TA的每日心情 | 开心 2017-4-3 16:51 |
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签到天数: 67 天 [LV.6]出窍
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板凳

楼主 |
发表于 2012-3-18 11:33:33
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只看该作者
就爱抬杠 发表于 2012-3-18 10:44 ![]()
: Z2 y/ r3 f I, ?5 P能否介绍一下目前国内薄膜太阳能的发展情况?我只知道安泰科技和德国某公司合作过这个项目。 ...
3 L+ H9 R5 N! [7 ^我本身不是从事这方面的研发技术工作,加上现在不是从事光伏行业,所以,了解的情况不算全面。" l+ u( h" z- H* N
' @9 I. |+ p' T& Y' \0 x3 @, }" y7 W我知道目前在研的五代硅基薄膜太阳能电池工艺技术:
( }( s. \- p# p, Y第一代非晶硅单结薄膜太阳能电池,+ g5 n5 o$ S$ q3 J- ?* M
第二代非晶硅/非晶硅双结薄膜太阳能电池,
/ t) {; Y: E& s$ x# d7 G @/ M第三代非晶硅/微晶硅双结薄膜太阳能电池,
" K2 r% u9 b, y. n. s0 B第四代非晶硅/非晶硅锗双结或三结薄膜太阳能电池,; Y: y- B7 W" i7 N2 @! S
第五代非晶硅/非晶硅锗/微晶硅三结薄膜太阳能电池,5 @$ m5 `3 v2 K4 Z/ A4 l
目前在产业化领域中的主要技术仍旧是前两者。
* k$ L3 O6 Z* }6 ?1 @
8 z* H) `) d1 P, W2 g在生产线技术方面依关键的PECVD沉积系统分类,可以划分出以下5种设备模式:3 L& ]6 A+ H1 {6 T! s. l* Q9 N1 j
单室多片PECVD沉积系统(EPV、BudaSolar),
* _' a- g6 Q; V0 y串联线列式多室单片PECVD沉积系统(日本真空),: l& Y. i0 Y' w+ L
并联线列式多室单片PECVD沉积系统(莱宝真空),6 [6 b G( T' x, v
团簇式多室单片PECVD沉积系统(应用材料公司),
3 F" s. T, o' q! q3 Z: E4 s单多片混合型PECVD沉积系统(Oerlikon公司)。 |
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