2 _- E( V- ?5 {- K) o
第一种方案。先单独生产两个die,做好铜柱,然后打磨平整,face2face的键合。需要低温键合,不能超过300度,否则容易损坏芯片。同时在背面做TSV把管脚等引出来。/ ~: U9 D6 U& z. F- J( p
) M( j0 h) d) v. X1 _3 l U7 l I2 phw厉害的地方在于把HB/TSV的密度都大大提高了。HB最小间距降低到了1.5um,TSV是6um。这样,两个die之间可以做到5000万级别的互联线。这使得更低层次的逻辑互联成为可能。否则HB互联只有几万几十万的情况下,只能做到logic到sram这种block级别的划分和互联。; U7 c# K X. B1 T$ a$ S