TA的每日心情 | 开心 2017-4-3 16:51 |
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签到天数: 67 天 [LV.6]出窍
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板凳

楼主 |
发表于 2012-3-18 11:33:33
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只看该作者
就爱抬杠 发表于 2012-3-18 10:44 ![]()
6 k/ e- _2 x8 V8 _- t4 i1 i% l能否介绍一下目前国内薄膜太阳能的发展情况?我只知道安泰科技和德国某公司合作过这个项目。 ... - A7 j$ w: w3 W( M( ?% ?
我本身不是从事这方面的研发技术工作,加上现在不是从事光伏行业,所以,了解的情况不算全面。% w/ B% h9 J# s
/ ?: _; {" T/ S$ ?. p我知道目前在研的五代硅基薄膜太阳能电池工艺技术:
p( F% [* s7 {+ u7 T第一代非晶硅单结薄膜太阳能电池,
' m2 u, H! o# v! O: l Q' R第二代非晶硅/非晶硅双结薄膜太阳能电池,# a7 u0 d) _: _! ]. {8 a0 O. h* _- y
第三代非晶硅/微晶硅双结薄膜太阳能电池,
3 m, S: _% P, R+ \第四代非晶硅/非晶硅锗双结或三结薄膜太阳能电池,
$ p9 g# u/ d1 q1 ?/ H7 z3 O第五代非晶硅/非晶硅锗/微晶硅三结薄膜太阳能电池,% ~% T' z8 ~) Q" V2 `
目前在产业化领域中的主要技术仍旧是前两者。% q7 A/ q, q5 R0 N" g7 [
' Y1 w, h! r/ Y& r在生产线技术方面依关键的PECVD沉积系统分类,可以划分出以下5种设备模式:
9 }* g ^0 Q$ i9 J单室多片PECVD沉积系统(EPV、BudaSolar),( a! S5 l- |9 b T) h# j
串联线列式多室单片PECVD沉积系统(日本真空),
+ o$ l }2 Y7 B# A并联线列式多室单片PECVD沉积系统(莱宝真空),
8 g5 O* h$ T( P/ H团簇式多室单片PECVD沉积系统(应用材料公司),3 O1 U( a/ J# X! S1 _- V
单多片混合型PECVD沉积系统(Oerlikon公司)。 |
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