华为7nm芯片的产能之谜

moletronic

数值分析 发表于 2023-10-5 14:23
这个好像不对 因为EUV极易被吸收 光路都要改为反射式的 而且也不能搞浸没式的 总之是要大改 ...

你说的没错，EUV用反光镜（mirror）这点带来很多麻烦。过一次反光镜的光强损失要远大于过一次透镜（lens），而EUV光源的效率又差，导致EUV耗电远大于DUV。

moletronic

江淮客 发表于 2023-10-5 21:55
1. 不用太过担心产能问题。现在半导体产业是全球downturn，所以有大量的未利用产能。只要有订单, 工厂可以 ...

2 p$ U9 D4 N) a9 W( A0 M3算不上编故事，13、14年ASML的EUV光源不顺，加速器路线有很多讨论的。纯技术考虑，加速器路线更好，但ASML的对应市场无法接受。