TA的每日心情 | 开心 2017-4-3 16:51 |
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楼主 |
发表于 2012-3-18 11:33:33
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只看该作者
就爱抬杠 发表于 2012-3-18 10:44 8 u# o) u8 z3 i7 @
能否介绍一下目前国内薄膜太阳能的发展情况?我只知道安泰科技和德国某公司合作过这个项目。 ...
( |. X" L- E3 y我本身不是从事这方面的研发技术工作,加上现在不是从事光伏行业,所以,了解的情况不算全面。
" A1 r9 U: u# C1 N5 [( {7 o
9 ]! M1 F; y8 w V我知道目前在研的五代硅基薄膜太阳能电池工艺技术:+ c* q( N4 Z: G, g: j
第一代非晶硅单结薄膜太阳能电池,
0 J. }0 C; M4 m& s! ]7 [7 h2 E第二代非晶硅/非晶硅双结薄膜太阳能电池,& w+ y: O, h. _
第三代非晶硅/微晶硅双结薄膜太阳能电池,
8 q+ ]2 O& E! e: s. V( C* U/ E& ~% J8 F$ w第四代非晶硅/非晶硅锗双结或三结薄膜太阳能电池,
) x4 @ O, z3 ]3 i第五代非晶硅/非晶硅锗/微晶硅三结薄膜太阳能电池,
- Z7 Z; R' `5 A. {% O! e& `目前在产业化领域中的主要技术仍旧是前两者。
& g* Y0 S1 h4 S$ p
" K. ~7 K* @6 {在生产线技术方面依关键的PECVD沉积系统分类,可以划分出以下5种设备模式:: ]( O! N* @8 E4 o& _/ C2 q- A( u) I" ~
单室多片PECVD沉积系统(EPV、BudaSolar),. ]9 s* a& b' c2 _8 l
串联线列式多室单片PECVD沉积系统(日本真空),0 ~3 @$ n) B# {
并联线列式多室单片PECVD沉积系统(莱宝真空),& Z9 m. h9 Y4 x" V6 L! h
团簇式多室单片PECVD沉积系统(应用材料公司),
. J+ v7 A b( ?4 @单多片混合型PECVD沉积系统(Oerlikon公司)。 |
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