TA的每日心情 | 开心 2017-4-3 16:51 |
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签到天数: 67 天 [LV.6]出窍
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板凳

楼主 |
发表于 2012-3-18 11:33:33
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只看该作者
就爱抬杠 发表于 2012-3-18 10:44 ![]()
) C9 E' j; b# o* G" @ t1 s能否介绍一下目前国内薄膜太阳能的发展情况?我只知道安泰科技和德国某公司合作过这个项目。 ...
' J9 _0 B" c) [2 O( L" ^+ Y$ L我本身不是从事这方面的研发技术工作,加上现在不是从事光伏行业,所以,了解的情况不算全面。8 E/ W' Z" C5 m- C- n
( S4 F% q& c; c G4 N我知道目前在研的五代硅基薄膜太阳能电池工艺技术:2 _! x, B9 u' o* g
第一代非晶硅单结薄膜太阳能电池,; y7 Z4 g6 g/ R/ h5 o# b
第二代非晶硅/非晶硅双结薄膜太阳能电池,8 f) Y2 I, v( c, c6 A5 G
第三代非晶硅/微晶硅双结薄膜太阳能电池,+ J* u) c: i3 c4 g/ N
第四代非晶硅/非晶硅锗双结或三结薄膜太阳能电池,
& L; G1 c c4 L, t( y- P2 G- E第五代非晶硅/非晶硅锗/微晶硅三结薄膜太阳能电池,, ?; B; \. s5 @. P
目前在产业化领域中的主要技术仍旧是前两者。
/ _0 h1 g6 z; O4 |/ }
9 R- A+ x! ~ m/ u7 {在生产线技术方面依关键的PECVD沉积系统分类,可以划分出以下5种设备模式:
6 j* J" i" G& O5 F, ]/ H0 G单室多片PECVD沉积系统(EPV、BudaSolar),- w' f' D8 }+ h0 N3 P
串联线列式多室单片PECVD沉积系统(日本真空),7 k! L1 ]8 ^, z# [) a
并联线列式多室单片PECVD沉积系统(莱宝真空),& X% Z; C# n4 C; C1 o$ |
团簇式多室单片PECVD沉积系统(应用材料公司),
) `+ p h" }3 x. n2 @6 h单多片混合型PECVD沉积系统(Oerlikon公司)。 |
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