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[科普知识] 国产光刻机猜测

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  • TA的每日心情
    慵懒
    2022-8-27 22:14
  • 签到天数: 351 天

    [LV.8]合体

    21#
    发表于 2024-9-17 08:06:46 | 只看该作者
    晨枫 发表于 2024-9-16 14:003 N% M6 c6 {( [2 P& z
    也就是说,即使28nm现在还有光刻机瓶颈,其他也都就绪、只欠东风了。这是好事!$ P. p& S8 h/ f+ X& q# X$ z

    ! l: C. b5 _0 I# _5 p, f2 x# b个人感觉:相比于前一阵 ...

    " w: B" S) r, u; ~/ R
    2 z, L) M" v* ?& F4 K& e6 }. z; s
    这就要西方好好领教什么叫产能过剩了。

    ) n' m7 n$ P! a( G! N2 \应该会在5年内实现吧。! w- C( d, {* f6 ]1 }
    : K% X7 _! D( d
    微博上有位“沉睡之书11”说的。(不一定准确,可以看看)
    - W) V! u$ |4 P1 N24-9-16 23:55  g% K6 D# h2 C. x- y
    发布于 湖南
    ( F+ I3 f+ f1 B0 L+ s# |来自 微博网页版; i* W1 ?0 J7 Q( c
    啊,说过很多次了,#光刻机# 不是挖机
    0 P$ h! S7 e# C不是运过来就能直接开工的。/ G6 c2 p! F/ }3 g" \/ S
    他需要调试,需要不断的用,一边用一边调整,等光学畸变稳定——你可以理解为拷机或者汽车发动热机暖机。
    ' l1 X6 d: W! i1 J6 k# \) U& ], K; l
    这个时间很长,也是我常年说:
    . d2 [9 o+ {) L! c就算今天ASML传送一台EUV给咱,我们拿到第一批量产的芯片流片完(无论7nm,5nm还是多少)起码2年后——这最乐观的2年时间,还得是对EUV非常有经验的顶级工程师来操作优化。
    6 {) Z; l9 L: k! e3 t8 f1 g
    / t) U% `! }' p+ u4 i现在发布的这台机器是起码3年前就验收了(科工),现在工信部验收推广(产业链),成熟得不行了才拿出来的。你需要,给钱就有,不限量。$ V6 P0 n! c5 c( U) w; R
    3 Z+ T6 f' }' ]
    简单理解就是——这机子是干式光刻机,做的是65-55nm的芯片,一次曝光。
    . i& X% b5 Q9 W9 G: c) z干式光刻机没啥意义,为什么呢?因为改进之后的也可以出产低制程的,向下兼容并且良率更高(成本低方案成熟)4 i; Q7 C0 T2 a6 Z
    多重曝光也不是这哥们来做……(我是不清楚干式光刻机有没人搞这个), n$ H+ {0 y! g& v& X
    但这玩意的光路设计啥的,是成型了的。有了它,就加浸没式透镜,修改物镜,最终成品是目前没有验收但肯定存在某个地方的浸没式光刻机,但起码上线了2年了
    ! E# `+ k  Y9 a2 K* E1 {, H; ]* w3 H
    * m# j! G/ ?- x# B. n没公布的那个肯定还在不断的调试,修改,更换国产配件。
    " E/ ]& M* c2 t/ J! z( e普通人不用管光刻机啥情况——你就看最终产品就是。
    : Z. r( w9 E) U; j& h: t1 p# e#华为mate70# 也没多久了。
    ; _" b7 G: D2 h/ H2 H# ^2 P

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    这真是极好的: 5.0
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      发表于 2024-9-18 15:38
    给力: 5 涨姿势: 5 这真是极好的: 5
      发表于 2024-9-17 08:38
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  • TA的每日心情
    开心
    2023-2-8 04:51
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    [LV.Master]无

    22#
     楼主| 发表于 2024-9-17 08:15:36 | 只看该作者
    老财迷 发表于 2024-9-16 16:06' _0 E6 A+ W5 o  H. ?9 f
    应该会在5年内实现吧。7 _/ F1 o' M  e" ?; s+ W. L0 w9 |
    ) R$ P, T! m; N3 Z2 \) P7 F
    微博上有位“沉睡之书11”说的。(不一定准确,可以看看)
    # C; j% ~6 r0 ~8 E( `. g. t" ~+ R2 N

