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楼主: moletronic
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[科普知识] 国产光刻机猜测

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  • TA的每日心情
    慵懒
    2022-8-27 22:14
  • 签到天数: 351 天

    [LV.8]合体

    21#
    发表于 2024-9-17 08:06:46 | 只看该作者
    晨枫 发表于 2024-9-16 14:00" ?# e8 Y1 Z6 t  C; s6 R5 z
    也就是说,即使28nm现在还有光刻机瓶颈,其他也都就绪、只欠东风了。这是好事!
    % E3 x8 q5 h/ q* C: u
    ! Q8 Q. u/ \& R+ k* P个人感觉:相比于前一阵 ...
    4 C% s- ^! r/ `' ^* P
    5 T" O$ v( Z& `- p; ^& W% u
    这就要西方好好领教什么叫产能过剩了。
    ; ^4 A# O6 m9 C; k# }6 S) o- c: m* ?
    应该会在5年内实现吧。
      ~) g& U/ Y! E( v- N+ q3 R3 b5 X) m
    微博上有位“沉睡之书11”说的。(不一定准确,可以看看)0 W9 u* H* @8 Q0 {
    24-9-16 23:55; {: P3 N; m, p, b& q5 h8 G' T
    发布于 湖南
    " U' j- i) U) s& y( \+ ?来自 微博网页版- ]3 \# E9 M. s/ @+ o! g
    啊,说过很多次了,#光刻机# 不是挖机$ I9 F( P& A+ `+ d5 h( [5 u1 ?3 p* p
    不是运过来就能直接开工的。+ ^8 v* ?7 }: @) J& h& A: S; `
    他需要调试,需要不断的用,一边用一边调整,等光学畸变稳定——你可以理解为拷机或者汽车发动热机暖机。
    ' d3 E# e( L$ Y. |1 r+ h
      c" D& U7 U7 x8 |( _这个时间很长,也是我常年说:
    + _: j* J& F- L3 H1 U, n) A就算今天ASML传送一台EUV给咱,我们拿到第一批量产的芯片流片完(无论7nm,5nm还是多少)起码2年后——这最乐观的2年时间,还得是对EUV非常有经验的顶级工程师来操作优化。
    + h; }4 `# D/ J3 H, ]# Z! g- t3 b+ w" p# b5 l
    现在发布的这台机器是起码3年前就验收了(科工),现在工信部验收推广(产业链),成熟得不行了才拿出来的。你需要,给钱就有,不限量。
    ( O) L7 }: f* y. w6 y8 }8 ]0 b4 g) H$ i  V( t* u$ F, G
    简单理解就是——这机子是干式光刻机,做的是65-55nm的芯片,一次曝光。0 T) j% `+ E6 F- S- T+ d7 K# M
    干式光刻机没啥意义,为什么呢?因为改进之后的也可以出产低制程的,向下兼容并且良率更高(成本低方案成熟)3 S/ p6 f3 x( Q" e" ~, L7 q
    多重曝光也不是这哥们来做……(我是不清楚干式光刻机有没人搞这个)
    - {! M8 R+ L  f! Q0 b但这玩意的光路设计啥的,是成型了的。有了它,就加浸没式透镜,修改物镜,最终成品是目前没有验收但肯定存在某个地方的浸没式光刻机,但起码上线了2年了
    ! l% V  m3 M. H9 W: R1 M
    5 b7 b# ?8 m8 g  C( ~没公布的那个肯定还在不断的调试,修改,更换国产配件。
    - c- F  p; w$ g: c普通人不用管光刻机啥情况——你就看最终产品就是。
    8 L7 Z. [) ^" N6 V9 S#华为mate70# 也没多久了。
    5 u. H6 {+ @! n2 D

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    这真是极好的: 5.0
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      发表于 2024-9-18 15:38
    给力: 5 涨姿势: 5 这真是极好的: 5
      发表于 2024-9-17 08:38
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  • TA的每日心情
    开心
    2023-2-8 04:51
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    [LV.Master]无

    22#
     楼主| 发表于 2024-9-17 08:15:36 | 只看该作者
    老财迷 发表于 2024-9-16 16:06. n2 \+ u. ~3 G$ L3 C( R
    应该会在5年内实现吧。
    * o" }1 h# e" R" Y/ `' K9 x0 Y: U+ u; D9 ~% r( N" ?+ L  B% U2 r, x" A
    微博上有位“沉睡之书11”说的。(不一定准确,可以看看)
    ) w) b  N; ]. e

