TA的每日心情 | 开心 2017-4-3 16:51 |
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签到天数: 67 天 [LV.6]出窍
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板凳

楼主 |
发表于 2012-3-18 11:33:33
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只看该作者
就爱抬杠 发表于 2012-3-18 10:44 ![]()
8 j/ d2 w4 f% [" @能否介绍一下目前国内薄膜太阳能的发展情况?我只知道安泰科技和德国某公司合作过这个项目。 ...
$ A5 ^+ o* s# {( [% B我本身不是从事这方面的研发技术工作,加上现在不是从事光伏行业,所以,了解的情况不算全面。3 a0 f% W) W" W, e0 p- i0 ^
' Q, P$ Z _' @$ d8 g$ M
我知道目前在研的五代硅基薄膜太阳能电池工艺技术:
( Z' H: ^. {0 G# c3 o0 ^第一代非晶硅单结薄膜太阳能电池,
^/ q# L0 [ n4 H9 G第二代非晶硅/非晶硅双结薄膜太阳能电池,
* Q' V) }# [( i第三代非晶硅/微晶硅双结薄膜太阳能电池,. | g. \1 P2 x+ e, ?0 J+ [
第四代非晶硅/非晶硅锗双结或三结薄膜太阳能电池,0 W/ X; y7 G6 Z* S) Q+ Y
第五代非晶硅/非晶硅锗/微晶硅三结薄膜太阳能电池,- C& f* J3 o ^& N4 ]" Y
目前在产业化领域中的主要技术仍旧是前两者。
* M5 b2 f! b# ?) E9 E+ b, z0 Q% j6 U; t5 \3 `/ ^
在生产线技术方面依关键的PECVD沉积系统分类,可以划分出以下5种设备模式:
3 n: ]: L0 t) n/ h5 @& S1 b( ?4 T单室多片PECVD沉积系统(EPV、BudaSolar),
* i2 H, ^7 G& v2 V6 T串联线列式多室单片PECVD沉积系统(日本真空),) L; p% w* c2 e; e
并联线列式多室单片PECVD沉积系统(莱宝真空),
/ h0 j- s! e* {. v7 D团簇式多室单片PECVD沉积系统(应用材料公司),* V4 T1 y) I# @
单多片混合型PECVD沉积系统(Oerlikon公司)。 |
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