    " w0 F# y& o+ a  i! ^& N1 r这个有点扯,新机到货后肯定要调试的,但绝对用不了两年的时间。

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    以你说的为准 :)  发表于 2024-9-17 15:27

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    23#
    发表于 2024-9-17 08:39:20 | 只看该作者
    moletronic 发表于 2024-9-16 18:15; s" C$ z1 w9 q+ |* X6 H. M* S
    这个有点扯,新机到货后肯定要调试的,但绝对用不了两年的时间。

    : `7 c$ Y& F- {5 H5 `但干式到浸润的步子没那么大,这说对了吗?
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  • TA的每日心情
    开心
    2023-2-8 04:51
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    [LV.Master]无

    24#
     楼主| 发表于 2024-9-17 10:54:17 | 只看该作者
    本帖最后由 moletronic 于 2024-9-16 18:56 编辑
    & G. j# W2 B0 ^7 u9 U! [3 M
    晨枫 发表于 2024-9-16 16:39! o# p) i" Y* r; L/ Q. S* N; t$ }) x
    但干式到浸润的步子没那么大,这说对了吗?

    # P, m4 n7 G1 @, {# B/ v# Q. @3 x/ y+ S- Z% e9 H
    按说这个跨越不算大,但Nikon就是浸水没搞定% B0 s1 c/ Q' t8 ?$ d
    所以俺不敢做预测,只敢对已知的做评述

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    25#
    发表于 2024-9-17 11:08:25 | 只看该作者
    晨枫 发表于 2024-9-17 03:347 H9 @6 F( q  |, n* n" W$ c0 F
    不过EUV制作7nm可以轻易一次曝光,产率和良率应该提高很多?
    " A3 C, {$ T  w1 m6 z
    理论上是这样。但制造芯片是个复杂的过程,需要各方面不断打磨,才能接近理想的结果。现实中的例子,台积电用193nm光刻机率先量产7nm,三星则以更先进的EUV光刻机应战,由于对新型光刻机的熟悉不足,结果良率低下,很多人抛弃三星。最后三星赔本赚吆喝,开出比台积电低30%的代工费用,才勉强留下大客户。

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      发表于 2024-9-17 15:28

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    26#
    发表于 2024-9-17 11:13:01 | 只看该作者
    moletronic 发表于 2024-9-16 20:54  U+ z2 s) ^4 h# z6 F8 T
    按说这个跨越不算大,但Nikon就是浸水没搞定
    7 l3 j# Q+ n4 I9 d/ R# S: V所以俺不敢做预测,只敢对已知的做评述 ...

    * o5 P% Z5 J$ j4 p$ e有道理。
    5 \0 B+ ~/ M; k5 B* c7 h3 N3 ~- X$ S  ^. u1 s0 @2 r
    不过现在看尼康和佳能的光刻机,总有感觉他们已经三心二意了。既然干不过阿斯麦,就用最小投资吊着。不退场,但也不全力以赴。
    # Y0 o5 B5 `( v; @* N% ?
    7 p) b8 H; B  w, T# y. w8 u$ ^+ U中国肯定是全力以赴的。而且倾国之力肯定大于尼康、佳能。7 R+ J# M8 u7 Z$ {

    : L( C: A; _! a! [7 W这会有差别吗?
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    27#
    发表于 2024-9-17 11:13:37 | 只看该作者
    沉宝 发表于 2024-9-16 21:08
    2 Z, v. G0 l. X2 s& F理论上是这样。但制造芯片是个复杂的过程,需要各方面不断打磨,才能接近理想的结果。现实中的例子,台积 ...
    3 R) t* s! @1 l! V3 [* j
    这倒是个问题。都说韩国人拼,看来还是拼不过中国人。台湾人也是中国人嘛。
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    28#
    发表于 2024-9-17 11:19:08 | 只看该作者
    moletronic 发表于 2024-9-17 10:54
    ; i3 K% r( u! T# ~+ t# f. |- t: k按说这个跨越不算大,但Nikon就是浸水没搞定
    * [8 g5 Q! W  ]' g* I所以俺不敢做预测,只敢对已知的做评述 ...

