TA的每日心情 | 开心 2017-4-3 16:51 |
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签到天数: 67 天 [LV.6]出窍
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楼主 |
发表于 2012-3-18 11:33:33
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只看该作者
就爱抬杠 发表于 2012-3-18 10:44 3 V5 Y9 b1 w3 B# x
能否介绍一下目前国内薄膜太阳能的发展情况?我只知道安泰科技和德国某公司合作过这个项目。 ... " R) f+ h: Q- [: j z/ J& w
我本身不是从事这方面的研发技术工作,加上现在不是从事光伏行业,所以,了解的情况不算全面。2 x, o" K1 Y: @5 b3 p+ x8 X
6 m4 v5 l* E7 n, V
我知道目前在研的五代硅基薄膜太阳能电池工艺技术:
8 f0 y+ [# K8 x, `3 D第一代非晶硅单结薄膜太阳能电池,# Z, }& X7 s) `% W k
第二代非晶硅/非晶硅双结薄膜太阳能电池,
S+ _7 B& n; {; R6 s9 ~第三代非晶硅/微晶硅双结薄膜太阳能电池,. m S# u. m: |; B. g& f: d! [4 D
第四代非晶硅/非晶硅锗双结或三结薄膜太阳能电池,
6 t+ D7 @6 n! w+ t: X; a第五代非晶硅/非晶硅锗/微晶硅三结薄膜太阳能电池,
1 G0 y) r' n( G/ _) B& W目前在产业化领域中的主要技术仍旧是前两者。
! ]5 e0 N& r* B$ ^1 T3 [1 Z( E8 m- S. Y2 X6 x3 {1 b
在生产线技术方面依关键的PECVD沉积系统分类,可以划分出以下5种设备模式:
, Y) E1 q3 m6 E单室多片PECVD沉积系统(EPV、BudaSolar),$ Q* i. V7 e1 b6 |9 N& N/ m$ q
串联线列式多室单片PECVD沉积系统(日本真空),
5 [* t" Q3 p2 v- k$ C1 k并联线列式多室单片PECVD沉积系统(莱宝真空),
! ~7 p4 ~+ a" q/ M* F* i9 T团簇式多室单片PECVD沉积系统(应用材料公司),
. j# u* G3 l7 I* h( r单多片混合型PECVD沉积系统(Oerlikon公司)。 |
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