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楼主: moletronic
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[科普知识] 国产光刻机猜测

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  • TA的每日心情
    慵懒
    2022-8-27 22:14
  • 签到天数: 351 天

    [LV.8]合体

    21#
    发表于 2024-9-17 08:06:46 | 只看该作者
    晨枫 发表于 2024-9-16 14:00+ Y! G5 W  ^$ g8 s+ o2 q# f) R
    也就是说,即使28nm现在还有光刻机瓶颈,其他也都就绪、只欠东风了。这是好事!2 w2 u: i0 K" q; |( g7 k

    - t! o* R( L% i, c+ Y8 U3 {个人感觉:相比于前一阵 ...

    0 j: t6 o7 V4 N8 ?3 t2 g+ t( C* O: G0 h( p- d
    这就要西方好好领教什么叫产能过剩了。
    4 K% H  I1 n3 Q$ C) Z0 _% d
    应该会在5年内实现吧。
    8 Q5 k$ t6 R7 }6 F7 |4 M5 C, r; i: P# A. I& r
    微博上有位“沉睡之书11”说的。(不一定准确,可以看看)' k& k: E5 N/ `7 f, ~1 `& x, Q
    24-9-16 23:55
      v" \1 U: C9 r; w2 ^7 K发布于 湖南
    . z( i& E$ C; i& N, O来自 微博网页版
    + ]- }$ w1 P0 J* Y; \1 ~: g啊,说过很多次了,#光刻机# 不是挖机
    . T- B3 W+ p- L% c% N不是运过来就能直接开工的。
    , {" W# E& F( i5 j他需要调试,需要不断的用,一边用一边调整,等光学畸变稳定——你可以理解为拷机或者汽车发动热机暖机。
    ' Y! b+ @( p1 H- P$ b6 }" r6 A0 A, T' F! C% v/ U
    这个时间很长,也是我常年说:
    ! _/ A7 v, l$ k就算今天ASML传送一台EUV给咱,我们拿到第一批量产的芯片流片完(无论7nm,5nm还是多少)起码2年后——这最乐观的2年时间,还得是对EUV非常有经验的顶级工程师来操作优化。5 y% H8 {! ?& K2 `

    ) b- g8 Z7 S  H; F! `% W/ s现在发布的这台机器是起码3年前就验收了(科工),现在工信部验收推广(产业链),成熟得不行了才拿出来的。你需要,给钱就有,不限量。  i; }: f) k' `8 l4 \% C
    ; i+ _8 l3 p) |/ v3 ]. R
    简单理解就是——这机子是干式光刻机,做的是65-55nm的芯片,一次曝光。5 S7 I/ |; ~& L3 L& b. }
    干式光刻机没啥意义,为什么呢?因为改进之后的也可以出产低制程的,向下兼容并且良率更高(成本低方案成熟)$ k) ~, o% |  o" k0 B: E
    多重曝光也不是这哥们来做……(我是不清楚干式光刻机有没人搞这个)
    * H2 a8 I3 k( u5 r3 A但这玩意的光路设计啥的,是成型了的。有了它,就加浸没式透镜,修改物镜,最终成品是目前没有验收但肯定存在某个地方的浸没式光刻机,但起码上线了2年了
    3 \+ j6 q$ f7 R* `- [0 A" Z
    . J: n6 f1 H) ^没公布的那个肯定还在不断的调试,修改,更换国产配件。
    8 D$ r, x6 t! f" o& ?: m6 \3 S0 G6 ]( f普通人不用管光刻机啥情况——你就看最终产品就是。
      M' B/ R) Z+ W% N  Z: A#华为mate70# 也没多久了。
    5 q/ ]0 v$ C& Z/ @4 X/ y( @1 |

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    这真是极好的: 5.0
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      发表于 2024-9-18 15:38
    给力: 5 涨姿势: 5 这真是极好的: 5
      发表于 2024-9-17 08:38
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  • TA的每日心情
    开心
    2023-2-8 04:51
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    [LV.Master]无

    22#
     楼主| 发表于 2024-9-17 08:15:36 | 只看该作者
    老财迷 发表于 2024-9-16 16:06& I2 v: n* j1 b. {+ e
    应该会在5年内实现吧。
    % r6 M1 I+ A/ h! O: z+ k6 _8 v7 u
    " m. R$ ~" X# a% L, y. w微博上有位“沉睡之书11”说的。(不一定准确,可以看看)

    ( S9 m- y3 o9 b' h2 w4 W
    7 ]! u& X  _) ?# v! }) C' O, J+ r2 [这个有点扯,新机到货后肯定要调试的,但绝对用不了两年的时间。

