TA的每日心情 | 开心 2017-4-3 16:51 |
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签到天数: 67 天 [LV.6]出窍
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楼主 |
发表于 2012-3-18 11:33:33
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只看该作者
就爱抬杠 发表于 2012-3-18 10:44
2 E$ [) Z4 U& c7 s; V N( d能否介绍一下目前国内薄膜太阳能的发展情况?我只知道安泰科技和德国某公司合作过这个项目。 ... ' |) W5 Q# |6 T& I
我本身不是从事这方面的研发技术工作,加上现在不是从事光伏行业,所以,了解的情况不算全面。
9 ^2 w) B8 S" r2 ?1 J$ H% @
) U4 A# B1 K/ O) ~我知道目前在研的五代硅基薄膜太阳能电池工艺技术:
, m5 E, f2 Q5 ?) A$ C8 ~6 Y第一代非晶硅单结薄膜太阳能电池,
4 J$ G7 D x* @8 {5 a( u9 m第二代非晶硅/非晶硅双结薄膜太阳能电池,; Z3 p5 m3 F' t3 d) O8 Q
第三代非晶硅/微晶硅双结薄膜太阳能电池,
0 g# g1 P2 z5 N# C# A# u第四代非晶硅/非晶硅锗双结或三结薄膜太阳能电池,
$ f! d2 i, V5 ?+ G) L1 y4 S第五代非晶硅/非晶硅锗/微晶硅三结薄膜太阳能电池,* P3 z" o% }8 K8 N
目前在产业化领域中的主要技术仍旧是前两者。' y8 g/ i, _8 K
8 j5 x' J9 V, [; F0 i/ Z
在生产线技术方面依关键的PECVD沉积系统分类,可以划分出以下5种设备模式:6 _6 a5 t/ ^5 z0 [+ N4 ~2 @
单室多片PECVD沉积系统(EPV、BudaSolar),' y4 s1 }* K+ m6 p$ @: K1 J# s
串联线列式多室单片PECVD沉积系统(日本真空),
I, ~( I3 ~2 v1 m! w( O' w) P8 q+ j7 k并联线列式多室单片PECVD沉积系统(莱宝真空),* v, t$ F7 U k( T0 K6 L3 {
团簇式多室单片PECVD沉积系统(应用材料公司),+ w5 l' K" } [, W; R7 e
单多片混合型PECVD沉积系统(Oerlikon公司)。 |
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