TA的每日心情 | 开心 2017-4-3 16:51 |
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签到天数: 67 天 [LV.6]出窍
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板凳

楼主 |
发表于 2012-3-18 11:33:33
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只看该作者
就爱抬杠 发表于 2012-3-18 10:44 ![]()
0 ?1 \+ i9 {6 g% N/ U能否介绍一下目前国内薄膜太阳能的发展情况?我只知道安泰科技和德国某公司合作过这个项目。 ...
9 Q4 v9 m/ ^3 `, J$ A4 g5 e我本身不是从事这方面的研发技术工作,加上现在不是从事光伏行业,所以,了解的情况不算全面。4 ]" p$ `+ a7 A+ V8 ]
- y$ ~2 e# {6 |2 j+ i8 L我知道目前在研的五代硅基薄膜太阳能电池工艺技术:; C J/ E( i- ^5 v9 T4 _. z( P
第一代非晶硅单结薄膜太阳能电池,4 V, E p, X. [# }' W
第二代非晶硅/非晶硅双结薄膜太阳能电池,
- t j2 w5 E7 o第三代非晶硅/微晶硅双结薄膜太阳能电池,
* p- ~& `2 z5 t第四代非晶硅/非晶硅锗双结或三结薄膜太阳能电池,
) e+ b: X3 g) h+ z/ E+ R第五代非晶硅/非晶硅锗/微晶硅三结薄膜太阳能电池,
0 s3 _9 B" f1 S2 L2 W目前在产业化领域中的主要技术仍旧是前两者。/ | l" N$ ]2 |
. A+ n4 R8 @ C8 z; ]& Y
在生产线技术方面依关键的PECVD沉积系统分类,可以划分出以下5种设备模式:
6 N; f& C7 c: B: r单室多片PECVD沉积系统(EPV、BudaSolar),' |9 T' t" @* b' o
串联线列式多室单片PECVD沉积系统(日本真空),
0 O! R* L7 y8 ^$ [- t# M0 ], K' ]! y并联线列式多室单片PECVD沉积系统(莱宝真空),
# s9 D* y; ^; J/ V; P团簇式多室单片PECVD沉积系统(应用材料公司),/ X6 ^: H3 |) J9 ~6 n6 D
单多片混合型PECVD沉积系统(Oerlikon公司)。 |
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