TA的每日心情 | 开心 2017-4-3 16:51 |
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签到天数: 67 天 [LV.6]出窍
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板凳

楼主 |
发表于 2012-3-18 11:33:33
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只看该作者
就爱抬杠 发表于 2012-3-18 10:44 ![]()
) l7 P$ F: B" Y1 f8 J能否介绍一下目前国内薄膜太阳能的发展情况?我只知道安泰科技和德国某公司合作过这个项目。 ... & P3 k/ \: G+ L! H
我本身不是从事这方面的研发技术工作,加上现在不是从事光伏行业,所以,了解的情况不算全面。
0 r& T! F' u, Q. ?
" s3 \/ S! k, v, o" r我知道目前在研的五代硅基薄膜太阳能电池工艺技术:
9 a- x4 E" w, Q4 {& P第一代非晶硅单结薄膜太阳能电池,/ q% L+ t9 ^# l8 h4 g" G
第二代非晶硅/非晶硅双结薄膜太阳能电池,
1 V3 M7 g ^) ?: o; x! o( H第三代非晶硅/微晶硅双结薄膜太阳能电池,7 s' p; x; _, ^, ~% ?4 }
第四代非晶硅/非晶硅锗双结或三结薄膜太阳能电池,2 m4 j' S& d m
第五代非晶硅/非晶硅锗/微晶硅三结薄膜太阳能电池,
* n/ a$ Y6 n" A7 W9 J目前在产业化领域中的主要技术仍旧是前两者。5 b5 ]& o6 c$ B8 \$ @
$ p9 |/ R M" \, P- A7 U: v. [' R- O3 S
在生产线技术方面依关键的PECVD沉积系统分类,可以划分出以下5种设备模式:) w h0 Z5 X" j
单室多片PECVD沉积系统(EPV、BudaSolar),* A- `0 @8 J- V6 L
串联线列式多室单片PECVD沉积系统(日本真空),* o0 p8 Y Z) U8 c# H t+ G. s
并联线列式多室单片PECVD沉积系统(莱宝真空),5 N4 o% W1 D0 @2 O* @
团簇式多室单片PECVD沉积系统(应用材料公司),
7 U5 k8 x7 C$ f# e% L2 ]" d$ x! e单多片混合型PECVD沉积系统(Oerlikon公司)。 |
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