TA的每日心情 | 开心 2017-4-3 16:51 |
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签到天数: 67 天 [LV.6]出窍
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板凳

楼主 |
发表于 2012-3-18 11:33:33
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只看该作者
就爱抬杠 发表于 2012-3-18 10:44 ![]()
6 m$ n7 Y6 R! j" t6 L能否介绍一下目前国内薄膜太阳能的发展情况?我只知道安泰科技和德国某公司合作过这个项目。 ...
) o. E+ O \$ Y: m8 j我本身不是从事这方面的研发技术工作,加上现在不是从事光伏行业,所以,了解的情况不算全面。
2 {3 h9 A. C/ |; g. Y0 | n) N3 B: |- v
我知道目前在研的五代硅基薄膜太阳能电池工艺技术:; G$ j5 w$ @ d, m4 ~& z" N
第一代非晶硅单结薄膜太阳能电池,& u# d/ O1 \; _- U, X# [; `" y
第二代非晶硅/非晶硅双结薄膜太阳能电池,
' U- U/ H# j" r F |1 R第三代非晶硅/微晶硅双结薄膜太阳能电池,' N7 F3 c' M$ ]& m4 g3 u" i6 J
第四代非晶硅/非晶硅锗双结或三结薄膜太阳能电池,6 i# o. f/ `4 j! F& }2 X
第五代非晶硅/非晶硅锗/微晶硅三结薄膜太阳能电池,. x9 H% I6 ]- [" ?" e, ] C
目前在产业化领域中的主要技术仍旧是前两者。
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在生产线技术方面依关键的PECVD沉积系统分类,可以划分出以下5种设备模式:
; y3 _) m8 o8 G5 n1 J2 Z7 u/ B单室多片PECVD沉积系统(EPV、BudaSolar),
, ]" J2 k4 |8 p7 Z7 j串联线列式多室单片PECVD沉积系统(日本真空),
3 H t) i8 i# [7 J \4 O并联线列式多室单片PECVD沉积系统(莱宝真空),
8 i; h2 K/ X% |团簇式多室单片PECVD沉积系统(应用材料公司),6 p/ c6 U$ Y. d# K! }+ S+ E5 u
单多片混合型PECVD沉积系统(Oerlikon公司)。 |
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