TA的每日心情 | 开心 2017-4-3 16:51 |
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签到天数: 67 天 [LV.6]出窍
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板凳

楼主 |
发表于 2012-3-18 11:33:33
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只看该作者
就爱抬杠 发表于 2012-3-18 10:44 ![]()
1 h1 A0 ] X% [' m% s能否介绍一下目前国内薄膜太阳能的发展情况?我只知道安泰科技和德国某公司合作过这个项目。 ...
$ I( Z x- {+ m: ^我本身不是从事这方面的研发技术工作,加上现在不是从事光伏行业,所以,了解的情况不算全面。% O3 v) {( L8 M7 C: c
2 _; ?5 ^5 t* E0 M9 F% }我知道目前在研的五代硅基薄膜太阳能电池工艺技术:3 _9 L6 K8 a3 y8 q0 D! @% W4 l
第一代非晶硅单结薄膜太阳能电池,* h4 X; z C& U+ T# T3 Q
第二代非晶硅/非晶硅双结薄膜太阳能电池,
* w* Y) X) V7 p第三代非晶硅/微晶硅双结薄膜太阳能电池,' B! |+ p- q0 I# d" b/ z2 @
第四代非晶硅/非晶硅锗双结或三结薄膜太阳能电池,, n2 v3 j. d0 x# B6 O! o. E
第五代非晶硅/非晶硅锗/微晶硅三结薄膜太阳能电池,/ l7 e+ L5 i1 Z
目前在产业化领域中的主要技术仍旧是前两者。% ?0 s9 B& K2 j9 U1 z2 [
9 a3 P- m& ^5 [ H) s' _; O' l
在生产线技术方面依关键的PECVD沉积系统分类,可以划分出以下5种设备模式:
1 i4 H, V, K: y- J/ F2 H T单室多片PECVD沉积系统(EPV、BudaSolar),
& }; R+ ~! C4 L( T% L. n串联线列式多室单片PECVD沉积系统(日本真空),
; g1 ^# v1 Q' C; t6 V4 p并联线列式多室单片PECVD沉积系统(莱宝真空),
; Z; O4 d' P% K g( _8 y& f团簇式多室单片PECVD沉积系统(应用材料公司),
0 o5 c, F, r6 Z5 w单多片混合型PECVD沉积系统(Oerlikon公司)。 |
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