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    以你说的为准 :)  发表于 2024-9-17 15:27

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    23#
    发表于 2024-9-17 08:39:20 | 只看该作者
    moletronic 发表于 2024-9-16 18:15
      J1 D: H- p5 x2 o( Q这个有点扯,新机到货后肯定要调试的,但绝对用不了两年的时间。
    - c' e' v/ Y6 r4 r. V: W) |) ?
    但干式到浸润的步子没那么大,这说对了吗?
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  • TA的每日心情
    开心
    2023-2-8 04:51
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    [LV.Master]无

    24#
     楼主| 发表于 2024-9-17 10:54:17 | 只看该作者
    本帖最后由 moletronic 于 2024-9-16 18:56 编辑 ; x  r6 t. J( {  }
    晨枫 发表于 2024-9-16 16:397 a+ Z$ m7 ]+ r# o8 n& j
    但干式到浸润的步子没那么大,这说对了吗?

    3 r3 x7 M+ e2 }2 {# i, P+ K$ p1 X2 N4 r) L3 T+ u* w5 Q
    按说这个跨越不算大,但Nikon就是浸水没搞定$ f' i# b9 ^# r: {
    所以俺不敢做预测,只敢对已知的做评述

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    25#
    发表于 2024-9-17 11:08:25 | 只看该作者
    晨枫 发表于 2024-9-17 03:34, ]$ ]* I7 }( u/ c
    不过EUV制作7nm可以轻易一次曝光,产率和良率应该提高很多?
    ( q! P- L: \# K  I( L
    理论上是这样。但制造芯片是个复杂的过程,需要各方面不断打磨,才能接近理想的结果。现实中的例子,台积电用193nm光刻机率先量产7nm,三星则以更先进的EUV光刻机应战,由于对新型光刻机的熟悉不足,结果良率低下,很多人抛弃三星。最后三星赔本赚吆喝,开出比台积电低30%的代工费用,才勉强留下大客户。

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      发表于 2024-9-17 15:28

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    26#
    发表于 2024-9-17 11:13:01 | 只看该作者
    moletronic 发表于 2024-9-16 20:540 M$ I! a8 V( q1 _# k7 h5 ~- y, t
    按说这个跨越不算大,但Nikon就是浸水没搞定2 Y$ [7 y' d/ ^; G+ f
    所以俺不敢做预测,只敢对已知的做评述 ...
      `: r  r# C& P0 h( ]. |
    有道理。' {' C$ ?+ @; J) Z: ~; {/ f

    9 E$ y; y$ c$ m3 o7 z- V不过现在看尼康和佳能的光刻机,总有感觉他们已经三心二意了。既然干不过阿斯麦,就用最小投资吊着。不退场,但也不全力以赴。2 ^& L* L- u1 j+ G
    4 \8 e4 O. S0 v
    中国肯定是全力以赴的。而且倾国之力肯定大于尼康、佳能。5 [" H- f/ P& E8 y9 A

    , `4 e+ I) p5 G, D这会有差别吗?
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    27#
    发表于 2024-9-17 11:13:37 | 只看该作者
    沉宝 发表于 2024-9-16 21:08
    . H2 q, s( p) I理论上是这样。但制造芯片是个复杂的过程,需要各方面不断打磨,才能接近理想的结果。现实中的例子,台积 ...
    & a( }/ r( i6 J4 M  i  |# n
    这倒是个问题。都说韩国人拼,看来还是拼不过中国人。台湾人也是中国人嘛。
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    28#
    发表于 2024-9-17 11:19:08 | 只看该作者
    moletronic 发表于 2024-9-17 10:54! l% ^9 r4 b, X! b  v+ ~9 `
    按说这个跨越不算大,但Nikon就是浸水没搞定# Y: u% i! l3 [1 _; o6 E2 E4 N0 T
    所以俺不敢做预测,只敢对已知的做评述 ...