    2 q* v9 r. }& g还没搞定? 3 K! T$ B9 ?: P- E, o0 ?
    我可能是09年去给Nikon做实验,他们想搞明白光刻机里面为什么会产生微气泡,想买个做实验的系统。我在的小破公司搭了一个,然后过去一起做,看能不能用。那个时候估计还是早期,这些基础的问题都没个数。做了几个实验,证明可以捕捉到微气泡发生,成长和运动的轨迹,我就撤了。这都十五年过去了。, D  {  q! b4 o- i* R9 S
    尼康那时候已经有点不灵的迹象,食堂里面睡满了安装队的人。正常的话那些人都是满世界跑给别人装机器的。
    - U. h; q# B8 e- i

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    坛里藏龙卧虎啊  发表于 2024-9-17 15:31

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    29#
    发表于 2024-9-17 11:21:47 | 只看该作者
    moletronic 发表于 2024-9-16 20:54$ [2 o0 I5 g/ a& A5 A( \
    按说这个跨越不算大,但Nikon就是浸水没搞定3 k7 w0 T7 y0 i
    所以俺不敢做预测,只敢对已知的做评述 ...
    $ e, Q' m* p. ^; Y  F. A
    突然想起来:现在就聚焦于逻辑芯片,存储芯片用的芯片技术一样吗?前一段听说长江还是谁的128还是256层NAND也被卡了,因为光刻机的事,这说法准确吗?高端NAND需要多少nm节点的光刻机?
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    30#
    发表于 2024-9-17 11:23:33 | 只看该作者
    晨枫 发表于 2024-9-17 11:134 M/ C" ~: k+ z: p) ]
    有道理。
    3 d5 @" L" }' y9 P1 n, Y4 a  N9 G7 f" B6 h
    不过现在看尼康和佳能的光刻机,总有感觉他们已经三心二意了。既然干不过阿斯麦,就用最小投资 ...
    5 U5 |0 Q& K: D
    可能是真没钱投资了。这些钱政府应该赞助的,可是政府也难呐,到处都是嗷嗷待哺的嘴,捉了个虫也不知道塞哪张嘴里。) m% S  _$ v9 _0 w3 ]
    很多年前日本媒体评价日本财政用了很形象的词,叫硬直化。所有的钱都有定好的用处,几乎没有活动钱。需要财政支持的时候十分狼狈。该做的事情做不了,钱全都拿去维持日常运转了。

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      发表于 2024-9-17 15:32

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    31#
     楼主| 发表于 2024-9-17 11:28:54 | 只看该作者
    本帖最后由 moletronic 于 2024-9-16 19:33 编辑 8 x6 {" e1 V6 M4 J( e$ H
    雷声 发表于 2024-9-16 19:19
    ! e' E; L1 [; |' W还没搞定? - ^8 r: h2 L! o
    我可能是09年去给Nikon做实验,他们想搞明白光刻机里面为什么会产生微气泡,想买个做实验的 ...
    : N9 q: ~( W9 x7 B  B

    1 t3 S1 [7 G% x2 _Nikon是稳定性不行,被牙膏退货后就没人再买。疫情前去开spie的会,Nikon还吹牛自己行了,但主流客户没人用。0 R+ l$ `7 t9 @( m' O
    有网上谣言说华为买了些Nikon自己魔改做出了9100…俺比较怀疑真实性。
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    [LV.Master]无

    32#
     楼主| 发表于 2024-9-17 11:31:01 | 只看该作者
    晨枫 发表于 2024-9-16 19:211 v; i: y) q1 p% f1 Y( l5 p
    突然想起来:现在就聚焦于逻辑芯片,存储芯片用的芯片技术一样吗?前一段听说长江还是谁的128还是256层NA ...

    9 d+ S( k* {. \  ?, Y/ p6 [存储和逻辑的工艺重点不一样,节点体系也不同。存储那边现在还没上EUV。
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    33#
    发表于 2024-9-17 11:34:00 | 只看该作者
    moletronic 发表于 2024-9-16 21:31; F5 F' X% s8 p0 R& q" f
    存储和逻辑的工艺重点不一样,节点体系也不同。存储那边现在还没上EUV。 ...
      Y& x4 d7 l: L* ^3 o
    需要用到浸润DUV吗?) V9 H/ J4 G2 m% U

    / H# u' R6 f1 L! u+ D' Y我的问题其实是:65nm光刻机能解决国内NAND厂的设备禁运问题吗?
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    开心
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    [LV.Master]无

    34#
     楼主| 发表于 2024-9-17 11:37:50 | 只看该作者
    晨枫 发表于 2024-9-16 19:348 E$ b2 |" V8 i# ?
    需要用到浸润DUV吗?
    " s7 w3 o' a' c: U* r6 k' ~8 [; V& W( ~( A
    我的问题其实是:65nm光刻机能解决国内NAND厂的设备禁运问题吗? ...

