    老财迷 + 4

    查看全部评分

    回复 支持 反对

    使用道具 举报

  • TA的每日心情
    开心
    2023-2-8 04:51
  • 签到天数: 1811 天

    [LV.Master]无

    31#
     楼主| 发表于 2024-9-17 11:28:54 | 只看该作者
    本帖最后由 moletronic 于 2024-9-16 19:33 编辑
    1 B) b) y3 H& [' k" \
    雷声 发表于 2024-9-16 19:19- U3 o" X- h- e9 \7 d
    还没搞定?
    1 M: L) j& I; E我可能是09年去给Nikon做实验,他们想搞明白光刻机里面为什么会产生微气泡,想买个做实验的 ...
    ; ^9 y5 w) U, f3 P! [
    ' U$ V$ O1 N; v5 F% Y
    Nikon是稳定性不行,被牙膏退货后就没人再买。疫情前去开spie的会,Nikon还吹牛自己行了,但主流客户没人用。5 W8 P) @4 ^$ X/ ~
    有网上谣言说华为买了些Nikon自己魔改做出了9100…俺比较怀疑真实性。
    回复 支持 反对

    使用道具 举报

  • TA的每日心情
    开心
    2023-2-8 04:51
  • 签到天数: 1811 天

    [LV.Master]无

    32#
     楼主| 发表于 2024-9-17 11:31:01 | 只看该作者
    晨枫 发表于 2024-9-16 19:21
    $ W: O5 O, g  t' ~' p! I突然想起来:现在就聚焦于逻辑芯片,存储芯片用的芯片技术一样吗?前一段听说长江还是谁的128还是256层NA ...
    8 L8 Y6 x7 j! N, u6 W' Q' {0 o7 Q
    存储和逻辑的工艺重点不一样,节点体系也不同。存储那边现在还没上EUV。
    回复 支持 反对

    使用道具 举报

    该用户从未签到

    33#
    发表于 2024-9-17 11:34:00 | 只看该作者
    moletronic 发表于 2024-9-16 21:31
    + R+ U4 v. F. S2 K存储和逻辑的工艺重点不一样,节点体系也不同。存储那边现在还没上EUV。 ...
    8 O" P" d; G0 z* G
    需要用到浸润DUV吗?% F4 ], Y; X- H( }* ~$ E! }& {! S

    & Q  E0 d( n, Y) S我的问题其实是:65nm光刻机能解决国内NAND厂的设备禁运问题吗?
    回复 支持 反对

    使用道具 举报

  • TA的每日心情
    开心
    2023-2-8 04:51
  • 签到天数: 1811 天

    [LV.Master]无

    34#
     楼主| 发表于 2024-9-17 11:37:50 | 只看该作者
    晨枫 发表于 2024-9-16 19:34
    / d0 ^5 v4 u) K( m) p4 c需要用到浸润DUV吗?
    4 u: p" A( o. P+ y9 v8 |: P5 Q2 ?, v: W# l- `
    我的问题其实是:65nm光刻机能解决国内NAND厂的设备禁运问题吗? ...

    % c1 F6 p& ]) Z: H9 g浸水还是要的,这国产光刻机按公布的指标应该还是没法满足YMTC的全部要求。
    回复 支持 反对

    使用道具 举报

    该用户从未签到

    35#
    发表于 2024-9-17 11:38:06 | 只看该作者
    雷声 发表于 2024-9-16 21:23$ X0 G0 D' v1 R9 m. F; T: d# L
    可能是真没钱投资了。这些钱政府应该赞助的,可是政府也难呐,到处都是嗷嗷待哺的嘴,捉了个虫也不知道塞 ...

    8 S+ b# t4 c$ q: E+ S; r是的,需要钱的地方太多,但光刻机和芯片可能是不计代价砸钱的方向,优先级比谁都高。这个瓶颈突破后,不只是军事、科技上的阳关道,经济上也是大片的处女地啊。
    , l) Z3 I/ g: g: P. d7 `5 ~
    3 @) P0 L) W" D8 A9 v6 j% O8 i硬直化很形象。确实,西方家大业大,花钱手笔也大,但每一笔钱都预定了用处,活动余地真心很小。你看看美国在预算削减时那个鸡飞狗跳,就知道真是谁都动不得。“平均剃头”是公认的最坏选择,但是唯一大家可接受的选择。
    回复 支持 反对

    使用道具 举报

    该用户从未签到

    36#
    发表于 2024-9-17 11:40:47 | 只看该作者
    moletronic 发表于 2024-9-16 21:37. d% G' P: I$ ]* Y- D
    浸水还是要的,这国产光刻机按公布的指标应该还是没法满足YMTC的全部要求。 ...

