TA的每日心情 | 开心 2017-4-3 16:51 |
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签到天数: 67 天 [LV.6]出窍
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板凳

楼主 |
发表于 2012-3-18 11:33:33
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只看该作者
就爱抬杠 发表于 2012-3-18 10:44 ![]()
5 S1 C8 ~5 K+ K能否介绍一下目前国内薄膜太阳能的发展情况?我只知道安泰科技和德国某公司合作过这个项目。 ... 0 x" t/ t5 H% w* I- `
我本身不是从事这方面的研发技术工作,加上现在不是从事光伏行业,所以,了解的情况不算全面。* `7 S" _4 _: t/ Z" ^
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我知道目前在研的五代硅基薄膜太阳能电池工艺技术:* v4 c) J3 D* n/ o @
第一代非晶硅单结薄膜太阳能电池,
" j4 H3 z" U4 r: n# @: L0 s第二代非晶硅/非晶硅双结薄膜太阳能电池,$ D, V$ Z" D8 D8 h$ W% a {$ u
第三代非晶硅/微晶硅双结薄膜太阳能电池,
6 `& J/ a. a# p+ d第四代非晶硅/非晶硅锗双结或三结薄膜太阳能电池," A9 t& n# R5 p
第五代非晶硅/非晶硅锗/微晶硅三结薄膜太阳能电池,$ G* e' R, j1 l) `; g
目前在产业化领域中的主要技术仍旧是前两者。
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/ h6 m! p, J- m- N& S! Z+ |在生产线技术方面依关键的PECVD沉积系统分类,可以划分出以下5种设备模式:" I" q9 u4 c" q" n: Y, {5 O" l9 R
单室多片PECVD沉积系统(EPV、BudaSolar),
& _7 b Q9 v/ }! ]+ S串联线列式多室单片PECVD沉积系统(日本真空),4 |7 E, n) a. x. ~) v% c
并联线列式多室单片PECVD沉积系统(莱宝真空), ]! f; |) @; e1 g) m/ Y: J
团簇式多室单片PECVD沉积系统(应用材料公司),
9 b. V; e9 t5 l- w& p单多片混合型PECVD沉积系统(Oerlikon公司)。 |
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