    ( t; V- n& Z( k这个有点扯,新机到货后肯定要调试的,但绝对用不了两年的时间。

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    以你说的为准 :)  发表于 2024-9-17 15:27

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    23#
    发表于 2024-9-17 08:39:20 | 只看该作者
    moletronic 发表于 2024-9-16 18:15& q! {# U/ d5 F
    这个有点扯,新机到货后肯定要调试的,但绝对用不了两年的时间。

    : q1 {) u3 ^2 q* \但干式到浸润的步子没那么大,这说对了吗?
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  • TA的每日心情
    开心
    2023-2-8 04:51
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    [LV.Master]无

    24#
     楼主| 发表于 2024-9-17 10:54:17 | 只看该作者
    本帖最后由 moletronic 于 2024-9-16 18:56 编辑 ) ?1 G  z1 [" d: v# y0 h
    晨枫 发表于 2024-9-16 16:39
    * W$ l8 \' H8 F6 ~: D' x* d$ x但干式到浸润的步子没那么大,这说对了吗?
    " [( Z( W$ N( H; d/ h1 {

    5 E% V% N9 O1 s+ D; s. V按说这个跨越不算大,但Nikon就是浸水没搞定! E" T* Q* i) I5 t% @
    所以俺不敢做预测,只敢对已知的做评述

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    25#
    发表于 2024-9-17 11:08:25 | 只看该作者
    晨枫 发表于 2024-9-17 03:34
    * H# J  `( K# o( W4 j0 l4 p) z不过EUV制作7nm可以轻易一次曝光,产率和良率应该提高很多?

    0 e; R0 O4 {3 P& I理论上是这样。但制造芯片是个复杂的过程,需要各方面不断打磨,才能接近理想的结果。现实中的例子,台积电用193nm光刻机率先量产7nm,三星则以更先进的EUV光刻机应战,由于对新型光刻机的熟悉不足,结果良率低下,很多人抛弃三星。最后三星赔本赚吆喝,开出比台积电低30%的代工费用,才勉强留下大客户。

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      发表于 2024-9-17 15:28

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    26#
    发表于 2024-9-17 11:13:01 | 只看该作者
    moletronic 发表于 2024-9-16 20:54
    ' H9 P6 w# F( }. J- T9 c按说这个跨越不算大,但Nikon就是浸水没搞定8 y# w8 J5 i8 b; D3 |% I$ s
    所以俺不敢做预测,只敢对已知的做评述 ...

    " d/ h: i, A$ v; L有道理。& B, A2 Q! L2 N1 v3 k2 c

    5 h( i7 X9 {- e4 b8 t8 F不过现在看尼康和佳能的光刻机,总有感觉他们已经三心二意了。既然干不过阿斯麦,就用最小投资吊着。不退场,但也不全力以赴。
    * ~$ p" s  C- [9 K( }& c" n$ H: o8 u6 x5 f  u$ D" S) n  M1 V9 L
    中国肯定是全力以赴的。而且倾国之力肯定大于尼康、佳能。4 l3 P: z4 e& R( a) l

    2 z5 k' K6 w$ e$ s) T这会有差别吗?
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    27#
    发表于 2024-9-17 11:13:37 | 只看该作者
    沉宝 发表于 2024-9-16 21:08* M# C9 ~" H8 U8 F8 b/ l
    理论上是这样。但制造芯片是个复杂的过程,需要各方面不断打磨,才能接近理想的结果。现实中的例子,台积 ...

    5 v& n1 z8 p# J7 A6 N这倒是个问题。都说韩国人拼,看来还是拼不过中国人。台湾人也是中国人嘛。
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    28#
    发表于 2024-9-17 11:19:08 | 只看该作者
    moletronic 发表于 2024-9-17 10:54
    7 e! o* z- R2 Q& q* X3 o按说这个跨越不算大,但Nikon就是浸水没搞定4 H- o+ @. {, w4 o) t+ s+ f* G
    所以俺不敢做预测,只敢对已知的做评述 ...
    7 c4 j, g/ S$ b+ E5 L$ `# O
    还没搞定? / e! u( x5 i! R# v
    我可能是09年去给Nikon做实验,他们想搞明白光刻机里面为什么会产生微气泡,想买个做实验的系统。我在的小破公司搭了一个,然后过去一起做,看能不能用。那个时候估计还是早期,这些基础的问题都没个数。做了几个实验,证明可以捕捉到微气泡发生,成长和运动的轨迹,我就撤了。这都十五年过去了。
      D1 S$ o6 J2 ~尼康那时候已经有点不灵的迹象,食堂里面睡满了安装队的人。正常的话那些人都是满世界跑给别人装机器的。. P+ u& S5 h, b0 Q

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    坛里藏龙卧虎啊  发表于 2024-9-17 15:31

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    29#
    发表于 2024-9-17 11:21:47 | 只看该作者
    moletronic 发表于 2024-9-16 20:54
    ( D8 Z& K( m% P: Q0 I按说这个跨越不算大,但Nikon就是浸水没搞定2 {5 T# j& X' q$ j
    所以俺不敢做预测,只敢对已知的做评述 ...

