TA的每日心情 | 开心 2017-4-3 16:51 |
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签到天数: 67 天 [LV.6]出窍
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楼主 |
发表于 2012-3-18 11:33:33
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只看该作者
就爱抬杠 发表于 2012-3-18 10:44 3 O, d% l% U- j2 R
能否介绍一下目前国内薄膜太阳能的发展情况?我只知道安泰科技和德国某公司合作过这个项目。 ...
7 r+ H' u) W- J& i3 `$ H6 m我本身不是从事这方面的研发技术工作,加上现在不是从事光伏行业,所以,了解的情况不算全面。
) y: \# _3 C, p
6 N/ b& ?1 J% ~! s3 H8 ^( A我知道目前在研的五代硅基薄膜太阳能电池工艺技术:
3 b; t8 W8 {# k) @第一代非晶硅单结薄膜太阳能电池,
) K0 {% x) b0 Q9 [( y- U1 a第二代非晶硅/非晶硅双结薄膜太阳能电池,
' M6 }* O- {4 {6 \+ Z# L5 a8 T6 N# v第三代非晶硅/微晶硅双结薄膜太阳能电池,
% \4 b8 D' r2 V( ]第四代非晶硅/非晶硅锗双结或三结薄膜太阳能电池,
$ P1 I' ^. I. \) [第五代非晶硅/非晶硅锗/微晶硅三结薄膜太阳能电池,
, o9 s: d3 ]4 [6 D: J6 B目前在产业化领域中的主要技术仍旧是前两者。5 c$ r7 h: k' l
; {2 q5 h& g8 A1 a: { `
在生产线技术方面依关键的PECVD沉积系统分类,可以划分出以下5种设备模式:
; L- ?9 P/ @$ ]5 E9 m单室多片PECVD沉积系统(EPV、BudaSolar),
! i: }6 b3 p, t! G4 i+ V串联线列式多室单片PECVD沉积系统(日本真空),6 m# Q. r' Y5 x
并联线列式多室单片PECVD沉积系统(莱宝真空),( p3 D% T( @# Y( s- H) n
团簇式多室单片PECVD沉积系统(应用材料公司),
1 Q+ g |' A" b2 J" t/ X单多片混合型PECVD沉积系统(Oerlikon公司)。 |
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