TA的每日心情 | 开心 2017-4-3 16:51 |
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签到天数: 67 天 [LV.6]出窍
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板凳

楼主 |
发表于 2012-3-18 11:33:33
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只看该作者
就爱抬杠 发表于 2012-3-18 10:44 ![]()
9 R& t; k, K6 d* B能否介绍一下目前国内薄膜太阳能的发展情况?我只知道安泰科技和德国某公司合作过这个项目。 ...
0 @, E# w4 c- P6 R+ y7 U我本身不是从事这方面的研发技术工作,加上现在不是从事光伏行业,所以,了解的情况不算全面。6 @, A. F3 T( j5 }
! S* r( \6 D; M6 H2 R- X; g8 [2 e我知道目前在研的五代硅基薄膜太阳能电池工艺技术: d( z& ]# s4 v& X5 {
第一代非晶硅单结薄膜太阳能电池,+ a y+ }8 O+ V% c
第二代非晶硅/非晶硅双结薄膜太阳能电池,
. l6 G! W; k# [5 _7 M第三代非晶硅/微晶硅双结薄膜太阳能电池,! c, q7 P) M/ M. G
第四代非晶硅/非晶硅锗双结或三结薄膜太阳能电池,
5 [8 s, B7 v4 ]! ?# F, s4 `0 D第五代非晶硅/非晶硅锗/微晶硅三结薄膜太阳能电池,1 b' Y: x7 X4 X; w
目前在产业化领域中的主要技术仍旧是前两者。 e- N& k- }5 m8 U& x+ S3 O
/ {( R% }1 t {" S在生产线技术方面依关键的PECVD沉积系统分类,可以划分出以下5种设备模式:0 c* Y' f6 u3 ]' P" L7 F5 j
单室多片PECVD沉积系统(EPV、BudaSolar),
" x* m0 O" p2 z, n串联线列式多室单片PECVD沉积系统(日本真空),
+ X' c) J' h$ l5 p% ]并联线列式多室单片PECVD沉积系统(莱宝真空),
6 Y2 l7 u- G( t& S团簇式多室单片PECVD沉积系统(应用材料公司),0 l$ E# l7 d, E- l" h8 \( k3 a
单多片混合型PECVD沉积系统(Oerlikon公司)。 |
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