    ; v; s8 }  d* Y3 T% S( P' J1 A突然想起来:现在就聚焦于逻辑芯片,存储芯片用的芯片技术一样吗?前一段听说长江还是谁的128还是256层NAND也被卡了,因为光刻机的事,这说法准确吗?高端NAND需要多少nm节点的光刻机?
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    30#
    发表于 2024-9-17 11:23:33 | 只看该作者
    晨枫 发表于 2024-9-17 11:13
    6 C3 {2 k1 }# k1 n6 H- o6 o有道理。8 `, y2 f: G) a2 U& O# e+ U
    . [' w$ z+ C! Z' i% k2 v
    不过现在看尼康和佳能的光刻机,总有感觉他们已经三心二意了。既然干不过阿斯麦,就用最小投资 ...

    8 ]( c) o% N. ^可能是真没钱投资了。这些钱政府应该赞助的,可是政府也难呐,到处都是嗷嗷待哺的嘴,捉了个虫也不知道塞哪张嘴里。0 }" ]0 _# D0 ^4 z$ F
    很多年前日本媒体评价日本财政用了很形象的词,叫硬直化。所有的钱都有定好的用处,几乎没有活动钱。需要财政支持的时候十分狼狈。该做的事情做不了,钱全都拿去维持日常运转了。

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      发表于 2024-9-17 15:32

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    2023-2-8 04:51
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    31#
     楼主| 发表于 2024-9-17 11:28:54 | 只看该作者
    本帖最后由 moletronic 于 2024-9-16 19:33 编辑 ( L; l) E, t3 ?, n
    雷声 发表于 2024-9-16 19:19
    ; N3 h  F+ E' ?. I8 S8 k还没搞定?
    3 d4 T3 q/ u+ n我可能是09年去给Nikon做实验,他们想搞明白光刻机里面为什么会产生微气泡,想买个做实验的 ...
    6 J* d/ Q3 q0 R/ n5 s

    6 Y& }0 h2 D6 ?1 B( j. q& ZNikon是稳定性不行,被牙膏退货后就没人再买。疫情前去开spie的会,Nikon还吹牛自己行了,但主流客户没人用。( z9 z5 d8 B' ?: y1 z
    有网上谣言说华为买了些Nikon自己魔改做出了9100…俺比较怀疑真实性。
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    2023-2-8 04:51
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    [LV.Master]无

    32#
     楼主| 发表于 2024-9-17 11:31:01 | 只看该作者
    晨枫 发表于 2024-9-16 19:21
    9 P1 V6 ^, m& c  |突然想起来:现在就聚焦于逻辑芯片,存储芯片用的芯片技术一样吗?前一段听说长江还是谁的128还是256层NA ...
    ( N, h. ]9 P9 T* t
    存储和逻辑的工艺重点不一样,节点体系也不同。存储那边现在还没上EUV。
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    33#
    发表于 2024-9-17 11:34:00 | 只看该作者
    moletronic 发表于 2024-9-16 21:31
    8 X( I" x8 h/ D& K: V存储和逻辑的工艺重点不一样,节点体系也不同。存储那边现在还没上EUV。 ...

    ; }5 ^1 F6 U6 x# O9 ~* Q需要用到浸润DUV吗?
    . \6 X: j; l2 g9 u1 G# M, |, {" ~1 X7 e% y' L* _& W% d$ v9 b8 Z: }
    我的问题其实是:65nm光刻机能解决国内NAND厂的设备禁运问题吗?
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  • TA的每日心情
    开心
    2023-2-8 04:51
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    [LV.Master]无

    34#
     楼主| 发表于 2024-9-17 11:37:50 | 只看该作者
    晨枫 发表于 2024-9-16 19:34
    . E+ o" }" Z8 ]8 u6 e9 r$ Q, B6 N需要用到浸润DUV吗?4 u" |" d' C$ W5 J" M

