TA的每日心情 | 开心 2017-4-3 16:51 |
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签到天数: 67 天 [LV.6]出窍
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板凳

楼主 |
发表于 2012-3-18 11:33:33
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只看该作者
就爱抬杠 发表于 2012-3-18 10:44 ![]()
& `* j) w0 d' C5 A& b能否介绍一下目前国内薄膜太阳能的发展情况?我只知道安泰科技和德国某公司合作过这个项目。 ...
' I' s: m% u* |' T" `1 m( v我本身不是从事这方面的研发技术工作,加上现在不是从事光伏行业,所以,了解的情况不算全面。
/ U# \, m, D9 D- \4 d* j. J9 q2 y- B$ p, q) I) l
我知道目前在研的五代硅基薄膜太阳能电池工艺技术:& D" q! _4 N+ z0 n
第一代非晶硅单结薄膜太阳能电池,( c1 G* S- z" Z; h9 E( a
第二代非晶硅/非晶硅双结薄膜太阳能电池,; ^8 X! {: f' y" l2 r6 p4 \
第三代非晶硅/微晶硅双结薄膜太阳能电池,
) i* H+ p; L- S# h. g7 ~/ ^) o" S第四代非晶硅/非晶硅锗双结或三结薄膜太阳能电池,
: {1 T, ]' E0 @. z- F第五代非晶硅/非晶硅锗/微晶硅三结薄膜太阳能电池,
: w9 g4 c* C* _目前在产业化领域中的主要技术仍旧是前两者。0 T: c$ b0 C4 V% \% u0 P# Y t
, S& Z- n" g% P! C+ `+ O
在生产线技术方面依关键的PECVD沉积系统分类,可以划分出以下5种设备模式:( A" ^3 w' c. B; g7 b! @
单室多片PECVD沉积系统(EPV、BudaSolar),
. E, H$ o: t3 d# \! _1 M9 W4 ^' u串联线列式多室单片PECVD沉积系统(日本真空),5 }& O ^. T) H! {& r
并联线列式多室单片PECVD沉积系统(莱宝真空),
) x. ?, u- `% Q! }) ~8 w1 i团簇式多室单片PECVD沉积系统(应用材料公司),+ H7 k: ~; U% J' Q) C b' S) |0 @' I1 B4 X
单多片混合型PECVD沉积系统(Oerlikon公司)。 |
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