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国产EUV的任何消息都是长期讳莫如深的话题,但近来接连有两个官方消息,值得回味。% i, O, H% |/ ?# S" U! |7 H
! X: K3 I, `! U一、工博会上,朗道燧岩首次公开展示了一台极紫外(EUV)光源系统样机。据解放日报报道,现场工作人员介绍称,该光源系统国产化率达到90%,绝大多数核心零部件为自主研发,技术路线与国际领先厂商一致,可用于芯片曝光测试。当然,这是样机,离量产还要3-5年,更何况EUV不只是光源。
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+ p0 A( W, B) m1 z二、彭博社10月14日援引知情人士透露,欧盟正与中国展开谈判,希望中方解除对辛德豪瑟材料有限公司(Sindlhauser Materials GmbH)的制裁。辛德豪森是阿斯麦供应链的一部分,相关制裁已威胁到其生存。欧洲对中国把这样一家小众德国小公司痛下杀手很感惊讶,也对与中国“互换解禁”多有犹豫。+ y5 C& o ]1 Z: E) b
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中国有已经量产的浸润式DUV,具体技术水平相当于阿斯麦的哪一代不好说,产能有多大、能不能“踢开阿斯麦、干中国自己的芯片工业”也不知道,但中国必然要突破EUV,这是肯定的。这两条消息从两个方面旁证了中国EUV的现状:离目标不远了!2 h9 j; I0 y& E1 {2 }
3 U, ]2 X" }3 t) q* v" Q0 Q中国在芯片制造关键设备方面,一向少说多做,做到八分只说三五分。也就是说,朗道燧岩的EUV光源离量产可能并没有3-5年,而是更近。华为是到宣布M60的时候,世界才知道华为已经悄悄突破7nm芯片的量产关了。当时还有人怀疑华为是否会遇到产能难关,因为DUV多次曝光是要提高次品率、磨损设备、损失产能的。华为是怎么解决的,现在人们都不知道,只知道华为重回手机市场后,超过苹果、MOV回归第一,并无产能问题。5 G3 j4 `4 V8 i, I% {; a
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朗道燧岩的EUV光源甚至未必是中国EUV赛道上唯一选手。中国对敏感科技的“正选”一直保密有加,如果朗道燧岩的EUV光源是“备胎”亮相而且公开信息没有“失真”,就更有意思了。这只能说明“正选”的EUV光源技术更加先进、成熟,离量产更近。
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* Z _/ ]4 w# D- ~' h2 M3 i辛德豪森是另一个有意思的视点。辛德豪森被中国“拉黑”的时候,所有人都很意外,辛德豪森自己也非常意外,不明白是怎么上了中国的制裁名单的。1 j$ S7 ~/ ~9 P" t/ }8 K; ~
+ y! W6 M& m2 H! V. m1 j# w/ D! {中国对稀土出口用户增加了说明去向和用量的要求,辛德豪森有义务如实申报,但这未必是遭禁的原因。阿斯麦的供应链很长,辛德豪森不是一级供应商的话,申报了去向和用量也未必能联系到阿斯麦。公司的如实申报也只需要合规,能简略必然尽量简略,不懂行的话,审核的人连是否简略了都看不出来。只能认为中国其实是摸通了EUV的任督二脉,这才顺藤摸瓜找到辛德豪森这样冷门的小企业。这也意味着中国EUV实际上已经对核心技术、外围技术、上游技术都有深度理解。2 x# {* s+ O) Q! e6 C- O5 U
Z8 |; Y3 s. x+ U+ {) V8 H! i中国在用重复曝光DUV突破7nm之后,外界对什么时候突破5nm一直猜不透。台积电、三星是从7nm开始使用EUV的。有可能中国看到了EUV的曙光,决定不必再以次品率、设备磨损和产能限制为代价,强攻5nm。; [5 o' ]+ I! ^" S
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华为的“逻辑折叠”开辟了新赛道,可以在现有7nm的物理基础上,实现更高的性能天花板。这条路也打通的时候,可能正好与EUV上线重合,那就如虎添翼了。 |
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