TA的每日心情 | 开心 2017-4-3 16:51 |
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签到天数: 67 天 [LV.6]出窍
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楼主 |
发表于 2012-3-18 11:33:33
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只看该作者
就爱抬杠 发表于 2012-3-18 10:44 3 }" `! A( m; M* K K
能否介绍一下目前国内薄膜太阳能的发展情况?我只知道安泰科技和德国某公司合作过这个项目。 ...
' o, Y2 s$ k2 E. p( S z我本身不是从事这方面的研发技术工作,加上现在不是从事光伏行业,所以,了解的情况不算全面。
: o, n% v8 Q" E2 F" y! v% E& U2 i* s3 _3 w/ D
我知道目前在研的五代硅基薄膜太阳能电池工艺技术:3 z7 i8 W. ]5 d. O9 Y }
第一代非晶硅单结薄膜太阳能电池,, {2 }: E! N' c* F8 @& N' ]
第二代非晶硅/非晶硅双结薄膜太阳能电池,% j! e e0 j) g! m8 d
第三代非晶硅/微晶硅双结薄膜太阳能电池,/ [" Q0 Z9 d& ?: a/ ^6 V, T
第四代非晶硅/非晶硅锗双结或三结薄膜太阳能电池,1 A1 B9 [9 @6 N' |1 ?# w
第五代非晶硅/非晶硅锗/微晶硅三结薄膜太阳能电池,
" }+ ^8 x8 k( N1 z目前在产业化领域中的主要技术仍旧是前两者。
, i; Q* Z4 B. O& L8 k9 x. Z' x$ _, b/ b$ O1 H- r/ h k& P
在生产线技术方面依关键的PECVD沉积系统分类,可以划分出以下5种设备模式:$ x5 q9 x4 A: M$ \
单室多片PECVD沉积系统(EPV、BudaSolar), }0 @& k$ b1 w0 A2 V8 S
串联线列式多室单片PECVD沉积系统(日本真空),& m% O) w2 C* e, k' w. |& f! s0 U
并联线列式多室单片PECVD沉积系统(莱宝真空),' f, Y* g" }; R0 s' B$ o+ q- M
团簇式多室单片PECVD沉积系统(应用材料公司),
. L( j+ e# u6 V- b/ z$ t2 L7 z6 H# h* T单多片混合型PECVD沉积系统(Oerlikon公司)。 |
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