TA的每日心情 | 开心 2017-4-3 16:51 |
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签到天数: 67 天 [LV.6]出窍
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楼主 |
发表于 2012-3-18 11:33:33
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只看该作者
就爱抬杠 发表于 2012-3-18 10:44 ( F( T% r( n6 v- b' }
能否介绍一下目前国内薄膜太阳能的发展情况?我只知道安泰科技和德国某公司合作过这个项目。 ...
1 p. N* A& ~# p! z我本身不是从事这方面的研发技术工作,加上现在不是从事光伏行业,所以,了解的情况不算全面。6 f7 O( ^' U$ X1 K
. X3 g) K; G2 i; @* L8 }我知道目前在研的五代硅基薄膜太阳能电池工艺技术:, t# w% O0 T0 o, b2 V
第一代非晶硅单结薄膜太阳能电池,
& U& e9 t1 _7 `6 U+ q第二代非晶硅/非晶硅双结薄膜太阳能电池,& c( K' [7 B; u
第三代非晶硅/微晶硅双结薄膜太阳能电池,
4 q5 ~, t% G6 O" d: x! S第四代非晶硅/非晶硅锗双结或三结薄膜太阳能电池,& p6 n, G: P A* z8 \
第五代非晶硅/非晶硅锗/微晶硅三结薄膜太阳能电池,
2 C7 H& V% o; ^/ ^$ p目前在产业化领域中的主要技术仍旧是前两者。
1 d5 e" Y" a7 D: U& C/ c7 g2 @0 B/ h7 l' j
在生产线技术方面依关键的PECVD沉积系统分类,可以划分出以下5种设备模式:7 q* S$ {, K* S( h- l( [
单室多片PECVD沉积系统(EPV、BudaSolar),
. H# N; q, X6 ^0 N串联线列式多室单片PECVD沉积系统(日本真空),6 A" s8 C' Y7 Y1 V
并联线列式多室单片PECVD沉积系统(莱宝真空),
1 B6 W7 ~$ }9 _, a5 p0 E3 b, i2 {' E团簇式多室单片PECVD沉积系统(应用材料公司),& y" X0 `* b$ E2 g& I
单多片混合型PECVD沉积系统(Oerlikon公司)。 |
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