    # ^1 D9 g7 r7 w: A9 G6 M我的问题其实是:65nm光刻机能解决国内NAND厂的设备禁运问题吗? ...
    9 }% t6 \+ Z/ ~, n6 L
    浸水还是要的,这国产光刻机按公布的指标应该还是没法满足YMTC的全部要求。
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    35#
    发表于 2024-9-17 11:38:06 | 只看该作者
    雷声 发表于 2024-9-16 21:23$ |. s8 I5 x1 {$ d+ B
    可能是真没钱投资了。这些钱政府应该赞助的,可是政府也难呐,到处都是嗷嗷待哺的嘴,捉了个虫也不知道塞 ...
    - ?+ p) l( ^# O1 N2 v1 |* P8 B( Y
    是的,需要钱的地方太多,但光刻机和芯片可能是不计代价砸钱的方向,优先级比谁都高。这个瓶颈突破后,不只是军事、科技上的阳关道,经济上也是大片的处女地啊。
    ! p! ^1 \  v+ i5 V+ [" r9 I4 G# h, b8 I8 u5 m
    硬直化很形象。确实,西方家大业大,花钱手笔也大,但每一笔钱都预定了用处,活动余地真心很小。你看看美国在预算削减时那个鸡飞狗跳,就知道真是谁都动不得。“平均剃头”是公认的最坏选择,但是唯一大家可接受的选择。
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    36#
    发表于 2024-9-17 11:40:47 | 只看该作者
    moletronic 发表于 2024-9-16 21:377 c; j6 C5 S/ X9 H- e
    浸水还是要的,这国产光刻机按公布的指标应该还是没法满足YMTC的全部要求。 ...
    - b) A# m! r6 \7 J4 r3 @1 t/ X. I" Y
    都说工信部这光刻机不是浸润式,但193nm光源,65nm分辨率,正好是2*1.44倍,是不是太巧了?
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    37#
    发表于 2024-9-17 11:43:29 | 只看该作者
    moletronic 发表于 2024-9-17 10:54
    ( `) ?  ]9 \: e) @按说这个跨越不算大,但Nikon就是浸水没搞定' Y5 N9 ~4 A- j/ A. i0 T6 H# X
    所以俺不敢做预测,只敢对已知的做评述 ...

    & H" g2 R. O: `$ y' R具体工作中还是有很多细节要克服。例如曝光时照到光的水会比遮蔽区的水热一点,这个温差会让水的密度不均匀,从而折射率不均匀,影响成像。为了避免温差,必须让水快速流动混合,但又要避免产生漩涡或者析出气泡。水可以把所接触物品上的杂质洗下来,带到晶圆上,形成缺陷。当初ASML搞浸润式光刻机时,在浸液系统上与林本坚团队合作,方案修改了7-8回,耗时两年多才取得满意的结果。

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  • TA的每日心情
    开心
    2023-2-8 04:51
  • 签到天数: 1811 天

    [LV.Master]无

    38#
     楼主| 发表于 2024-9-17 11:59:49 | 只看该作者
    本帖最后由 moletronic 于 2024-9-16 20:02 编辑
    % I" A, k7 p! s$ j
    沉宝 发表于 2024-9-16 19:43
    . F7 Q4 M7 k3 X具体工作中还是有很多细节要克服。例如曝光时照到光的水会比遮蔽区的水热一点,这个温差会让水的密度不均 ...

    ; r5 T4 @$ e! h9 ^
    0 V; E. a4 d( ~% p* i  R: R4 C这当然不容易,不过两年挺快啦,看看牙膏的10nm……
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  • TA的每日心情
    开心
    2023-2-8 04:51
  • 签到天数: 1811 天

    [LV.Master]无

    39#
     楼主| 发表于 2024-9-17 12:01:58 | 只看该作者
    晨枫 发表于 2024-9-16 19:40
    2 A" }" z3 H* Z- Y( C' f都说工信部这光刻机不是浸润式,但193nm光源,65nm分辨率,正好是2*1.44倍,是不是太巧了? ...
    ' H3 |1 j# l. B
    不知道啦,也许是隐晦放风的说法。
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    40#
    发表于 2024-9-17 17:38:39 | 只看该作者
    晨枫 发表于 2024-9-17 11:13
    + C9 U9 M* c5 m* I6 A2 C这倒是个问题。都说韩国人拼,看来还是拼不过中国人。台湾人也是中国人嘛。 ...
    0 q9 R9 ^2 @* ]+ b
    中国大,各地方人气质不一,各擅胜场。精细活儿江南地方超过东北山东。如此说来,韩国近东北山东,台湾精英是江浙后代。
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