    5 H. [7 a* o7 M# \! Y2 ^: Y还没搞定?
    4 u6 y4 `* Q8 |# c* k9 }6 o  X我可能是09年去给Nikon做实验,他们想搞明白光刻机里面为什么会产生微气泡,想买个做实验的系统。我在的小破公司搭了一个,然后过去一起做,看能不能用。那个时候估计还是早期,这些基础的问题都没个数。做了几个实验,证明可以捕捉到微气泡发生,成长和运动的轨迹,我就撤了。这都十五年过去了。2 E) ~1 b, F- q- k; v) D
    尼康那时候已经有点不灵的迹象,食堂里面睡满了安装队的人。正常的话那些人都是满世界跑给别人装机器的。
    0 D" Y# _2 D0 k) b( K

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    坛里藏龙卧虎啊  发表于 2024-9-17 15:31

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    唐家山 + 4 伙呆了
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    29#
    发表于 2024-9-17 11:21:47 | 只看该作者
    moletronic 发表于 2024-9-16 20:54
    7 U5 t4 [# D; z7 d6 p按说这个跨越不算大,但Nikon就是浸水没搞定
    ' f6 d6 Z- i1 F; Q; @2 C9 l所以俺不敢做预测,只敢对已知的做评述 ...

    8 d) K) f2 V; U/ D7 Z突然想起来:现在就聚焦于逻辑芯片,存储芯片用的芯片技术一样吗?前一段听说长江还是谁的128还是256层NAND也被卡了,因为光刻机的事,这说法准确吗?高端NAND需要多少nm节点的光刻机?
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    30#
    发表于 2024-9-17 11:23:33 | 只看该作者
    晨枫 发表于 2024-9-17 11:13
    6 V" ?4 N5 F0 V% N$ G有道理。( |5 ~# X5 ]7 m6 u
    ! }" |: s% K; ~+ a. N0 D
    不过现在看尼康和佳能的光刻机,总有感觉他们已经三心二意了。既然干不过阿斯麦,就用最小投资 ...
    0 M. X# Q3 c5 h9 }$ S
    可能是真没钱投资了。这些钱政府应该赞助的,可是政府也难呐,到处都是嗷嗷待哺的嘴,捉了个虫也不知道塞哪张嘴里。
    / I2 X$ T! J, O- y( w0 [很多年前日本媒体评价日本财政用了很形象的词,叫硬直化。所有的钱都有定好的用处,几乎没有活动钱。需要财政支持的时候十分狼狈。该做的事情做不了,钱全都拿去维持日常运转了。

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      发表于 2024-9-17 15:32

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  • TA的每日心情
    开心
    2023-2-8 04:51
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    31#
     楼主| 发表于 2024-9-17 11:28:54 | 只看该作者
    本帖最后由 moletronic 于 2024-9-16 19:33 编辑
    + s1 g' d8 l7 A
    雷声 发表于 2024-9-16 19:19
    6 F+ h% E4 [5 t5 F, Y还没搞定? 2 @; i, f4 Z, P0 i# I0 x+ v
    我可能是09年去给Nikon做实验,他们想搞明白光刻机里面为什么会产生微气泡,想买个做实验的 ...
    9 M/ N2 E( |( h- w
    " {2 S* k6 D! W5 q: ]* ^5 B7 X" r
    Nikon是稳定性不行,被牙膏退货后就没人再买。疫情前去开spie的会,Nikon还吹牛自己行了,但主流客户没人用。: A) f! E2 C0 G( y4 b6 w5 {/ x. u
    有网上谣言说华为买了些Nikon自己魔改做出了9100…俺比较怀疑真实性。
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    开心
    2023-2-8 04:51
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    [LV.Master]无

    32#
     楼主| 发表于 2024-9-17 11:31:01 | 只看该作者
    晨枫 发表于 2024-9-16 19:210 V# H5 e/ l$ O6 M( M5 Q- i0 a$ l
    突然想起来:现在就聚焦于逻辑芯片,存储芯片用的芯片技术一样吗?前一段听说长江还是谁的128还是256层NA ...

    0 {  s8 n" j7 E& U- V# s, f- p存储和逻辑的工艺重点不一样,节点体系也不同。存储那边现在还没上EUV。
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    33#
    发表于 2024-9-17 11:34:00 | 只看该作者
    moletronic 发表于 2024-9-16 21:31
    6 E" W" \! V" l! w存储和逻辑的工艺重点不一样,节点体系也不同。存储那边现在还没上EUV。 ...
    5 x7 `! ~+ }5 y  Q+ F9 ^
    需要用到浸润DUV吗?: t7 [$ ^- ?2 N9 s$ p
    . E7 a$ Z& G. e; D3 n
    我的问题其实是:65nm光刻机能解决国内NAND厂的设备禁运问题吗?
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    开心
    2023-2-8 04:51
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    [LV.Master]无

    34#
     楼主| 发表于 2024-9-17 11:37:50 | 只看该作者
    晨枫 发表于 2024-9-16 19:34
    . w) N" t( |) @6 @: d2 i需要用到浸润DUV吗?
    , X7 Z7 M" P0 h7 A2 m, A! V* E
    : \# A9 b; c$ ?6 l7 u; @+ }& h我的问题其实是:65nm光刻机能解决国内NAND厂的设备禁运问题吗? ...
    1 q! u2 C3 c/ ^
    浸水还是要的,这国产光刻机按公布的指标应该还是没法满足YMTC的全部要求。
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    35#
    发表于 2024-9-17 11:38:06 | 只看该作者
    雷声 发表于 2024-9-16 21:23
    " l4 e2 n" v2 u: E/ q% S5 ~" r可能是真没钱投资了。这些钱政府应该赞助的,可是政府也难呐,到处都是嗷嗷待哺的嘴,捉了个虫也不知道塞 ...

