TA的每日心情 | 开心 2017-4-3 16:51 |
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签到天数: 67 天 [LV.6]出窍
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板凳

楼主 |
发表于 2012-3-18 11:33:33
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只看该作者
就爱抬杠 发表于 2012-3-18 10:44 ![]()
7 F# E& i& y1 B能否介绍一下目前国内薄膜太阳能的发展情况?我只知道安泰科技和德国某公司合作过这个项目。 ... + b# s9 L+ B T
我本身不是从事这方面的研发技术工作,加上现在不是从事光伏行业,所以,了解的情况不算全面。1 z! c4 D' u/ Z4 b' S
; f& h' y9 `3 Y: ~3 a. J* i3 Y我知道目前在研的五代硅基薄膜太阳能电池工艺技术:% l: Z6 I2 b0 t3 g5 `( h
第一代非晶硅单结薄膜太阳能电池,0 C% a4 m* P( A$ F# J) m5 N, I
第二代非晶硅/非晶硅双结薄膜太阳能电池,0 {1 [ S2 u- u, K6 j9 G
第三代非晶硅/微晶硅双结薄膜太阳能电池,
; C0 R* h8 H. b4 c9 Z第四代非晶硅/非晶硅锗双结或三结薄膜太阳能电池,
- E2 x8 H) j0 Q: K$ e( r8 F |; |$ J第五代非晶硅/非晶硅锗/微晶硅三结薄膜太阳能电池,
: E+ k. v# X1 z# D目前在产业化领域中的主要技术仍旧是前两者。$ _6 P/ g5 S$ ~9 ]3 C" O ]- h% h- E
) g- I# x, x$ q) Z3 }4 p在生产线技术方面依关键的PECVD沉积系统分类,可以划分出以下5种设备模式:7 }& S( y# `+ q4 N
单室多片PECVD沉积系统(EPV、BudaSolar),
& F, g6 @3 m/ p, ~5 h串联线列式多室单片PECVD沉积系统(日本真空),; @ P9 C" ] g; L
并联线列式多室单片PECVD沉积系统(莱宝真空),
2 f# D4 @. z% W& B团簇式多室单片PECVD沉积系统(应用材料公司),2 k4 L8 k H- |9 `# G. W9 [) z7 x
单多片混合型PECVD沉积系统(Oerlikon公司)。 |
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