TA的每日心情 | 开心 2017-4-3 16:51 |
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签到天数: 67 天 [LV.6]出窍
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板凳

楼主 |
发表于 2012-3-18 11:33:33
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只看该作者
就爱抬杠 发表于 2012-3-18 10:44 ![]()
9 h/ U9 G9 s- T/ Z% h2 z T: q能否介绍一下目前国内薄膜太阳能的发展情况?我只知道安泰科技和德国某公司合作过这个项目。 ...
4 i* r, G- \4 a6 O! `0 x4 ]& D我本身不是从事这方面的研发技术工作,加上现在不是从事光伏行业,所以,了解的情况不算全面。
* N( @! _% ~! O7 z) M% ?' a, U( s2 L1 L' W- E4 [1 J& h
我知道目前在研的五代硅基薄膜太阳能电池工艺技术: x, z: u' O- S( ~6 t
第一代非晶硅单结薄膜太阳能电池,
4 b2 P. ~1 A0 L, e第二代非晶硅/非晶硅双结薄膜太阳能电池,
# E* H5 B8 N: R# P, @第三代非晶硅/微晶硅双结薄膜太阳能电池,
$ j, H3 k0 W8 E& }3 K' |第四代非晶硅/非晶硅锗双结或三结薄膜太阳能电池,
' Z5 x( J6 w" C" T5 v4 i! `5 m1 K第五代非晶硅/非晶硅锗/微晶硅三结薄膜太阳能电池,3 T. A: L5 a6 s0 T& ]8 J
目前在产业化领域中的主要技术仍旧是前两者。% E6 O- k7 @% f* X% g
! I! ^% o" ~% E6 V) V在生产线技术方面依关键的PECVD沉积系统分类,可以划分出以下5种设备模式:
( t2 q* D0 h' k单室多片PECVD沉积系统(EPV、BudaSolar),0 {5 v3 f" J: U; p" P! Z4 P N
串联线列式多室单片PECVD沉积系统(日本真空),
0 o; w0 U1 v5 o6 j1 f% d: K4 p1 h并联线列式多室单片PECVD沉积系统(莱宝真空),/ h4 M/ u6 a: Y$ c' w, {% B/ D
团簇式多室单片PECVD沉积系统(应用材料公司),6 G* P7 M1 S0 F$ {0 ]
单多片混合型PECVD沉积系统(Oerlikon公司)。 |
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