TA的每日心情 | 开心 2017-4-3 16:51 |
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签到天数: 67 天 [LV.6]出窍
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板凳

楼主 |
发表于 2012-3-18 11:33:33
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只看该作者
就爱抬杠 发表于 2012-3-18 10:44 ![]()
6 V# u) w3 `& ]$ \% S8 S- M能否介绍一下目前国内薄膜太阳能的发展情况?我只知道安泰科技和德国某公司合作过这个项目。 ...
( U5 N* w \/ R我本身不是从事这方面的研发技术工作,加上现在不是从事光伏行业,所以,了解的情况不算全面。
: o1 A/ P3 e& s) Z! l, F2 v5 \3 y3 Y; \3 P1 B2 x
我知道目前在研的五代硅基薄膜太阳能电池工艺技术:) @: |8 A4 ^4 s* Q' L/ f6 {
第一代非晶硅单结薄膜太阳能电池,; a+ ]4 U# ~; v0 }8 ]
第二代非晶硅/非晶硅双结薄膜太阳能电池,
5 t- ?( b2 {+ r# L第三代非晶硅/微晶硅双结薄膜太阳能电池,
O, X# R0 O9 X0 v& _: G第四代非晶硅/非晶硅锗双结或三结薄膜太阳能电池,
7 Q# G" g5 Q, u& Z0 M第五代非晶硅/非晶硅锗/微晶硅三结薄膜太阳能电池,
9 Y7 P0 C$ I3 Y* q- ^! {- d5 F: M目前在产业化领域中的主要技术仍旧是前两者。
5 _+ ]& n" L. }' {/ e2 \7 U' L8 W! A$ z: H1 W1 g; H
在生产线技术方面依关键的PECVD沉积系统分类,可以划分出以下5种设备模式:
- x$ {( X, Q: @& ~8 W单室多片PECVD沉积系统(EPV、BudaSolar),
& |" |: p- I8 [# h* [& {' v3 t* _串联线列式多室单片PECVD沉积系统(日本真空),5 |1 G7 P9 q }& t6 g
并联线列式多室单片PECVD沉积系统(莱宝真空),9 d3 j7 c: Q. N# ~* \$ ]
团簇式多室单片PECVD沉积系统(应用材料公司),0 G' F+ f7 V j, s2 w
单多片混合型PECVD沉积系统(Oerlikon公司)。 |
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