      W: [5 x3 G- m都说工信部这光刻机不是浸润式,但193nm光源,65nm分辨率,正好是2*1.44倍,是不是太巧了?
    回复 支持 反对

    使用道具 举报

    该用户从未签到

    37#
    发表于 2024-9-17 11:43:29 | 只看该作者
    moletronic 发表于 2024-9-17 10:548 E" q3 L# e! J
    按说这个跨越不算大,但Nikon就是浸水没搞定1 }6 Z$ I' [/ H% a6 [+ C  E& O
    所以俺不敢做预测,只敢对已知的做评述 ...
    " t8 G( ]; U  L# w7 t* B
    具体工作中还是有很多细节要克服。例如曝光时照到光的水会比遮蔽区的水热一点,这个温差会让水的密度不均匀,从而折射率不均匀,影响成像。为了避免温差,必须让水快速流动混合,但又要避免产生漩涡或者析出气泡。水可以把所接触物品上的杂质洗下来,带到晶圆上,形成缺陷。当初ASML搞浸润式光刻机时,在浸液系统上与林本坚团队合作,方案修改了7-8回,耗时两年多才取得满意的结果。

    评分

    参与人数 1爱元 +10 学识 +2 收起 理由
    老票 + 10 + 2 涨姿势

    查看全部评分

    回复 支持 反对

    使用道具 举报

  • TA的每日心情
    开心
    2023-2-8 04:51
  • 签到天数: 1811 天

    [LV.Master]无

    38#
     楼主| 发表于 2024-9-17 11:59:49 | 只看该作者
    本帖最后由 moletronic 于 2024-9-16 20:02 编辑 - T' U# s* @( z  A* T$ b+ }
    沉宝 发表于 2024-9-16 19:43: m2 R; z% o; {$ z* ^" [
    具体工作中还是有很多细节要克服。例如曝光时照到光的水会比遮蔽区的水热一点,这个温差会让水的密度不均 ...
    9 l2 k6 o, {8 c5 J
    - v0 j' ~1 x5 S+ J) t
    这当然不容易,不过两年挺快啦,看看牙膏的10nm……
    回复 支持 反对

    使用道具 举报

  • TA的每日心情
    开心
    2023-2-8 04:51
  • 签到天数: 1811 天

    [LV.Master]无

    39#
     楼主| 发表于 2024-9-17 12:01:58 | 只看该作者
    晨枫 发表于 2024-9-16 19:40
    5 q+ o  q' ^; ]' c# L都说工信部这光刻机不是浸润式,但193nm光源,65nm分辨率,正好是2*1.44倍,是不是太巧了? ...

    , r- z  E8 b" Q6 k1 j, q不知道啦,也许是隐晦放风的说法。
    回复 支持 反对

    使用道具 举报

    该用户从未签到

    40#
    发表于 2024-9-17 17:38:39 | 只看该作者
    晨枫 发表于 2024-9-17 11:13; }/ J, Z$ t) N3 n) I& r3 ~) @/ r7 o' X
    这倒是个问题。都说韩国人拼,看来还是拼不过中国人。台湾人也是中国人嘛。 ...

    ( w- [0 ~3 Q0 @0 }中国大,各地方人气质不一,各擅胜场。精细活儿江南地方超过东北山东。如此说来,韩国近东北山东,台湾精英是江浙后代。
    回复 支持 反对

    使用道具 举报

    手机版|小黑屋|Archiver|网站错误报告|爱吱声   

    GMT+8, 2026-4-27 01:24 , Processed in 0.071148 second(s), 17 queries , Gzip On.

    Powered by Discuz! X3.2

    © 2001-2013 Comsenz Inc.

    快速回复 返回顶部 返回列表