TA的每日心情 | 开心 2017-4-3 16:51 |
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签到天数: 67 天 [LV.6]出窍
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板凳

楼主 |
发表于 2012-3-18 11:33:33
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只看该作者
就爱抬杠 发表于 2012-3-18 10:44 ; o2 S3 e6 X. T7 w! f
能否介绍一下目前国内薄膜太阳能的发展情况?我只知道安泰科技和德国某公司合作过这个项目。 ... 4 i/ \! p$ z( v
我本身不是从事这方面的研发技术工作,加上现在不是从事光伏行业,所以,了解的情况不算全面。6 |7 F1 R* r$ e9 l
) x, f1 S1 a" v9 C% b我知道目前在研的五代硅基薄膜太阳能电池工艺技术:+ A4 M) a1 S; u$ _, \! q: i) H
第一代非晶硅单结薄膜太阳能电池,
$ B: D) w1 n Z1 ]第二代非晶硅/非晶硅双结薄膜太阳能电池,( t0 Z- {% a# T6 _. S% h- |! `
第三代非晶硅/微晶硅双结薄膜太阳能电池,: s; Z2 |% X7 }% \7 ^* Z
第四代非晶硅/非晶硅锗双结或三结薄膜太阳能电池,. u2 w+ @ [. Y
第五代非晶硅/非晶硅锗/微晶硅三结薄膜太阳能电池,
& y/ }: O* s0 k, Y目前在产业化领域中的主要技术仍旧是前两者。
$ c. C( G3 F' D, u
+ ]: m& P- T( `在生产线技术方面依关键的PECVD沉积系统分类,可以划分出以下5种设备模式:
9 f8 _& F$ C' M* Z0 R' t单室多片PECVD沉积系统(EPV、BudaSolar),( M" S( N6 d5 p7 H: V9 q
串联线列式多室单片PECVD沉积系统(日本真空),
* ^+ r7 D! u7 L h4 p4 N2 v并联线列式多室单片PECVD沉积系统(莱宝真空),
9 a7 x9 Z9 ^5 u! s8 Q: Y) x" ?团簇式多室单片PECVD沉积系统(应用材料公司),6 S9 E* l' Q; P- w# n' E! j
单多片混合型PECVD沉积系统(Oerlikon公司)。 |
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