    ; V3 \6 y  y: ]; i4 U$ D# x8 b' i是的,需要钱的地方太多,但光刻机和芯片可能是不计代价砸钱的方向,优先级比谁都高。这个瓶颈突破后,不只是军事、科技上的阳关道,经济上也是大片的处女地啊。' A: H# v" e7 H1 e* i) w3 g

    7 F2 L) r$ c; l* l硬直化很形象。确实,西方家大业大,花钱手笔也大,但每一笔钱都预定了用处,活动余地真心很小。你看看美国在预算削减时那个鸡飞狗跳,就知道真是谁都动不得。“平均剃头”是公认的最坏选择,但是唯一大家可接受的选择。
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    36#
    发表于 2024-9-17 11:40:47 | 只看该作者
    moletronic 发表于 2024-9-16 21:37
    # C" O, _3 g: M* i; }1 m: c浸水还是要的,这国产光刻机按公布的指标应该还是没法满足YMTC的全部要求。 ...
    / R' M" ^  j' F2 |! l
    都说工信部这光刻机不是浸润式,但193nm光源,65nm分辨率,正好是2*1.44倍,是不是太巧了?
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    37#
    发表于 2024-9-17 11:43:29 | 只看该作者
    moletronic 发表于 2024-9-17 10:54  d; E0 m% U* |6 U
    按说这个跨越不算大,但Nikon就是浸水没搞定
    # Q+ W  [' K0 ^% t8 l所以俺不敢做预测,只敢对已知的做评述 ...
    4 Q' z! y, W4 B9 i6 L; N
    具体工作中还是有很多细节要克服。例如曝光时照到光的水会比遮蔽区的水热一点,这个温差会让水的密度不均匀,从而折射率不均匀,影响成像。为了避免温差,必须让水快速流动混合,但又要避免产生漩涡或者析出气泡。水可以把所接触物品上的杂质洗下来,带到晶圆上,形成缺陷。当初ASML搞浸润式光刻机时,在浸液系统上与林本坚团队合作,方案修改了7-8回,耗时两年多才取得满意的结果。

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  • TA的每日心情
    开心
    2023-2-8 04:51
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    [LV.Master]无

    38#
     楼主| 发表于 2024-9-17 11:59:49 | 只看该作者
    本帖最后由 moletronic 于 2024-9-16 20:02 编辑
    ' L% Q% }6 q  b$ Y0 h+ ?3 p
    沉宝 发表于 2024-9-16 19:43
    7 {' l* G. V7 y; f* s6 V! ^  N. B$ e具体工作中还是有很多细节要克服。例如曝光时照到光的水会比遮蔽区的水热一点,这个温差会让水的密度不均 ...

    9 J8 g) X8 `& P$ V! r. T/ n$ Z+ V& @4 R5 I' Q' p
    这当然不容易,不过两年挺快啦,看看牙膏的10nm……
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  • TA的每日心情
    开心
    2023-2-8 04:51
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    39#
     楼主| 发表于 2024-9-17 12:01:58 | 只看该作者
    晨枫 发表于 2024-9-16 19:40$ \3 P; o/ N+ m$ B
    都说工信部这光刻机不是浸润式,但193nm光源,65nm分辨率,正好是2*1.44倍,是不是太巧了? ...
    8 H: g! N% J# ~, g6 u! j
    不知道啦,也许是隐晦放风的说法。
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    40#
    发表于 2024-9-17 17:38:39 | 只看该作者
    晨枫 发表于 2024-9-17 11:13
    0 e% D+ o9 f8 D. q, x" ~这倒是个问题。都说韩国人拼,看来还是拼不过中国人。台湾人也是中国人嘛。 ...
    # d7 R9 n) y% I' Q- V3 W- |
    中国大,各地方人气质不一,各擅胜场。精细活儿江南地方超过东北山东。如此说来,韩国近东北山东,台湾精英是江浙后代。
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