TA的每日心情 | 开心 2017-4-3 16:51 |
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签到天数: 67 天 [LV.6]出窍
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楼主 |
发表于 2012-3-18 11:33:33
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只看该作者
就爱抬杠 发表于 2012-3-18 10:44 ; ~) w) X8 [) A4 O5 [+ i. T
能否介绍一下目前国内薄膜太阳能的发展情况?我只知道安泰科技和德国某公司合作过这个项目。 ... 7 {" C h9 n, V; z/ P# S
我本身不是从事这方面的研发技术工作,加上现在不是从事光伏行业,所以,了解的情况不算全面。4 k- H: L. O) i ]2 V
9 S' G) g, {' a6 u+ {7 o我知道目前在研的五代硅基薄膜太阳能电池工艺技术:
K6 S) \" O& G第一代非晶硅单结薄膜太阳能电池,9 J: h# e; n" b" H8 r. u
第二代非晶硅/非晶硅双结薄膜太阳能电池,( _& Y' }4 l" ^' z% ~3 g& V0 l
第三代非晶硅/微晶硅双结薄膜太阳能电池,
, k1 D E {; J" I6 |8 q9 t, Y第四代非晶硅/非晶硅锗双结或三结薄膜太阳能电池,
2 A, A- l, E& w( V; U |! V+ U第五代非晶硅/非晶硅锗/微晶硅三结薄膜太阳能电池,
6 _! w. X' G) N% B8 [目前在产业化领域中的主要技术仍旧是前两者。# z3 p3 N5 q' D8 b! V6 b3 k7 e
. K( }& N: v) P3 I在生产线技术方面依关键的PECVD沉积系统分类,可以划分出以下5种设备模式:9 b' ?" V' y! ^, `8 X* W
单室多片PECVD沉积系统(EPV、BudaSolar),
; F+ b# ^' v2 x: H8 j1 p串联线列式多室单片PECVD沉积系统(日本真空),. J) w9 m8 G. v( G+ P V
并联线列式多室单片PECVD沉积系统(莱宝真空),
& W- v' h1 A B5 b0 Z团簇式多室单片PECVD沉积系统(应用材料公司),# U: N6 m9 ~( F% H5 q
单多片混合型PECVD沉积系统(Oerlikon公司)。 |
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