TA的每日心情 | 开心 2017-4-3 16:51 |
---|
签到天数: 67 天 [LV.6]出窍
|
板凳

楼主 |
发表于 2012-3-18 11:33:33
|
只看该作者
就爱抬杠 发表于 2012-3-18 10:44 ![]()
/ p" {4 ?; z7 G# B能否介绍一下目前国内薄膜太阳能的发展情况?我只知道安泰科技和德国某公司合作过这个项目。 ...
- d- q# W6 M0 s我本身不是从事这方面的研发技术工作,加上现在不是从事光伏行业,所以,了解的情况不算全面。, S7 g+ s' x7 J/ c
" Z& V3 t3 ^$ Q0 K0 @" m我知道目前在研的五代硅基薄膜太阳能电池工艺技术:
& v3 E- @3 U/ ~. u+ ]- o- n第一代非晶硅单结薄膜太阳能电池,/ A4 r* Q, X* J& {- b! e& L
第二代非晶硅/非晶硅双结薄膜太阳能电池,8 f& p+ H7 {: K
第三代非晶硅/微晶硅双结薄膜太阳能电池,8 ~ X' ], ?; O4 b& J5 ?
第四代非晶硅/非晶硅锗双结或三结薄膜太阳能电池,1 n+ b: Q, ^+ X' Z! q) W
第五代非晶硅/非晶硅锗/微晶硅三结薄膜太阳能电池,
) x# B$ T5 {( F$ E" E' E8 W# s目前在产业化领域中的主要技术仍旧是前两者。
% e/ r1 L9 q; L) f+ k! a4 f
! G! [/ G* v; {$ Z h* S在生产线技术方面依关键的PECVD沉积系统分类,可以划分出以下5种设备模式:
+ n a2 c- k* N: v& Y单室多片PECVD沉积系统(EPV、BudaSolar),; _2 l1 [* v1 W9 g! r4 G, b5 W- |
串联线列式多室单片PECVD沉积系统(日本真空),
8 ]0 m4 q5 [. o4 Y& H并联线列式多室单片PECVD沉积系统(莱宝真空),
6 N9 s' \; E: P; _& E9 j团簇式多室单片PECVD沉积系统(应用材料公司),3 s: [- Q, V" ]
单多片混合型PECVD沉积系统(Oerlikon公司)。 |
|