    + |) w  u( K/ z5 V, k- E( [: t浸水还是要的,这国产光刻机按公布的指标应该还是没法满足YMTC的全部要求。
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    35#
    发表于 2024-9-17 11:38:06 | 只看该作者
    雷声 发表于 2024-9-16 21:23& g! @* x( Y* e, k- W% K
    可能是真没钱投资了。这些钱政府应该赞助的,可是政府也难呐,到处都是嗷嗷待哺的嘴,捉了个虫也不知道塞 ...

    9 G2 P1 V/ ~- ~5 \* J6 T是的,需要钱的地方太多,但光刻机和芯片可能是不计代价砸钱的方向,优先级比谁都高。这个瓶颈突破后,不只是军事、科技上的阳关道,经济上也是大片的处女地啊。3 _" q& f0 g0 j, Y
    - _+ g7 l- C% ^
    硬直化很形象。确实,西方家大业大,花钱手笔也大,但每一笔钱都预定了用处,活动余地真心很小。你看看美国在预算削减时那个鸡飞狗跳,就知道真是谁都动不得。“平均剃头”是公认的最坏选择,但是唯一大家可接受的选择。
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    36#
    发表于 2024-9-17 11:40:47 | 只看该作者
    moletronic 发表于 2024-9-16 21:37
    / \! ~4 D' E0 H, W" o( c浸水还是要的,这国产光刻机按公布的指标应该还是没法满足YMTC的全部要求。 ...

    : e, y: Q$ c* P/ h9 {' i9 J  m都说工信部这光刻机不是浸润式,但193nm光源,65nm分辨率,正好是2*1.44倍,是不是太巧了?
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    37#
    发表于 2024-9-17 11:43:29 | 只看该作者
    moletronic 发表于 2024-9-17 10:54
    / W5 i8 {" T5 W+ t% ~/ R按说这个跨越不算大,但Nikon就是浸水没搞定" M8 L( O9 n2 n) d% D5 |
    所以俺不敢做预测,只敢对已知的做评述 ...

    1 ~. p" v1 y9 D/ h具体工作中还是有很多细节要克服。例如曝光时照到光的水会比遮蔽区的水热一点,这个温差会让水的密度不均匀,从而折射率不均匀,影响成像。为了避免温差,必须让水快速流动混合,但又要避免产生漩涡或者析出气泡。水可以把所接触物品上的杂质洗下来,带到晶圆上,形成缺陷。当初ASML搞浸润式光刻机时,在浸液系统上与林本坚团队合作,方案修改了7-8回,耗时两年多才取得满意的结果。

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  • TA的每日心情
    开心
    2023-2-8 04:51
  • 签到天数: 1811 天

    [LV.Master]无

    38#
     楼主| 发表于 2024-9-17 11:59:49 | 只看该作者
    本帖最后由 moletronic 于 2024-9-16 20:02 编辑 6 X' g' _, `0 g" J0 z, ]7 z6 m
    沉宝 发表于 2024-9-16 19:439 q7 l) Z+ g' H  B0 l% `+ C
    具体工作中还是有很多细节要克服。例如曝光时照到光的水会比遮蔽区的水热一点,这个温差会让水的密度不均 ...

    + j+ }( u9 {. v2 \0 w3 R8 G+ E  R9 s
    这当然不容易,不过两年挺快啦,看看牙膏的10nm……
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  • TA的每日心情
    开心
    2023-2-8 04:51
  • 签到天数: 1811 天

    [LV.Master]无

    39#
     楼主| 发表于 2024-9-17 12:01:58 | 只看该作者
    晨枫 发表于 2024-9-16 19:403 r5 x; M& G2 M; `4 W; n
    都说工信部这光刻机不是浸润式,但193nm光源,65nm分辨率,正好是2*1.44倍,是不是太巧了? ...
    * R8 \% V* H8 h1 |& s2 z. @
    不知道啦,也许是隐晦放风的说法。
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    40#
    发表于 2024-9-17 17:38:39 | 只看该作者
    晨枫 发表于 2024-9-17 11:13
    2 e1 I' k5 h- X9 n5 ]3 R! L+ O这倒是个问题。都说韩国人拼,看来还是拼不过中国人。台湾人也是中国人嘛。 ...

    . f* w1 n1 M0 x: O' n中国大,各地方人气质不一,各擅胜场。精细活儿江南地方超过东北山东。如此说来,韩国近东北山东,台湾精英是江浙后代。
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